JPS61293227A - Production of s-triazine ring-containing soluble polyimidesiloxane precursor - Google Patents

Production of s-triazine ring-containing soluble polyimidesiloxane precursor

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JPS61293227A
JPS61293227A JP13546685A JP13546685A JPS61293227A JP S61293227 A JPS61293227 A JP S61293227A JP 13546685 A JP13546685 A JP 13546685A JP 13546685 A JP13546685 A JP 13546685A JP S61293227 A JPS61293227 A JP S61293227A
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JP
Japan
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formula
reaction
group
formulas
tables
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Application number
JP13546685A
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Japanese (ja)
Inventor
Koichi Kunimune
国宗 弘一
Shiro Konotsune
此常 四郎
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JNC Corp
Original Assignee
Chisso Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain the title precursor excellent in workability, storage stability and adhesiveness, by reacting a tetracarboxylic acid dianhydride with a guanamine, a diamine and an aminosilicon compound and reacting the product with a silylating agent. CONSTITUTION:A mol of tetracarboxylic acid dianhydride of formula I, B mol of a guanamine of formula II, E mol of a diamine of formula III and D mol of an aminosilicon compound are prepared in such amounts that the relationships V, VI and VII may hold among A, B, E and D. These compounds are reacted with each other at 0-60 deg.C for 0.2-6hr in the presence of a solvent. A silylating agent of formula IX in an amount of F mol in the range represented by the formula VIII is added to the reaction system and he mixture is reacted at 60-20 deg.C for 0.5-30hr to obtain the purpose precursor of an intrinsic viscisity as measured in a solvent at 30+ or -0.01 deg.C and a concentration of 0.5wt% of 0.05-5g/dl. In the formulas, R<1> is a tetravalent carbocyclic aromatic group, R2 is a 2-12C aliphatic group or the like, R<6> is -(CH2)8- or the like, R<7>, R<11>, R<12> and R<13> are each a 1-6C alkyl, etc., X<1> and X<2> are each alkoxy or the like and 1<=k<=3.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は8−トリアジン環を有するポリイミドシロキサ
ンの新規な前駆体の製造法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a method for producing a novel precursor of polyimidosiloxane having an 8-triazine ring.

〔従来の技術と問題点〕[Conventional technology and problems]

従来、ポリイミド樹脂は電子機器分野における保護材料
、絶縁材料、接着材として、或はフィルム、構造材とし
て主に耐熱性の面から広く用いられている。その利用方
法は多くの場合、環化した重合体となる前の前駆体のま
ま対象物に塗布してから焼成してイミド化を完成させる
と共に架橋させる方法によっており、焼成後の上記の如
き種々な機能、効果を向上させるための様々な提案がな
されている。しかしながら、このような従来の技術は現
在の如く多様化、個性化及び高級化したニーズを必ずし
も充分に満足させるものとは言えない。
Conventionally, polyimide resins have been widely used as protective materials, insulating materials, adhesive materials, films, and structural materials in the field of electronic equipment, mainly from the viewpoint of heat resistance. In many cases, the method of using it is to apply it to the target object as a precursor before becoming a cyclized polymer, and then bake it to complete imidization and crosslink it. Various proposals have been made to improve the functions and effects. However, such conventional techniques cannot necessarily fully satisfy the current diversified, individualized, and sophisticated needs.

例えば、電子材料用のポリイミド前駆体として従来使用
されているポリアミド酸は、その溶液を基月に塗布して
イミド化させて硬化させるが、使用上次のような種々の
欠点があった。すなわち焼成時の温度が300〜400
℃と高温を要するため基材の耐熱温度を越えることがあ
ること、更に塗布対象のシリコンクエハーヤカラスとの
接着性が不十分であること、さらに保存時の経時安定性
が劣ること等の問題点があった。
For example, polyamic acid, which has been conventionally used as a polyimide precursor for electronic materials, is cured by applying a solution thereof to a substrate and imidizing it, but there are various disadvantages in its use as described below. That is, the temperature during firing is 300 to 400
℃, which may exceed the heat resistance temperature of the base material, insufficient adhesion to the silicone coating target, and poor stability over time during storage. There was a problem.

