JPS6139700B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はカラー陰極線管の螢光膜面に蒸着に
よつて金属薄膜を形成する方法に関するものであ
る。

カラー陰極線管の螢光面は、一般に管体のガラ
スフエースプレート内面に被着される螢光膜上
に、この螢光膜からの光を管体前面へ取り出する
ための光反射性の金属薄膜を形成した構造、すな
わちいわゆるメタルバツク構造を採用しており、
この構造によつて輝度を増加させると共に、併せ
て螢光面のイオンを焼けを減少させるようにして
いる。

この種の螢光膜上への金属薄膜形成手段の従来
例を第１図ないし第５図について説明する。

第１図はガラスフエースプレート部の断面を示
し、この第１図において、１はガラスフエースプ
レート、２はその内面に被着された螢光膜、３は
同膜面を平滑にするための有機物物質を主成分と
するフイルミング用ラツカー材料から形成された
中間膜、４はこの中間膜上に蒸着された金属薄
膜、通常はアルミニウム薄膜である。こゝでこの
アルミニウム薄膜４は中間膜３上に、アルミニウ
ムを真空蒸着することにより形成され、かつその
後、中間膜３はベーキング処理によつて除去する
ようにしている。

しかして前記アルミニウム薄膜４を形成するの
には、前工程において螢光膜２および中間膜３を
各々に形成させたガラスフエースプレート１を、
第２図に示されているように、一般的にタングス
テン線の３本あるいは４本撚り線にしてバスケツ
ト状とした１個ないし複数個の蒸発源５を配設し
た真空容器６上の所定位置に支持させ、10^-4torr
の真空中でアルミニウムを蒸着させる手段が採用
されている。

しかし乍らこのような方法では、蒸着物質であ
るアルミニウムを一面毎に補給しなけれはならな
いために手数がかゝるほか、蒸発源としてタング
ステン線のコイルを使用するために、耐用寿命が
短かいという欠点があつた。

そこでこのような間題点を解決するために、前
記タングステン線コイルの蒸発源５に代えて、ボ
ート状抵抗加熱体を使用する手段が提案され実用
に供されている。すなわち、第３図に示されてい
るように、このボート状抵抗加熱体７は、窒化硼
素を主成分として上面に凹部７ａを形成した直方
体、いわゆるボート状に構成したものであり、こ
の抵抗加熱体７を蒸発源に使用した場合の金属薄
膜形成方法を第４図に示してある。

この第４図において、前記第１図と同一符号は
同一または相当部分を示しており、６ａは真空容
器の入口室、６ｂは同アルミニウム蒸着室、６ｃ
は同出口室、７は蒸着室６ｂに配された抵抗加熱
体、８はこの抵抗加熱体７にアルミニウム線９を
供給するアルミニウム線自動挿入器、 １０，１１は前記各室６ａ〜６ｃの仕切弁であ
る。

この構成で、螢光膜２およ中間膜３を形成させ
たガラスフエースプレート１を仕切弁１０から入
口室６ａ内に搬入させ、図示省略した真空ポンプ
などによつて、入口室６ａおよび出口室６ｃを
0.05〜0.01torr程度の真空に、またアルミニウム
蒸着室６ｂを１〜２×10^-4torr程度の真空にす
る。そしてガラスフエースプレート１を仕切弁１
１の開閉により蒸着室6b内に移動させ、仕切弁
１１を閉じた後、次のガラスフエースプレート１
を入口室６ａに導入させ、前記真空度を保持させ
る。

ついで前記抵抗加熱体７に通電して、これを約
1350〜1500℃程度に加熱しておき、蒸着物質載置
部である凹部７ａに、自動挿入器８から蒸着物質
であるアルミニウム線９を挿入供給することによ
り、このアルミニウム線９を熔融して上方に蒸発
飛散させ、フエースプレート１の中間膜３上にア
ルミニウム薄膜４を形成させる。こゝでこのアル
ミニウム薄膜４の膜厚制御は、アルミニウム線９
の自動挿入速さおよび時間と、抵抗加熱体７の温
度を調整して行なう。

続いてこのように中間膜３上にアルミニウム薄
膜４を形成したのちは、仕切弁１０，１１の操作
および真空度調節を行なつて、処理済のガラスフ
エースプレート１を出口室６ｃを経て外部に取出
し、かつ次のガラスフエースプレート１を入口室
６ａから蒸着室６ｂに移動すると共に、さらに次
のガラスフエースプレート１を新たに入口室６ａ
に装入させ、以下この操作を繰り返すことによ
り、蒸着工程を実施するのである。

