JPS6135202U - パルス駆動単動アクチユエ−タ - Google Patents

パルス駆動単動アクチユエ−タ

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Publication number
JPS6135202U
JPS6135202U JP11835984U JP11835984U JPS6135202U JP S6135202 U JPS6135202 U JP S6135202U JP 11835984 U JP11835984 U JP 11835984U JP 11835984 U JP11835984 U JP 11835984U JP S6135202 U JPS6135202 U JP S6135202U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure oil
cylinder chamber
intake port
oil intake
nozzle body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11835984U
Other languages
English (en)
Inventor
秀三 黒木
Original Assignee
工装サ−ビス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 工装サ−ビス株式会社 filed Critical 工装サ−ビス株式会社
Priority to JP11835984U priority Critical patent/JPS6135202U/ja
Publication of JPS6135202U publication Critical patent/JPS6135202U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係るパルス駆動複動アクチュエータの
1実施例の縦断面図、第2図は第1図における可変絞り
弁の1実施例の縦断面図、第3図A, B, Cはそれ
ぞれ本考案に係るパルス駆動複動アクチュエータの作動
説明図である。 1・・・・・・パルスモータ、2・・・・・・モータ軸
、3・・・・・・ハウジング、3a・・・・・・ガイド
溝、4・・・・・・スプリング、5・・・・・・プレー
ト、6・・・・・・油圧シリンダ、6a・・・・・・圧
力油取入口、6b・・・・・・凹部、7・・・・・・モ
ータフレーム、7a・・・・・・圧力油還流口、訃・・
・・・大面積シリンダ室、8a・・・・・・圧力油取入
口、9・・・・・・小面積シリンダ室、9a・・・・・
・圧力油取入口、10・・・・・・ピストンロツド、1
0a・・・・・・中空部、11・・・・・・ボールナッ
ト、12・・・・・・ポールスクリュ、13・・・・・
・軸受、14・・・・・・回転ノズル体、14a・・・
・・・ノズル噴出口、15・・・・・・可変較り弁、1
5a・・・・・・一次側入口、15b・・・・・・二次
即出口、16・・・・・・スロットプランジャ、16a
・・・・・・大径部、16b・・・・・・小径部、17
・・・・・・スロットスプリング、18・・・・・・調
節ねじ、19・・・・・・スプリング座。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 上端が開口している中空部10aの開口端にポール
    ナット11を固着されているピストンロッド10がその
    大面積シリンダ室8に圧力油取入口8aをまた小面積シ
    リンダ室9に圧力油取入口9aをそれぞれ連通せしめら
    れている油圧シリンダ6内に設けられており、該油圧シ
    リンダ6の上面に設けられている凹部6bに回転自在に
    支持されており該凹部6bに圧力油取入口6aから導入
    された圧力油を上方に向けて噴出させるノズル噴出口1
    4aを有している回転ノズル体14の下部に、該油圧シ
    リンダ6の上部に設けられている軸受13により回転自
    在に支持されているポールスクリュ12が固着して連結
    されており、該ポールスクリュ12は前記ポールナット
    11に螺合されており、該油圧シリンタ6の上部に取り
    付けられておりノズル噴出口14aから噴出される圧力
    油を還流させる圧力油還流口7aを有するモータフレー
    ム7に固定されているパルスモータ1により回転せしめ
    られるハウジング3の下面に穿設されているガイドR3
    a内に装着されているスプリング4によりガイドR3a
    内に自由に出入りできるプレート5が回転ノズル体14
    のノズル噴出口14aに密着摺動し得る状態に押圧され
    ており、可変較り弁15の一次側圧力油が前記小面積シ
    リンダ室9の圧力油取入口9aにまた二次側圧力油が前
    記大面積シリンダ室8の圧力油取入口8aにそれぞれ連
    通せしめられていることを特徴とするパルス駆動複動ア
    クチュエータ。 2 プレート5と回転ノズル体14のノズル噴出口14
    aとの組を複数組備えている実用新案登録請求の範囲第
    1項に記載のパルス駆動複動アクチュエータ。
JP11835984U 1984-08-02 1984-08-02 パルス駆動単動アクチユエ−タ Pending JPS6135202U (ja)

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JP11835984U JPS6135202U (ja) 1984-08-02 1984-08-02 パルス駆動単動アクチユエ−タ

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JP11835984U JPS6135202U (ja) 1984-08-02 1984-08-02 パルス駆動単動アクチユエ−タ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6135202U true JPS6135202U (ja) 1986-03-04

Family

ID=30677248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11835984U Pending JPS6135202U (ja) 1984-08-02 1984-08-02 パルス駆動単動アクチユエ−タ

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JP (1) JPS6135202U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0271602U (ja) * 1988-11-17 1990-05-31
KR20230141768A (ko) 2022-03-30 2023-10-10 가부시끼가이샤 레조낙 반도체용 접착 필름, 다이싱 다이본딩 필름, 및 반도체장치를 제조하는 방법

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