JPS6141257U - 基板処理装置における液切り部の基板搬送装置 - Google Patents

基板処理装置における液切り部の基板搬送装置

Info

Publication number
JPS6141257U
JPS6141257U JP12594284U JP12594284U JPS6141257U JP S6141257 U JPS6141257 U JP S6141257U JP 12594284 U JP12594284 U JP 12594284U JP 12594284 U JP12594284 U JP 12594284U JP S6141257 U JPS6141257 U JP S6141257U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
passage hole
wheel
processing
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12594284U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0241633Y2 (ja
Inventor
和美 杉田
Original Assignee
大日本スクリ−ン製造株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大日本スクリ−ン製造株式会社 filed Critical 大日本スクリ−ン製造株式会社
Priority to JP12594284U priority Critical patent/JPS6141257U/ja
Publication of JPS6141257U publication Critical patent/JPS6141257U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0241633Y2 publication Critical patent/JPH0241633Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photographic Processing Devices Using Wet Methods (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は、本考案装置を使用した基板処理装置′の要部
の中央縦断正面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線におけ
る拡大横断面図、第３図は、従来装置を備える基板処理
装置の要部の中央縦断正面図、第４図は、第３図のＢ−
Ｂ線における拡大断面図、第５図は、改良された従来装
置を備える基板処理装置の要部の中央縦断正面図、第６
図は、第５図のＣ−Ｃ線における拡大縦断面図である。 １・・・処理室、２・・・洗浄室、３・・・仕切壁、４
・・・通過孔、叶・ホイニル軸、６・・・搬送用ホイー
ル、７・・・０リング、８・・・絞りローラ、９・・・
処理液噴射ノズル、１０・・・洗浄水噴射ノズル、１１
・・・基板、１２・・・プーリ、１３・・・無端ベルト
、５１・・・処理室、５２・・・洗浄室、５３・・・仕
切壁、５４・・・通過孔、５５・・・ホイール軸、５，
６・・・搬送用ホイール、５７・・・０リング、５８・
・・絞りローラ、．５９・・・処理液噴射ノズル、６０
・・・洗浄水噴射ノズル、６１・・・基板、６２・・・
プーリ、６３・・・無端ベルト。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）多数の搬送用ホイールをもって搬送される基板が
    、基板通過孔を備える仕切壁で仕切られた複数の処理室
    を通過する間に、それぞれの処理室において、処理液を
    もって所定の処理を行ない、ついで、通過孔を通過させ
    て、その近くに設けた絞りローラにより処理液の液切り
    を行った後、次の処理室において、所定の処理を行なう
    ようにした基板処理装置の液切り部において、 上記通過孔を挟んで前後に近接する搬送用ホイールの軸
    に、搬送用ホイールより若干小径のプーリーを並設し、
    無端ベルトの上辺上面が、搬送用ホイールの上端以下と
    なるようにして、ブーリーに掛け回したこ生を特徴とす
    る基板処理装置における液切り部の基板搬送装置。
  2. （２）通過孔を挟んで近接する搬送用ホイールのうち、
    絞りローラに近い搬送用ホイ７ルを、回転自由にローラ
    軸に嵌装してなる実用新案登録請求の範囲第（１）項に
    記載の装置。
JP12594284U 1984-08-21 1984-08-21 基板処理装置における液切り部の基板搬送装置 Granted JPS6141257U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12594284U JPS6141257U (ja) 1984-08-21 1984-08-21 基板処理装置における液切り部の基板搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12594284U JPS6141257U (ja) 1984-08-21 1984-08-21 基板処理装置における液切り部の基板搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6141257U true JPS6141257U (ja) 1986-03-15
JPH0241633Y2 JPH0241633Y2 (ja) 1990-11-06

Family

ID=30684631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12594284U Granted JPS6141257U (ja) 1984-08-21 1984-08-21 基板処理装置における液切り部の基板搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6141257U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009158790A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Hitachi Chem Co Ltd 水平搬送型表面処理装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6128591B2 (ja) 2013-04-17 2017-05-17 株式会社フジキン ロック装置及び弁装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009158790A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Hitachi Chem Co Ltd 水平搬送型表面処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0241633Y2 (ja) 1990-11-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2404138A (en) Apparatus for developing exposed photographic prints
JPS6141257U (ja) 基板処理装置における液切り部の基板搬送装置
FR2503887A1 (fr) Appareil pour developper des plaques d'impression
JPS6016913Y2 (ja) フィルム搬送装置
JPS61147U (ja) 感光材料水洗装置
JPS59114559U (ja) 感光材料処理装置
JPS5896896U (ja) 汚泥脱水装置
KR950003202Y1 (ko) 원판필름 자동현상기의 처리라카 측판구조
JPS59116949U (ja) 写真用フイルム処理装置におけるフイルム搬送装置
JPS58127069U (ja) ハンドレ−ル清掃装置
JPS641773U (ja)
JPS58162146U (ja) フイルム自動現像装置
JPH03100845U (ja)
JPH0733239Y2 (ja) 感光性平版印刷版用処理液塗布装置
JPS61102275U (ja)
SU1007753A1 (ru) Многопоточна лини дл нанесени покрытий на издели
JPS63144878U (ja)
JPH03100846U (ja)
JPH0466342B2 (ja)
JPH0654379B2 (ja) 乾燥機における帯状物の搬送装置
JPS5675313A (en) Belt-cleaning device for belt conveyor
JPS5856063U (ja) 線材の直接熱処理用ロ−ラコンベア
JPS59154091U (ja) 根菜類洗浄機
JPS58107188U (ja) 真珠母貝用掃除機
JPS6191382U (ja)