JPH0517962B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、その内部に室が形成される本体と、
その室内に導入される流体により駆動され軸線方
向に移動する棒とを有する、流体作動アクチユエ
ータに関する。

〔従来の技術〕

従来においても種々の型の流体作動アクチユエ
ータが開発されている。これらアクチユエータの
多くのものはシリンダの中に摺動自在に装架され
たピストンを有している。典型的にはシリンダの
端壁を貫通する棒がピストンに連結され、このピ
ストンおよび棒は相互に一体として運動するよう
にされている。一般的にはピストン端部室内に配
置された棒の部分は、該棒の貫通する壁の他の側
に配置された棒の末端より大きい圧力にさらされ
る。前記壁を横切つて発生する圧力差のために、
壁の開口と該開口を通る棒の貫通部分との間にお
いてピストンの端部室から流体が漏洩する傾向が
生じる。棒と壁開口との間に可撓性の密封部材を
設け、これらの間の流体漏洩量を実質的に減少さ
せる手段は周知である。さらに壁開口の縁部分
に、軸線方向に隔置されたいくつかの溝を設け、
壁開口に対して密接に嵌合する棒を使用すること
も周知である。この手段は漏洩を層流とし、かつ
その量を比較的少なくするものであるから、“層
流密封部材”として周知であり、耐用寿命が相当
長い。

棒と本体との間に設けられる典型的なエラスト
マまたはプラスチツク密封部材は所要の耐用寿命
を期待することはできず、また棒に対して摩擦力
を発生し、棒の円滑な移動をさまたげる。一方寿
命が長くなるように密接に嵌合した、ラツプ仕上
げの金属対金属密封部材を使用した時の漏洩は許
容できない程に大となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の目的は、出力棒の動作が妨げられるこ
となく、アクチユエータ外部への流体の漏れを長
期間に渡つて防止する、流体作動アクチユエータ
を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によれば、その内部に室が形成される本
体と、室内に導入される作動流体により駆動され
その軸線方向に移動する棒とを有する、流体作動
アクチユエータは更に、室の外側の棒を取り囲み
且つ棒上で棒の軸線方向において抵抗力を伴つて
滑動可能である移動部材を有し、移動部材は移動
部材と棒との間を通る流体の漏れを防止し、移動
部材は、軸線方向に変形可能であり棒を取り囲む
密封部材に接続され、密封部材は本体に接続され
て、室内から室の外側まで棒と本体との間を通つ
て漏れる流体を収容するための可変容量空間を棒
と密封部材と本体と移動部材との間に形成する。

〔作用〕

本発明による流体作動アクチユエータにおいて
は、室の外側の棒を取り囲み且つ棒上で棒の軸線
方向において抵抗力を伴つて滑動可能である移動
部材は、移動部材と棒との間を通る流体の漏れを
防止し、且つ棒の軸線方向に変形可能であり棒を
取り囲む密封部材に接続され、更に密封部材は本
体に接続されて、室内から室の外側まで棒と本体
との間を通つて漏れる流体を収容するための可変
容量空間を棒と密封部材と本体と移動部材との間
に形成するので、可変容量空間の容量は、棒の軸
方向移動により変化するのみではなく、棒上での
抵抗力を伴つての移動部材の移動によつても変化
する。棒の先端とアクチユエータ本体とにそれぞ
れ端部を固定される蛇腹を有する、従来技術の流
体作動アクチユエータにおいては、棒と蛇腹と本
体との間に形成される可変容量空間の容量は、棒
の軸線方向移動により変化するのみである。

本発明によれば、室内から室の外側まで棒と本
体との間を通つて漏れる流体を収容するための可
変容量空間の容量は、棒上での抵抗力を伴つての
移動部材の移動によつても変化するので、可変容
量空間内の流体の圧力が抵抗力以上に増加する
と、移動部材は棒上で移動し、可変容量空間の容
量が増加する。可変容量空間の容量が増加する
と、可変容量空間内の流体の圧力が減少し、移動
部材の棒上での移動は停止する。従つて、それま
での可変容量空間の容量以上の流体容量が可変容
量空間内に流入しても、急激に可変容量空間内の
流体の圧力が上昇することは無く、移動部材の棒
上での移動による可変容量空間の容量増加によ
り、可変容量空間内の流体容量増加が吸収され
る。

