JPS6141907A - 工作物表面形状測定方法 - Google Patents
工作物表面形状測定方法Info
- Publication number
- JPS6141907A JPS6141907A JP16415384A JP16415384A JPS6141907A JP S6141907 A JPS6141907 A JP S6141907A JP 16415384 A JP16415384 A JP 16415384A JP 16415384 A JP16415384 A JP 16415384A JP S6141907 A JPS6141907 A JP S6141907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- period
- work
- value
- light source
- calculated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は切削加工において、工作物上に示されろ表面形
状の周期的凹凸の周期を光学的に検出する工作物表面形
状測定方法に関するものである。
状の周期的凹凸の周期を光学的に検出する工作物表面形
状測定方法に関するものである。
従来より工作物上(と示される表面形状の凹凸の周期成
分を求めろ方法として、工作物表面形状を測定して、そ
の形状信号から求めろ方法が種々提案されている。
分を求めろ方法として、工作物表面形状を測定して、そ
の形状信号から求めろ方法が種々提案されている。
この中の主な方法f、【触#を楚検出Uで工作物表面の
断面形状を測定して、その電気的出力信号を計算機シス
テムで周波数シ)析して表面の周期的成分を求める方法
である。
断面形状を測定して、その電気的出力信号を計算機シス
テムで周波数シ)析して表面の周期的成分を求める方法
である。
このようなuntilノステムを用いて周t1敬分析す
る方法は加工現場で而Illに工作物表面形状の周期的
成分を求めて工作物の良否の判定に使用するには計算機
システムがrE価なため不適当である。
る方法は加工現場で而Illに工作物表面形状の周期的
成分を求めて工作物の良否の判定に使用するには計算機
システムがrE価なため不適当である。
上記に鑑み本発1v1は工作物表面形状の凹凸の周期を
工作物を工ぐl磯I4上に設むしたよ!で簡単に測定で
きろようにしたことを特徴とするものである。
工作物を工ぐl磯I4上に設むしたよ!で簡単に測定で
きろようにしたことを特徴とするものである。
本発明を添付図面を参照して詳細に説明する。
′!:II!lの1.T1つり炙り腎で14ノ1/悄を
行い工作物の一面形状をls定した結果法のことが判明
した。
行い工作物の一面形状をls定した結果法のことが判明
した。
工作物表面に1.を送りマーク (プライスカッター刀
当たりのデープルの送り量によって生じろ切nす切刃の
跡)のピッチの凹凸が示されるものと、主軸回転周期と
主軸系固*m勤周期との位相差に関連して、送りマーク
の数倍(4〜5倍が多い)の長さの幅をピッチとする周
期の凹凸が示されるが示される場合、表面形状が良いの
に対し、この送りマークの数倍の長さの周期的凹凸が示
されろ場合、表面形状が悪い。この送りマークの数倍の
長さの周期的凹凸を機械加工中に検出できれば、工作物
の不良監視に非常に有効である。
当たりのデープルの送り量によって生じろ切nす切刃の
跡)のピッチの凹凸が示されるものと、主軸回転周期と
主軸系固*m勤周期との位相差に関連して、送りマーク
の数倍(4〜5倍が多い)の長さの幅をピッチとする周
期の凹凸が示されるが示される場合、表面形状が良いの
に対し、この送りマークの数倍の長さの周期的凹凸が示
されろ場合、表面形状が悪い。この送りマークの数倍の
長さの周期的凹凸を機械加工中に検出できれば、工作物
の不良監視に非常に有効である。
この目的のため1万当たりのテーブル送り速度の1/2
〜175倍の範囲を任意の周期で明滅可能な光源装置を
用いて表面の凹凸周期を求める簡単な検出手法について
検討した。
〜175倍の範囲を任意の周期で明滅可能な光源装置を
用いて表面の凹凸周期を求める簡単な検出手法について
検討した。
検出の原理を第1図A、Bおよび第2図A、Bに示す。
第1図Aに示すように工作物表6の凹凸に周期性がある
場合、テーブルの明滅周期と一定の関係になると、 h
i図Bに示すように各測定点の光景値は同じような値に
なり、隣接する測定点の光量差を求め、そのバラツキの
大きさをマイコノにより標準III差を求める計算で求
め、その大きさを閾値と比較してI?41/8性の有無
を確認する。
場合、テーブルの明滅周期と一定の関係になると、 h
i図Bに示すように各測定点の光景値は同じような値に
なり、隣接する測定点の光量差を求め、そのバラツキの
大きさをマイコノにより標準III差を求める計算で求
め、その大きさを閾値と比較してI?41/8性の有無
を確認する。
逆に第2図へのように周期性のない場合、同図Bのよう
に隣接1゛る測定点の光量差の変化は大きく、隣接する
測定点の光景差の値に一定の閾値を設定することにより
、周期性の無いことを確認する。
に隣接1゛る測定点の光量差の変化は大きく、隣接する
測定点の光景差の値に一定の閾値を設定することにより
、周期性の無いことを確認する。
工作物に周期的凹凸のある場合、これを検出するには、
工作物を載せたテーブルが一定速度で移動した時、検出
される凹凸の周期と光源の明滅周期とを一致させること
が必要である。これには計rLまたは計測によって求め
られた機械主軸系の固有振動91(llzl と主軸回
