JPS613332A - スポツト位置決め方式 - Google Patents

スポツト位置決め方式

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JPS613332A
JPS613332A JP12171484A JP12171484A JPS613332A JP S613332 A JPS613332 A JP S613332A JP 12171484 A JP12171484 A JP 12171484A JP 12171484 A JP12171484 A JP 12171484A JP S613332 A JPS613332 A JP S613332A
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JP
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voice coil
coil motor
mirror
galvano mirror
spot
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JP12171484A
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Masuo Kasai
笠井 増雄
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0901Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following only

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、光デイスクファイル装置の記録再生ヘッド位
置決め方式に関するものである。
〔発明の背景〕
光デイスクファイル装置では、1ビツトのメモリが空間
に占める面積がわずかに径1〜2μm程度と非常に小さ
いため、高密度であるが、記録トラック間隔が1.6μ
m程度と非常に狭くなるため、記録再生ヘッドの位置決
めには、特願昭56−187869 に示されるように
、ボイスコイルモータなどを用いた粗位置決めのコース
サーボ系と、ガルバノミラ−などを用いた精密位置決め
のファインサーボ系を組合せた二段サーボ系が用いられ
ている。
従来の二段サーボ系で光ディスクのトラックを追従して
いる場合、コースサーボ系の入力は、ファインサーボ系
の振れ角のみであるた税、二段サーボ系の協調的な動作
を行なうには多少問題カニあり追従精度を高めるために
サーボ系の利得を上げると安定度が悪くなシ、過渡特性
もよくなかった。
〔発明の目的〕
本発明は、以上のような問題点をなくシ、安定度の高い
、過渡特性のよい、追従精度の高い光デイスクヘッド位
置決め方式を提供することである。
〔発明の概要〕
本発明は、ヘッド位置決め機構部の、位置、速度、加速
度などの状態を、ファインサーボ系のコースサーボ系の
相互にフィードバックし、最適レギュレータとして構成
することにより問題を解決したものである。
〔発明の実施例〕
第1図は本発明の実施例1,2を総括的に説明するだめ
の図である。ディスク1は、回転軸2を中心として一定
の方向に回転しておシ、光ヘッド3は移動台4の上に搭
載され、この移動台4はベース5の上を、コロ6の回転
に従って移動する。
また移動台4は支持機構7を介して、ボイスコイル8と
磁石9からなるボイスコイルモータに連結され、磁石9
とボイスコイル8に流れる電流16(4)との電磁力に
よって駆動される。この駆動力f、(Nlは、ボイスコ
イルモータの推力定数をKt−(N/A)とすれば、 f@ ””Kte ” 1 a          ”
’(1)で表わされる。また移動台4の現在位置X!(
ホ)は光学式のリニアエンコーダ10とアップダウンカ
ウンタ11によって検出され、移動台4の速度x*  
(m/5ec)は夕=+oツド12の信号をA/D変換
器13によってデジタル信号に変換して検出される。そ
して移動台4の加速度xs(m/5ec2)は、移動台
4の質量をM(Kg)とすれば、となり、ボイスコイル
8の電流i、に比例するので、この電流検出用の抵抗1
4とA/D変換器15によってデジタル信号として検出
する。