それまでの可変容量空間の容量以上の流体容量
が可変容量空間内に流入しなければ、移動部材の
棒上での移動は発生しないので、通常は出力棒の
動作が妨げられることはない。且つ、室内から室
の外側まで棒と本体との間を通つて漏れる流体を
収容するための可変容量空間内の流体の圧力が急
激に上昇することは無いので、棒の軸線方向に変
形可能であり棒を取り囲む密封部材の損傷が防止
され、アクチユエータ外部への流体の漏れを長期
間に渡つて防止することが可能である。

〔実施例〕

先ず同様な構造部材、部分または面はすべての
図において同じ参照数字で表わしてある。特別に
記載されない限りは図面は明細書と一致してい
る。この明細書に記載されている“左方”、“右
方”、“上方”および“下方”なる用語は、これら
と関連する形容詞（すなわち“左方の”、“右方
の”等）と共に、読者と相対する図面上における
構造の方向を示すものと解すべきである。同様に
“内方に”および“外方に”なる用語はその延長
軸線に関する面の方向を示すものである。

第１実施例（第１図〜第４図） 第１図は本発明の改良密封組立体を示すもの
で、この第１実施例はその全体が１０によつて表
わされ、流体作動式アクチユエータ１１に使用さ
れるようになつている。

このアクチユエータ１１は内部に室を有する本
体１２と、前記室内に摺動自在に装架され、軸線
方向に摺動し得るピストン１３と、ピストンから
左方に延び、かつ室の一つの端壁を貫通する第１
棒１４と、ピストンから右方に延び、かつ室の第
２端壁を貫通する第２棒１５と、制御弁１６とを
有している。

特に本体１２は組合わせ式構造の、水平に延び
る部材として示されており、第１図の左から右に
向つて順次、第１端壁部材１９、中間部分２０、
第２端壁部材２１および右方部分２２を有してい
る。

左方部分１８は、垂直左方環状端面２３、垂直
右方環状端面２４、前記端面の間を延びる円筒形
外表面２５および内表面によつて画定され、該内
表面は逐次前記左方端面２３から右方に延びる内
向き円筒面２６、右方に面する垂直環状面２８、
内向き円筒面２９、右向き垂直環状面３０および
内向き円筒面３１を有し、この内向き円筒面はさ
らに右方に延びて右方端面２４に結合されてい
る。前記表面２８，２９は左方部分の中に共軸環
状凹所を形成している。

第１端壁部材１９は水平方向に厚くされた環状
円板部材として示されており、かつ環状左方垂直
面３２と、右方段付き面にして中央右向き環状垂
直面３３、該面から左方に延びる外向き円筒面３
４およびこの面からさらに半径方向外方に延びる
右向き環状垂直面３５を有する段付き面と、前記
面３２，３５を結合する円筒形外表面３６と、面
３２，３３の間を延びる内向き円筒面３８とによ
つて画定されている。左方面３２の外縁は左方部
分１８の右方面２４に衝当するように配置されて
いる。面３４，３５は左方に向つて第１端壁部材
内に延びる環状凹所を形成している。それぞれ３
９によつて表わされた。複数の軸線方向に隔置さ
れた環状溝は半径方向に向つて第１端壁部材の内
面３８からこの端壁部材の内方に向つてその円周
に沿つて延び、棒１４の貫通部分の周囲の流体圧
力を平衡させるようになつている。したがつて本
体の第１壁部材を通る開口は交互に形成された一
連の山と谷とを有する表面によつて画界されてい
る。

本体の第２端壁部材２１は実質的に前記第１端
壁部材１９の鏡像である。特にこの部材２１は垂
直右方環状端面４０と、段付き左方面にして逐次
中央左向き環状垂直面４１、該垂直面から右方に
延びる外向き円筒面４２および該円筒面から外向
きに延びる左向き垂直面４３を含む段付き左方面
と、面４０，４１間を延びる同軸円筒面４５とを
有している。面４２，４３は第２端壁部材の中に
右向きに延びる環状凹所を形成している。４６に
おいて別個に示された複数の軸線方向に隔置され
た環状溝は半径方向に向つて第２端壁部材の内面
４５からその内方に向つて、該端壁のまわりを円
周方向に延びている。第１端壁部材の場合と同様
に、この第２端壁部材を通る開口は交互に形成さ
れた一連の山および谷によつて画界されている。

本体の中間部分２０は水平に延びる、特別な形
の、ほぼ管状をなす部材であり、その上方部分は
半径方向に太くなるようにされている。特にこの
中間部分は環状の垂直な左方端面４８および右方
端面４９を有し、かつこの面の間を円筒形内面５
０が延びている。前記面４８，５０の交点に近接
する左方環状隅部分は面３４，３５間の第１端壁
部材の右向き凹所の中に受入れられている。同様
に面４９，５０の内方交点に近接する右方環状隅
部は面４２，４３間の第２端壁部材の左向き凹所
の中に受入れられている。面３４または４２によ
つて被覆されていない円筒面５０の露出した中央
部分は、組立てられた本体内の室の側壁を形成し
ている。面３３，４１はそれぞれ室の左方および
右方端壁を形成している。本体中間部材２０の外
面は特別の形を有し、かつ最下方円筒面部分５
１、および最上方水平平坦部分５２を有し、これ
らの間に前記制御弁１６を装架するようになつて
いる。この目的のために半径方向肉厚上方部分は
二つの通路５３，５４を有し、前記上表面５２を
それぞれ端壁３３，４１に近接する内面５０と連
通させるようになつている。これら通路によつて
流体は制御弁とピストンの両側における二つの端
部室との間を通り得るようになつている。

本体の右方部分２２はほぼコツプ形の部材とし
て示されており、かつ第２端壁部材の面４０の外
縁と衝当するように配置された環状垂直左方面５
５と、環状垂直右方面５６と、面５５，５６の間
を延びる円筒形外表面５８と、前記左方面５５か
ら右方に延びる内向き円筒面５９および左向きの
円形垂直底面６０を含む内表面とを有している。

ピストン１３は環状垂直左方面６１および右方
面６２と、密接に重なる円筒形外面６３とを有
し、この外面は室の露出した円筒形内壁５０と摺
動的に係合するように配置されている。ピストン
の外面は６４において別個に示されるように複数
の軸線方向に隔置された環状溝を有している。も
し必要であればピストンとシリンダとの間に単数
または複数のＯリング（図示せず）または等効の
ものを配置することができる。こんピストンによ
つて室は左方面流体室６５（面３３，６１の間）
と、右方流体室６６（面４１，６２の間）とに分
割される。

第１棒はピストンの左方面６１から軸線方向左
方に延びている。特にこの棒１４は細長い中実部
材であり（左から右に向つて）、円筒面３８と嵌
合する外向き円筒面６８にして、ピストン面６１
から左方に延びかつ第１壁開口３８を貫通する部
分を有する円筒面と、左向き環状垂直肩すなわち
衝当面６９と、該衝当面から左方に延びて小孔７
１に達する外向き円筒面７０とによつて画界され
ている。前記小孔によつて棒は他の構造（図示せ
ず）に容易に連結することができる。この棒１４
は流体室６５（すなわち壁面３３とピストン面６
１との間）内に配置された右向き“内方”部分
と、第１端壁部材の内面３３を貫通する“中間”
部分と、第１壁部材の他の側（すなわち面３２の
左方）に配置された左向き“外方”部分とを有す
るものと考えることができる。もちろん棒の“内
方”および“外方”部分の軸線方向長さは任意の
時点における本体に対する棒−ピストン−棒の位
置によつて決まる。しかしながら棒の円筒面６８
の長さは、衝当面６９が常に本体の面３２の左方
に止るようにされている。

