JPS6131708A - 流体作動アクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は一般的に密封部材の分野に関し、特に改良密封
部材にして、壁の開口および該開口を通る貫通棒部分と
の間の加圧室から漏出した流体を含むようになった密封
部材に関する。

（従来の技術） 従来においても種々の型の流体作動アクチュエータが開
発されている。これらアクチュエータの多くのものはシ
リンダの中に摺動自在に装架されたピストンン有してい
る。典型的にはシリンダの端壁を貫通する棒がピストン
に連結され、このピストンおよび棒は相互に一体として
運動するようＫされている。一般的にはピストン端部室
内に配置された棒の部分は、該棒の貫通する壁の他の側
に配置された棒の末端より大きな圧力にさらされる。前
記壁を横切って発生する圧力差のために、壁の開口と該
開口を通る棒の貫通部分との間においてピストンの端部
室から流体が漏洩する傾向が生じる。棒と壁開口との間
に可撓性の密封部材ケ設け、これらの間の流体漏洩量ン
実袈的に減少させる手段は周知である。さらに縁部分に
、軸線方゛向に隔置されたいくつかの＃ン有する壁開口
に対して密接に嵌合する棒を使用することも周知である
。この手段は漏洩を層流とし、かつその量を比較的少な
くするものであるから“積層密封部材”として周知であ
り、耐用寿命が相当長い。

しかしながら場合によってはアクチュエータ棒は長い期
間にわたって周期的に作動するようにせねばならぬ。こ
のような用途においては棒密封部材の耐用寿命ケ非常に
長くシ、かつ漏洩が実質的になくなるようＫすることか
望ましい。

典型的なエラストマまたはプラスチック密封部材は所要
の耐用寿命を期待することはできず、−刃寿命が長くな
るように密接に嵌合した、ラップ仕上げの金属対金属密
封部材を使用した時の漏洩は許容できない程に大となる
。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目高は改良密封組立体にお（・て、積層密封部
材の有する長い耐用寿命と、弾性密封部材の低漏洩特性
とをあわせ有し、本体および棒よりなる流体作動アクチ
ュエータに使用し得る密封組立体を供することである。

前記本体は壁として形成された１部分を有している。前
記棒は前記壁の片側に配置された内方部分と、該壁の開
口を通る中間部分と、壁の他の側に配置された外方部分
とケ有している。

（問題点火解決するための手段） 本改良密封組立体は前記壁の開口と、該開口を通る棒の
貫通部分との間に流体漏洩部分を有し、かつ一般的に前
記本体および棒の何れかに形成された第１衝当面と、棒
の外方部分に装架された摺動密封部材にして、該部分に
沿って前記第１衝当面に近づきまたはこの面から離れる
ように密封的に摺動し得るようになった密封部材と、可
撓性密封部材にして、前記本体および摺動密封部材を結
合ｌ２）かつ該本体、摺動密封部材および棒の外方部分
と共に、前記壁開口と連通する密封された漏洩室な画定
する可撓性密封部材と、前記室内の過大圧力を釈放する
ように作動的に配置された弁と７有している。

一つの型においては前記第１＠当面は棒の上に設けられ
、かつ前記摺動密封部材Ｚこの第１＃ｉ当面の方に駆動
するようにばねが配置されている。

他の型においては第２衝当面が棒の上に設けられ、摺動
密封部材が前記衝当面の間を動くように楠束されている
。

他の観点から見れば、本発明による時は往復アクチュエ
ータに対する改良流体密封部材にして、アクチュエータ
棒上に装架された予荷重摺動密封部材と平行に配置され
た非摺動可撓性密封部材と、流体圧力が該可撓性密封部
材の作動能力を超過した時だけ、前記摺動密封部材ンア
クチュエータ棒に対して相対的に運動せしめ得るように
なった装置との組合わせを有する密封部材が得られる。

したがって本発明の一般的な目的は改良密封組立体Ｚ供
することである。

他の目的は加圧された室の端壁な通る開口と、該開口を
通る棒の貫通部分との間の漏洩流体な含むようになった
密封組立体を供することである。

本発明の他の目的は流体作動アクチュエータに対する改
良密封組立体にして、最少の流体漏洩損失で周期的に作
動する密封組立体を供することである。

本発明の他の目的および利点は次に添付図面によって説
明する実施例によって明らかとなる。

（実施例） 先ず同様な構造部材、部分または面はすべての図におい
て同じ参照数字で表わしである。特別に記載されない限
りは図面は明細書と一致している。

この明細書に起重されている“左方”、１右方”、１上
方”および６下方”なる用語は、これらと関連する形容
詞（すなわち１左方の”、１右方の”等）と共に、読者
と相対する図面上における構造の方向ケ示すものと解す
べきである。同様に“内方に”および“外方に′なる用
語はその延長軸線に関する面の方向を示すものである。