光ヘッド3の中には、ディスク上に光スポットを形成す
るための対物レンズ16と、光スポットをディスク面上
で移動するための偏向手段としてのガルバノミラ−17
と、ガルバノミラ−17に組込まれた反射形のガルバノ
ミラ−変位検出器18(これについては、特願昭58−
30273の、電磁式ビーム偏向装置に詳述されている
。)と、ディスク面からの反射光を受光する光検出器1
9と、図示されていないが、光源及び、光源からの光束
を対物レンズに導く光学系、及び反射光を光検出器に導
く光学系があるが、これらは本発明の説明には不用であ
るので省略してちる。
また、ガルバノミラ−17の角速度θ2(rad/囲)
は、ガルバノミラ−変位検出器18の信号を微分器20
で微分したあと、A/D変換器21によシデジタル信号
として検出する。ガルバノミラ−17の角度θ1(ra
d)は、微分器20の出力を積分器22で積分し、A/
D変換器23によシデジタル信号として検出する。
光スポットが光デイスク面上のトラックを追従している
ときのサーボ系の追従誤差e(ハ)は、光検出器19の
信号をA/D変換器24によシデジタル化し検出する。
演算装置25では、 移動台4の現在位置:xl(ホ) 移動台4の速度: X 2  (m/9e” )移動台
4の加速度: xs  (m/9eC”  )サーボ系
の追従誤差:e(ハ) カルバノミラーの角度:θs  (rad)カルバノミ
ラーの角速度:θ、  (rad/5ec)とを用いた
演算が行なわれ、D/Aコンバータ28と増幅器29を
介して、ボイスコイルモータの駆動電圧ee(v)が出
力され、D/Aコンバータ26と増幅器27とを介して
、ガルバノミラ−17の駆動電圧efV)が出力される
この演算装置25での演算は、機構部の力学的な特性や
、サーボ系の満たすべき設計仕様と密接な関係があるた
め、以下の順序で説明する。
(A3機構部の運動方程式 CB)状態方程式の構成 〔C〕演算方式の内容 (A)機構部の運動方程式 ガルバノミラ−が角度θ1(rad)だけ振れて、角速
度θ2  (rad/(8))で動いているとき、ガル
バノミラ−に駆動電圧ef(V)をかけると、ガルバノ
ミラ−コイルに流れる電流1t(A)は、ガルバノミラ
−コイル抵抗をRt(2)、ガルバノミラ−の逆起電圧
定数をK 、t (V −sec/ rad)とすれば
、と表わされる。この電流1gによって発生するトルク
τfぺけ、ガルバノミラ−のトルク定数をKtt(N・
m/A)とすれば、 τt =Ktt @i t             
・・・(4)となる。ガルバノミラ−の動きには、粘性
抵抗とバネ反力が働くので、ガルバノミラ−を実際に動
かすトルクτ(へ)は、粘性抵抗係数をB(N−m・z
/rad)とし、バネ定数’IKg  (N−m/ r
ad)とすれば、 τ=τtB・02  KII・θ1       ・・
・(5)となる。このトルクτによるガルバノミラ−の
角加速度θ3(rad/1lec”)は、ガルバノミラ
−可動部のイナーシャをJ(K9・m”)とすれば、θ
3=−・・・(6) となる。ガルバノミラ−の角速度θ2  (rad/(
8))は、 θ、=/θ3dt         ・・・(7′)と
カシ、ガルバノミラ−の振れ角θl (rad)は、θ
+=fθ、 dt        ・・・(8)となる
一方、移動台については、移動台が位置x1(ホ)にお
って、速度x t  (m / 5ec)で動いている
とき、移動台のボイスコイルに駆動電圧ee(v)をか
けると、ボイスコイルに流れる′電流t、(A)は、ボ
イスコイルと電流検出用抵抗の和をR6(財)、ボイス
コイルモータの逆起電圧定数をに、。(v−sec/ 
m )とすれば、 となる。この電流i、によって発生するボイスコイルモ
ータの駆動力f、ぺけ、ボイスコイルモータの推力定数
をxt、(N/4)とすれば、fa ”Kt @ ” 
j #        ・・・(10)となる。この駆
“動力f、による移動台の加速度xs  (m/z” 
 )は、移動台の質量をM(Kq)とすれば、 となる。移動台の速度)l  (m/5ec)は、xz
 =/ xs d t      −(12)となシ、
移動台の位置X!(ホ)は、 xl:/ x2dt       ・・・(13)とな
る。
以上のガルバノミラ−と移動台の動きによって光デイス