第２の棒１５はピストンの右方面６２から軸線
方向右向きに延びている。この棒１５は円筒面４
５と密接に嵌合する外向き円筒面７２によつて画
界され、該棒の一部分は第２の壁開口４５を通
り、かつ円形垂直右端面７３を有している。棒１
５は室６６（すなわち面４１，６２の間）内に配
置された左“内方”部分、第２壁開口４５を通る
“中間”部分および本体の右方部分４２内（すな
わち面４０，７３の間）に配置された右“外方”
部分を有している。もちろん棒１５の“内方”お
よび“外方”部分の軸線方向長さは任意の時点に
おける本体に対する棒−ピストン−棒組立体の位
置によつて決まる。本体右方部分内の室７４は導
管７７を通して流体復帰装置Ｒまたはタンクに通
気されている。

制御弁１６は、もちろんこれに制限されるもの
ではないが、米国特許第3023782号に記載されて
いる型の電子液圧サーボ弁となすことができ、そ
の全体的な説明はこのような弁の構造および作動
に関する限り、本明細書において参照されてい
る。弁１６は適当な供給源Ｐから加圧された流体
を受入れ、かつ流体復帰装置Ｒに連結され、さら
に室６５，６６に制御圧力C₁，C₂を供給するよ
うに配置されている。この流体は常態では、もち
ろんこれに制限されるものではないが、油のよう
な適当な流体となすことができ、該流体は実質的
に圧縮し得ないものと考えられる。弁１６には電
気信号が供給され、流体室６５，６６の中に選択
的に所要の制御圧力C₁，C₂を発生させるように
なつており、この圧力の差（もしこれが存在すれ
ば）を使用して棒−ピストン−棒小組立体に正味
の力を加え、該小組立体を本体に対し適当な軸線
方向に移動させるようになつている。したがつて
室６５，６６は場合によつては流体復帰装置Ｒの
圧力に対して積極的に加圧されるようになる。他
の時点においては前記室は復帰装置と連通する。

実際問題として、前述のように積極的に加圧さ
れる時には常に棒１４の“中間部分”と壁開口３
８との間において、室６５からある量の流体が漏
出する。特にアクチユエータが長時間にわたつて
周期的に作動される時には漏出が生じる。改良密
封組立体の目的は、本体に対する棒−ピストン−
棒小組立体の運動を実質的に妨げることなく前記
の如き漏洩を阻止することである。

この目的のために本改良密封組立体１０は前述
の如く棒１４上に設けられた衝当面６９と、移動
密封部材７５と、可撓性部材７６と、弾性密封部
材７８と、弁７９と、左方部分１８とを有してい
る。

移動密封部材７５は棒１４の“外方”部分の円
筒面７０を囲繞し、かつ該面に沿つて前記衝当面
６９に近ずきまたはこれから離れる方向に密封的
移動運動を行うように装架されている。この移動
密封部材は段付き左方面にして、左向き中央環状
垂直面８０、該面から左方に延びる内向き円筒面
８１および左向き外方環状垂直面８２よりなる段
付き面と、環状垂直右方面８３と、段付き外方面
にして、面８２から右方に延びる外向き円筒面８
４と、左向き環状垂直肩付き面８５と、この肩付
き面から右方に延び、右方面８３と出会う外向き
円筒面８６とよりなる外方面と、棒７０に面して
これと摺動的に係合するように配置された内向き
円筒面８８とを有している。前記移動部材にはそ
の内面８８から環状凹所が延び、棒面７０と圧縮
的に係合する密封Ｏリング８９と適合するように
なつている。

可撓性部材７６はコイルばねであり、その左端
は面３０と係合し、かつその右端は移動密封部材
の面８５と係合している。このばね７６は圧縮ば
ねであり、移動密封部材を常に棒に対して右向き
に、衝当面６９の方に駆動している。

弾性密封部材７８はアコーデオン状の金属蛇腹
の形をなし、その一端は面３０に適当に装着さ
れ、かつその他端は移動密封部材の面８２に接着
されている。

弁７９は一方逆止弁であり、左方部分を貫通す
る導管９１を通つて常に環状密封漏洩室９０と連
通している。特にこの漏洩室９０は蛇腹７８の外
部、面３０，３１，３２棒１４の“外方”面の一
部分および移動密封部材７５によつて画界されて
いる。弁７９は加圧された流体を室９２から排出
して復帰せしめ、しかも該流体が復帰装置から室
９０に流入するのを阻止するように配置されてい
る。

漏洩室９０，７４およびピストン端部室６５，
６６が最初適当な液圧流体によつて満されている
ものと仮定する。

この時制御弁が作動されて、棒−ピストン−棒
小組立体が本体に対し周期的な水平往復運動を行
うようになつているものと仮定する。右方漏洩室
７４は常時流体復帰装置Ｒと連通している。した
がつて棒１５が第１図に示された中心位置から右
方に向つて第３図に示される如き位置に移動すれ
ば、流体は室７４から押出され、導管７７を通つ
て復帰装置に流入する。棒１５の行程が逆とな
り、第２図に示された位置の方に左向きに移動す
る時は、もし復帰管が完全に流体によつて満され
ておれば、流体は室７４の中に引戻される。もし
流体が満されていなければこのような左向き復帰
行程が行われる時には室７４内に空気が吸込まれ
る。もちろん棒１５の“中間部分”と第２壁開口
４５との間で室６６から漏出した流体は右方漏洩
室７４に流入し、したがつて前から残つていた流
体は管７７によつてこの漏出流体と置換される。

もしピストン左方室６５内の圧力が漏洩室９０
内の圧力より高ければ、棒１４の中間部分と第１
壁開口３８との間から漏出した流体は室９０に流
入する。この室９０内の過大圧力を有する流体は
逆止弁７９を通つて復帰装置Ｒに流れるから、普
通は前記の如き状態が起こる。しかしながら導管
９１および逆止弁７９は前記の如き流れをある程
度拘束する。もし棒−ピストン−棒組立体が右方
に移動すれば、室９０内の流体容積は蛇腹の膨張
によつて減少し、かつ該室９０内の圧力は上昇す
る。もしこの圧力が十分に上昇すれば、移動密封
部材および蛇腹の作動が遅れ、室９０内の圧力が
該蛇腹を損傷する程度まで上昇するのを阻止す
る。格言すればコイルばねが連続的に移動密封部
材を駆動して衝当面６９と係合させている時に
は、本発明により棒−ピストン−棒組立体は本体
に対して右方に移動し、かつ室９０内の圧力が過
大となれば移動密封部材および棒間の独立した相
対運動が可能となる。したがつてもし棒−ピスト
ン−棒小組立体が高速間で右方に移動すれば、室
９０内の圧力も急に上昇する。かくの如き圧力に
よつて移動密封部材の有効面積に加えられる左向
きの力が、ばねによつて加えられる反対方向の右
向きの力より大となれば、移動密封部材が棒１４
に沿つて衝当面６９から摺動的に離れる。移動密
封部材を棒に対して移動させるこのような特色
は、室９０内の圧力が蛇腹を損傷するような高さ
まで上昇するのを阻止する。実際にもし室９０内
の圧力が上昇を続ければ、移動密封部材７５は左
方に移動して蛇腹を堅く圧縮し、且つこのような
圧力の効果に対抗する最強位置を占めるようにな
る。しかしながら常態作業時においては室９０内
の圧力上昇は弁７９を通して復帰装置に通気せし
められる。棒１４に沿つて、衝当面６９から離れ
る方向における移動密封部材の運動は常態では棒
−ピストン−棒小組立体が高速度で右方に移動し
た時、かつまたは使用液圧流体の粘性が大なる時
（たとえば低温時）に起こる。このような場合に
おいても過大圧力状態が釈放されれば、前記ばね
が移動密封部材を再び座面６９と係合せしめ、し
かる後アクチユエータの作動を中断せしめること
なく、常態作業が再開される。

棒−ピストン−棒小組立体が左方に移動すれ
ば、室９０内の流体にキヤビテーシヨンが生じ、
したがつて逆止弁７９によつて室９０に対する流
体の逆流が阻止されるから、その圧力は直ちに低
下する。行程が高速度で反転する時には棒のある
程度の右向き運動がそれまでのキヤビテーシヨン
の程度に応じて直ちに調節される。