第１実施例（第１図〜第４図） 第１図は本発明の改良密封組立体を示すもので、この第
１実施例はその全体が１０によって表わされ、流体作動
式アクチュエータ１１に使用されるようになっている。

このアクチュエータ１１は内部に室を有する本体１２と
、１前記室内に摺動自在に装架され、軸線方向に摺動し
得るピストン１３と、ピストンから左方に延び、かつ室
の一つの端壁な貫通する第１棒１４と、ピストンから右
方に延び、かつ室の第２端壁を貫通する第２棒１５と、
制御弁１６とを有している。

特に本体１２は組合わせ式構造の、水平に延びる部材と
して示されており、第１図の左から右に向って順次左方
部分１８、第１端壁部材１９、中間部分２０、第２端壁
部材２１および右方部分２２を有している。

本体の左方部分１８は特に垂直左方環状端面２３、垂直
右方環状端面２４、前記端面の間を延びる円筒形外表面
２５および内表面によって画定され、該内表面は逐次前
記左方端面２３から右方に延びる内向き円筒面２６、右
方に面する垂直環状面２８、内向き円筒面２９、右向き
垂直環状面３０および内向き円筒面３１を有し、この内
向き円筒面はさらに右方に延びて右方端面２４に結合さ
れている。前記表面２８．２９は本体の左方部分の中に
共軸環状凹所を形成している。

第１端壁部材１９は水平方向に厚くされた環状円板部材
として示されており、かつ環状左方垂直面３２と、右方
段付き面にして中央右向き環状垂直面３３、紗面から左
方に延びる外向き円筒面３４およびこの面からさらに半
径方向外方に延びる右向き環状垂直面３５ケ有する段付
き面と、前記面３２．３５’に結合する円筒形外表面３
６と、面３２．３３の間を延びる内向き円筒面３８とに
よって画定されている。左方面３２の外縁は本体左方部
分１８の右方面２４に衝当するように配置されている。

面３４．３５は左方に向って第１端壁部材内に延びる環
状凹所音形成している。それぞれ３９によって表わされ
た、複数の軸線方向に隔置された環状溝は半径方向に向
って第１端壁部材の内面３８からこの端壁部材の内方に
向ってその円周に沿って延び、棒１４の貫通部分の周囲
の流体圧力を平衡させるようになっている。したがって
本体の第１壁部材を通る開口は交互に形成された一連の
山と谷とを有する表面によって面外されている。

本体の第２端壁部材２１は実質的に前記第１端壁部材１
９の鏡像である。特にこの部材２１は垂直右方環状端面
４０と、段付き左方面にして逐次中央左向き環状垂直面
４１、該垂直面から右方に延びる外向き円筒面４２およ
び該円筒面から外向きに延びる左向き垂直面４３Ｙ含む
段付き左方面と、面４０．４１間ｌ延びる同軸円筒面４
５とｔ有している。面４２，４３は第２端壁部材の中に
右向きに延びる環状凹所を形成している。４６Ｖｃおい
て別個に示された複数の軸線方向に隔置された環状溝は
半径方向に向って第２端壁部材の内面周方向に延びてい
る。第１端壁部材の場合と同様に、この第２端壁部材な
通る開口は交互に形成された一連の山および谷によって
面外されている。

本体の中間部分２０は水平に延びる、特別な形の、はぼ
管状をなす部材であり、その上方部分は半径方向に太く
なるようにされている。特にこの中間部分は環状の垂直
な左方端面４８および右方端面４９を有し、かつこの面
の間を円筒形内面５０が延びている。前記面４８．５０
の交点に近接する左方環状隔部分は面３４．３５間の第
１端壁部材の右向き凹所の中に受入れられている。同様
に面４９．５０の内方交点に近接する右方環状隅部は面
４２．４３間の第２端壁部材の左向き凹所の中に受入れ
られている。面３４または４２によって被覆されていな
い円筒面５０の露出した中央部分は、組立てられた本体
内の室の側壁を形成している。面３３，４１はそれぞれ
室の左方および右方端壁を形成している。本体中間部材
２０の外面は特別の形を有し、かつ最下方円筒面部分５
１、および最上方水平平坦部分５２ン有し、これらの間
に前記制御弁１６を装架するようになっている。この目
的のために半径方向肉厚上方部分は二つの通路５３．５
４に有し、前記上表面５２をそれぞれ端壁３３，４１に
近接する内面５０と連通させるようになっている。これ
ら通路によって流体は制御弁とぎストンの両側における
二つの端部室との間を通り得るようＫなっている。

本体の右方部分２２はほぼコツプ形の部材として示され
℃おり、かつ第２端壁部材の面４０の外縁と衝当するよ
うに配置された環状垂直左方面５５と、環状垂直右方面
５６と、面５５，５Ｂの間を延びる円筒形外表面、５８
と、前記左方面５５から右方に延びる内向き円筒面５９
および左向きの円形垂直底面６０誉含む内表面とを有し
ている。

ピストン１３は環状垂直左方面６１および右方面６２と
、密接に重なる円筒形外面６３とを有し、この外面は室
の露出した円筒形内壁５０と摺動的に係合するように配
置されている。ピストンの外面は６４において別個に示
されるよ５に複数の軸線方向に隔置された環状溝を有し
ている。もし必要であればビス゛トンとシリンダとの間
に単数また。：は複数のＯＩＪソング図示せず）または
静動のものを配置することができる。このピストンによ
って室は左方流体室６５（面３３，６１の間）と、右方
流体室６６（面４１．６２の間）とに分割される。

第１棒はピストンの左方面６１から軸線方向左方に延び
ている。特にこの捧１４は、細長い中実部材であり（左
から右に向って）、円筒面３Ｂと嵌合する外向き円筒面
６８ＫＬ、て、ピストン面６１から左方に延びかつ第１
壁開口３８を貫通する部分を有する円筒面と、左向き環
状垂直層すなわち衝当面６９と、該衝当面から左方に延
びて小孔７１Ｆｃ達する外向き円筒面７０とによって面
外されている。前記小孔によって棒は他の構造（図示せ
ず）に容易に連結することができる。この棒１４は流体
室６５（すなわち壁面３３とピストン面６１との間）内
に配置された右向き”内方”部分と、第１端壁部材の内
面３３を貫通する６中間”部分と、第１壁部材の他の側
（ｊなわち面３２の左方）に配置された左向き１外方”
部分と！有するものと考えることができる。もちろん棒
の”内方”および１外方”部分の軸線方向長さは任意の
時点における本体に対する棒−ピストン−棒の位置によ
って決まる。しかしながら棒の円筒面６８の長さは、衝
当面６９が常に本体の面３２の左方に止るようにされて
いる。

第２の棒１５はピストンの右方面６２から軸線方向右向
きに延びている。この棒１５は円筒面４５と密接に嵌合
する外向き円筒面７２によって面外され、核棒の一部分
は第２の壁開口４５を通り、かつ円形垂直右端面７３を
有している。棒１５は室６６（すなわち面４１．６２の
間）内に配置された左“内方”部分、第２壁開口４５を
通る”中間”部分および本体の右方部分４２内（すなわ
ち面４０．７３の間）に配置された右１外方”部分を有
している。もちろん棒１５の６内方”および１外方”部
分の軸線方向長さは任意の時点における本体に対する棒
−ピストン−棒組立体の位置によって決まる。本体右方
部分内の室７４は導管７７を通して流体復帰装置Ｒまた
はタンクに通気されている。

゛　制御弁１６は、もちろんこれに制限されるものでは
ないが、米国特許第３，０２３，７８２号に記載されて
いる型の電子液圧サーボ弁となすことができ、その全体
的な説明はこのような弁の構造および作動に関する限り
、本明細書において参照されている。弁１６は適当な供
給源Ｐから加圧された流体を受入れ、かつ流体復帰装置
ＩｉＲに連結され、さらに室６５．６６に制御圧力Ｃ工
、０２ヲ供給するように配置されている。この流体は常
態では、もちろんこれに制限されるものではないが、油
のような適当な流体となすことができ、該流体は実質的
に圧縮し得ないものと考えられる。弁１６には電気信号
が供給され、流体室６５．６６の中に選択的に所要の制
御圧力ａ１．Ｏ２を発生させるようＫなっており、この
圧力の差（もしこれが存在すれば）を使用して棒−ピス
トン−棒小組立体に正味の力を加え、該小組立体を本体
に対し適当な軸線方向に移動させるようになっている。

したがって室６．５．６６は場合によっては流体復帰装
置Ｒの圧力に対して積極的に加圧されるようになる。

他の時点においては前記室は復帰装置と連通する。

実際問題として、前述のように積極的に加圧さ。

れる時には常に棒１４の１中間部分”と壁開口′３８と
の間において、室６５からある量の流体が漏出する。特
にアクチュエータが長時間にわたりて周期的に作動され
る時には漏出が生じる。改良密封組立体の目的は、本体
に対する棒−ピストン−棒小組立体の運動ヶ実質的に妨
げることなく前記の如き漏洩ビ阻止することである。

この目的のために本改良密封組立体１０は前述の如く棒
１４上に設けられた衝当面６９と、摺動密封部材７５と
、可撓性部材７６と、弾性密封部材７８と、弁７９とを
有している。

摺動密封部材７５は棒１４の１外方”部分の円筒面７０
を囲繞し、かつ核間に沿って前記衝当面６９に近すきま
たはこれから離れる方向に密封的摺動運動を行うように
装架されている。この摺動密封部材は段付き左方面にし
て、左向き中央環状垂直面８０、核間から左方に延びる
内向き円筒面８１および左向き外方環状垂直面８２より
なる段付き面と、環状垂直右方面８３と、段付き外方面
にして、面８２から右方に延びる外向き円筒面８４と、
左向き環状垂直肩付き面８５と、この肩付き面から右方
に延び、右方面８３と出会う外向き円筒面８６とよりな
る外方面と、棒ＴＯに面してこれと摺動的に係合するよ
うに配置された内向き円筒面８８とを有している。前記
摺動部材にはその内面８Ｂから環状凹所が延び、棒間Ｔ
Ｏと圧縮的に係合する密封０リング８９と適合するよう
になっている。

可撓性部材７６はコイルばねであり、その左端は本体の
面３０と係合し、かつその右端は摺動密封部材の面８５
と係合している。このばね７６は圧縮ばねであり、摺動
密封部材を常に棒に対して右向きに、衝当面６９の方に
駆動している。

弾性密封部材７８はアコーデオン状の金属蛇腹の形をな
し、その一端は本体の面３０に適当に装着され、かつそ
の他端は摺動密封部材の面８２に装着されている。

弁７９は一方逆止弁であり、本体左方部分を貫通する導
管９１を通って常に環状密封漏洩室９０と連通している
。特にこの漏洩室９０は蛇腹Ｔ８の外部、本体の面３０
，３１，３２）棒１４の１外方”面の一部分および摺動
密封部材７５によって面外されている。弁７９は加圧さ
れた流体Ｙ室９０から排出して復帰せしめ、七かも該流
体が復帰装置から室９０に流入するのを阻止するように
配置されている。

漏洩室９０．７４およびピストン端部室６５゜６６が最
初適当な液圧流体によって満されているものと仮定する
。

この時制御弁が作動されて、棒−ピストン−棒小組立体
が本体に対し周期的な水平往復運動を行う。

ようになっているものと仮定する。右方漏洩室１４は常
時流体復帰装置Ｒと連通している。したがって棒１５が
第１図に示された中心位置から右方に向って第３図に示
される如き位置に移動すれば、流体は室７４から押出さ
れ、導管７Ｔを通って復帰装置に流入する。棒１５の行
程が逆となり、第２図に示された位置の方に左向きに移
動する時は、もし復帰管が完全に流体によって満されて
おれば、流体は室７４の中に引戻される。もし流体が満
されていなければこのような左向き復帰行程が行われる
時には室７４内に空気が吸込まれる。

もちろん棒１５の６中間部分”と第２壁開口４５との間
で室６６から漏出した流体は右方漏洩室７４に流入し、
したがって前から残っていた流体は管７７によってこの
漏出流体と置換される。

もしぎストン左方室６５内の圧力が漏洩室９０内の圧力
より高ければ、棒１４の中間部分と第１壁開口３８との
間から漏出した流体は室９０に流入する。この室９０内
の過大圧力を有する流体は逆止９Ｐ７９を通って復帰装
置Ｒに流れるから、普通は前記の如き状態が起こる。し
かしながら導管９１および逆止−＊７９は前記の如き流
れをある程度拘束する。もし棒−ピストン−棒組立体が
右方に移動すれば、室９０内の流体容積は蛇腹の膨張に
よって減少し、かつ該室９０内の圧力は上昇する。もし
この圧力が十分に上昇すれば、摺動密封部材および蛇腹
の作動が遅れ、室９０内の圧力が該蛇腹を損傷する程度
まで上昇するのを阻止する。

換言すればコイルばねが連続的に摺動密封部材を駆動し
て衝当面６９と係合させている時には、本発明により棒
−ピストン−棒組立体は本体に対して右方に移動し、か
つ室９０内の圧力が過大となれば摺動密封部材および棒
間の独立した相対運動が可能となる。したがってもし棒
−ざストン−棒の圧力も急に上昇する。かくの如き圧力
によって摺動密封部材の有効面積に加えられる左向きの
力が、ばねによって加えられる反対方向の右向きの力よ
り大となれば、摺動密封部材が棒１４に沿って衝当面６
９から摺動的に離れる。摺動密封部材を棒に対して移動
させるこのような特色は、室９０内の圧力が蛇腹を損傷
するような高さまで上昇するのを阻止する。実際にもし
ｆｆ１９０内の圧力が上昇を続ければ、摺動密封部材７
５は左方に移動して蛇腹を堅く圧縮し、かつこのような
圧力の効果に対抗する最強位置を占めるようになる。し
かしながら常態作業時においては室９０内の圧力上昇は
弁Ｔ９を通して復帰装置に通気せしめられる。棒１４に
沿って、衝当面６９から離れる方向における摺動密封部
材の運動は常態では棒−ピストン−棒小組立体が高速度
で右方に移動した時、かつまたは使用液圧流体の粘性が
大なる時（たとえば低温時）に起こる。このような場合
においても過大圧力状態が釈放されれば、前記ばねが摺
動粛鉗拡ナオを１匡γへ画面　ＣＯシ　屡イト訃１　込
−１清）ス銘アクチュエータの作動を中断せしめること
なく、常態作業が再開される。

棒−ピストン−棒小組立体が左方に移動すれば、室９０
内の流体にキャビテーションが生じ、したがって逆止弁
７９によって室９０に対する流体の逆流が阻止されるか
ら、その圧力は直ちに低下する。行程が高速度で反転す
る時には棒のある程度の右向き運動がそれまでのキャビ
テーションの程度に応じて直ち・に調節される。

しかしながら摺動密封部材７５および棒１４間の相対運
動は室９０内の圧力が異常に大となった結果とし又のみ
起こることに注意すべきである。

このような状態は普通棒−ざストン−棒小組立体の過渡
的な運動と共に起こり、または使用流体の粘性が大なる
時の低温始動状態において起こる。

アクチュエータが常態で安定した作業を行っている時に
は棒および摺動密封部材間のこのような相対運動は起こ
らず、したがってアクチュエータの周期的寿命は、面３
８．６８間に静動な他の密封部材を使用する場合のよう
にエラストマ密封部材の摩耗によっては制限されない。

第２実施例（第５図〜第８図） 第２実施例の構造は前述の構、造と共通する多（の部材
、部分または面を含んでいるからこの第２実施例の対応
する部材、部分または面は特別の記載がない限りは前に
使用した参照数字にプライムを付して表わすこととした
。

したがって第５図から８図までにおいて全体が１０′に
よって表わされた本改良密封組立体は別の液圧作動アク
チュエータ＼１１′と関連している〇しかしながらこの
第２実施例においては棒１４上の衝当面６９は省略され
、かつ棒１４′はピストン左端面６１′から棒の小孔７
１′の方に左向きに延びる外方円筒面６８′を有してい
る。この第２実施例においてはばね７６も省略されてい
る。

二つの実施例の主なる相違は第２実埠例の本体の左方部
分１８′が半径方向に厚く形成され、該部分の中に半径
方向に延びる環状凹所を設は得るようになっていること
である。特にこの凹所は円筒面３１′から本体左方部分
内に向って半径方向外方に延びる右向き環状垂直面９２
′と、前記面から引続き水平右方に延びる円筒面９３′
と、この面から半径方向内方に延び本体部分の面３１′
と出会う左向き環状面９４′とによって画弄されている
。本体部分の面９２’、９４’は本体に対する摺動密封
部材７５′の運動を制限するためのヌトップを形成して
いる。

摺動密封部材１５′は第１実施例と同様な外観を有して
いるが、その寸法が異なっている。特にこの摺動密封部
材は左向き中央環状垂直面８０′、この面から左方に延
びる内向き円筒面８１′および左向き外方環状垂直面８
２′χ有する段付き左面と、環状垂直右面８３′と、面
８２′から右方に延びる外向き円筒面８４（左向き環状
垂直面８５′および引続きこの垂直面から右方に延び、
右方端面８３′と出会う外向き円筒面８６′を有する段
付き外面と、棒間６８′に面し、この面と摺動自在に係
合するように配置された内向き円筒面８８′よりなって
いる。

しかしながら面８５’、８３’の間の摺動密封部材のは
本体の凹所内に位置している。したがってこの摺動密封
部材７５′は棒１５に対し左方に向って、その左面８５
′が本体部分の面９２′（第６図）に衝当するまで、ま
たは右方に向ってその右面８３′が本体部分の面９４′
（第７図）に衝当するまで移動する。さらに矩形断面を
有する環状凹所が半径方向に向って摺動密封部材７５’
の中に延び、摩擦部材９６′と適合するようになってお
り、該摩擦部材は棒間６８′と摩擦的に係合し、かつ摺
動密封部材と棒との相対的摺動を阻止するようになって
いる。

前述の如くばね７６はこの第２実施例においては省略さ
れている。

左方本体部分は、摺動密封面８５′が本体左方部分の面
９２′に衝当した時に、可撓性密封部材、すなわち金属
蛇腹７８′がその完全圧縮状態となるような形態ンＭし
ている。同様に本体左方部分はその面９４′が摺動密封
部材の右面８３′と係合するような位置にきた時に前記
蛇腹ン実質的に完全に膨張させるような形態を有してい
る。したがって蛇ｋ　７０／ｎｚ　６出ＪＬ　−ｘ　Ｌ
Ｊ？　笛Ｃ：　ｌｉｄ　Ｉｒ！　−！ｔ　Ｔｈ　Ｘ　ｎ
ｎ　／　ｒａｌｔｂｂｙ面９２’、９４’間の中点位置
と一致する。摩擦部材９６′は摺動密封部材および棒の
間の摩擦力が蛇腹または任意の復帰圧力装置の最大偏倚
力より大となるように調節することができる。このよう
にアクチュエータが大振幅、低周波数行程で作動する時
は、摺動密封は最初は摺動密封部材および棒１４間の摩
擦接触によって行われ、この状態はストップ９２′また
は９４′と出会い、次に棒が摺動密封部材に対して移動
するようになるまで続く。平均ピストン位置付近におけ
る高周波数、小振幅行程は摺動密封部材７５および棒間
の相対的摺動を発生させることな（、蛇腹７８′の撓曲
によって行われる。したがってアクチュエータの寿命が
ある限り、棒および摺動密封部材間の全相対的運動は大
振幅、低周波数行程によって行われる。

この機構は可撓密封変位能力が大き過ぎる場合において
アクチュエータの運動を可能にするばかりでな（、蛇腹
が過大な圧力を受けるのを阻止するようになっているこ
とがわかる。もし可撓性密封部材および積層密封部材間
の空洞内の圧力が摺動摩擦レベルを越えれば、摺動密封
部材を通る棒の運動が生じ、前記空洞から流体が移動し
ないようになり、したがって圧力の上昇が制限される。

もし復帰圧力が上昇することによって空洞圧力が増加す
れば可撓性密封部材は密実に圧縮され、したがって高圧
に耐える能力を増加させる。

以上に説明した実施例は典型的なものであり、本発明は
種々の変型を行うことができる。たとえば本体は任意の
適当な材料で形成することができ、かつ必要に応じ一体
構造式または組立式となすことができる。種々の構成部
材の形態は容易に変更することができる。たとえば前記
可撓性部材はアコーデオン状の蛇腹、ダイヤプラムまた
は漏洩を発生させることな（、使用流体ケ作動せしめ、
かつ包含するよ５な行程設計を可能にする他の可撓性部
材（金属または非金属）となすことができる。

制御弁は必すしも電子液圧サーボ弁となす必要はない。

実際にこの升と別なｆｆＹ使用することができる。弾性
部材も必ずしもコイルばねとする必要はない。本発明は
壁の開口と貫通棒との間に漏洩が生じる場合に有用であ
り、図示のアクチュエータの断面も任意のものとなすこ
とができ、特別の形を必要とするものではない。