ク上の光スポツト位置y(ホ)が決まる。ガルバノミラ
−が単位角ふれたときの光デイスク上の光スポツト変位
をK(m/rad)とすれば、光スポツト位置y(ハ)
は、 )’ = x t +にθ1      ・・・(14
)となる。光スポットの目標位置をy、(ホ)とすれば
、光スポットと光デイスク面上のトラックとの追従誤差
e(ハ)は、 e = y−蚕、   ′ ・・・(15)となる。
以上の式を整理すると、(8)式よシ θ1−02         ・・・(16)ただし、
(16)式以降において、記号上の・は時間微分を表わ
す。(3)、 (4)、 (5)、 (6)、(7)式
よシ、(13武よシ XI ””XI          ・(18)(9)
、  (10) 、 (11) 、 (12)式より、
となる。
まとめると、機構部と光スポットの運動は、(14)、
 (15)、 (16)、 (17)、 (18)、 
(19)の6つの式で完全に表わされる。
CB)状態方程式の構成 一般に、機構部の運動方程式とサーボ系に必要とされる
仕様から、状態方程式を構成し、状態変数から機構部の
駆動情報を求められる。一般に、速度、加速度などの状
態変数からなる状態変数ベクトルを×1機構部の駆動情
報ベクトルをu1定数マトリックスをA、Bとすれば状
態方程式は、x=Ax+Bu       −(20)
゛の形で表わされる。このシステムを安定に動作させる
駆動情報ベクトルUは、 u=−Fx         ・・・(21)として求
められることがわかっている。ここそ、Fは、A、8と
サーボ系の仕様から決まる利得マトリックスである。
また、(20)、 (21)からなるサーボ系は、時刻
t→■において、X→0となることが知られている。
このように、状態方程式を構成すれば、制御方式が決ま
るが、何を状態変数に選び、どのような状態方程式(2
0)を立てるかは、制御対象ごとに異なるだけでなく、
サーボ系の必要条件によっても異なるため、状態方程式
(20)は一意的には決まらない。その結果として、機
構部の駆動情報の求め方である(21)も状態方程式ご
とに変わってくる。
本実施例では、二段サーボに必要な条件よシ状態変数ベ
クトルを決め、それから状態方程式を構成した。
二段サーボ系に必要な条件として、初期状態×(0)に
対して、時刻i−+ooにおいて以下の条件を満たす必
要がある。
i)光スポツト位置yが目標位置y、に近づくこと。す
なわち、追従誤差eが零に近づくこと。
ii ) (14)式よシ(移動台の位置Xl とに倍
のガルバノミラ−振れ角θlの和)、が目標位置Yrに
近づくだけでなく、ステップ状目標値変位に対してはガ
ルバノミラ−振れ角θlは最終的に零に戻シ、移動台の
位置x1が最終的にy、とならなければならない。和が
y、に近づくだけでは、ガルバノミラ−が振シきれてし
゛まう恐れがある。また、このとき、ガルバノミラ−角
速度θ2と移動台速度xz4当然、零に近づかなければ
ならない。
111)サーボ系の低周波利得”が高いこと。これはス
テップ状だけでなくディスク偏心のような正弦波状の目
標位置変化に対しても追従誤差eを小さくする効果があ
る。
以上をまとめると、必要な条件は条件11iを除いて、
時刻t+■において、 e→0 θ1→0 θ2→O xt→y、   (a) X2→O(b) となる。(a)、 (b)の条件は、 X1→O X2→O と等価である。なぜなら (xt→O)”’ (xt −+const=y、 °
、°θt →0. e−+Q )(X2→0)−(X2
→Con5t=O°、°X1→Con s t )これ
′らの条件より、実施例1では状態変数ペクトただし、
”Zs = f e dt          −(2
3)に選び、実施例2では、状態変数ベクトルを、ただ
し、 Zz =f Zs dt        ・・・(25
)に選んである。
(22)、 (23)において、Zl + ’ZJ*を
状態変数ベクトルに入れたのは、条件111を満足する
ように、誤差eの積分制御を行ない、低周波利得を高め
るだめである。このように状態変数を選ぶと、時間t→
■でX −4p Qとなるように状態方程式をたてるこ
とができる。
以下に、まず実施例1の場合について説明し、次に実施
例2の場合について説明する。
実施例1では、 (18)式より、 x 1 == x 2          − (26