しかしながら移動密封部材７５および棒１４間
の相対運動は室９０内の圧力が異常に大となつた
結果としてのき起こることに注意すべきである。
このような状態は普通棒−ピストン−棒小組立体
の過渡的な運動と共に起こり、または使用流体の
粘性が大なる時の低温始動状態において起こる。
アクチユエータが常態で安定した作業を行つてい
る時には棒および移動密封部材間のこのような相
対運動は起こらず、したがつてアクチユエータの
周期的寿命は、面３８，６８間い等効な他の密封
部材を使用する場合のようにエラストマ密封部材
の磨耗によつては制限されない。

第２実施例（第５図〜第８図） 第２実施例の構造は前述の構造と共通する多く
の部材、部分または面を含んでいるからこの第２
実施例の対応する部材、部分または面は特別の記
載がない限りは前に使用した参照数字にプライム
を付して表わすこととした。

したがつて第５図から８図までにおいて全体が
１０′によつて表わされた本改良密封組立体は別
の液圧作動アクチユエータ１１′と関連している。
しかしながらこの第２実施例においては棒１４上
の衝当面６９は省略され、かつ棒１４′はピスト
ン左端面６１′から棒の小孔７１′の方に左向きに
延びる外方円筒面６８′を有している。この第２
実施例においてはばね７６も省略されている。

二つの実施例の主たる相違は第２実施例の左方
部分１８′が半径方向に厚く形成され、該部分の
中に半径方向に延びる環状凹所を設け得るように
なつていることである。特にこの凹所は円筒面３
１′から左方部分内に向つて半径方向外方に延び
る右向き環状垂直面９２′と、前記面から引続き
水平右方に延びる円筒面９３′と、この面から半
径方向内方に延び面３１′と出会う左向き環状面
９１′とによつて画界されている。面９２′，９
４′は本体に対する移動密封部材７５′の運動を制
限するためのストツプを形成している。

移動密封部材７５′は第１実施例と同様な外観
を有しているが、その寸法が異なつている。特に
この移動密封部材は左向き中央環状垂直面８０′、
この面から左方に延びる内向き円筒面８１′およ
び左向き外方環状垂直面８２′を有する段付き左
面と、環状垂直右面８３′と、面８２′から右方に
延びる外向き円筒面８４′、左向き環状垂直面８
５′および引続きこの垂直面から右方に延び、右
方端面８３′と出会う外向き円筒面８６′を有する
段付き外面と、棒面６８′に面し、この面と摺動
自在に係合するように配置された内向き円筒面８
８′よりなつている。しかしながら面８５′，８
３′の間の移動密封部材の部分は外向きに延びる
環状面９４′を形成し、該面は凹所内位置してい
る。したがつてこの移動密封部材７５′は棒１５
に対し左方に向つて、その左面８５′が面９２′
（第６図）に衝当するまで、または右方に向つて
その右面８３′が面９４′（第７図）に衝当するま
で移動する。さらに矩形断面を有する環状凹所が
半径方向に向つて移動密封部材７５′の中に延び、
摩擦部材９６′と適合するようになつており、該
摩擦部材は棒面６８′と摩擦的に係合し、かつ移
動密封部材と棒との相対的摺動を阻止するように
なつている。前述の如くばね７６はこの第２実施
例においては省略されている。

