JPS6130723A - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
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- JPS6130723A JPS6130723A JP15376984A JP15376984A JPS6130723A JP S6130723 A JPS6130723 A JP S6130723A JP 15376984 A JP15376984 A JP 15376984A JP 15376984 A JP15376984 A JP 15376984A JP S6130723 A JPS6130723 A JP S6130723A
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- Japan
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- beam splitter
- light
- optical system
- reflecting mirror
- splitter
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4532—Devices of compact or symmetric construction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、フーリエ変換赤外分光光度計に使用して最適
なマイケルソン型の干渉計に関する。
なマイケルソン型の干渉計に関する。
［従来技術］
第５図はフーリエ変換赤外分光方法に使用されるマイケ
ルソン型干渉計を示しており、入射赤外光ＩＲは、ビー
ムスプリッタ１によって分割させられる。該ビームスプ
リッタ１によって反射した赤外光は固定反射鏡２によっ
て反射され、再び該ビームスプリッタ１に入射する。該
ビームスプリッタ１を透過した赤外光は、移動反射鏡３
によって反射され、再び該ビームスプリッタに入射する
。
ルソン型干渉計を示しており、入射赤外光ＩＲは、ビー
ムスプリッタ１によって分割させられる。該ビームスプ
リッタ１によって反射した赤外光は固定反射鏡２によっ
て反射され、再び該ビームスプリッタ１に入射する。該
ビームスプリッタ１を透過した赤外光は、移動反射鏡３
によって反射され、再び該ビームスプリッタに入射する
。
該反射鏡２．３によって反射された赤外光は、該ビーム
スプリッタ１上で干渉するが、該干渉光は、試料セル４
に照射された後、図示しない検出器によって検出される
。ここで、移動反射鏡３とビームスプリッタ１との間の
光路上、ビームスプリッタ１からの距離が、ビームスプ
リッタ１ど固定反射鏡２どの間の距離に等しい位置を基
点Ｐとし、該基点Ｐから移動反射鏡３までの距離をＸと
すると、ｘ＝Ｑからｘ＝ｍまで移動反ｌ）ｌ＠を移動さ
せ、その間、干渉光を検出ずれば、ｘ＝Ｑのところでピ
ークを有する所謂インクフェログラムが得られる。
スプリッタ１上で干渉するが、該干渉光は、試料セル４
に照射された後、図示しない検出器によって検出される
。ここで、移動反射鏡３とビームスプリッタ１との間の
光路上、ビームスプリッタ１からの距離が、ビームスプ
リッタ１ど固定反射鏡２どの間の距離に等しい位置を基
点Ｐとし、該基点Ｐから移動反射鏡３までの距離をＸと
すると、ｘ＝Ｑからｘ＝ｍまで移動反ｌ）ｌ＠を移動さ
せ、その間、干渉光を検出ずれば、ｘ＝Ｑのところでピ
ークを有する所謂インクフェログラムが得られる。
第６図は他の型の干渉計を示しており、入射赤外光ＩＲ
は、ビームスプリッタ５によって分割させられる。該ビ
ームスプリッタ５によって反射された光は、反射鏡６に
よって反射され、固定反射鏡７に入射する。該固定反射
鏡７によって反射された光は、反射１６によって反射さ
れ、ビームスプリッタ５に再入射する。該ビームスプリ
ッタ５を透過した光は、固定反射鏡８によって反射され
、ビームスプリッタ５に再入射する。該画定反射鏡７と
８によって反射された光がビームスプリッタ５上で干渉
する。該干渉光は、反射鏡９によって反射され、図示し
ていない試料セルに照射される。
は、ビームスプリッタ５によって分割させられる。該ビ
ームスプリッタ５によって反射された光は、反射鏡６に
よって反射され、固定反射鏡７に入射する。該固定反射
鏡７によって反射された光は、反射１６によって反射さ
れ、ビームスプリッタ５に再入射する。該ビームスプリ
ッタ５を透過した光は、固定反射鏡８によって反射され
、ビームスプリッタ５に再入射する。該画定反射鏡７と