転数n(rps+)と切刃数2から求めたl刀による工
作物の5I91/1の転写Q60 ・I / fn
Ll −Ntha (Nは整数、aは端歎で主軸1転周
期と主軸系固有1illI周期との位相差に関係する値
で、実験では01〜050間の値が多く、1/aX送り
マーク幅をピッチとする周期的凹凸が工作物上に示され
る。)から求まるaの値を利用して、これとテーブル送
り速度とから光源の明滅周期を設定し、設定値を1/l
O周期ずつ±5710周期まで順次ずらし、周期性の有
無を調べる。工作物上に周期性がある場合、光源の明滅
周期と工作物の凹凸周期が一致すれば明滅周期値から凹
凸の周期が求まる・判定を加工現場で、非接触で簡単に
行うことができるので、切削加工におけろ自動化技術の
センシング手法として有効に使用することができろ。
工作物を載せたテーブルが一定速度で移動した時、検出
される凹凸の周期と光源の明滅周期とを一致させること
が必要である。これには計rLまたは計測によって求め
られた機械主軸系の固有振動91(llzl と主軸回
転数n(rps+)と切刃数2から求めたl刀による工
作物の5I91/1の転写Q60 ・I / fn
Ll −Ntha (Nは整数、aは端歎で主軸1転周
期と主軸系固有1illI周期との位相差に関係する値
で、実験では01〜050間の値が多く、1/aX送り
マーク幅をピッチとする周期的凹凸が工作物上に示され
る。)から求まるaの値を利用して、これとテーブル送
り速度とから光源の明滅周期を設定し、設定値を1/l
O周期ずつ±5710周期まで順次ずらし、周期性の有
無を調べる。工作物上に周期性がある場合、光源の明滅
周期と工作物の凹凸周期が一致すれば明滅周期値から凹
凸の周期が求まる・判定を加工現場で、非接触で簡単に
行うことができるので、切削加工におけろ自動化技術の
センシング手法として有効に使用することができろ。
第1図A、Bおよび第2図A、Bはそれぞ八本発明の測
定原理についての説明図、第3図は本発明を実施する装
置の構成図であり、 】・・・工作機械送りテーブル 2・・・被削材 3・・・マイクロコンビ1−タ 4・・・光g[IFJ減周期の設定醪 5・・・反射光量の検出器 6・・・表示値d 7・・・テーブル送り速度の検出器 である。 手続補正ff(方式) 6591L/2月2N3 1キ許庁長官 志賀 学 殿 !、寥1主の表示 昭Iロ59年特許願第164153号 2、発明の名称 工作物表面形状測定装置 3、補正をする者 1/キとの関係 特許出願人 住 所 東京都千代区πが閏1丁g3番1号(
1/4)氏名 工業技術院長 等々力 達4
、指定代理人 1所 広島県呉市広町15000@地昭和69年1/
月7日 6、油圧のt4象 図面
定原理についての説明図、第3図は本発明を実施する装
置の構成図であり、 】・・・工作機械送りテーブル 2・・・被削材 3・・・マイクロコンビ1−タ 4・・・光g[IFJ減周期の設定醪 5・・・反射光量の検出器 6・・・表示値d 7・・・テーブル送り速度の検出器 である。 手続補正ff(方式) 6591L/2月2N3 1キ許庁長官 志賀 学 殿 !、寥1主の表示 昭Iロ59年特許願第164153号 2、発明の名称 工作物表面形状測定装置 3、補正をする者 1/キとの関係 特許出願人 住 所 東京都千代区πが閏1丁g3番1号(
1/4)氏名 工業技術院長 等々力 達4
、指定代理人 1所 広島県呉市広町15000@地昭和69年1/
月7日 6、油圧のt4象 図面
Claims (1)
- 切削加工時の切削送り速度を検出し、加工条件、機械振
動特性にもとづいて計算された送り周期の1/2〜1/
5の周期でファイバー光源を明滅させて工作物表面を照
射し、工作物での反射光量を測定し、その測定値にもと
づいて工作物表面の周期的凹凸の有無と周期の値を検出
することを特徴とする工作物表面形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16415384A JPS6141907A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 工作物表面形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16415384A JPS6141907A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 工作物表面形状測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6141907A true JPS6141907A (ja) | 1986-02-28 |
JPH031602B2 JPH031602B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=15787743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16415384A Granted JPS6141907A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 工作物表面形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6141907A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103322909A (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-25 | 诚研科技股份有限公司 | 用来侦测透光光栅结构的侦测装置与侦测方法 |