上記問題点のうち接着性を改善するものとしてシリコン
化合物との共重合体が多く提案されている。例えば特開
昭57−143328号、特開昭58−7473号、及
び特開昭58−.13631号には、原料であるジアミ
ン成分の一部をジアミンで両末端を停止したポリシロギ
サンで置き換えて得られるポリイミド前駆体を使用して
ポリイミド−シロキサン共重合体とする技術が提案され
ている。しかしながらこの場合、成る程度の接着性の改
善は見られるのに引き換え、共重合体中のシロキサン含
量の増加と共に重合度が小さくなって塗膜形成能が低下
するという問題点があった。
Many copolymers with silicon compounds have been proposed to improve the adhesion of the above-mentioned problems. For example, JP-A-57-143328, JP-A-58-7473, and JP-A-58-. No. 13631 proposes a technique for producing a polyimide-siloxane copolymer using a polyimide precursor obtained by replacing a part of the diamine component as a raw material with polysilogysane terminated at both ends with diamine. However, in this case, although a certain degree of improvement in adhesion was observed, there was a problem in that as the siloxane content in the copolymer increased, the degree of polymerization decreased and the ability to form a coating decreased.

また、特公昭58−32 ]、 62号及び特公昭58
−32163号にはテトラカルボン酸二無水物等の適当
なカルボン酸誘導体とジアミンとを反応させて酸無水物
等の末端基を有するポリアミドカルボン酸を生成せしめ
た後、このポリアミドカルボン酸とアミノクリコン化合
物とを一20″Cないし+50℃で反応させることによ
ってけい素を含有するポリアミドカルボン酸プレポリマ
ーを得、このプレポリマーをイミド化しないままか、イ
ミド化するにしても脱水剤の存在下の穏和な条件下(低
温好ましくは50℃以下、とりわけ−20゛Cないし+
25℃)で化学的に環化(イミド化)して有機けい素炭
性ポリイミド前駆体を得、この前駆体を溶液状態でシラ
ンジオールもしくはシロキサンジオールの存在下または
不存在下で加熱してイミド化の完成と共に架橋せしめて
ポリイミドシロキサンとする技術が開示されている。し
かしながら、このボリイミドシロキサン前駆体は、従来
のポリアミドカルボン酸を主成分とするポリイミド前駆
体と同様にイミド化するために約200℃以上最高35
0℃に達する高温での焼成を必要とし、前記得られた環
化物前駆体はけい素含量が大きいと塗膜形成能が劣り、
けい素含量が小さいとシリコンウェハーやガラスとの接
着性が劣り、また予めイミド化したポリイミドシロキサ
ン前駆体を製造する場合に脱水剤存在下の低温処理によ
る環化では長時間を要して、実際的でなく、逆に加熱に
より環化を促進させると溶液全体がゲル化し流動性全失
う等の問題点を有している。
Also, Special Publication No. 58-32], No. 62 and Special Publication No. 58
-32163, a suitable carboxylic acid derivative such as tetracarboxylic dianhydride is reacted with a diamine to form a polyamide carboxylic acid having a terminal group such as an acid anhydride, and then this polyamide carboxylic acid and aminocricon A silicon-containing polyamide carboxylic acid prepolymer is obtained by reacting the silicon-containing polyamide carboxylic acid prepolymer with a compound at -20"C to +50°C, and the prepolymer is either left unimidized or imidized in the presence of a dehydrating agent. Under mild conditions (low temperature preferably below 50°C, especially -20°C to +
Chemically cyclize (imidize) at 25°C) to obtain an organosilicon carbonaceous polyimide precursor, and heat this precursor in solution in the presence or absence of silane diol or siloxane diol to form imide. A technique for crosslinking the polyimide siloxane upon completion of the chemical reaction is disclosed. However, in order to imidize this polyimide siloxane precursor, which is similar to conventional polyimide precursors whose main component is polyamide carboxylic acid, the polyimide siloxane precursor is
It requires firing at a high temperature reaching 0°C, and if the obtained cyclized precursor has a high silicon content, it has poor coating film forming ability.
If the silicon content is low, the adhesion to silicon wafers and glass will be poor, and when producing pre-imidized polyimide siloxane precursors, cyclization by low-temperature treatment in the presence of a dehydrating agent will take a long time, making it difficult to actually On the contrary, if the cyclization is accelerated by heating, the entire solution becomes gelatinous and fluidity is completely lost.

さらに一般にポリアミドフエスはその含有するポリマー
がポリアミド酸の場合経時的に粘度低下を起し、また前
記特公昭58−32162号及び特公昭58−3216
3号等の場合には逆に経時的に粘度上昇を起こす等その
保存安定性に劣るものである。
Furthermore, in general, when the polymer contained in polyamide foam is polyamic acid, the viscosity decreases over time.
On the contrary, in the case of No. 3 etc., the viscosity increases over time and the storage stability is poor.

