JPS6134471U - 真空残留ガス分析計 - Google Patents

真空残留ガス分析計

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Publication number
JPS6134471U
JPS6134471U JP11713484U JP11713484U JPS6134471U JP S6134471 U JPS6134471 U JP S6134471U JP 11713484 U JP11713484 U JP 11713484U JP 11713484 U JP11713484 U JP 11713484U JP S6134471 U JPS6134471 U JP S6134471U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
residual gas
mass
vacuum residual
gas analyzer
ions
Prior art date
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Pending
Application number
JP11713484U
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English (en)
Inventor
秀雄 高城
勉 国井
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空残留ガス分析計の構成図、第２図は
本考案の原理の説明図、・第３図は本考案の一実施例の
構成図である。 ′１・・・フィラメント、２・・・熱電子、３・・・残
留ガス分子、４・・・収束電極、５・・・マスライルタ
ー、６・・・二次電子増倍管、７・・・電流計、８・・
・スイープジエネレーター、９・・・基準信号発信器、
１０・・・移相器、１１・・・ロツクインアンプ、１２
・・・アンプ、１３・・・オシロスコープ、１４・・・
高周波発振器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空中においてイオンソースによって、真空残留ガスを
    イオン化して、そのイオンの任意の質量数のイオンを通
    過させるマスフィルターと、マスフィルターを通過した
    イオンの衝突によって発生する二次電子を増幅するアン
    プと、この出力を表示する電流計と、マスフィルターを
    通過するイオンの質量数を決定する高周波発振器からな
    る真空残留ガス分析計において、マスフィルターを通過
    するイオンの質量数の増加率を二定にすることによって
    得られる質量スペクトルの信号を測定信号として、これ
    と同じ位相、周波数の信号を基準信号とするロツクイン
    アンプを設け、微少なイオン電流に対しても、二次電子
    増倍管のダーク電流や、較Ｘ線によるバックグランドノ
    イズや外来ノイズの影響を排除し、高Ｓ／Ｎ比、高感度
    なガス分析を可能にすることを特徴とする真空残留ガス
    分析計。
JP11713484U 1984-08-01 1984-08-01 真空残留ガス分析計 Pending JPS6134471U (ja)

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JP11713484U JPS6134471U (ja) 1984-08-01 1984-08-01 真空残留ガス分析計

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JPS6134471U true JPS6134471U (ja) 1986-03-03

Family

ID=30676044

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63129068U (ja) * 1987-02-16 1988-08-24

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS63129068U (ja) * 1987-02-16 1988-08-24

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