８によって反射された光がビームスプリッタ５上で干渉
する。該干渉光は、反射鏡９によって反射され、図示し
ていない試料セルに照射される。
ここで、該ビームスプリッタ５２反射鏡６，９は回転台
１０上に固定されており、該回転台１０を図示していな
い駆動機構によって回転させることにより、一体となっ
て回転する。該回転に伴い、反射鏡６と７との間の光路
長が変化し、それに伴う干渉光を検出すれば、インクフ
ェログラムが得られる。
１０上に固定されており、該回転台１０を図示していな
い駆動機構によって回転させることにより、一体となっ
て回転する。該回転に伴い、反射鏡６と７との間の光路
長が変化し、それに伴う干渉光を検出すれば、インクフ
ェログラムが得られる。
［発明が解決しようとする問題点］
得られたインクフェログラムについて、フーリエ変換処
理を行えば、試料の赤外吸収スペクトルを得ることがで
きるが、フーリエ変換によって正確なスペクトルを得る
ためには、第５図の構成では、移動反射鏡の移動距離を
長くする必要がある。
理を行えば、試料の赤外吸収スペクトルを得ることがで
きるが、フーリエ変換によって正確なスペクトルを得る
ためには、第５図の構成では、移動反射鏡の移動距離を
長くする必要がある。
ところで移動反射鏡の反射面は、固定反射鏡によって反
射された赤外光と、移動反射鏡によって反射された赤外
光との干渉性を良好に維持するために、常に移動の方向
に垂直に保たれる必要がある。
射された赤外光と、移動反射鏡によって反射された赤外
光との干渉性を良好に維持するために、常に移動の方向
に垂直に保たれる必要がある。
該移動距離が短い場合には、該反射面を垂直に維持する
ことは比較的容易であるものの、該距離が長くなるに従
って、反射面の垂直度の維持は加速度的に困難になる。
ことは比較的容易であるものの、該距離が長くなるに従
って、反射面の垂直度の維持は加速度的に困難になる。
又、該距離を長くするためには、移動反射鏡を支持する
軸受けや駆動機構が、必然的に大型となり、干渉計自体
も大型とならざるを得ない。又、実際の装置では、移動
反射鏡３は往復移動させられるが、その際、かなりの質
量の反射鏡を停止２反転させるエネルギが必要となり、
高速での反９Ａ鏡の往復移動は困難となる。
軸受けや駆動機構が、必然的に大型となり、干渉計自体
も大型とならざるを得ない。又、実際の装置では、移動
反射鏡３は往復移動させられるが、その際、かなりの質
量の反射鏡を停止２反転させるエネルギが必要となり、
高速での反９Ａ鏡の往復移動は困難となる。
第６図の構成では、回転機構によって光路長を変化させ
るようにしている。その結果、回転台１０の軸受は、直
線摺動軸受に比べて精度の良いものが作り易く、又、光
路長は回転角θによって変化するが、このθを大きくし
ても、軸受製作上の困難さが増すことはない。更に、固
定反射鏡７へ入射する光は、ビームスプリッタ５と反射
鏡６との２枚鏡によって反射された光であるために、回
転台１０の回転軸精度が悪くとも、該固定反射鏡への光
の大剣角度は変化せず、測定に影響を及ぼすことが少な
い。しかじな゛がら、この第６図の構成でも一実際の測
定状態では、回転台１０は往復回転させられ、かなりの
質量の回転台の停止９反転に大きなエネルギが必要とな
る。又、干渉計外部への光取り出し用の鏡９も一体とな
って回転しているため、θの変化に伴って反射鏡９によ
って反射される光の中心位置も平行移動し、その後の光
路の設定に困難さが生じる。
るようにしている。その結果、回転台１０の軸受は、直
線摺動軸受に比べて精度の良いものが作り易く、又、光
路長は回転角θによって変化するが、このθを大きくし
ても、軸受製作上の困難さが増すことはない。更に、固
定反射鏡７へ入射する光は、ビームスプリッタ５と反射
鏡６との２枚鏡によって反射された光であるために、回
転台１０の回転軸精度が悪くとも、該固定反射鏡への光
の大剣角度は変化せず、測定に影響を及ぼすことが少な
い。しかじな゛がら、この第６図の構成でも一実際の測
定状態では、回転台１０は往復回転させられ、かなりの
質量の回転台の停止９反転に大きなエネルギが必要とな
る。又、干渉計外部への光取り出し用の鏡９も一体とな
って回転しているため、θの変化に伴って反射鏡９によ
って反射される光の中心位置も平行移動し、その後の光
路の設定に困難さが生じる。
従って、本発明の主目的は、往復移動機構を設ける必要
なく、ビームスプリッタによって分割された一方の光路
の長さを繰返し変化させることのできる干渉計を提供す
ることである。
なく、ビームスプリッタによって分割された一方の光路
の長さを繰返し変化させることのできる干渉計を提供す