CN104854425A (zh) * | 2013-03-15 | 2015-08-19 | 诚研科技股份有限公司 | 透明介质检测技术及应用 |
-
1984
- 1984-08-03 JP JP16415384A patent/JPS6141907A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103322909A (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-25 | 诚研科技股份有限公司 | 用来侦测透光光栅结构的侦测装置与侦测方法 |
TWI464385B (zh) * | 2012-03-22 | 2014-12-11 | Hiti Digital Inc | 用來偵測透光光柵結構之偵測裝置與偵測方法 |
CN104854425A (zh) * | 2013-03-15 | 2015-08-19 | 诚研科技股份有限公司 | 透明介质检测技术及应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH031602B2 (ja) | 1991-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0428005Y2 (ja) | ||
HUP0104326A2 (hu) | Eljárás és rendszer forgógépek teljesítményének mérésére | |
KR910005974A (ko) | 광학소자 연마방법 및 장치 | |
CN103659602B (zh) | 数据融合技术检测外圆磨削表面粗糙度的方法及其装置 | |
JPS6141907A (ja) | 工作物表面形状測定方法 | |
ATE407388T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum steuern der maschinenbearbeitung von mechanischen arbeitsstücken | |
DE69107441T2 (de) | Verfahren zum durchführen eines bohrvorganges. | |
JPH06344246A (ja) | 切削工具の摩耗検出方法 | |
ATE350644T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum räumlichen vermessen von werkstücken an einer werkzeugmaschine | |
CN115008256B (zh) | 一种旋转轴运动过程中振动测试系统 | |
US5059905A (en) | Indication of cutting tool wear by monitoring eddy currents induced in a metallic workpiece | |
JP2000263379A (ja) | 回転体の平均外径測定方法及び装置 | |
KR910003370A (ko) | 기어의 타흔치(打痕値)측정장치 | |
ATE330892T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum erfassen eines bahnbruchs an einer eine bahn verarbeitenden maschine | |
JPS62271626A (ja) | 回転式鋸断機の鋸歯欠損部位判定装置 | |
DE69618626T2 (de) | Messvorrichtung und verfahren zum messen von gegenständen | |
JPS60152951A (ja) | バイト摩耗度測定方法 | |
ATE338608T1 (de) | Verfahren zur messung mit einer werkzeugmaschine, werkzeug dafür und rechnerprogrammprodukt zu ihrer verwaltung | |
ATE209781T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von strukturfehlern an laufenden textilen flächengebilden | |
SU1121102A1 (ru) | Способ определени коэффициента усадки стружки | |
DE50301593D1 (de) | Verfahren zur Erstellung eines Schnitthöhenprotokolls im laufenden Arbeitsprozess von Erntemaschinen | |
DE69805634T2 (de) | Verfahren zur bedienung einer sortbewegenden sensorvorrichtung | |
JPH0413251U (ja) | ||
JPH0328733A (ja) | 砥石のバランス状態及び摩耗状態検出装置 | |
JPH07159144A (ja) | 非接触式測定における表面粗さの監視判定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |