JPS61316U - モノリシツクマイクロ波増幅器 - Google Patents

モノリシツクマイクロ波増幅器

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Publication number
JPS61316U
JPS61316U JP8371484U JP8371484U JPS61316U JP S61316 U JPS61316 U JP S61316U JP 8371484 U JP8371484 U JP 8371484U JP 8371484 U JP8371484 U JP 8371484U JP S61316 U JPS61316 U JP S61316U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amplifier
microwave amplifier
monolithic microwave
microwave
semiconductor substrate
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Pending
Application number
JP8371484U
Other languages
English (en)
Inventor
満 石川
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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Publication of JPS61316U publication Critical patent/JPS61316U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のモノリシツクマイクロ，波増幅器におけ
るバランス型増幅器製作に関する工程図、第２図ａは単
体増幅器パターン、第２図ｂはバランス型増幅器パター
ンの一例を示す図、第３図は本考案による単体増幅器か
らバランス型増幅器への変換に関する工程図、第４図は
本考案の一実施例によるマイクロ波増幅器のパターン図
、第５図ａ，ｂは単体増幅器からバランス型増幅器への
変換方法について示したエアブリッジ断面図である。 １〜４は従来のバランス型増幅器開発作業の各工程、５
は入力整合回路、６はＦＥＴ等のトランジスタ部分、７
は出力整合回路、８は半導体基板、９は主線路、１０〜
１３は本考案による単体増幅器からバランス型増幅器へ
の変換作業の各工程、１４は副線路である。 なお、図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示してある。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体基板上に形成されたマイクロ波増幅回路本株と、
    上記半導体基板上に上記マイクロ波増幅回路本体の主線
    路をまたいで設けられ且つ上記とは別にマイクロ波増幅
    回路を有する副線路とを備え、前記副線路はバランス型
    増幅器を実現する必要がある時に、上記主線路に対して
    押圧して接触させ得るように構成したことを特徴とする
    モノリシツクマイクロ波増幅器。
JP8371484U 1984-06-06 1984-06-06 モノリシツクマイクロ波増幅器 Pending JPS61316U (ja)

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JP8371484U JPS61316U (ja) 1984-06-06 1984-06-06 モノリシツクマイクロ波増幅器

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JPS61316U true JPS61316U (ja) 1986-01-06

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