JPS614038A - Novel photosensitive material - Google Patents

Novel photosensitive material

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JPS614038A
JPS614038A JP12464884A JP12464884A JPS614038A JP S614038 A JPS614038 A JP S614038A JP 12464884 A JP12464884 A JP 12464884A JP 12464884 A JP12464884 A JP 12464884A JP S614038 A JPS614038 A JP S614038A
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JP
Japan
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plating
resist
copper
initiator
compd
Prior art date
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Pending
Application number
JP12464884A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shunei Kaneko
金子 俊英
Akihiko Ikeda
章彦 池田
Hideo Ai
愛 英夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei Corp
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Asahi Kasei Kogyo KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd, Asahi Kasei Kogyo KK filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Publication of JPS614038A publication Critical patent/JPS614038A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/085Photosensitive compositions characterised by adhesion-promoting non-macromolecular additives

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a photoresist good in adhesion to a copper plate or the like and prevented from intruding plating by using a photopolymerizable compsn. consisting of a specified polymerizable non-gaseous unsatd. compd., a photopolymn. initiator, and a specified compd. CONSTITUTION:The intended photosensitive material consists of a non-gaseous unsatd. compd. which has at least one C=C double bond and is polymerizable with a photopolymn. initiator, the photopolymn. initiator, and a compd. represented by the formula in which X is 5-20C alkyl, cycloalkyl, 6-20C aryl, alkylaryl, or aralkyl; and Y is bivalent single- or double-bonded straight 2-3C or N or 6-14C aryl optionally substd. by 1-15C alkyl or aryl at the o- or p- position. The use of such a compsn. can improve close adhesion to a substrate, especially, copper, and prevent intrusion of plates, and it can be plated in various plating conditions. A printed circuit high in performance can be prepared with high reliability, and it can be used for printing ink and printing plates, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は新規な感光性組成物に関し、さらに詳しくは、
銅板等の基板に対する接着性及び耐メッキ性の改良され
た光重合性組成物に関する。本組成物の応用例として、
プリント配線板等の作成に利用されるフォトレジスト、
ソルダーレジスト等が挙げられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a novel photosensitive composition, and more specifically,
The present invention relates to a photopolymerizable composition with improved adhesion and plating resistance to substrates such as copper plates. As an application example of this composition,
Photoresist used to create printed wiring boards, etc.
Examples include solder resist.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

フォトレジストを用いたプリント配線板の作成法は周知
である。まず、銅張り積層板やフレキシブル銅張板等の
画像形成用基板に、フォトレジスト組成物を塗布又は積
層して皮膜を形成し、次いで活性光によってフォトマス
クを通して照射を行なうと、露光された部分は重合硬化
する。次に、未露光部分を有機溶媒、アルカリ水溶液等
の適当な現像液によって溶解除去し、レジスト画像を形
成する。この画像形成基板にエツチング、銅メッキ、金
メッキ、ハンダメッキ等種々の操作を施すことにより、
レジストによって保護されていない銅面を処理し、プリ
ント配線板を作成していく。
Methods of making printed wiring boards using photoresists are well known. First, a photoresist composition is coated or laminated on an image forming substrate such as a copper-clad laminate or a flexible copper-clad board to form a film, and then irradiation is performed with active light through a photomask. is polymerized and hardened. Next, the unexposed portions are dissolved and removed using a suitable developer such as an organic solvent or an alkaline aqueous solution to form a resist image. By performing various operations such as etching, copper plating, gold plating, and solder plating on this image forming substrate,
The copper surface that is not protected by resist is processed to create printed wiring boards.

この時、レジストと基板の接着力が十分大きくなイト、
エツチングやメッキ、及びそれらの前処理の際に処理液
がレジストと基板の間に浸透し、硬化したレジストのア
ンダーカットが起こり、レジストが基板から浮き上がる
ような現象が発生しやすくなる。このような現象が起こ
ると、エツチングによるレジスト端部の欠損、メッキの
もぐり(メッキがレジストの下部にまで及ぶ現象)が生
じ、画線の欠損や画像輪郭の不鮮明化を招き、パターン
精度が著しく低下して不合格品となってしまう。
At this time, when the adhesion between the resist and the substrate is sufficiently strong,
During etching, plating, and their pre-treatments, a processing solution permeates between the resist and the substrate, causing undercutting of the hardened resist, which tends to cause the resist to lift off the substrate. When such a phenomenon occurs, the edges of the resist are damaged due to etching, and the plating is peeled off (a phenomenon in which the plating extends to the bottom of the resist), resulting in loss of image lines and blurring of the image outline, which significantly reduces pattern accuracy. This will cause the product to be rejected.

このため、密着助剤が種々開発されており、特公昭!0
−9/77号公報及び、特開昭33−70−号公(報等
に開示されているが、近年メッキ法及びその前処理方法
けよシ多岐にわたり、又より過酷な条件になったこと、
さらに電子部品や素子の実装密度は年々高くなシ、それ
に伴ない益々細かく複雛な配線を有するプリント基板が
要求されてきた。
For this reason, various adhesion aids have been developed. 0
Although it is disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 9/77 and Japanese Patent Application Laid-open No. 33-70, etc., in recent years, plating methods and their pretreatment methods have become more diverse, and the conditions have become more severe. ,
Furthermore, the mounting density of electronic components and elements has been increasing year by year, and accordingly, printed circuit boards having increasingly finer and more complex wiring have been required.

このため、上に記したよう々処理液の浸み込みやレジス
トの浮きは、はんのわずかな程度のものでも許され々〈
なってきた。このような観点から眺めると、先に引用し
た公報に開示された組成物は必ずしも十分な耐メッキ性
を示しているとは言えない。
For this reason, even the slightest amount of solder cannot be tolerated, as described above, such as the penetration of the processing solution and the lifting of the resist.
It has become. From this point of view, it cannot be said that the compositions disclosed in the publications cited above necessarily exhibit sufficient plating resistance.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記のようなプロセスで作成されたプリント配線板には
、部品をハンダ付けする際に所望の部分以外へのノ・ン
ダの付着を避けるため、又、配線板表面の回路の保護を
目的として感光性のソルダーレジストが塗布されること
が多い。このソルダーレジス)Kけこれが永久的に製品
に残る材料であること、高温のノ・ンダ浴に浸漬するノ
・ンダ付は工程でハンダのもぐシが発生してはならない
こと等の理由から接着性に対する高度の要求がある。こ
   ・ツタめKは、ソルダーレジストに上に示したよ
うな密着助剤を添加することが効果的であることは公知
であるが、さらに高性能の密着助剤が求められている。
Printed wiring boards created using the above process are exposed to light in order to avoid adhesion of solder to areas other than the desired parts when soldering components, and to protect the circuits on the surface of the wiring board. A solder resist is often applied. This solder resist) K is a material that remains on the product permanently, and solder bonding, which is immersed in a high-temperature solder bath, must not cause solder to bleed during the process. There is a high level of sexual need. It is known that it is effective to add adhesion aids such as those shown above to the solder resist, but there is a demand for adhesion aids with even higher performance.