左方部分は、摺動密封面８５′が左方部分の面
９２′に衝当した時に、可撓性密封部材、すなわ
ち金属蛇腹７８′がその完全圧縮状態となるよう
な形態を有している。同様に左方部分はその面９
４′が移動密封部材の右面８３′と係合するような
位置にきた時に前記蛇腹を実質的に完全に膨張さ
せるような形態を有している。したがつて蛇腹７
８′の自由長さは第５図に示される如く実質的に
面９２′，９４′間の中点位置と一致する。摩擦部
材９６′は移動密封部材および棒の間の摩擦力が
蛇腹または任意の復帰圧力装置の最大偏倚力より
大となるように調節することができる。このよう
にアクチユエータが大振幅、低周波数行程で作動
する時は、移動密封は最初は摺動密封部材および
棒１４間の摩擦接触によつて行われ、この状態は
ストツプ９２′または９４′と出会い、次に棒が移
動密封部材に対して移動するようになるまで続
く。平均ピストン位置付近における高周波数、小
振幅行程は移動密封部材７５および棒間の相対的
摺動を発生させることなく、蛇腹７８′の撓曲に
よつて行われる。したがつてアクチユエータの寿
命がある限り、棒および移動密封部材間の全相対
的運動は大振幅、低周波数行程によつて行われ
る。

この機構は可撓密封変位能力が大き過ぎる場合
においてアクチユエータの運動を可能にするばか
りでなく、蛇腹が過大な圧力を受けるのを阻止す
るようになつていることがわかる。もし可撓性密
封部材および積層密封部材間の空洞内の圧力が摺
動摩擦レベルを越えれば、移動密封部材を通る棒
の運動が生じ、前記空洞から流体が移動しないよ
うになり、したがつて圧力の上昇が制限される。
もし復帰圧力が上昇することによつて空洞圧力が
増加すれば可撓性密封部材は密実に圧縮され、し
たがつて高圧に耐える能力を増加させる。

以上に説明した実施例は典型的なものであり、
本発明は種々の変型を行うことができる。たとえ
ば本体は任意の適当な材料で形成することがで
き、かつ必要に応じ一体構造式または組立式とな
すことができる。種々の構成部材の形態は容易に
変更することができる。たとえば前記可撓性部材
はアコーデオン状の蛇腹、ダイヤフラムまたは漏
洩を発生させることなく、使用流体を作動せし
め、かつ包含するような行程設計を可能にする他
の可撓性部材（金属または非金属）となすことが
できる。制御弁は必ずしも電子液圧サーボ弁とな
す必要はない。実際にこの弁と別な弁を使用する
ことができる。弾性部材も必ずしもコイルばねと
する必要はない。本発明は壁の開口と貫通棒との
間に漏洩が生じる場合に有用であり、図示のアク
チユエータの断面も任意のものとなすことがで
き、特別の形を必要とするものではない。

