JPS6138574U - Ｉｃ検査装置 - Google Patents
Ｉｃ検査装置Info
- Publication number
- JPS6138574U JPS6138574U JP12323384U JP12323384U JPS6138574U JP S6138574 U JPS6138574 U JP S6138574U JP 12323384 U JP12323384 U JP 12323384U JP 12323384 U JP12323384 U JP 12323384U JP S6138574 U JPS6138574 U JP S6138574U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- shaft
- insulating member
- inspection equipment
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は本考
案の一実施例に係る触針部分の詳細区、第３図は従来例
を示す図である。 ４・・・・・・触針、５・・・・・・絶縁部材、６・・
・・・・軸、７・・・・・・ホルダー、８・・・・・・
スプリング。
案の一実施例に係る触針部分の詳細区、第３図は従来例
を示す図である。 ４・・・・・・触針、５・・・・・・絶縁部材、６・・
・・・・軸、７・・・・・・ホルダー、８・・・・・・
スプリング。
Claims (1)
- 複数の板状の触針と、前記触針間に介装された絶縁部材
と、前記複数の触針と絶縁部材とを貫通し、前記触針を
回動中在にする軸と、前記触針と絶縁部材を収納し、前
記軸を固定するホルダーと、前記ホルダーの壁部と触針
に夫々端部が固定されたスプリングとからなることを特
徴とするＩＣ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12323384U JPS6138574U (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | Ｉｃ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12323384U JPS6138574U (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | Ｉｃ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138574U true JPS6138574U (ja) | 1986-03-11 |
Family
ID=30681984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12323384U Pending JPS6138574U (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | Ｉｃ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138574U (ja) |
-
1984
- 1984-08-11 JP JP12323384U patent/JPS6138574U/ja active Pending
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