)ただしく26)式以降において、記号上の・・は時間
による2同機分を表わす。
(19)式より、 (23)式よシ、 Z s  = e             11.(
28)(14)、 (15)、 (16)式より、e=
y−yr =xl +にθ1−y7 =x1−にθ2  y−−(29) 光スポットの目標位置y1”がステップ変化の場合、y
、=o             ・・・(30)(2
9)、 (30)式よ゛す、 e=xl十にθ2        ・(31)本実施例
1の状態方程式は、 (16)、(17)、(26)、 (27)、 (28
)、 (31)よシ、駆動情報ベクトルUを、 とすれば、状態方程式は、 ロ   0   ロ   0   ロ   ロ0   
 0     ロ    ロ    ロ    −+ a:11)−3 となる。
実施例2では、 (25)式よシ、 Z z = Z I”・(34) の式を加えて、(16)、 (17)、 (26)、 
(27)、 (28)、 (31)よシ、状態方程式は
、 帛 τ フ ロ    ロ    ロ   Ows    Oロロ 
   ロ    ロ    ロ   ロ   ロ   
ロ0   ロ   ロ   ロ   ロ   〇   
−となる。
(C)演算方式の内容 実施例1について、 状態方程式が(33)式のように決まれば、駆動情報ベ
クトルUは、 u=−Fx          ・・・(36)ただし
、 で計算できる。この(36)式における利得マ) IJ
ツクスFの求め方は、現代制御理論に示されているよう
に各種の方法がある。
本実施例1では、 a=f (x”Qx+u” Ru ) d t    
   −” (38)々る評価関数αを最小にする最適
レギュレータの手法を用いた。ここで、Q、Rは、サー
ボ仕様によって決める重み行列でアシ、 の形をしたマトリックスである。
(38)、 (39)式かられかるように、Q、Rの要
素を大きく決めると、その要素に対応するX、Uの要素
がすみやかに零となる。たとえば、q2を大きく決める
とXの成分のうち、θ2がすみやかに零となるように制
御される。このQ、Rの値は、サーボ系の仕様に応じて
、実験的に決めるものである。
利得マトリックスFが求まると、(32)、 (36)
、(37)式よシ e(===−f;1θ1f12θ2 f12θ2−f1
3x2−f14x3−f15xt fs<xt fss
Zs ’1llle”’fllθIf12θ2 f12
θ2−f13x2−f14x3−f15x2ft4x3
ftiZ+  f、se ・”(40))ea=f2I
θ1f2jlθ2 fzs XI−f2<;ct−f2
11Zl f26′eより、ea=  fzJθIdt
  ’22θt  fts xt  fz4X2  f
zsfZ+ dt−126”lI・・・(41) となる。
(40)、 (41)式が本実施例1の演算装置25で
実行される演算であり、積分を1/8で表わすと、第2
図のようになる。
実施例2についても、状態方程式が(35)のように決
まれば、駆動情報ベクトルUは、 u=−Fx          ・・・(42)Fの求
め方には、 11=/ (x”Qx+u”Ru)dt       
−(44)なる評価関数αを最小にする最適レギュレー
タの手法を用いた。ここで重み行列Q、Rは、利得マト
リックスFが求まると、(32)、 (36)、 (3
7)式よシ、 ee=−f、、θ!−42θ2 fx3xt ’14X
2−f15Zt−f16Z2 ftye= fllθI
’+2θ2−f13x2−f14Xa  r15zl−
f1622  ’+76;、 =−f21θl f22
θ2  fux1’24X2−f25ZI  ’26Z
2−f27eより、                
           °<46)e e = fzt
 fθ1dtf22θt  f23xt  fx<xx
 fzsZa−f2JZ+dt f2?Zq・・・(4
7) となる。この(46)、 (47)式が、本実施例2の
演算装置25で実行される演算であシ、積分を1/Sで
表わすと、第3図のようになる。
以下に、実施例1,2について具体的な数値を示す。
実施例1,2の機構部は共通であり、 Rt =14.1 (Ω) Kt*=Z54X10−” (N”/A)K、t =2
.54X10−” (Vsec/ rad )J=4.