ることである。
［問題点を解決するための手段］
本発明に基づく干渉計は、光をビームスプリッタによっ
て２種の光に分割し、該分割された夫々の光を反射鏡に
よって反射させ、該反射された光を該ビームスプリッタ
上にて干渉させるように構成□した干渉計において、該
ビームスプリッタと、該ビームスプリッタによって分割
された一方の光を反射させる反射鏡との間の光路に、複
数の反射面を有し、その入射光と出射光とが平行になる
光学系を配置し、該光学系を、該ビームスプリッタから
光学系に入射する光の軸に対し、傾いた軸の回りに回転
させるように構成したことを特徴としている。
て２種の光に分割し、該分割された夫々の光を反射鏡に
よって反射させ、該反射された光を該ビームスプリッタ
上にて干渉させるように構成□した干渉計において、該
ビームスプリッタと、該ビームスプリッタによって分割
された一方の光を反射させる反射鏡との間の光路に、複
数の反射面を有し、その入射光と出射光とが平行になる
光学系を配置し、該光学系を、該ビームスプリッタから
光学系に入射する光の軸に対し、傾いた軸の回りに回転
させるように構成したことを特徴としている。
［実施例］
以下、本発明の実施例を添削図面に基づいて詳述する。
第１図（ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施例を示してい
るが、第１図（ｂ）は第１Ｎ−（ａ）１．ｍ示した構成
の斜視図、第１図（ｄ）は、第１図（Ｃ）に示した構成
の斜視図である。この第１図において、入射光ＩＲはビ
ームスプリッタ１１によって２光束に分割される。該ビ
ームスプリッタ１１によって反射された光は、固定反射
鏡１２によって反射され、該ビームスプリッタ１１に再
入射する。該ビームスプリッタ１１を透過した光は、回
転台１３上に配置された反射鏡１４．１５によって反射
され、固定鏡１６に入射する。ここで、該ビームスプリ
ッタ１１を透過した光と該固定鏡１６に入射した光は平
行となっている。該固定鏡１６によって反射された光は
、該反射鏡１５．１４によって反射され、該ビームスプ
リッタ１１に再入射する。該ビームスプリッタに再入射
した２種の光は干渉され、干渉光■しは図示しない試料
セルに照射される。
るが、第１図（ｂ）は第１Ｎ−（ａ）１．ｍ示した構成
の斜視図、第１図（ｄ）は、第１図（Ｃ）に示した構成
の斜視図である。この第１図において、入射光ＩＲはビ
ームスプリッタ１１によって２光束に分割される。該ビ
ームスプリッタ１１によって反射された光は、固定反射
鏡１２によって反射され、該ビームスプリッタ１１に再
入射する。該ビームスプリッタ１１を透過した光は、回
転台１３上に配置された反射鏡１４．１５によって反射
され、固定鏡１６に入射する。ここで、該ビームスプリ
ッタ１１を透過した光と該固定鏡１６に入射した光は平
行となっている。該固定鏡１６によって反射された光は
、該反射鏡１５．１４によって反射され、該ビームスプ
リッタ１１に再入射する。該ビームスプリッタに再入射
した２種の光は干渉され、干渉光■しは図示しない試料
セルに照射される。
上述した如き構成において、第１図（ａ）の配置から、
回転台１３を、反射鏡１４に入射する光の光軸に対して
角度φ傾【プられた軸Ｓを中心として回転させると、反
射鏡１４に対するビームスプリッタ１１から入射する光
の大剣角度は変化する。
回転台１３を、反射鏡１４に入射する光の光軸に対して
角度φ傾【プられた軸Ｓを中心として回転させると、反
射鏡１４に対するビームスプリッタ１１から入射する光
の大剣角度は変化する。
該Ｓ軸の回りの回転台１３の回転角θが１８０゜となっ
た時、該反射鏡１４が入射光の光軸となす角度は、第１
図の状態から２φ変化し、第１図（Ｃ）の状態となる。
た時、該反射鏡１４が入射光の光軸となす角度は、第１
図の状態から２φ変化し、第１図（Ｃ）の状態となる。
第１図（Ｃ）の状態を、第１図（ａ）の状態に対して比
較すると、ビームスプリッタ１１と反射鏡１４との間の
光路長には殆ど変化がないものの、反射鏡１５と固定反
射鏡１６との間の光路長は長くされ、結果として、ビー
ムスプリッタ１１から固定鏡１６の間の光路長は長くさ
れる。このように、２枚の反射鏡を載置した回転台１３
の回転により、ビームスプリッタ１１によって分割され
／ｊ一方の光の光路長は変化させられる。ここで、回転
台１３を往復移動させることなく、連続して同一方向に
回転させれば、第１図（ａ＞、（Ｃ）の状態を繰返し出
現させることができる。すなわち、第１図（Ｃ）の状態
から角度θを更に１８０°回転させれば、再び第１図（
ａ）の状態となる。
較すると、ビームスプリッタ１１と反射鏡１４との間の