以上を踏まえて鋭意研究の結果、本発明者らは金属基板
、特に銅面との接着性が高く、かつメッキ処理において
メッキもぐり等の問題の発生しないフォトレジストを与
える光重合性組成物を見い出し、さらに本組成物がソル
ダーレジストとシテも有効であることを確認した。
Based on the above, as a result of intensive research, the present inventors have discovered a photopolymerizable composition that provides a photoresist that has high adhesion to metal substrates, especially copper surfaces, and does not cause problems such as plating peel-off during plating processing. Furthermore, it was confirmed that this composition is also effective for solder resists and shite.

〔問題点を解決するだめの手段〕[Failure to solve the problem]

本発明の組成物は、 (a)少なくとも一個の炭素−炭素二重結合を有し、光
重合開始剤によって重合体を形成できる非ガス状不飽和
化合物、 (b3活性光によって活性化し得る光重合開始剤、(c
)構造式(T)で示される化合物 よりなる光重合性組成物である。
The composition of the present invention comprises: (a) a non-gaseous unsaturated compound having at least one carbon-carbon double bond and capable of forming a polymer by means of a photoinitiator; initiator, (c
) A photopolymerizable composition comprising a compound represented by structural formula (T).

(ここで、Xは炭素数3ないし一〇のアルキル基、S 
 − シクロアルキル基、炭素数6ないしユOのアリール基、
アルキルアリール基、了り−ルアルキル基Yは無置換、
又は全炭素数がlないし15のアルキル基、アリール基
の置換した、単結合又は二重結合で直鎖状に結合した一
個又は3個の炭素又は窒素、又は炭素数6ないし/lI
のオルト又はペリ位にコ価のアリール基) ここで、Xとしては炭素数6ないし/4’のアリール基
、アリールアルキル基が好ましく、Yとしては−CH2
CTT2−1−CH=CH−1−C=N−1−N=N−
1■ 構造式(I)で示される具体的な化合物としては、/−
フェニル−5−メルカプトテトラゾール、/−ベンジル
−5−メルカプトテトラゾール、/−シクロヘキシル−
5−メルカプトテトラゾール、l−フェニルーコーメル
カブトイミダゾール、/−ペンジルーコーメルカブトイ
ミダゾール、/−フェニルーーーメルカブトイミダゾリ
ン、l−フェニルーコーメルカブトペンズイミダゾール
、l−フェニル−2−メルカプトトリアゾールが挙けら
れる。
(Here, X is an alkyl group having 3 to 10 carbon atoms, S
- cycloalkyl group, aryl group having 6 to 5 carbon atoms,
an alkylaryl group, an alkyl group Y is unsubstituted,
or one or three carbons or nitrogens connected in a straight chain with a single or double bond, substituted with an alkyl group or aryl group having a total carbon number of 1 to 15, or a carbon number of 6 to 1I
(a covalent aryl group at the ortho or peri position of
CTT2-1-CH=CH-1-C=N-1-N=N-
1■ Specific compounds represented by structural formula (I) include /-
Phenyl-5-mercaptotetrazole, /-benzyl-5-mercaptotetrazole, /-cyclohexyl-
5-mercaptotetrazole, l-phenyl-comelcabutoimidazole, /-penzyl-comelcabutoimidazole, /-phenyl-mercabutimidazoline, l-phenyl-comelcabutopenzimidazole, l-phenyl-2-mercaptotriazole can be mentioned.

構造式CI+で示される化合物(以下、化合物Iと称す
る)の添加量に制限はないが、全組成物に対しO,OS
ないし夕重量%が好ましく、さらにa2ないし一重量%
が好ま17い。又、本発明で開示される化合物を2種類
以上用いてもよい。さらに本発明で開示される化合物と
、特開昭5s−4左9グク号、特開昭!;!r−A!2
02号、特開昭&、3−4.に2O2号、特開昭Aid
−J/73!;号、特開昭&A−471!:ダダ号、特
開昭り4−A’/lグS号、特開昭タr−ioor4t
y号、特開昭!;7−/qコ9’lA号、特開昭に3−
/2tl!r9ダ号公報等に開示されている化合物を併
用することもできる。
There is no limit to the amount of the compound represented by the structural formula CI+ (hereinafter referred to as compound I), but O, OS
Preferably from 2 to 1% by weight, and more preferably from 2 to 1% by weight.
I prefer 17. Furthermore, two or more types of compounds disclosed in the present invention may be used. Furthermore, the compound disclosed in the present invention, JP-A-5S-4 Left 9 Guku, JP-A-Sho! ;! r-A! 2
No. 02, Tokukai Sho&, 3-4. No. 2O2, Tokukai Sho Aid
-J/73! ; No., Tokukai Sho&A-471! :Dada, Tokukai Sho 4-A'/lg S, Toku Kai Shota r-ioor4t
Y issue, Tokukai Akira! ;7-/qco9'lA, 3- in Tokkai Sho
/2tl! Compounds disclosed in R9da publication etc. can also be used in combination.

これら化合物として、具体的にはフタルイミド、フタラ
ジン、インダゾール、アセトグアナミン、ベンゾグアナ
ミン、モノアザインドール、ジフェニルカルバゾン、2
.Qd、 −)リメルカプトトリアー、7、f # /
< lk e 7− # II、 −y−オep、yL
4y’l!が挙げられる。
These compounds specifically include phthalimide, phthalazine, indazole, acetoguanamine, benzoguanamine, monoazaindole, diphenylcarbazone,
.. Qd, −) rimercaptotrier, 7, f # /
<lk e 7- # II, -y- ep, yL
4y'l! can be mentioned.

上記光反応性組成物はエチレン性不飽和化合物(以下、
モノマーと称する〕とそれに対する適当なバインダーか
ら成っており、モノマーは、少なくとも一個の炭素−炭
素二重結合を有し、光重合開始剤によって重合体を形成
し、非ガス状で、大気圧下で700℃以上の沸点を有す
るものである。
The photoreactive composition is an ethylenically unsaturated compound (hereinafter referred to as
monomer] and a suitable binder thereto, the monomer has at least one carbon-carbon double bond, forms a polymer with a photoinitiator, is non-gaseous, and is resistant to atmospheric pressure. It has a boiling point of 700°C or higher.

このようなエチレン性不飽和化合物の例は、(メタ)ア
クリル酸エステル、(メタ)アクリルアミド、アリル化
合物、ビニルエーテル化合物、ビニルエステル化合物、
ケイヒ酸、マレイン酸、フマル酸及びそれらのエステル
等である。
Examples of such ethylenically unsaturated compounds are (meth)acrylic esters, (meth)acrylamides, allyl compounds, vinyl ether compounds, vinyl ester compounds,
These include cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, and their esters.

(メタ)アクリル酸エステルとしては多価アルコールの
ポリ(メタ)アクリレート(ここで言うポリとはジ(メ
タ)アクリレート以上の化合物である。)であり、多価
アルコールとしてはポリエチレンクリコール、ポリフロ
ピレンゲリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチ
ロールプロパン、ペンタエリスリトール、ブタンジオー
ル、トリメチ四−ルエタンがある。
The (meth)acrylic acid ester is a polyhydric alcohol, poly(meth)acrylate (poly here refers to a compound higher than di(meth)acrylate), and the polyhydric alcohol is polyethylene glycol, polyfluorocarbon, etc. These include pyrene gelicol, neopentyl glycol, trimethylolpropane, pentaerythritol, butanediol, and trimethy4-ethane.