95X10” (K9m” )B=4.7X10−’ 
(NmSeC/rad)Ks=2.87X10−” (
Nm/rad)K=9X10−” (m/rad) R,=0.685 (Ω) Kt*=1.152 (N/A) K、、=1.152 (N/A) M=0.3 (V4) である。
実施例1について、最適レギュレータの重み行に選べば
、フィードバック行列Fは、 となる。
本実施例1による二段サーボ系の開ループ周波数特性を
第4図に示す。この図にサーボ系の安定性を示す指標で
ある位相余有は、従来の二段サーボ系が約40度であっ
たのに対して、本実施例では49度と大きくなっておシ
、よ多安定になっていることがわかる。また、過渡応答
特性を調べるために、光ディスクのトラック偏心に追従
したときの時間応答を、第5図、第6図に示す。この図
は、時間1=0から、回転数20 Hz %振幅50μ
mの光デイスク偏心に追従を開始したときの応答で、1
ms以内に定常的な追従制御がかかつており、過渡特性
のよいことが示されている。また追従誤差の最大値も±
0.014μmで、従来の二段サーボ系の追従誤差±0
.02μmよシも高精度な追従がなされていることがわ
かる。
次に、実施例2について、実際の数値を示す。
実施例2について、最適レギュレータの重み行列Q、R
を、 が得られる。
本実施例2によ′る二段サーボ系の開ループ周波数特性
を第7図に示す。この図よシ、本実施例2の二段サーボ
系の位相余有は85度ときわめて大きく、十分安定であ
ることがわかる。過渡応答特性を調べるために、時間1
=0から、回転数20Hz振幅50μmの光デイスク偏
心に追従開始したときの時間応答を、第8図、第9図に
示す。この図より、1ms以内に定常的な追従制御がか
かつており、過渡特性のよいことがわかる。また、追従
誤差の最大値も±0.01μmときわめて小さく追従精
度が非常によいことがわかる。この追従精度は、本発明
の実施例1よシさらによいが、この理由は、状態変数Z
2をいれたことによシ、誤差の積分制御の個数が実施例
1よりも1つ多く、結果的に低周波利得が高くなるため
である。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明では、従来の二段すτボ系よ
シ安定性が高く、過渡特性がよく、追従精度の高い光デ
イスクヘッド位置決めが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例を総括的に説明する図である
。第2図は、本発明の実施例1の演算装置で行なわれる
演算内容を示す図である。第3図は、本発明の実施例2
の演算装置で行なわれる演算内容を示す図である。第4
図は、本発明の実施例1による光デイスクヘッド位置決
め方式の開ループ周波数特性を示す図である。第5図、
第6図は、本発明の実施例1による光デイスクヘッド位
置決め方式の、光デイスク偏心追従特性を示す図である
。第7図は、本発明の実施例2による光デイスクヘッド
位置決め方式の開ループ周波数特性を示す図である。第
8図、第9図は、本発明の実施例2による光デイスクヘ
ッド位置決め方式の、光デイスク偏心追従特性を示す図
である。 1・・・ディスク、2・・・ディスク回転軸、3・・・
光ヘッド、4・・・移動台、5・・・ペース、6・・・
コ白、7・・・支持機構、8・・・ボイスコイル、9・
・・磁石、10・・・リニアエンコーダ、11・・・ア
ップダウンカウンタ、12・・・タコロッド、13,1
5,21,23゜24・・・A/D変換器、14・・・
ボイスコイル電流検出用抵抗、16・・・対物レンズ、
17・・・ガルバノミラ−118・・・ガルバノミラ−
変位検出器、19・・・光検出器、20・・・微分器、
22・・・積分器、25・・・演算装置、26.28・
・・D/Aコンバータ、27゜29・・・増幅器、Rf
・・・ガルバノミラ−コイル抵抗、K t t・・・ガ
ルバノミラ−トルク定数、K−s・・・カルバノミラー
逆起電圧定数、B・・・ガルバノミラ−粘性抵抗係数、
Ks・・・ガルバノミラ−バネ定数、J・・・ガルバノ
ミラ−可動部イナーシャ、’F%a・・・ボイスコイル
抵抗+電流検出用抵抗、Kta・・・ボイスコイルモー
タ推力定数、Ko、・・・ボイスコイルモ丁夕逆起電圧
定数、M・・・移動台の質量、K・・・ガルバノミラ−
の単位角の撮れによる光デイスク上のスポット変位、e
l・・・ガルバノミラ−の駆動電圧、if・・・ガルバ
ノミラ−コイル電流、τf・・・ガルバノミラ−発生ト
ルク、τ・・・ガルバノミラ−駆動トルク、θ1・・・
ガルバノミラ−の角度、θ2・・・ガルバノミラ−の角
