JPS6140655U - 光学的検査用プロ−ブ - Google Patents
光学的検査用プロ−ブInfo
- Publication number
- JPS6140655U JPS6140655U JP12502484U JP12502484U JPS6140655U JP S6140655 U JPS6140655 U JP S6140655U JP 12502484 U JP12502484 U JP 12502484U JP 12502484 U JP12502484 U JP 12502484U JP S6140655 U JPS6140655 U JP S6140655U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical inspection
- specimen
- inspection probe
- irradiation part
- reflective surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本考案の異なる実施例をそれぞれ示す
断面図、第3図〜第5図は検体の異なる態様をそれぞれ
示す図、第6図は従来例を示す図、第7図は本考案を発
案するまでの過程で考えた例を示す図である。 1・・・プローブ、5・・・受光部、8a・・・照射部
、9,10・・・反射面部、100・・・検体、100
a・・・検体の表面(反射面)。
断面図、第3図〜第5図は検体の異なる態様をそれぞれ
示す図、第6図は従来例を示す図、第7図は本考案を発
案するまでの過程で考えた例を示す図である。 1・・・プローブ、5・・・受光部、8a・・・照射部
、9,10・・・反射面部、100・・・検体、100
a・・・検体の表面(反射面)。
Claims (1)
- 反射面を有する検体を光学的に検査するプローフにおい
て、照明光を照射する照射部と、この照射部に対向して
配置され、照射部からの照明光を反射して検体に供給す
る反射面部と、検体の像をとらえる受光部とを、先端部
に備えたことを特徴とする光学的検査用プローブ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12502484U JPS6140655U (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 光学的検査用プロ−ブ |
US06/765,670 US4718760A (en) | 1984-08-18 | 1985-08-14 | Apparatus for optically inspecting object having reflecting surface |
US07/072,121 US4732474A (en) | 1984-08-18 | 1987-07-10 | Apparatus for optically inspecting object having reflecting surface |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12502484U JPS6140655U (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 光学的検査用プロ−ブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6140655U true JPS6140655U (ja) | 1986-03-14 |
Family
ID=30683714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12502484U Pending JPS6140655U (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 光学的検査用プロ−ブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6140655U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5870150A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Fuji Electric Co Ltd | 光学検査装置用照明器 |
-
1984
- 1984-08-18 JP JP12502484U patent/JPS6140655U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5870150A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Fuji Electric Co Ltd | 光学検査装置用照明器 |
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