又、好ましいモノマーとして、ウレタン(メタ)アクリ
レートが挙げられる。これは水酸基を有する(メタ)ア
クリレートもしくハ(メタ)アクリルアミドと一個以上
のイソシアナト基を有する化合物の付加生成物でアシ、
これらの(メタ)アクリレートとしては、−一ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、コーヒドロキシプロビ
ル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ
(メタ)アクリレート、ツーヒドロキシ−3−フェノキ
シプロビル(メタ)アクリレート等がある。さらにアミ
ドとしては、ヒドロキシメチル(メタ〕アクリルアミド
がある。さらにポリエチレングリコール、ポリフロピレ
ンゲリコール等のポリオールにそのコ倍当量以上のジイ
ソシアナートを反応させて得られたポリインシアナート
と水酸基を有する(メタ)アクリレート等を反応させて
得られたウレタン(メタ)アクリレート等も有効である
Moreover, urethane (meth)acrylate is mentioned as a preferable monomer. This is an addition product of (meth)acrylate or (meth)acrylamide having a hydroxyl group and a compound having one or more isocyanato groups.
These (meth)acrylates include -monohydroxyethyl (meth)acrylate, co-hydroxypropyl (meth)acrylate, polyethylene glycol mono(meth)acrylate, dihydroxy-3-phenoxypropyl (meth)acrylate, etc. . Furthermore, as an amide, there is hydroxymethyl (meth)acrylamide.Furthermore, it has a hydroxyl group and a polyincyanate obtained by reacting a polyol such as polyethylene glycol or polypropylene gelicol with a diisocyanate in an amount more than the co-equivalent of the diisocyanate. Urethane (meth)acrylates obtained by reacting (meth)acrylates and the like are also effective.

2個以上のインシアナト基を有する化合物としては、ヘ
キサメチレンジイソシアナート、トリレンジイソシアナ
ート、インホロンジイソシアナート、キシリレンジイソ
シアナート、ダ、q′−ジイソシアナトジフェニルメタ
ン等があり、これらのウレタン(メタ)アクリレート等
については、特願昭jt−ざθaIIs号公報に詳しい
。これらのウレタン(メタ)アクリレートを用いると、
構造式(I)で示される化合物の耐メッキ性に対する効
果がさらに増大することは特華に値する。さらに用いる
仁とのできるモノマーとして、フタル酸、アジピン酸、
マロン酸醇のジアリルエステルや、ジビニルサクシネー
ト、ジビニルアジペート、ジビニルフタレート等のジビ
ニルエステル類、アシッドホスホキシジエチルメタクリ
レート、3−クロローコーアシツドホスホキシグロビル
メタクリレート、コービスメタクリロキシエチルホスフ
エ−1・、コービスアクリロキシホスフエート、ケイヒ
酸エステル類、マレイン酸エステル、フマル酸エステル
、フェニルマレイミド等がある。
Examples of compounds having two or more incyanato groups include hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, inphorone diisocyanate, xylylene diisocyanate, da, q'-diisocyanato diphenylmethane, etc. (Meth)acrylates and the like are detailed in Japanese Patent Application No. Shojt-za θaIIs. When these urethane (meth)acrylates are used,
It is noteworthy that the effect of the compound represented by structural formula (I) on plating resistance is further increased. In addition, monomers that can be used with phthalate include phthalic acid, adipic acid,
Diallyl esters of malonic acid, divinyl esters such as divinyl succinate, divinyl adipate, and divinyl phthalate, acid phosphooxydiethyl methacrylate, 3-chlorocoacid phosphoxyglobyl methacrylate, Corbis methacryloxyethyl phosphe-1, , Corbis acryloxyphosphate, cinnamic acid esters, maleic acid esters, fumaric acid esters, phenylmaleimide, and the like.

これらモノマーの量としては、全組成物に対して重量で
(以下同様)/(1)チないしq9チが好ましく、さら
には2o%ないしgθチが好まj〜い。
The amount of these monomers is preferably from 1 to 9 times (the same applies hereinafter), and more preferably from 20% to gθ, based on the weight of the entire composition.

以上のモノマーをコ種以上用いることも制限するもので
はない。
There is no limit to the use of more than one of the above monomers.

光反応性組成物に有用な光重合開始剤又は増感剤は一般
に使用されるものでよいが、エチレン性不飽和化合物の
重合に適するものは、アントラキノン、λ−メチルアン
トラキノン、コーエチルアントラキノン等のアントラキ
ノン誘導体、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、
ベンツインエチルエーテル等のベンゾイン誘導体、クロ
ルチオキサントン、ジイソブロビルチオキザントン等の
チオキサフレ1導体、ベンゾフェノン、フェナントレン
キノン、ミヒラーケトン(lI、4/′−ビス(ジメチ
ルアミノ)ベンゾフェノン)である。これら光重合開始
剤等の使用量に制限はガいが、好ましくはθθ2チない
し/オチ、さらに好ましくけ01%ないし10cAであ
る。
Photoinitiators or sensitizers useful in photoreactive compositions may be those commonly used, but those suitable for polymerizing ethylenically unsaturated compounds include anthraquinone, λ-methylanthraquinone, coethylanthraquinone, etc. anthraquinone derivatives, benzoin, benzoin methyl ether,
These include benzoin derivatives such as benzine ethyl ether, thioxafure 1 conductors such as chlorothioxanthone and diisobrobylthioxanthone, benzophenone, phenanthrenequinone, and Michler's ketone (lI, 4/'-bis(dimethylamino)benzophenone). Although there is no limit to the amount of these photopolymerization initiators used, it is preferably θθ2 to 100, more preferably 01% to 10 cA.

又、本発明の組成物にけ熱可塑性有機重合体バインダー
が含まれるととが好ましく、それらとしく  ′1”+
s″″″′f′1(tlNt!Ill“[+06B4c
Dが使用されるだめ、その組合わせは自ずと決まってく
るが、本発明に使用されるバインダーはポリメチルメタ
クリレート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、塩素化ポ
リエチレン、ポリビニルアセテート、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルブチラール等のビニルモノマーの重合
物及び共重合体が好ましい。特にアルカリ水溶液で現像
を行々う場合はアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸
等の共重合体が好ましい。その使用量としては、左チな
いしgθチが好ましく、さらに好ましくけ、20チない
L Aθチである。ソルダーレジストとして本組成物を
用いる場合はバインダーは用いないか、屯しくけ少量用
いることが推奨される。
It is also preferred that the composition of the present invention contains a thermoplastic organic polymer binder, such as '1''+
s″″″′f′1(tlNt!Ill”[+06B4c
If D is used, the combination will be determined automatically, but the binder used in the present invention is a vinyl such as polymethyl methacrylate, polystyrene, polyvinyl chloride, chlorinated polyethylene, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, etc. Polymers and copolymers of monomers are preferred. In particular, when developing with an alkaline aqueous solution, copolymers of acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, etc. are preferred. The amount used is preferably from left side to gθch, more preferably from 20 inches to LAθch. When using this composition as a solder resist, it is recommended not to use a binder or to use a small amount of binder.