速度、θ3・・・ガルバノミラ−の角加速度、el・・
・ボイスコイルモータ駆動電圧、i、・・・ボイスコイ
ル電流、f、・・・ボイスコイルモータの駆動力、Xl
・・・移動台の現在位置、X2・・・移動台の速度、x
3・・・移動台の加速度、y・・・光デイスク上の光ス
ポツト位置、yt・・・光デイスク上の光スポツト目標
位置、e・・・光スポットの追従誤差、Z・・・eの積
分値、×・・・状態変数ベクトル、U・・・駆動情報ベ
クトル、F・・・利得マトリックス、Q・・・状態変数
に対する重み行列、R・・・駆動情報に対する重み行他
相(DE(、) 第 5  図 冨 7  図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ガルバノミラーとボイスコイルモータを用いた光デ
    ィスクのスポット位置決め方式において、前記スポット
    のトラックに対するトラッキング誤差、前記ガルバノミ
    ラーの角度、及びボイスコイルモータの位置の検出に基
    づいて前記ガルバノミラー及びボイスコイルモータを駆
    動することにより前記スポットの位置を決定することを
    特徴とするスポット位置決め方式。 2、前記特許請求の範囲第1項記載のスポット位置決め
    方式において、トラッキング誤差e、このeの積分値を
    Z_1、このZ_1の積分値をZ_2、ガルバノミラー
    の角度をθ_1、ガルバノミラーの角速度をθ_2、ボ
    イスコイルモータの位置をx_1、ボイスコイルモータ
    の速度をx_2、ボイスコイルモータの加速度をx_3
    として、適当な利得f_1_1、f_1_2、f_1_
    3、f_1_4、f_1_5、f_1_6、f_2_1
    、f_2_2、f_2_3、f_2_4、f_2_5、
    f_2_6とすれば、ガルバノミラーの駆動電圧e_f
    を、 e_f=−f_1_1θ_1−f_1_2θ_2−f_
    1_3x_2−f_1_4x_3−f_1_5Z_1−
    f_1_6eで与え、ボイスコイルモータの駆動電圧e
    _eを、e_e=−f_2_1∫θ_1d_t−f_2
    _2θ_1−f_2_3x_1−f_2_4x_2−f
    _2_5Z_2−f_2_6Z_3で与えるスポット位
    置決め方式。 3、前記特許請求の範囲第1項記載の位置決め方式にお
    いて、トラッキング誤差e、このeの積分値をZ_1、
    このZ_1の積分値をZ_2、このZ_2の積分値をZ
    _3、ガルバノミラーの角度をθ_1、ガルバノミラー
    の角速度をθ_2、ボイスコイルモータの位置をx_1
    、ボイスコイルモータの速度をx_2、ボイスコイルモ
    ータの加速度をx_3として、適当な利得f_1_1、
    f_1_2、f_1_3、f_1_4、f_1_5、f
    _1_6、f_1_7、f_2_1、f_2_2、f_
    2_3、f_2_4、f_2_5、f_2_6、f_2
    _7とすれば、ガルバノミラーの駆動電圧e_fを、 e_f=−f_1_1θ_1−f_1_2θ_2−f_
    1_3x_2−f_1_4x_3−f_1_5Z_2−
    f_1_6Z_2−f_1_7eで与え、ボイスコイル
    モータの駆動電圧e_eを、e_e=−f_2_1∫θ
    _1d_t−f_2_2θ_1−f_2_3x_1−f
    _2_4x_2−f_2_5Z_2−f_2_6Z_3
    f_2_7Z_1で与えるスポット位置決め方式。
JP12171484A 1984-06-15 1984-06-15 スポツト位置決め方式 Pending JPS613332A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0238138A2 (en) * 1986-03-17 1987-09-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. A multistage tracking system

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0238138A2 (en) * 1986-03-17 1987-09-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. A multistage tracking system

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