したがって図示の密封組立体はその好適な実施例を示し
たに過ぎず、本発明は特許請求の範囲内において種々の
変型を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は改良密封組立体の第１実施例による流体作動ア
クチュエータの一部截欠せる略垂直断面図で、アクチュ
エータピストンが室の二つの端壁の中心位置にある状態
を示したもの、第２図は第１図と同様な図であるが、ピ
ストンが第１図に示された中心位置から左方に向って室
の左方端壁の方に移動した状態ン示すもの、第６図は第
１図と同様な図であるが、アクチュエータピストンが第
１図に示された中心位置から右方に向って呈の右方端壁
の方に移動した状態を示すもの、第４図は第６図と同様
な図であるが、摺動密封部材が衝当面から離れて、棒に
対し軸線方向左方に移動した汁能シ云寸東の一筺Ｒ回は
階自密暑釦立体の第２実施例による流体作動アクチュエ
ータの一部截欠せる略垂直断面図で、アクチュエータピ
ストンが室の二つの端壁の中心位置にある状態を示した
もの、第６図は第５図と同様な図であるが、ピストンが
第５図に示された中心位置から左方に向って室の左方端
壁の方に移動し、摺動密封部材が本体の一つの面に衝当
した状態を示すもの、第７図は第５図と同様な図である
が、ピストンが第５図に示された中心位置から右方に向
って室の右方端壁の方に移動し、摺動密封部材が本体の
他の面に衝当した状態を示すもの、第８図は第７図と同
様な図であるが、摺動密封部材が左方に移動し、かつ棒
の一時的固定位置に対し、本体の前記他の面から離れる
ようになった状態を示すものである。 １０：密封組立体、１１：アクチュエータ、１２：本体
、１３：ピストン、１４：第１棒、１５：第２棒、１８
：左方部分、２０：中間部分、２２：右方部分、３８：
第１開口、４５：第２開口、４６：環状溝、５３．５４
：通路、６４：環状溝、６５：左方流体室、６６：右方
流体室、６９：衝当１．７４：漏洩室、７５：摺動部材
、７６二可撓性部材、７８二弾性密封部材、７９：弁、
９０：漏洩室。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. （１）流体作動アクチュエータにして、本体および棒よ
   りなり、前記本体が壁として形成された１部分を有し、
   前記棒が前記壁の片側に配置された内方部分、前記壁の
   開口を通る貫通部分および前記壁の他の側に配置された
   外方部分を有しているアクチュエータにおいて、 前記棒の貫通部分と前記壁の開口との間の漏洩流体を含
   むための密封組立体を有し、該密封組立体が 前記本体および棒の外方部分の一つの上の第１衝当面と
   、 前記棒の外方部分上に装架され、該部分に沿って、前記
   第１衝当面に近づきまたはこの衝当面から離れるように
   密封的に摺動するようになった摺動密封部材と、 前記本体と摺動密封部材とを結合し、かつ前記本体、前
   記摺動密封部材および前記棒の外方部分の間に、前記壁
   の開口と連通する室を画定するようになった可撓性密封
   部材と、 前記密封された室の中の過大圧力を釈放するように作動
   的に配置された弁とを有していることを特徴とするアク
   チュエータ。
2. （２）特許請求の範囲第１項記載のアクチュエータにお
   いて、前記第１衝当面が前記壁と反対の方に向いた成分
   を有しているアクチュエータ。
3. （３）特許請求の範囲第２項記載のアクチュエータにお
   いて、前記第１衝当面が前記棒の上に設けられているア
   クチュエータ。
4. （４）特許請求の範囲第３項記載のアクチュエータにお
   いて、前記本体と前記摺動密封部材との間で作動する弾
   性部材が設けられ、前記摺動密封部材を前記第１衝当面
   の方に動かすようになっているアクチュエータ。
5. （５）特許請求の範囲第４項記載のアクチュエータにお
   いて、前記弾性部材がコイルばねであるアクチュエータ
   。
6. （６）特許請求の範囲第４項記載のアクチュエータにお
   いて、前記弾性部材か前記室内に配置されているアクチ
   ュエータ。
7. （７）特許請求の範囲第４項記載のアクチュエータにお
   いて、前記摺動密封部材に加わる前記室内の圧力に起因
   する力が、前記弾性部材によって前記摺動密封部材に加
   えられる対抗力を越えた時に、該摺動密封部材が前記第
   １衝当面から離れるようになっているアクチュエータ。
8. （８）特許請求の範囲第１項記載のアクチュエータにお
   いて、前記弁が逆止弁であり、該逆止弁が前記室から流
   体を排出せしめ得るように作動的に配置されているアク