上記の如〈従来の技術には種々の問題点があり、従って
半導体の表面保護、多層配線層間絶縁膜あるいは液晶配
向剤などに適するように、適尚な溶媒に可溶であり、溶
液状態では粘度が適度で良好な作業性を与え、比較的低
温且つ短時間で焼成硬化させることができ、良好な塗膜
形成能を有し、保存安定性に優れ、そしてシリコンウェ
ハーやガラス等との接着性の良いポリイミド樹脂を与え
る前駆体の開発が要望されていた。
As mentioned above, there are various problems with the conventional technology. It has a moderate viscosity and provides good workability, can be baked and cured at relatively low temperatures and in a short time, has good film forming ability, has excellent storage stability, and has good adhesion to silicon wafers, glass, etc. There was a demand for the development of a precursor that would give a polyimide resin with good properties.

C問題点を解決するための手段〕 本発明は、上記従来技術の問題点を解決して上記要望を
満たすための手段であって下記の式(1)で表わされる
テトラカルボン酸二無水物Aモル、式(2)で表わされ
るグアナミン類Bモル、式(3)で表わされるジアミン
Eモル及び式(4)で表わされるアミンシリコン化合物
Dモル”iA、B。
Means for Solving Problem C] The present invention is a means for solving the problems of the above-mentioned prior art and satisfying the above-mentioned needs, and is a means for solving the above-mentioned problems of the prior art, and is a means for solving the above-mentioned problems of the prior art. mole, guanamine B mole represented by formula (2), diamine E mole represented by formula (3), and amine silicon compound D mole represented by formula (4)"iA, B.

E、D間に式(5)、式(6)及びはは式(7)の関係
を存在せしめ、溶媒の存在下に0〜60℃の温度で0.
2〜6時間反応を行なった後、式(8)で示される範囲
にあるFモルの式(9)で表わされるシリル化剤を添加
し、60℃以上200°cl下の温度で0.5〜30時
間反応させることにより溶媒中温度30±0,01℃1
濃度0.5重量%で測定された固有粘度0.05〜5y
7rttのs−)リアジン環を有し、イミド化された可
溶性ポリイミドシロキサン前駆体の製造法である。
The relationships of formula (5), formula (6), and formula (7) are made to exist between E and D, and 0.
After carrying out the reaction for 2 to 6 hours, F mole of the silylating agent represented by the formula (9) in the range shown by the formula (8) is added, and 0.5 By reacting for ~30 hours, the temperature in the solvent was 30±0.01℃1.
Intrinsic viscosity 0.05-5y measured at a concentration of 0.5% by weight
This is a method for producing an imidized soluble polyimide siloxane precursor having a 7rtt s-) riazine ring.

R” NH,−R2−NH,・・・・・(3)NHt−R’−
8iR’g−kX’に@ j + $ 1 (4)2A
 藁2B+2E十D    ・・・・・ (7)0≦」
二≦1  ・・・自(8) k R11R11ilR13SiX2    ・・・・・(
9)c式(1)〜(4)及び(9)に於いてRtは4価
の炭素環式芳香族基を表わし、R2は炭素数2〜12個
の脂肪族基、炭素数4〜30個の脂環式基、炭素数6〜
30個の芳香脂肪族基、炭素数6〜30個の炭素環式芳
香族基または次式〇〇1を表わし くただしR″は−(−CHzす、4CH,片イy、+c
ntqoイyまたは−6であり(ただしここに3は1〜
4の整数を示す。)、R3及びR4は独立に炭素数1〜
6のアルキル基、フェニル基または炭素数7〜12個の
アルキル置喚フェニル基を表わしtは1≦t≦100の
値をとる。)、R6はR9とは独立に+CH1+−1+
Cn、入(ン、+CHtqOflまたはインであり(た
だしSは1〜4の整数を示す。)、R7、R口、R12
及びR13は独立に炭素数1〜6のアルキル基、7工ニ
ル基または炭素数7〜12個のアルキル置換フェニル基
を表わし、11Gは炭素数8以下の脂肪族基、芳香脂肪
族基または水素を表わし、Xl及びX2は独立にアルコ
キシ基、アセトキシ基、ハロゲンまたは水酸基を表わし
、kは1≦に≦3の値をとる。〕 本発明の原料について説明する。
R" NH, -R2-NH, ... (3) NHt-R'-
8iR'g-kX' @ j + $ 1 (4) 2A
Straw 2B+2E10D... (7) 0≦"
2≦1 ...self (8) k R11R11ilR13SiX2 ......(
9) c In formulas (1) to (4) and (9), Rt represents a tetravalent carbocyclic aromatic group, R2 is an aliphatic group having 2 to 12 carbon atoms, and 4 to 30 carbon atoms. alicyclic group, carbon number 6~
Represents 30 aromatic aliphatic groups, carbocyclic aromatic groups having 6 to 30 carbon atoms, or the following formula
ntqo y or -6 (however, 3 here is 1 to
Indicates an integer of 4. ), R3 and R4 independently have 1 to 1 carbon atoms
represents an alkyl group of 6, a phenyl group, or an alkyl substituted phenyl group having 7 to 12 carbon atoms, and t takes a value of 1≦t≦100. ), R6 is +CH1+-1+ independently of R9
Cn, 入(n, +CHtqOfl or in (however, S indicates an integer from 1 to 4), R7, R口, R12
and R13 independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a heptadyl group, or an alkyl-substituted phenyl group having 7 to 12 carbon atoms, and 11G is an aliphatic group having 8 or less carbon atoms, an araliphatic group, or hydrogen. , Xl and X2 independently represent an alkoxy group, an acetoxy group, a halogen or a hydroxyl group, and k takes a value of 1≦3. ] The raw materials of the present invention will be explained.

式(1)で表わされるテトラカルボン酸二無水物として
次の化合物を挙げることができる。
Examples of the tetracarboxylic dianhydride represented by formula (1) include the following compounds.

ピロメリット酸二無水物、3.3’、 4.4’−ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、2.2’。
Pyromellitic dianhydride, 3.3', 4.4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2.2'.

3.31−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2、
3.3’、 4’−ビフェニルテトラカルボン酸二ll
l水物、3.3’、 4.4’−ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物、2.3.3’、 4’−ベンゾフ
ェノ/テトラカルボン酸二無水物、2゜2’、3.3’
−ベンゾフェノ/テトラカルボン酸二無水物、ビス(3
,4−ジカルボキシフェール)−エーテルニ無水物、ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェール)−スルホンニ無水
物、1゜2.5.6−ナフタリンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,6.7−ナフタリンテトラカルボン酸二
無水物等。
3.31-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,
3.3',4'-biphenyltetracarboxylic acid dill
l hydrate, 3.3', 4.4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2.3.3', 4'-benzophenone/tetracarboxylic dianhydride, 2°2', 3.3'
-benzopheno/tetracarboxylic dianhydride, bis(3
, 4-dicarboxyphal)-ether dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphal)-sulfone dianhydride, 1°2.5.6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6.7 - Naphthalene tetracarboxylic dianhydride, etc.

また式(2)で表わされるグアナミン類の具体例として
は次の化合物を挙げることができる。
Moreover, the following compounds can be mentioned as specific examples of guanamines represented by formula (2).

グアナミン、メチルグアナミン、エチルグアナミン、プ
ロピルグアナミン、ベンゾグアナミン、トルイルグアナ
ミン等。
Guanamine, methylguanamine, ethylguanamine, propylguanamine, benzoguanamine, toluylguanamine, etc.

次に一般式(3)で表わされるジアミンとしては次の化
合物を挙げることができる。
Next, examples of the diamine represented by the general formula (3) include the following compounds.

4、s’−ジアミノジフェニルエーテル、4゜4′−ジ
アミノジフェニルメタン、4.4’−ジアミノジフェニ
ルスルホン、4.4’−ジアミノジフェニルスルフィド
、4.4’−ジアミノジフェニルチオエーテル、4.4
’−ジ(メタ−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン
、4.4′−シ(ハラ−アミノフェノキシ)ジフェニル
スルホン、オルト−フェニン/シアミン、メタフェニレ
ンジアミン、パラフェニレンジアミン、ベンジジン、2
.2’−ジアミノベンゾフェノン、4゜4′−ジアミノ
ベンゾフェノン、4.4’−ジアミノジフェニル−2,
2′−プロパン、1.5−ジアミノナフタリン、1.8
−ジアミノナフタリン等の芳香族ジアミン、トリメチレ
ンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレン
ジアミン、4.4−ジメチルへブタメチレンジアミン、
2.11−ドデカンジアミン等の脂肪族ジアミン、ビス
(p−アミノフェノキシ)ジメチル7ラン、1.4−ビ
ス(3−アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン等シ
リコン系ジアミン、1.4−ジアミノシクロヘキサン等
の脂環式ジアミン、0−キシリレンジアミン、m−キシ
リレンジアミン等のアミノアルキル置換芳香族化合物。
4, s'-diaminodiphenyl ether, 4゜4'-diaminodiphenylmethane, 4.4'-diaminodiphenylsulfone, 4.4'-diaminodiphenyl sulfide, 4.4'-diaminodiphenyl thioether, 4.4
'-Di(meta-aminophenoxy)diphenylsulfone, 4,4'-di(hala-aminophenoxy)diphenylsulfone, ortho-phenylene/cyamine, metaphenylenediamine, paraphenylenediamine, benzidine, 2
.. 2'-diaminobenzophenone, 4゜4'-diaminobenzophenone, 4.4'-diaminodiphenyl-2,
2'-propane, 1.5-diaminonaphthalene, 1.8
- Aromatic diamines such as diaminonaphthalene, trimethylene diamine, tetramethylene diamine, hexamethylene diamine, 4,4-dimethylhebutamethylene diamine,
2. Aliphatic diamines such as 11-dodecanediamine, silicone diamines such as bis(p-aminophenoxy)dimethyl 7rane, 1,4-bis(3-aminopropyldimethylsilyl)benzene, 1,4-diaminocyclohexane, etc. Aminoalkyl-substituted aromatic compounds such as alicyclic diamine, 0-xylylene diamine, m-xylylene diamine, etc.

また弐〇llで表わされるジアミノポリシロキサンとし
て次の化合物を挙げることができる。
Further, the following compounds can be mentioned as diaminopolysiloxanes represented by 2〇ll.

CH8CH。CH8CH.

OH,CH。OH, CH.

CH3CH。CH3CH.

C*Hs   C,H。C*Hs  C,H.

次に式(4)で表わされるアミノクリコン化合物として
は次の化合物を挙げることができる。
Next, examples of the aminocricone compound represented by formula (4) include the following compounds.

NHt+CHthSi(OCHs)s−NHzfCHt
kSl(OCtHs)s、NHt+ CHt+rSi(
CHs ) (0CHs )t、NH,(−CHt+!
−8i(CHt X 0CtHs )t、MHI% C
H@ %Si(c、H,)(On −CBHI )t 
5NHt”G CHt*5i(OCH3)3、NH,(
CH,虻at(OCIHs)1 sNH,千〇H*+r
Si(CHa X 0CtHs )t、NH,Cン5i
(OCHs)s、h(ン5i(OCtHs)s、NH,
(ンSi (CHa ) (OCHs )t、NHt 
(シSi (CHa ) (OCtHs )t、NHl
CFCHt + Si (OCHs )s、NH,−◎
HCH,汁Si(OCtHg)s等。
NHt+CHthSi(OCHs)s−NHzfCHt
kSl(OCtHs)s, NHt+ CHt+rSi(
CHs ) (0CHs )t, NH, (-CHt+!
-8i(CHtX0CtHs)t, MHI%C
H@%Si(c,H,)(On -CBHI)t
5NHt”G CHt*5i(OCH3)3,NH,(
CH, Ant (OCIHs) 1 sNH, 1,000H*+r
Si(CHaX0CtHs)t,NH,Cn5i
(OCHs)s, h(n5i(OCtHs)s, NH,
(Si (CHa) (OCHs)t, NHt
(Si(CHa)(OCtHs)t,NHl
CFCHt + Si (OCHs)s, NH, -◎
HCH, juice Si(OCtHg)s, etc.

また式(9)で表わされるシリル化剤としては次の化合
物を挙げることができる。
Moreover, the following compounds can be mentioned as the silylating agent represented by formula (9).

(CHs )ssi(0CHs )、(C迅)ssi(
OCtHs)、(CHs)sSi(On−CsHy)s
、(CHs)t(CtHI)Si(OCH8)、(CH
sMCJIs)Sl(OCtHg)、(CHs)asi
OH。
(CHs) ssi(0CHs), (Cxin)ssi(
OCtHs), (CHs)sSi(On-CsHy)s
, (CHs)t(CtHI)Si(OCH8), (CH
sMCJIs)Sl(OCtHg), (CHs)asi
Oh.

(CHs)ssi (OCOCR,)、本発明方法にお
いて上記の原料化合物を溶媒中で反応させるための好ま
しい溶媒(以下反応溶媒と言うことがある)として、N
−メチル−′2−ピロリドン、ジメチルアセトアミド、
ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラ
メチル尿素、ピリジン、ジメチルスルホン、ヘキサメチ
ルホスホルアミド、メチルホルムアミド、N−アセチル
−2−ピロリドン、トルエン、キシレン、メチルセロソ
ルブ、エチルセロンルプ、ブチルセロソルブ、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジメチルエーテル、シクロペンタノン、シクロヘキサ
ノン等の1種又は2種以上を使用でき、また上記溶媒t
l−30重量%以上含有する他の溶媒との混合溶媒とし
ても用いることができる。
(CHs)ssi (OCOCR,), N
-Methyl-'2-pyrrolidone, dimethylacetamide,
Dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, tetramethylurea, pyridine, dimethyl sulfone, hexamethylphosphoramide, methylformamide, N-acetyl-2-pyrrolidone, toluene, xylene, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol One or more types of dimethyl ether, cyclopentanone, cyclohexanone, etc. can be used, and the above solvent t
It can also be used as a mixed solvent with other solvents containing 1-30% by weight or more.

(反応方法〕 次に反応方法について説明する。式(1)で示されるテ
トラカルボン酸二無水物Aモルを、式(2)で示される
グアナミン類Bモル、式(3)で示されるジアミン8モ
ル及び式(4)で表わされるアミノクリコン化合物Dモ
ルと反応溶媒中で反応させる。このときA、B、E及び
Dはそれらの間に式(5)、式(6)及びほぼ式(7)
の関係が存在するように定める。式(5)は得られる可
溶性ポリイミドシロキサン前駆体が半導体用の表面保護
膜として使用したとき、シリコンウェハーやガラスとの
良好な接着性を維持できる範囲を規定するとともに良好
な成膜性及び機械的強度を保つ範囲を規定したものであ
る。
(Reaction method) Next, the reaction method will be explained. A mole of tetracarboxylic dianhydride represented by formula (1), B mole of guanamine represented by formula (2), 8 mole of diamine represented by formula (3) mol and D mol of an aminocricon compound represented by formula (4) in a reaction solvent.At this time, A, B, E and D have formula (5), formula (6) and approximately formula (7) between them. )
It is determined that the following relationship exists. Formula (5) defines the range in which the obtained soluble polyimide siloxane precursor can maintain good adhesion to silicon wafers and glass when used as a surface protective film for semiconductors, and also has good film formability and mechanical properties. This defines the range within which strength can be maintained.

式(6)は8−トリアジン環を有するととkよる物性的
特徴を可溶性ポリイミドシロキサン前駆体に付与するた
めの必要量の範囲を規定したものである。
Formula (6) defines the range of the amount necessary for imparting the physical characteristics to the soluble polyimidosiloxane precursor when it has an 8-triazine ring.

式(7)はグアナミン類、ジアミ/及びアミノクリコン
化合物中の全アミノ基と、テトラカルボン酸二無水物中
め酸無水物の全部とを当量で反応させる場合の関係式で
あるが、必ずしも正確に当量でなくても良く、例えばA
について式(7)で定められるモル数の±10%の範囲
ならば本発明の目的とする前駆体が得られる。「はぼ」
とはこのような意味を表わす。
Formula (7) is a relational formula when all the amino groups in guanamines, diami/aminocricone compounds, and all of the acid anhydride in the tetracarboxylic dianhydride are reacted in equivalent amounts, but it is not necessarily accurate. It does not have to be equivalent to, for example, A
If the number of moles is within the range of ±10% of the number of moles determined by formula (7), the precursor aimed at by the present invention can be obtained. "Habo"
means this.

本発明方法においては溶媒中における各原料の反応の実
施は、テトラカルボン酸二無水物とグアナミン類、ジア
ミン及びアミノシリロン化合物との反応を比較的低温で
行なう第1段階の反応と、第1段階の反応終了後その反
応液(以下第1段階反応終了液と言うことがある。)を
シリル化剤の存在下に比較的高温で加熱して少なくとも
そのとき発生する水と共に反応させる第2段階の反応と
により行う。
In the method of the present invention, the reaction of each raw material in a solvent is carried out in the first step, in which tetracarboxylic dianhydride is reacted with guanamines, diamines, and aminosilylon compounds at a relatively low temperature; After the completion of the reaction, the reaction solution (hereinafter sometimes referred to as the first-stage reaction completion solution) is heated at a relatively high temperature in the presence of a silylating agent to react with at least the water generated at that time. This is done by

反応溶媒の使用量を上記各段階の反応の時点で反応溶媒
とこれに添加した原料との合計量基準で60重量%以上
とすると攪拌操作を容易にするので好ましいが、90r
t量%以上は必要でない。
It is preferable that the amount of the reaction solvent used be 60% by weight or more based on the total amount of the reaction solvent and the raw materials added to it at the time of the reaction in each of the above steps, since this facilitates the stirring operation.
It is not necessary to use more than t amount %.