他に、光反応性組成物の貯蔵時の熱重合を防止するだめ
の重合禁止剤、レジストを見易くするための染料、顔料
や光感応性変色剤、可塑剤、難燃剤尋を使用しても差し
支えない。ここで、染料としては、例えば、ベーシック
°ピュアー・ブルーBO,マラカイトグリーン、ビクト
リアブルー、ブリリアント・グリーンGX等の塩基性染
料や、C,1,ソルベント・グリーン、?、C,1,ソ
ルベント・ブルーJ、C,1,ソルベント・ブルー36
 等の油性染料が挙げられる。
In addition, polymerization inhibitors to prevent thermal polymerization of photoreactive compositions during storage, dyes and pigments to make the resist visible, pigments, photosensitive color change agents, plasticizers, and flame retardants may also be used. No problem. Examples of dyes include basic dyes such as Basic Pure Blue BO, Malachite Green, Victoria Blue, Brilliant Green GX, C, 1, Solvent Green, etc. , C,1, Solvent Blue J, C,1, Solvent Blue 36
Oil-based dyes such as

本発明で開示される光反応性組成物を基板上に製膜する
方法としては、該組成物の溶液を基板上に塗布1.乾燥
する方法と、適当なフィルム上に塗布17乾燥l〜で得
られた積層体を基板に加熱ロール等を用いて積層する方
法がある。後者の積層体は一般にドライフィルムと称さ
れているが、二層のフィルムに感光性組成物がサンドイ
ッチ状に挾まれた構造のものが多く、基板への積層時に
は、一方のフィルムを剥離しながら積層する。この剥離
フィルムとしてはポリエチレン、ポリプロピレン、セロ
ファン、さらにこれらを他のフィルムに積層しまたフィ
ルムや特願昭!;g−71190号公報に開示されてい
る剥離性フィルム等がある。積層されたレジストの上は
もう一方のフィルムである支持フィルムと称されるフィ
ルムで覆われているが、一般にはこの上にマスクを密着
させ露光する。この支持フィルムとしてはポリエチレン
テレフタレート、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニ
ル、ポリ塩化ビ= IJデン、ポリスチレン、ポリメタ
クリル酸メチル、ナイロン、ポリアクリロニトリル、ポ
リビニルアルコールやこれらの共重合体からなるフィル
ムが挙けられるが、特に用いる現像液に溶解する材料を
用いると、工程の自動化や剥離時における画像の浮き等
がない利点を享受できることが特開昭&lI−/173
2号公報に開示されている。
A method for forming a film of the photoreactive composition disclosed in the present invention on a substrate includes 1. coating a solution of the composition on a substrate; There is a method of drying, and a method of laminating the laminate obtained in step 17 of coating on a suitable film and drying on a substrate using a heating roll or the like. The latter laminate is generally referred to as a dry film, but it often has a structure in which a photosensitive composition is sandwiched between two layers of film, and when laminated onto a substrate, one film is peeled off while the other is removed. Laminate. This release film can be made of polyethylene, polypropylene, cellophane, or laminated with other films. ; There is a releasable film disclosed in Japanese Patent No. g-71190. The laminated resist is covered with another film called a support film, and generally a mask is placed on top of this film for exposure. Examples of the support film include films made of polyethylene terephthalate, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyvinyl chloride (IJ-Dene), polystyrene, polymethyl methacrylate, nylon, polyacrylonitrile, polyvinyl alcohol, and copolymers thereof. In particular, by using a material that dissolves in the developing solution used, it is possible to enjoy the advantages of automation of the process and no image floating during peeling, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-17311.
It is disclosed in Publication No. 2.

感光層の積層に続く工程を簡単に述べる。即ち必要なら
ば支持フィルムを剥離し、ハーフトーン画像、プロセス
陰画、又は陽画を通して活性光により画像露光する。次
に、これを適当な現像液、例えば有機溶剤としては/、
/、/ −) IJクロルエタン等、又、アルカリ水溶
液としては炭酸水素ナトリウム水溶液等を用いて未露光
部を除去し、基板上に画像パターンを形成する。そして
、この基板を例えば塩化第二鉄溶液、銅アンモニア溶液
、塩化第二銅溶液、過硫酸アンモニウム溶液等を用いて
露出鋼面を溶解して銅の画像パターンを形成するか、あ
るいけハンダメッキを施してハンダのパターンを形成す
る方法が代表的プロセスであるが、メッキ工程ではまず
、鋼面を化学的もしくは電気化学的処理を行なった後、
硫酸銅やピロリン酸等i4A− を用いた銅メッキ、さらにハンダメッキを行なう。
The steps following the lamination of the photosensitive layer will be briefly described. That is, the support film is peeled off, if necessary, and imagewise exposed with actinic light through a halftone image, process negative, or positive. Next, add this to a suitable developer, such as an organic solvent.
/, /-) IJ chloroethane or the like, or an alkaline aqueous solution such as a sodium bicarbonate aqueous solution is used to remove the unexposed area and form an image pattern on the substrate. The exposed steel surface of this board is then melted using a solution such as ferric chloride, cupric ammonia, cupric chloride, or ammonium persulfate to form a copper image pattern, or solder plated. A typical process is to apply solder to the steel surface to form a solder pattern, but in the plating process, the steel surface is first chemically or electrochemically treated.
Copper plating using i4A- such as copper sulfate and pyrophosphoric acid, followed by solder plating.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の組成物を用いることにより、基板、特に銅面に
対する密着性が向上し、メッキもぐりに著しい改善が見
られた。特に本発明の効果として特雛さるべきことは、
本組成物が各種のメッキ条件で良好な成績を収めるとい
う事実である。例えば銅メツキ法の代表的なものに硫酸
銅メッキやビロリン酸銅メッキがあり、その前段階にお
ける基板の前処理法も、酸条件、中性条件、アルカリ条
件等積々の方法がある。従来の密着助剤を用いたものは
、この内のある種の条件のメッキに対しては良好な成績
を示すが、他の条件では極めて不満足な結果しか示さな
いものが多く、メッキ法の選択は制限されることが多か
った。さらに耐メッキ性は良好であるが、銅面への感光
層の密着性が不十分であり、現像工程で画線が流れるよ
うな千木4  □3! 、t di□、わ、□あつぇ。
By using the composition of the present invention, the adhesion to the substrate, especially the copper surface, was improved, and a significant improvement in plating damage was observed. Particularly noteworthy effects of the present invention are:
The fact is that the composition performs well under a variety of plating conditions. For example, typical copper plating methods include copper sulfate plating and copper pyrophosphate plating, and there are many methods for pretreating the substrate in the preceding stage, such as acid conditions, neutral conditions, and alkaline conditions. Conventional methods using adhesion aids show good results when plating under certain conditions, but under other conditions they often show very unsatisfactory results, making it difficult to choose a plating method. were often restricted. Furthermore, although the plating resistance is good, the adhesion of the photosensitive layer to the copper surface is insufficient, and the image lines flow during the development process.Chigi 4 □3! , t di□, wa, □ Atsue.