   チュエータ。
9. （９）特許請求の範囲第１項記載のアクチュエータにお
   いて、前記可撓性部材が蛇腹であるアクチュエータ。
10. （１０）特許請求の範囲第２項記載のアクチュエータに
    おいて、前記第１衝当面が前記本体の上に設けられてい
    るアクチュエータ。
11. （１１）特許請求の範囲第１０項記載のアクチュエータ
    において、さらに前記本体の上に設けられた第２衝当面
    を有し、かつ前記第１衝当面成分の方に向いた成分を有
    しているアクチュエータ。
12. （１２）特許請求の範囲第１１項記載のアクチュエータ
    において、前記摺動密封部材が前記第１および第２衝当
    面成分の間において前記本体に対して運動し得るように
    装架されているアクチュエータ。
13. （１３）特許請求の範囲第１２項記載のアクチュエータ
    において、前記可撓性密封部材が完全伸長位置と完全後
    退位置との間において運動することができ、かつ前記摺
    動密封部材が前記第２衝当面と係合している時に、前記
    可撓性密封部材が実質的に前記完全後退位置にあるよう
    にされているアクチュエータ。
14. （１４）特許請求の範囲第１２項記載のアクチュエータ
    において、前記可撓性密封部材が非偏倚自由長さを有し
    、かつ該可撓性密封部材がその非偏倚自由長さを有する
    状態にある時に、前記摺動密封部材が実質的に前記第１
    および第２衝当面間の途中に位置決めされるようになっ
    ているアクチュエータ。
15. （１５）特許請求の範囲第１４項記載のアクチュエータ
    において、前記可撓性密封部材が前記非偏倚自由長さ状
    態から移動した時に、前記可撓性密封部材が前記摺動密
    封部材に力を加え、それによって該摺動密封部材を前記
    棒の外方部分に対して移動させるようになっているアク
    チュエータ。
16. （１６）特許請求の範囲第１項記載のアクチュエータに
    おいて、さらに前記摺動密封部材と前記棒の外方部分と
    の間に摩擦部材が作動的に配置され、前記摺動密封部材
    と前記棒の外方部分との間の相対的摺動に所要レベルの
    摩擦抵抗を与えるようになっているアクチュエータ。
17. （１７）流体作動アクチュエータにして、壁の開口を貫
    通する棒の１部分を有するアクチュエータにおいて、 前記棒の貫通部分と前記開口との間の漏洩流体を含むた
    めの密封組立体を有し、該密封組立体が可変容積室を形
    成する囲いにして、該囲いの中に流体が流入するように
    なっており、かつこの囲いが前記室内の圧力に応答し、
    該室内の過大圧力を釈放するようになって囲いを有して
    いるアクチュエータ。
18. （１８）往復運動を行うアクチュエータ棒に対する流体
    密封装置において、 可変容積室を形成する囲いにして、該囲いの１部分が可
    撓部材であり、その別の部分が前記棒の上に装架された
    摺動密封部材である囲いと、前記摺動密封部材を偏倚せ
    しめる偏倚装置にして、前記室内の圧力が所定の圧力を
    越えた時だけ、前記摺動密封部材を前記棒に対して移動
    させるようになった偏倚装置とを有している流体密封装
    置。
19. （１９）流体作動アクチュエータにして、本体と棒とよ
    りなり、該本体が壁として形成された１部分を有し、か
    つ該部分を通る開口を有しており、前記棒が前記壁の片
    側に配置された内方部分、前記壁の開口を通る貫通部分
    および該壁の他の側に配置された外方部分を有している
    アクチュエータにおいて、 前記棒の貫通部分と前記壁の開口との間の漏洩流体を含
    むための密封組立体を有し、該密封組立体が 前記棒の外方部分に装架され、該部分に沿って密封的に
    摺動するようになった摺動密封部材と、可撓性密封部材
    にして、一端が前記本体に密封的に連結され、かつ別の
    端部が前記摺動密封部材に密封的に連結されている可撓
    性密封部材とを有し、該可撓性密封部材が前記本体に対
    する変位範囲内において移動し得るようになっており、 前記摺動密封部材および前記棒の外方部分との間の摩擦
    力が、前記変位範囲の全体にわたって前記可撓性密封部
    材を動かすに必要な力より大となるようにされているア
    クチュエータ。
20. （２０）特許請求の範囲第１９項記載のアクチュエータ
    において、前記摺動密封部材および可撓性密封部材が相
    互に平行となるように配置されているアクチュエータ。