第1段階の反応は上記の反応溶媒の存在下で0℃以上6
0℃)ス下、好ましくは5℃以上40’O>A下の温度
で0.2〜6時間反応せしめる。具体的にはテトラカル
ポン酸二無水物とグアナミン類、ジアミン及びアミノク
リコン化合物との全部を同時に反応溶媒に加えて反応せ
しめてランダム共重合体を合成することも可能であるが
、添加順序を選択することによシ、よりブロック的構造
を持つ共重合体の合成も可能である。この場合、上記の
4つの原料の添加順には特に制限はないが、第1段階の
反応のステップでアミンシリコン化合物の添加を最後に
した方がより高分子量のポリマーが得られ易い。この第
1段階の反応では上記4つの原料は溶媒に溶解して反応
は比較的速やかに進行し、均一で透明な反応液が生成す
ると反応はほぼ終了しているが、なおしばらくは続行し
て反応の完了を確実にするのが好ましい。その主な反応
は後記する如く両端にアミノクリコン化合物を結合した
ポリアミドカルボン酸(以下中間体Gと言うことがある
)の生成である。
The first stage reaction is carried out in the presence of the above-mentioned reaction solvent at 0°C or higher at 6°C.
0°C), preferably at a temperature of 5°C or above and 40'O>A for 0.2 to 6 hours. Specifically, it is possible to synthesize a random copolymer by adding all of the tetracarboxylic dianhydride, guanamines, diamines, and aminocricone compounds to the reaction solvent at the same time and reacting them, but the order of addition is selected. In particular, it is also possible to synthesize copolymers with a more block-like structure. In this case, there is no particular restriction on the order in which the four raw materials are added, but it is easier to obtain a polymer with a higher molecular weight if the amine silicon compound is added last in the first reaction step. In this first stage reaction, the above four raw materials are dissolved in the solvent and the reaction progresses relatively quickly, and when a homogeneous and transparent reaction liquid is produced, the reaction is almost complete, but it will continue for a while. It is preferred to ensure completion of the reaction. The main reaction is the production of polyamide carboxylic acid (hereinafter sometimes referred to as intermediate G) having an aminocricone compound bonded to both ends, as described later.

第2段階の反応は上記fs1段階の反応終了後、式(8
)で示される範囲にあるFモルの式(9)で表わされる
シリル化剤の存在下に、第1段階の反応温度から更に上
昇せしめて60℃以上200℃メ丁の温度で0.5〜3
0時間加熱し、その時に発生する水を含めて中間体Gの
末端にちるアミンシリコン化合物のXi及びシリル化剤
のX2の加水分解に有効な量の水と共に反応させる反応
である。シリル化剤は第2段階の反応の開始に当って添
加しても良いが、第1段階の反応の開始前に他の原料と
共に予め添加しておいても良く、この場合第1段階の反
応に対する実質的な影響はなくて第1段階から第2段階
へ反応を移す操作が容易となるので好ましい。原料中の
グアナミン類の比率が増すにつれ、あるいは式(4)に
於けるkの値が小さいほどよシ少ないシリル化剤の添加
により第2段階の反応を行なうことができる。第2段階
の反応に於ける主な反応は後記する如く第1段階の反応
で生成した中間体Gのアミドカルボン酸の部分を環化し
てイミド化すると共に、中間体Gの末端を成しているア
ミノクリコン化合物のXl及び遊離のシリル化剤のX2
の加水分解性基すなわちアルコキシ基、アセトキシ基ま
たはハロゲンであるときの半数以上が加水分解されて水
酸基に変換(X”が当初から−OHである場合もある)
され、少なくとも一部において中間体G同士、中間体G
とシリル化剤との間、またはシリル化剤同士で81に結
合した水酸基同士或は水酸基と加水分解性基とが縮合反
応を起こしてシロキサン結合が生成(以下においてシロ
キサン縮合反応と言うことがある)することである。上
記のシリル化剤同士のシロキサン縮合はシリル化剤が単
に不活性化合物となって反応溶媒中に溶解するだけであ
るが、その、他のシロキサン縮合が、Xl及びXlの位
置に生成しているばかりでなく、この前駆体を焼成した
ときに最終的にシロキサン結合をすべてのまたはそれに
近いSlのXl及びX2の位置に生成させることが好ま
しく、従ってXl及びX2の1/2ないし全部を加水分
解して一〇Hを生成せしめることが好ましい。このよう
な加水分解に有効な水の最大量すなわちXl及びX2の
全部を加水分解するために消費される水量は(DXk十
F)モルである( X’が水酸基であるときはその分の
水量を減量する)。上記加水分解で消費される水の少−
なくとも一部はポリアミド酸がイミド化するときに発生
する水でまかなわれる。
The second stage reaction is carried out by the formula (8
) In the presence of a silylating agent represented by the formula (9) with F moles in the range, the reaction temperature is further increased from the first stage reaction temperature to 0.5 to 200°C at a temperature of 60°C to 200°C. 3
This is a reaction in which the mixture is heated for 0 hours, and the water generated at that time is reacted with an amount of water effective for hydrolyzing Xi of the amine silicon compound at the terminal of intermediate G and X2 of the silylating agent. The silylating agent may be added at the start of the second stage reaction, but it may also be added in advance together with other raw materials before the first stage reaction begins. This is preferable because it has no substantial effect on the reaction and facilitates the operation of transferring the reaction from the first stage to the second stage. As the proportion of guanamines in the raw material increases, or as the value of k in formula (4) decreases, the second stage reaction can be carried out by adding less silylating agent. As described later, the main reaction in the second stage reaction is to cyclize and imidize the amide carboxylic acid part of intermediate G produced in the first stage reaction, and to form the terminal of intermediate G. Xl of the aminocricon compound and X2 of the free silylating agent
More than half of the hydrolyzable groups, i.e., alkoxy groups, acetoxy groups, or halogens, are hydrolyzed and converted to hydroxyl groups (X'' may be -OH from the beginning)
and, at least in part, the intermediates G and the intermediate G
and the silylating agent, or between the hydroxyl groups bonded to 81 between the silylating agents, or between the hydroxyl group and the hydrolyzable group, a condensation reaction occurs to form a siloxane bond (hereinafter sometimes referred to as a siloxane condensation reaction) )It is to be. In the above siloxane condensation between the silylating agents, the silylating agent simply becomes an inert compound and dissolves in the reaction solvent, but other siloxane condensations are formed at the Xl and Xl positions. In addition, when this precursor is fired, it is preferable that siloxane bonds are finally generated at all or close to the Xl and X2 positions of Sl, and therefore 1/2 to all of Xl and X2 are hydrolyzed. It is preferable to generate 10H. The maximum amount of water effective for such hydrolysis, that is, the amount of water consumed to hydrolyze all of Xl and ). The amount of water consumed in the above hydrolysis
At least a portion of this is covered by water generated when polyamic acid is imidized.