それに対し、本発明で開示された種々の化合物群から選
ばれた複数の密着助剤を用いた組成物でけ多くのメッキ
条件で良好な成績を示し、条件の選択の幅が広がり、よ
り高性能のプリント基板を高い信頼性で作成することが
可能となった。
In contrast, the composition using multiple adhesion aids selected from the various compound groups disclosed in the present invention shows good results under a wide variety of plating conditions, broadening the range of conditions to choose from, and achieving higher plating conditions. It has become possible to create high-performance printed circuit boards with high reliability.

又、本発明で開示された銅面密着剤は、有機溶剤現像及
びアルカリ水溶液現像の両方のタイプのドライフィルム
レジストに対し良好な効果を与えるととも強調されるべ
きである。
It should also be emphasized that the copper surface adhesive disclosed in this invention provides good effects on both organic solvent developed and alkaline aqueous developed types of dry film resists.

これらの諸性能の基礎的寿評価法については、実施例中
に詳しく述べるが、銅面密着性は銅面に積層された感光
層を露光前に引張り試験器を用いて剥離してその剥離力
を測定することにより求める。又、耐メッキ性について
は画像を形成させた後、メッキ前処理−銅メツキーノ・
ンダメツキを行なった後、まず外観検査によりレジスト
部にメッキ液、メッキ金属のもぐりの有無を確認する。
The basic life evaluation method for these various performances will be described in detail in the examples, but copper surface adhesion is measured by peeling off the photosensitive layer laminated on the copper surface using a tensile tester before exposure, and measuring the peeling force. It is obtained by measuring. In addition, regarding plating resistance, after forming the image, pre-plating treatment - Copper Metsukino.
After the damage is done, first, a visual inspection is performed to check whether there is any plating solution or plating metal in the resist area.

さらにテープ剥離試験を行なってレジストの剥離を試験
する。このテープ剥離試験は極めて過酷な試験であり、
若干の剥離が見られても現実の使用には問題ない。勿論
、より高い信頼性を追求する場合はまったく剥離しない
ことが要求される。
Furthermore, a tape peel test is performed to test for resist peeling. This tape peel test is an extremely harsh test.
Even if some peeling is observed, there is no problem in actual use. Of course, if higher reliability is sought, it is required that no peeling occurs at all.

さらに、ソルダーレジストとして使用する場合は、この
組成物を印刷もしくは塗布、又はドライフィルムを用い
た積層法等によりプリント回路板上に積層せしめ、直接
又は必要ならばマスクを通して露光を行ない、必要なら
ば現像を行ない、硬化レジストパターンを形成していく
。その後、例えばコSO℃ないし270℃のハンダ浴に
10数秒の間接触させ部品の端子にノ・ンダ付けを行な
っていくが、この場合もハンダもぐシの面で良好な結果
を得た。
Furthermore, when used as a solder resist, this composition is laminated on a printed circuit board by printing, coating, or a lamination method using a dry film, and is exposed to light directly or through a mask if necessary. Development is performed to form a hardened resist pattern. Thereafter, the terminals of the component were soldered by contacting them with a solder bath at, for example, 270° C. for about 10 seconds, and good results were obtained in terms of solder removal in this case as well.

さらに本組成物は、印刷インキ、印刷板、フォトエツチ
ングによる精密部品、精密パターン板の製作等にも応用
可能なものである。
Furthermore, this composition can be applied to the production of printing inks, printing plates, precision parts by photoetching, precision pattern plates, etc.

以下に実施例を示す。Examples are shown below.

〔実 施 例〕〔Example〕

参考例/ 滴下p斗、温度計及びかきまぜ機を備えたコl容の四ツ
ロフラスコに、ヘキサメチレンジイソシアナート100
g、ジブチルスズジラウレートθ1−11メチルエチル
ケトン4fotを加え、かきまぜ1がら2otのポリエ
チレングリコール(平均分子量 コθθのもの)を一時
間かけて滴下した。この間水浴の温度と滴下速度を調節
することにより、内温かグθ℃を超えないようにした。
Reference example/ Hexamethylene diisocyanate 100 was added to a four-collar flask equipped with a dropping pot, a thermometer, and a stirrer.
g, dibutyltin dilaurate θ1-11 4 fots of methyl ethyl ketone were added, and while stirring, 2 ots of polyethylene glycol (average molecular weight θθ) was added dropwise over an hour. During this time, the temperature of the water bath and the dropping rate were adjusted so that the internal temperature did not exceed θ°C.

さらにグθ℃で7時間かきまぜた後、アクリル酸コーヒ
ドロキシプロビル/3’l tを内温がlIO℃を超え
ないように滴下した。その後、ダθ℃で43時間かきま
ぜに後、/309のメチルエチルケトンを加え均一溶液
とした。この混合物を七ツマ−/と称する。
After further stirring at θ°C for 7 hours, cohydroxypropyl acrylate/3'lt was added dropwise so that the internal temperature did not exceed 1IO°C. Thereafter, after stirring at θ°C for 43 hours, methyl ethyl ketone of /309 was added to form a homogeneous solution. This mixture is called Nanatsuma/.

参考例コ 参考例/で用い九四ツロフラスコに、トリレンジイソシ
アナー) /7’lfと、乾燥メチルエチルケトン/!
3f及びジブチルスズジラウレート θ6gtを加え、
かきまぜなから6tx fのペンタエリトリトール) 
IJアクリレート(東亜合成化学工業■製アロニツクス
1li4−305)と、!;Ofのメチルエチルケトン
の混合液を、内温か35℃を超えないように滴下した。
Reference Example/Reference Example/Tolylene diisocyaner) /7'lf and dry methyl ethyl ketone/!
Add 3f and dibutyltin dilaurate θ6gt,
6tx f pentaerythritol)
IJ acrylate (Aronix 1li4-305 manufactured by Toagosei Kagaku Kogyo ■) and! A mixed solution of methyl ethyl ketone was added dropwise so that the internal temperature did not exceed 35°C.

滴下後もlIO℃で30時間かきまぜを続け、赤外吸収
スペクトルで2270on−’付近のイソシアネート基
の特性吸収がほぼ消失したことを II − 確認した。次に、/rO9のメチルエチルケトンを加え
た。この混合物をモノマーユと称する。
After the dropwise addition, stirring was continued for 30 hours at lIO°C, and it was confirmed in the infrared absorption spectrum that the characteristic absorption of the isocyanate group around 2270 on-' had almost disappeared. Next, methyl ethyl ketone at /rO9 was added. This mixture is called monomay.

実施例1 300mlのセパラブルフラスコに、溶剤として/θ0
1のメチルエチルケトンを入れ、バインダーとしてデル
ペットクθH(旭化成工業縛製ポリメタクリル酸メチル
)をqst加え、り0℃に加熱して均一溶液とする。こ
こに、参考例/で調製したモノマー7をモノマーとして
g32加え、さらに開始剤としてベンゾフェノン3?、
  ミヒラーヌケトン0./l、染料としてベーシック
・ピュアー・ブルーBOを019加え均一混合溶液を調
製した。
Example 1 /θ0 as a solvent in a 300 ml separable flask
Add methyl ethyl ketone from Step 1, add qst of Delpetk θH (polymethyl methacrylate manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd.) as a binder, and heat to 0° C. to form a homogeneous solution. To this, 32 g of Monomer 7 prepared in Reference Example/ was added as a monomer, and further benzophenone 3? was added as an initiator. ,
Michlanuketone 0. Basic Pure Blue BO was added as a dye to prepare a homogeneous mixed solution.