こゝで前記アルミニウム薄膜４の膜厚制御に際
して、蒸着操作時間以外はアルミニウム線９の供
給挿入が停止されているために、その先端は第５
図にみられるように溶融して玉状となつており、
かつ抵抗加熱体７の凹部７ａにアルミニウムが全
く残されておらず、この状態で次のガラスフエー
スプレート１が搬入されて、同アルミニウム線９
が再度凹部７ａに挿入供給されても、このアルミ
ニウム線９は玉状となつた先端が凹部７ａ内を滑
つて、溶融されないまゝに低抗加熱体７から外れ
てしまうか、あるいは溶融してもその表面張力の
ために凹部７ａ内に玉状となつて融け込み、熱を
有効に利用できず、蒸発までの多くの時間を必要
とし、好ましくない結果を生ずるものであつた。

この発明は前述した従来方法の欠点を改善する
ため、蒸着開始後、一時的に線状蒸着金属材料の
蒸発源抵抗加熱体への供給を停止させるようにし
たものである。

以下この発明方法の実施例を説明する。

前記したようにアルミニウム線自動挿入器８
は、蒸着時にのみ抵抗加熱体７に対してアルミニ
ウム線９を自動挿入し、蒸着時以外は停止してい
て、この操作を繰り返すようになつている。この
発明はこのようなアルミニウム線自動挿入器８の
作動において、蒸着開始に伴うアルミニウム線９
の自動挿入動作を、同アルミニウム線９が抵抗加
熱体７上に供給されたのちに一旦停止させ、その
後再度挿入供給させるようにしたものであつて、
第６図にこのアルミニウム線自動挿入器８の動作
のタイムチヤートを示してある。

すなわちこの発明では、アルミニウム蒸着室６
ｂへのガラスフエースプレート１の搬出入時には
自動挿入器８の作動がなされておらず、同蒸着室
６ａが蒸着の条件をとゝのえた時点T₁で蒸着が
開始され、自動挿入器８が作動して、前記第５図
にみられるように先端が玉状となつたアルミニウ
ム線９の挿入供給が始まる。ついでこのアルミニ
ウム線９の玉状先端が低抗加熱体７の蒸着物質載
置部であるところの凹部７ａに近付きもしくは達
した時点T₂で同自動挿入器８の挿入供給動作が
一旦停止される。

この一旦停止によりアルミニウム線９の玉状先
端部は、抵抗加熱体７の凹部７ａで表面張力のた
めに玉状を呈して溶融されるが、このときそれ以
上のアルミニウム線９の供給が停止されているた
めに、この溶融されているアルミニウムの温度が
次第に上昇して、その表面張力が小さくなり、こ
れによつて凹部７ａの全面に拡がり蒸着飛散が始
まる。

よつてこの時点T₃で再度アルミニウム線９の
挿入供給を始めると、今度はさきの溶融されたア
ルミニウムが凹部全面に拡がつた直後であるため
に、新たに供給されるアルミニウム線９は、同凹
部７ａに達すると瞬時に溶融されて蒸発飛散し、
これを蒸着終了時点T₄まで継続させることによ
り、所定のアルミニウム蒸発量を得られるもの
で、この時点T₄で蒸着を停止させることで１つ
の蒸着工程を終了し、以後これを繰り返すことに
より所期の蒸着作業を実施し得るものである。

なお、以上実施例は真空中でのアルミニウム薄
膜形成の場合について述べたが、ガス雰囲気中あ
るいは低真空中でのアルミニウム蒸着により黒化
アルミニウム薄膜を形成する場合にも、あるいは
またこれら光反射性金属薄膜および黒化薄膜の蒸
着金属としてアルミニウム以外の線状蒸着金属材
料を用いる場合にも各々適用できることは勿論で
ある。

以上詳述したようにこの発明によるときは、蒸
着開始後に一時的に線状蒸着金属材料の蒸発源へ
の挿入供給を停止するだけの極めて簡単な手段に
より、同材料の蒸発飛散を効果的に行なうことが
できるもので、蒸発源の発生熱を有効に活用し、
かつ蒸着時間を短縮できて、しかも膜厚などの均
一性を保持した安定な金属薄膜を形成し得る特長
を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は従来の金属薄膜形成方法
を説明するための図、第６図はこの発明に係る金
属薄膜形成方法の一実施例によるアルミニウム線
自動挿入器の動作タイムチヤートを示す図であ
る。 １……ガラスフエースプレート、２……螢光
膜、３……中間膜、４……アルミニウム薄膜（金
属薄膜）、６ａ〜６ｂ……真空容器の入口室，蒸
着室，出口室、７……抵抗加熱体、８……アルミ
ニウム線自動挿入器、９……アルミニウム線（線
状蒸着金属材料）、１０，１１……仕切弁。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 蒸着物質載置部をもつ抵抗加熱体を蒸発源と
   し、蒸着時にこの蒸発源に対して、線状蒸着金属
   材料を供給することにより、この材料を溶融して
   蒸発飛散させ、カラー陰極線管の螢光面部に金属
   薄膜を蒸着形成させる方法において、蒸着開始後
   に前記蒸発源への線状蒸着金属材料の供給を、一
   時的に停止させることを特徴とするカラー陰極線
   管の金属薄膜形成方法。