光路長には殆ど変化がないものの、反射鏡１５と固定反
射鏡１６との間の光路長は長くされ、結果として、ビー
ムスプリッタ１１から固定鏡１６の間の光路長は長くさ
れる。このように、２枚の反射鏡を載置した回転台１３
の回転により、ビームスプリッタ１１によって分割され
／ｊ一方の光の光路長は変化させられる。ここで、回転
台１３を往復移動させることなく、連続して同一方向に
回転させれば、第１図（ａ＞、（Ｃ）の状態を繰返し出
現させることができる。すなわち、第１図（Ｃ）の状態
から角度θを更に１８０°回転させれば、再び第１図（
ａ）の状態となる。
第２図（ａ）は、本発明の他の実施例を示しており、第
２図（ｂ）は第２図（ａ）の斜視図である。この実施例
において、第１図の実施例と同一構成要素には、同一番
号を付してその詳細な説明は省略する。この実施例にお
いては、ビームスプリッタ１１を透過した光は、固定反
射鏡２１の中心部に設けられた開口を通ってキューブコ
ーナ２２に入射する。該キューブコーナ２２の反射面２
２ａ、２２ｂによって入射光は反射され、入射光と平行
にされて固定反射鏡２１に入射する。該固定反射鏡によ
って反射された光は、キューブコーナ２２によって反則
され、該固定反射鏡の開口を通ってビームスプリッタ１
１に再入射する。該キューブコーナ２２は、入射光の光
軸と角度φ傾【プられた軸Ｓの回りに回転させられ、第
１図の実施例と同様に、連続した回転によって、ビーム
スプリッタ１１によって分割された一方の光路長を周期
的に変化させることができる。
２図（ｂ）は第２図（ａ）の斜視図である。この実施例
において、第１図の実施例と同一構成要素には、同一番
号を付してその詳細な説明は省略する。この実施例にお
いては、ビームスプリッタ１１を透過した光は、固定反
射鏡２１の中心部に設けられた開口を通ってキューブコ
ーナ２２に入射する。該キューブコーナ２２の反射面２
２ａ、２２ｂによって入射光は反射され、入射光と平行
にされて固定反射鏡２１に入射する。該固定反射鏡によ
って反射された光は、キューブコーナ２２によって反則
され、該固定反射鏡の開口を通ってビームスプリッタ１
１に再入射する。該キューブコーナ２２は、入射光の光
軸と角度φ傾【プられた軸Ｓの回りに回転させられ、第
１図の実施例と同様に、連続した回転によって、ビーム
スプリッタ１１によって分割された一方の光路長を周期
的に変化させることができる。
第３図の実施例では、第１図の実施例と類似しており、
この実施例では、第１図の実施例の反射鏡１４．１５に
代え、全反則プリズム３１の２面を反射面として使用し
ている。この実施例では、単一のプリズム３１を回転さ
せるようにしているため、回転の途中で反射面の相対的
な位置が変化することがない。
この実施例では、第１図の実施例の反射鏡１４．１５に
代え、全反則プリズム３１の２面を反射面として使用し
ている。この実施例では、単一のプリズム３１を回転さ
せるようにしているため、回転の途中で反射面の相対的
な位置が変化することがない。
第４図の実施例は、第１図の実施例と構成は殆ど同じで
あるが、反射鏡１４に入射する光の光軸と、反射鏡１４
，１５の回転軸Ｓとが交わる部分が反射鏡１４から離さ
れている。この結果、該反射鏡の回転による光路長の変
化を第１図の実施例に比べて大きくすることがＣきる。
あるが、反射鏡１４に入射する光の光軸と、反射鏡１４
，１５の回転軸Ｓとが交わる部分が反射鏡１４から離さ
れている。この結果、該反射鏡の回転による光路長の変
化を第１図の実施例に比べて大きくすることがＣきる。
尚、」二）ホした実施例では、回転する光学系によつで
光を２回反射させるように構成したが、光を３回以上反
射させる光学系を用いても良い。
光を２回反射させるように構成したが、光を３回以上反
射させる光学系を用いても良い。
［効果］
以上詳述した如く、本発明に基づく干渉計は、ビームス
プリッタと固定反射鏡との間の光路上に複数の反射面を
有した光学系を設番プ、該光学系を回転させるように構
成しているため、従来の回転駆動方式の利点を全て備え
ており、更に、該光学系を連続して同一方向に回転させ
ることによって、光学系の往復移動の必要なく、ビーム
スプリッタによって分割された光の光路長を繰返し変化
させることができる。従って、光路長を変化さぼる駆動
機構を簡単なものとすることができる。
プリッタと固定反射鏡との間の光路上に複数の反射面を
有した光学系を設番プ、該光学系を回転させるように構
成しているため、従来の回転駆動方式の利点を全て備え
ており、更に、該光学系を連続して同一方向に回転させ
ることによって、光学系の往復移動の必要なく、ビーム
スプリッタによって分割された光の光路長を繰返し変化