したがつて図示の密封組立体はその好適な実施
例を示したに過ぎず、本発明は特許請求の範囲内
において種々の変型を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は改良密封組立体の第１実施例による流
体作動アクチユエータの一部截欠せる略垂直断面
図で、アクチユエータピストンが室の二つの端壁
の中心位置にある状態を示したもの、第２図は第
１図と同様な図であるが、ピストンが第１図に示
された中心位置から左方に向つて室の左方端壁の
方に移動した状態を示すもの、第３図は第１図と
同様な図であるが、アクチユエータピストンが第
１図に示された中心位置から右方に向つて室の右
方端壁の方に移動した状態を示すもの、第４図は
第３図と同様な図であるが、移動密封部材が衝当
面から離れて、棒に対し軸線方向左方に移動した
状態を示すもの、第５図は改良密封組立体の第２
実施例による流体作動アクチユエータの一部截欠
せる略垂直断面図で、アクチユエータピストンが
室の二つの端壁の中心位置にある状態を示したも
の、第６図は第５図と同様な図であるが、ピスト
ンが第５図に示された中心位置から左方に向つて
室の左方端壁の方に移動し、移動密封部材が密封
組立体の一つの面に衝当した状態を示すもの、第
７図は第５図と同様な図であるが、ピストンが第
５図に示された中心位置から右方に向つて室の右
方端壁の方に移動し、移動密封部材が密封組立体
の他の面に衝当した状態を示すもの、第８図は第
７図と同様な図であるが、移動密封部材が左方に
移動し、かつ棒の一時的固定位置に対し、本体の
前記他の面から離れるようになつた状態を示すも
のである。 １０……密封組立体、１１……アクチユエー
タ、１２……本体、１３……ピストン、１４……
第１棒、１５……第２棒、１８……左方部分、２
０……中間部分、２２……右方部分、３８……第
１開口、４５……第２開口、４６……環状溝、５
３，５４……通路、６４……環状溝、６５……左
方流体室、６６……右方流体室、６９……衝当
面、７４……漏洩室、７５……移動部材、７６…
…可撓性部材、７８……弾性密封部材、７９……
弁、９０……漏洩室。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ その内部に室６５，６６，６５′，６６′が形
   成される本体１２，１２′と、該室内に導入され
   る流体により駆動されその軸線方向に移動する棒
   １４，１４′とを有する、流体作動アクチユエー
   タにおいて、流体作動アクチユエータは更に、該
   室の外側の該棒を取り囲み且つ該棒上で該棒の軸
   線方向において抵抗力を伴つて滑動可能である移
   動部材７５，８９，７５′，８９′，９６′を有し、
   該移動部材は該移動部材と該棒との間を通る該流
   体の漏れを防止し、該移動部材は、該軸線方向に
   変形可能であり該棒を取り囲む密封部材１８，７
   ８，１８′，７８′に接続され、該密封部材は該本
   体に接続されて、該室内から該室の外側まで該棒
   と該本体との間を通つて漏れる該流体を収容する
   ための可変容量空間９０，９０′を該棒と該密封
   部材と該本体と該移動部材との間に形成する事を
   特徴とする、作動アクチユエータ。 ２ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該棒は、該移動部材の該棒上で
   の該棒の軸線方向における移動量を制限するため
   の、該移動部材と当たる衝当面６９を有する、流
   体作動アクチユエータ。 ３ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該密封部材は、該移動部材の該
   本体に対する該棒の軸線方向における移動量を制
   限するための、該移動部材と当たる衝当面９２′，
   ９４′を有する、流体作動アクチユエータ。 ４ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該移動部材は、弾性部材７６に
   より該本体に向けて付勢される、流体作動アクチ
   ユエータ。 ５ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該可変容量空間内の過大圧力
   は、弁７９，７９′により開放される、流体作動
   アクチユエータ。 ６ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該密封部材は、該軸線方向に変
   形可能な蛇腹７８，７８′と、変形不可能な部材
   １８，１８′との組合せで構成される、流体作動
   アクチユエータ。 ７ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該可変容量空間内の圧力による
   該移動部材を該本体から離そうとする力が、該抵
   抗力より大きいとき、該移動部材は該本体から離
   れるように該棒上で移動する、流体作動アクチユ
   エータ。 ８ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該抵抗力は、該移動部材と該棒
   との間に発生する摩擦力である、流体作動アクチ
   ユエータ。 ９ 特許請求の範囲第１項による流体作動アクチ
   ユエータであり、該棒と該本体との間には、それ
   らの間の摩擦を防止する流体軸受３８，３９，３
   ８′，３９′が配置される、流体作動アクチユエー
   タ。 １０ 特許請求の範囲第１項による流体作動アク
   チユエータであり、該流体は、非圧縮性である、
   流体作動アクチユエータ。 １１ 特許請求の範囲第４項による流体作動アク
   チユエータであり、該弾性部材による該移動部材
   を該本体に向けて付勢する力が、該抵抗力より大
   きいとき、該移動部材は該本体に向かつて該棒上
   で移動する、流体作動アクチユエータ。 １２ 特許請求の範囲第４項による流体作動アク
   チユエータであり、該弾性部材による該移動部材
   を該本体に向けて付勢する力が、該抵抗力と該可
   変容量空間内の圧力による該移動部材を該本体か
   ら離そうとする力との総和より大きいとき、該移
   動部材は該本体に向かつて該棒上で移動する、流
   体作動アクチユエータ。 １３ 特許請求の範囲第４項による流体作動アク
   チユエータであり、該可変容量空間内の圧力によ
   る該移動部材を該本体から離そうとする力が、該
   抵抗力と該弾性部材による該移動部材を該本体に
   向けて付勢する力との総和より大きいとき、該移
   動部材は該本体から離れるように該棒上で移動す
   る、流体作動アクチユエータ。