この溶液全量を以下混合液−/と称する。The total amount of this solution is hereinafter referred to as a mixed solution.

混合液−1に7−フェニル−3−メルカプトテトラゾー
ルOSグ加え均一とした後、ブレードコーターを用い、
3gμのポリエチレンフィルムに4   j ’ m 
” # ” * ” L ” CT”′10”1さSe
yのレジスト膜を形成せしめ、−!μの配向ポリスチレ
ンフィルムをレジスト表面にローラーで張り合わせ、ド
ライフィルムレジストラ作成した。次に、このドライフ
ィルムレジストを整面した銅張積層板(ガラスエポキシ
基板)にポリエチレンフィルムを剥離しなからAL−7
00型ラミネーター(旭化成工業■製)を用い、90℃
で加圧積層させた。この積層体を3枚作成した。その内
1枚のレジスト面を8μ幅に切りインストロン万能試験
器を用い、レジストを銅面から剥離するのに要する力を
室温で測定した。この値を銅面密着力と定義するが、/
200 f/2smであった。次に1他の一枚の積層体
のレジスト面に200μのホシラインが1000μ間隔
で描かれたマスクを密着させ、/θ0rrJ/−の強度
で高圧水釧灯を用いて露光した。
After adding 7-phenyl-3-mercaptotetrazole OS to the mixture-1 and making it uniform, using a blade coater,
4 j ' m on 3 gμ polyethylene film
"#"*"L"CT"'10"1Se
y resist film is formed, -! A dry film registrar was prepared by laminating a μ-oriented polystyrene film onto the resist surface using a roller. Next, the polyethylene film was peeled off to the copper-clad laminate (glass epoxy board) prepared with this dry film resist, and then AL-7
Using a 00 type laminator (manufactured by Asahi Kasei Corporation), at 90℃
It was laminated under pressure. Three pieces of this laminate were created. One of the resist surfaces was cut into a width of 8 μm and the force required to peel the resist from the copper surface was measured at room temperature using an Instron universal tester. This value is defined as copper surface adhesion, but /
It was 200 f/2sm. Next, a mask in which 200 μm star lines were drawn at 1000 μm intervals was brought into close contact with the resist surface of the other laminated body, and exposure was performed using a high-pressure water lamp at an intensity of /θ0rrJ/−.

次に、クロロセンで現像を行ない未露光部(画線部)を
溶解除去した。その後、メッキ前処理液とシテ “ニュ
ートラ・クリーンC”を用いた条件A(条件Aの内容に
ついては後の条件B−Fと共に最後の備考でまとめて示
した。)でメッキ前処理を行なった後、7枚は硫酸銅メ
ッキ(条件D)、他の7枚はビロリン酸銅メッキ(条件
E)を行なった。次に、それぞれの板を水洗後、ハンダ
メッキ(条件F)を行なった。メッキされた画線の縁に
メッキもぐりはまったく観察されなかった(以下これを
外観試験と称する)。次に、透明粘着テープをレジスト
表面に強く密着させ、−気にテープを剥離したが、レジ
ストの剥離はまったく観察されなかった(この試験を以
下テープ剥離試験と称する)。
Next, development was performed with chlorocene to dissolve and remove the unexposed area (image area). After that, pre-plating treatment was performed under condition A (the contents of condition A are summarized in the notes at the end along with conditions B-F later) using a plating pre-treatment liquid and Shite "Nutra Clean C". After that, seven sheets were plated with copper sulfate (condition D), and the other seven sheets were plated with copper birophosphate (condition E). Next, after washing each board with water, solder plating (condition F) was performed. No plating was observed on the edge of the plated image (hereinafter referred to as appearance test). Next, a transparent adhesive tape was brought into close contact with the resist surface, and the tape was peeled off, but no peeling of the resist was observed (this test is hereinafter referred to as a tape peeling test).

さらに種々の処理条件を組み合わせた試験を行なった。Furthermore, tests were conducted combining various processing conditions.

結果を表1に示す。The results are shown in Table 1.

表   7 比較例/ 実施例/で調製した混合液−7を用い、実施例/と全く
同様の操作で試験サンプルを調製した。
Table 7 Comparative Example/A test sample was prepared using the liquid mixture-7 prepared in Example/in exactly the same manner as in Example/.

銅面密着力は1010972kであり、条件A−条件り
一条件Fの操作を行なったものは、メッキもぐシは見ら
れなかったが、テープ剥離試験では画線の縁のレジスト
が所々Q!wxの幅で剥離した。さらに条件A−E−F
、 B−D−F及びB−E−Fの操作を行なったものは
、メッキされた画線の両側のレジスト部が変色しており
、メッキもぐりが観察された。さらにテープ剥離試験を
行なったととる、画線間のレジスト部分の#1とんどが
剥離した。
The adhesion strength to the copper surface was 1010972k, and no plating was observed in the cases where conditions A to F were performed, but in the tape peel test, the resist at the edge of the image line was Q! It was peeled off with a width of wx. Further conditions A-E-F
, B-D-F and B-E-F, the resist portions on both sides of the plated image were discolored, and plating was observed to fade. Furthermore, when a tape peeling test was conducted, most of the #1 resist portion between the images was peeled off.

比較例コ 混合液−lに0.3− fのベンズイミダゾールを加え
、実施例/と同様の試験を行なった。銅面密着力は/θ
θ09/:lktragであった。又、各メッキ条件で
メッキを行なったサンプルの外観、及びテープ剥離試験
の結果を表2に示す。
Comparative Example 0.3-f of benzimidazole was added to the mixed solution-1, and the same test as in Example 1 was conducted. Copper surface adhesion is /θ
θ09/:lktrag. Further, Table 2 shows the appearance of the samples plated under each plating condition and the results of the tape peel test.

(以下余白) =22− 比較例3 混合液−/にθS2のl−メチル−3−メルカプトテト
ラゾールを加え、実施例1と同様の試験を行なった。銅
面密着力はAOOt/2’rm、メッキテストの結果は
表3に示す。
(The following is a blank space) =22- Comparative Example 3 The same test as in Example 1 was conducted by adding l-methyl-3-mercaptotetrazole of θS2 to the mixed solution -/. The adhesion to the copper surface was AOOt/2'rm, and the results of the plating test are shown in Table 3.

表     3 実施例−〜7.比較例q〜6 溶剤としてA3fのメチルエチルケトン、バインダーと
して1IAfのデルベットgoN  (無化成工業■製
)、モノマーとして参考例コで調製したモノマーコをt
θ11開始剤としてジイソブロピルチオキサントンコf
、N、N−ジメチル安息香酸メチルl12、染料として
グリーンC(三菱化成工業■製)をθ/夕2加え、実施
例1と同様に混合液を調製した(これを混合液−コと称
する)。この混合液=2に各種の密着剤を加え、実施例
1と同様の試験を行なった。結果を表1に示す。
Table 3 Examples-~7. Comparative Examples q to 6 A3f methyl ethyl ketone was used as the solvent, 1IAf Delbet goN (manufactured by Mukasei Kogyo ■) was used as the binder, and the monomer co prepared in Reference Example q was used as the monomer.
Diisopropylthioxanthon f as a θ11 initiator
, methyl N,N-dimethylbenzoate l12, and Green C (manufactured by Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.) as a dye were added at θ/2 to prepare a mixed solution in the same manner as in Example 1 (this is referred to as mixed solution-CO). . Various adhesive agents were added to this mixed solution = 2, and the same tests as in Example 1 were conducted. The results are shown in Table 1.