させることができる。従って、光路長を変化さぼる駆動
機構を簡単なものとすることができる。
第１図乃至第４図は、夫々本発明の一実施例を示す図、
第５図、第６図は、従来の干渉計を示す図である。 １１・・・ビームスプリッタ １２．１６・・・固定反射鏡 １３・・・回転台 １４．１５・・・反射鏡
第５図、第６図は、従来の干渉計を示す図である。 １１・・・ビームスプリッタ １２．１６・・・固定反射鏡 １３・・・回転台 １４．１５・・・反射鏡
Claims (4)
- （１）光をビームスプリッタによつて２方向の光に分割
し、該分割された夫々の光を反射鏡によって反射させ、
該反射された光を該ビームスプリッタ上にて干渉させる
ように構成した干渉計において、該ビームスプリッタと
、該ビームスプリッタによつて分割された一方の光を反
射させる反射鏡との間の光路に、複数の反射面を有し、
その入射光と出射光とが平行になる光学系を配置し、該
光学系を、該ビームスプリッタから光学系に入射する光
の軸に対し、傾いた軸の回りに回転させるように構成し
た干渉計。 - （２）該光学系は、２枚の反射鏡より成る特許請求の範
囲第１項記載の干渉計。 - （３）該光学系は、全反射プリズムである特許請求の範
囲第１項記載の干渉計。 - （４）該光学系はキューブコーナであり、該ビームスプ
リッタによつて分割された一方の光は、固定反射鏡の中
心部の開口を通つて該キューブコーナに入射して反射さ
れ、該固定反射鏡の反射面によつて反射される特許請求
の範囲第１項記載の干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15376984A JPS6130723A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15376984A JPS6130723A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130723A true JPS6130723A (ja) | 1986-02-13 |
| JPH0352817B2 JPH0352817B2 (ja) | 1991-08-13 |
Family
ID=15569731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15376984A Granted JPS6130723A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130723A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010175719A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Brother Ind Ltd | 現像剤カートリッジおよびその製造方法ならびに画像形成装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60157027A (ja) * | 1983-12-22 | 1985-08-17 | ドイチエ、フオルシユンクス・ウント・フエルザハザンシユタルト、ヒユール、ルフト・ウント・ラオムフアールト、アインゲトウラゲナー、ヘライン | マイケルソン原理による干渉計 |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15376984A patent/JPS6130723A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60157027A (ja) * | 1983-12-22 | 1985-08-17 | ドイチエ、フオルシユンクス・ウント・フエルザハザンシユタルト、ヒユール、ルフト・ウント・ラオムフアールト、アインゲトウラゲナー、ヘライン | マイケルソン原理による干渉計 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010175719A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Brother Ind Ltd | 現像剤カートリッジおよびその製造方法ならびに画像形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0352817B2 (ja) | 1991-08-13 |
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