(以下余白) 実施例g 溶剤としてSOlの酢酸エチル、バインダーとしてSO
2のデルベット7θH(旭化成工業輛製)、モノマーと
してトリメチロールプロパントリアクリレ−トqoy 
、開始剤としてペンゾフエノング?、ミヒラーズケトン
θ/!ft 、染料としてブリリアント・グリーンGX
o/fを用い、実施例1と同様に混合液を調製した(こ
れを混合液−3と称する)。これにθ5Pのl−フェニ
ル−2−Jルカプトーテトラゾールを加え均一にした後
、ブレードコーターを用い、コSμのポリエチレンテレ
フタレートフィルムにこの混合液を塗布し、60℃で3
θ分間乾燥し、厚さ3Sμのレジスト膜を形成し、2S
μのポリエチレンフィルムを張り合わせた。これを10
0℃で加圧積層する以外は、実施例1と同様な操作及び
試験を行なった。銅面密着力はgoθf7.23wmで
あった。
(Left below) Example g Ethyl acetate in SOI as a solvent, SO as a binder
2 Delvet 7θH (manufactured by Asahi Kasei Corporation), trimethylolpropane triacrylate qoy as a monomer
, penzophenone as an initiator? , Michler's ketone θ/! ft, Brilliant Green GX as dye
A mixed solution was prepared in the same manner as in Example 1 using o/f (this is referred to as mixed solution-3). After adding l-phenyl-2-J captotetrazole of θ5P and making it uniform, this mixture was applied to a polyethylene terephthalate film of Sμ using a blade coater, and the mixture was heated at 60°C for 30 minutes.
Dry for θ minutes to form a resist film with a thickness of 3Sμ, and
A μ polyethylene film was attached. This is 10
The same operations and tests as in Example 1 were performed except that the lamination was carried out under pressure at 0°C. The adhesion force to the copper surface was goθf7.23wm.

各メッキ条件で試験した結果を表5に示す。Table 5 shows the results of testing under each plating condition.

比較例7.を 実施例gと同じ方法で調製した混合液−3に、θIf 
 のベンゾトリアゾール及びl−メチルーコーメルカブ
トテトラゾールを加え実施例ざと同様の試験を行なった
。それぞれを比較例り、gとする。
Comparative example 7. θIf to mixed solution-3 prepared in the same manner as in Example g.
A test similar to that in Example was conducted by adding benzotriazole and l-methyl-comelkabutotetrazole. Comparative examples of each are given as g.

銅面密着力は共にりθOf/コS■であり、かつメッキ
試験は表6のようであった。
The adhesion strength to the copper surface was θOf/koS■ in both cases, and the results of the plating test were as shown in Table 6.

(以下余白) −コj− 参考例3 コl容のセパラブルフラスコに、100−の60℃の水
を加え、lコVの食塩及びメチルセルロース(信越化学
工業■製、メトローズ8H90−/θ0)byを溶解し
均一になってからtθθ−の氷水を加える。内温を再度
60℃にまで上げ、スチレンダ52、メタクリル酸メチ
ル/gOf、メタクリル酸7si    r、<z、+
’−アゾビスイソブチロニトリル 13りの均一混合物
を加え、/30rpmで攪拌を続ける。7時間60℃で
攪拌し、さらに70℃でコ時間、ざ0℃で1時間反応を
行ない、グθOメツシュのフルイにあけ温水で十分洗浄
を行なった後、go℃の熱風で乾燥し−109のビーズ
を得た。このポリマーをP−、?と称する。
(Leaving space below) Reference Example 3 Add 100-liter water at 60°C to a 1-liter separable flask, add 1-liter salt and methylcellulose (Metrose 8H90-/θ0, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) After dissolving by and making it homogeneous, add ice water of tθθ-. Raise the internal temperature to 60°C again and add styrene 52, methyl methacrylate/gOf, methacrylic acid 7si r, <z, +
Add a homogeneous mixture of '-azobisisobutyronitrile 13 and continue stirring at /30 rpm. The mixture was stirred at 60°C for 7 hours, further reacted at 70°C for 1 hour and at 0°C for 1 hour, poured into a sieve of θO mesh, thoroughly washed with warm water, and dried with hot air at -109°C. Obtained beads. This polymer is P-,? It is called.

実施例9 300−のセパラブルフラスコに、100fのイングロ
パノール、参考例3で調製したP−3をs。
Example 9 In a 300-ml separable flask, 100 f of Ingropanol and P-3 prepared in Reference Example 3 were added.

f、 モ/マーとしてトリメチロールプロパントリアク
リレート 2!;t、テトラエチレングリコールシアク
リレー1−/jS’、開始剤としてベンゾフェノン3り
、ミヒラーズケトン 0.2t、染料としてグリーンC
O/39を加え、均一溶液とする。この溶液を混合液−
tと称する。この混合液に銅面密着剤としてay−yの
/−フェニルーコーメルカプトーテトラゾールを加え、
均一にした後、ブレードコーターを用いてコSμのポリ
エチレンテレフタレートフィルムにこの液を塗布し、6
0℃で30分乾燥して厚さlIoμのレジスト膜を形成
せしめた後、2Sμのポリエチレンフィルムを張す合わ
せた。次に、ポリエチレンフィルムを剥離しながら加圧
ロールを用い703℃で銅張積層板にレジストを積層し
た。次に、実施例/と同様にマスクを通シて露光し、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、コチ
の炭酸す) IJウム水溶液で現像を行なった後水洗し
aHbの希塩酸で処凰水洗、乾燥を行なった。次に1条
件B−条件D−条件Fの組み合わせでメッキを行なった
が、外観試験では異常がなく、又、テープ剥離試験でも
60〜13θμ幅で所々剥離が見られるのみであった。
f, trimethylolpropane triacrylate as mo/mer 2! ;t, tetraethylene glycol cyacrylate 1-/jS', benzophenone 3 as an initiator, Michler's ketone 0.2t, green C as a dye.
Add O/39 to make a homogeneous solution. Mix this solution with -
It is called t. Add ay-y/-phenyl-comercaptotetrazole as a copper surface adhesive to this mixture,
After making it uniform, this solution was applied to a polyethylene terephthalate film of CoSμ using a blade coater, and 6
After drying at 0° C. for 30 minutes to form a resist film with a thickness of lIoμ, a 2Sμ polyethylene film was stretched over the resist film. Next, a resist was laminated on the copper-clad laminate at 703° C. using a pressure roll while peeling off the polyethylene film. Next, the film was exposed to light through a mask in the same manner as in Example 1, and the polyethylene terephthalate film was peeled off. After that, it was developed with a flathead IJium carbonate aqueous solution, washed with water, treated with aHb diluted hydrochloric acid, washed with water, and dried. I did this. Next, plating was performed under the combination of Condition 1 B, Condition D, and Condition F, but no abnormality was found in the appearance test, and peeling was only observed here and there in a tape peeling test with a width of 60 to 13[theta][mu].

実施例10 テトラエチレングリコールジアクリレートの代わりに一
3vのモノマー/を用いる以外は実施例デと同様の操作
、試験を行なった。テープ剥離試験ではgθ〜/2θμ
幅で所々剥離が見られるのみであった。
Example 10 The same operations and tests as in Example D were carried out except that 13v monomer was used in place of tetraethylene glycol diacrylate. In the tape peel test, gθ~/2θμ
Only peeling was observed in some places along the width.

比較例り 銅面密着剤を加え危い以外は実施例tと同様の操作、試
験を行なった。テープ剥離試験ではコSO〜、300μ
の幅で連続的にレジストの剥離が見られた。
Comparative Example The same operations and tests as in Example t were carried out, except that a copper surface adhesive was added. In the tape peel test, koSO~, 300μ
Continuous peeling of the resist was observed over a width of .

31一 実施例// エポキシエステル3002A(共栄社油脂製)ダθtと
トリメチロールプロパントリアクリレート13f と2
−ヒドロキシエチルメタクリレートtrfX/−クロロ
チオキサントンコ2からなる混合液(これを混合液−よ
と称する)に72の/−フェニル−5−メルカプトテト
ラゾールを加え銅張積層板上にlIOμの厚みで塗布し
、高圧水釧灯でIk00mJ/aAの露光を行なった。
31 Example // Epoxy ester 3002A (manufactured by Kyoeisha Yushi) θt and trimethylolpropane triacrylate 13f and 2
72/-phenyl-5-mercaptotetrazole was added to a mixed solution consisting of -hydroxyethyl methacrylate trf Exposure was carried out at Ik00mJ/aA using a high-pressure water lamp.

露光後/■幅でIO×IOのクロスカットを入れテープ
剥離試験を行なったが、100個のマスはすべて剥離し
なかつ喪。又、他の部分を2!;に’cのハンダ浴に/
&秒液接触せたが、レジスト面のふくれは認められなか
った。
After exposure/I made a cross cut of IO x IO with a ■ width and performed a tape peeling test, but all 100 squares did not peel off and disappeared. Also, 2 other parts! ;Ni'c's solder bath/
Although the resist surface was brought into contact with liquid, no blistering was observed on the resist surface.

比較例i。Comparative example i.

実施例//で調製した混合液−jを用い実施例/l と
同様の試験を行なった。100個のクロスカットのマス
のうちgs個所は剥離し、ハンダ浴に接触後はレジスト
のふくれが観察された。
The same test as in Example 1 was conducted using the mixture-j prepared in Example 1. Among the 100 cross-cut squares, the gs portion peeled off, and blistering of the resist was observed after contact with the solder bath.

備   考 実施例、比較例中のメッキ前処理条件、及びメッキ条件
は次のようである。但し、工程後水洗、乾燥工程が付加
される場合があり、その場合を単に(WD )で示した
Remarks: The plating pretreatment conditions and plating conditions in Examples and Comparative Examples are as follows. However, there are cases in which washing with water and drying steps are added after the process, and such cases are simply indicated by (WD).

条件A;シツブレー・ファー・イースト社製[ニュート
ラ・クリーンCJ  2.t%水溶液にll0℃で3分
間浸漬(WD )。
Condition A: Manufactured by Shitubley Far East Co., Ltd. [Nutra Clean CJ 2. Immersed in t% aqueous solution at 110°C for 3 minutes (WD).

条件B;マクダミツド社製[LkBJ  30%水溶液
にダθ℃で3分間浸漬後(WD)、/s%過硫酸アンモ
ニウム水溶液に7分間浸漬(WD)、さらに2チ希硫酸
に一分間浸漬(WD )。
Condition B: Manufactured by MacDamid Co., Ltd. [LkBJ] After immersion in a 30% aqueous solution at θ°C for 3 minutes (WD), immersion in a /s% ammonium persulfate aqueous solution for 7 minutes (WD), and further immersion in 2% dilute sulfuric acid for 1 minute (WD) .

条件C;ダイヤフロック社製「オーカイト9o」タチ水
溶液中で50℃で一分間、グに/ddの電流密度で電解
脱脂後(WD)、73%過硫酸アンモニウム水溶液に1
分間浸漬(WD)、さらd      IIC,10チ
希硫酸に4分間浸漬(WD〕・条件D:ジャパンメタル
フイニツシング社製「硫酸銅コンク」を/9%硫酸で3
.A倍に希釈したメッキ液中でQj A/d WI′の
電流密度で室温下30分メッキを行なう(WD )。
Condition C: After electrolytic degreasing (WD) at 50°C for 1 minute in a Tachi aqueous solution of "Oakite 9O" manufactured by Diafloc, at a current density of 1/dd, 1 min in a 73% ammonium persulfate aqueous solution.
Immersed for 4 minutes (WD) in IIC, 10% diluted sulfuric acid.Condition D: Copper sulfate conc. made by Japan Metal Finishing Co., Ltd. in 9% sulfuric acid.
.. Plating is carried out at room temperature for 30 minutes at a current density of Qj A/d WI' in a plating solution diluted by a factor of A (WD).

条件E;バーショー・行田社製「ピロトンコンク」のS
O係氷水溶液中!f6℃で30分間コkA/cllil
の電流密度でメッキを行なう(WD)。
Condition E: S of “Piroton Conch” manufactured by Barshaw Gyoda
O in ice water solution! kA/cllil for 30 minutes at f6℃
Plating is performed at a current density of (WD).

条件F;マクダメツド社製のハンダメッキ液(錫/鉛=
グ/6)を用い1.2A/dl11’の電流密度で10
分間メッキを行なう(WD)。
Condition F: Solder plating liquid manufactured by Makdamatsud Co., Ltd. (tin/lead =
10 at a current density of 1.2 A/dl11' using
Plating is performed for a minute (WD).

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)、(a)少なくとも2個の炭素−炭素二重結合を
有し、光重合開始剤によって重合体を形成できる、非ガ
ス状不飽和化合物、 (b)活性光によって活性化し得る光重合開始剤、 (c)構造式( I )で示される化合物よりなる光重合
性組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (ここで、Xは炭素数5ないし20のアルキル基、シク
ロアルキル基、炭素数6ないし20のアリール基、アル
キルアリール基、アリールアルキル基、Yは無置換、又
は全炭素数が1ないし15のアルキル基、アリール基の
置換した、単結合又は二重結合で直鎖状に結合した2個
又は3個の炭素又は窒素、又は炭素数6ないし14のオ
ルト又はペリ位に2価のアリール基)
(1) (a) a non-gaseous unsaturated compound having at least two carbon-carbon double bonds and capable of forming a polymer with a photoinitiator; (b) a photopolymerizable compound that can be activated by actinic light; A photopolymerizable composition comprising: an initiator; (c) a compound represented by structural formula (I); ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (I) (where, X is an alkyl group having 5 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkylaryl group, an arylalkyl group, Y is unsubstituted, or substituted with an alkyl group or aryl group having a total of 1 to 15 carbon atoms, 2 or 3 carbons or nitrogen connected in a straight chain with a single or double bond, or 6 to 15 carbon atoms (Divalent aryl group at ortho or peri position of 14)
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