その発生水量はイミド化率をa%とすれば2AX a 
X 1 / 100モルである。従って第2段階の反応
に際してIEI段階反応終了時に添加する水量は([(
DXk+F)X1/2〜(DXk+F))−2AXaX
1/100)モルとなるが、更に使用する反応溶媒に含
有される水分も無視できないときはこの水分量も考慮す
る必要がある。このように第2段階の反応に当たって添
加を要する水分量はイミド化により発生する水量、反応
溶媒が含有する水分量、更にはシミキサン結合量によっ
て変わシ、イミド化によシ発生する水や溶媒含有水分量
によっては水の添加を必要としない場合もある。
If the imidization rate is a%, the amount of water generated is 2AX a
X 1/100 mol. Therefore, in the second stage reaction, the amount of water added at the end of the IEI stage reaction is ([(
DXk+F)X1/2~(DXk+F))-2AXaX
1/100) mole, but if the water contained in the reaction solvent used cannot be ignored, this water content must also be taken into account. As described above, the amount of water that needs to be added in the second step reaction varies depending on the amount of water generated by imidization, the amount of water contained in the reaction solvent, and the amount of simixane bond. Depending on the moisture content, it may not be necessary to add water.

シリル化剤は中間体G同士がその末端でシロキサン結合
して無限に高分子化することを避けるための分子量制御
に使用される。式(9)のシリル化剤の使用量Fモルが
F/(DXk) として1以下であることが好ましく1
を越えて添加する必要は特にない。
The silylating agent is used to control the molecular weight of the intermediates G to avoid infinite polymerization due to siloxane bonding at their ends. The amount F mol of the silylating agent of formula (9) used is preferably 1 or less as F/(DXk) 1
There is no particular need to add more than that.

第2段階の反応温度が60℃未満では反応が遅くて実際
的でなく、本発明では60℃以上で第三級アミンのよう
なイミド化反応促進剤を添加することもできるが、本発
明においてはイミド化で発生する水は直ちに加水分解に
消費されて反応の方向をイミド化に向け、イミド化反応
は速やかに進行するので、イミド化反応促進剤の添加は
特に必要でない。加水分解反応を促進させるための酸触
媒等は添加することも可能であるが、後に残存する場合
の悪影響を考慮して添加しない方が好ましい。
If the reaction temperature in the second stage is less than 60°C, the reaction will be slow and it is not practical.In the present invention, an imidization reaction accelerator such as a tertiary amine can be added at a temperature of 60°C or higher. Since the water generated during imidization is immediately consumed in hydrolysis and the direction of the reaction is directed toward imidization, and the imidization reaction proceeds quickly, it is not necessary to add an imidization reaction promoter. Although it is possible to add an acid catalyst or the like to promote the hydrolysis reaction, it is preferable not to add it in consideration of the adverse effects if it remains afterwards.

第2段階の反応においてはシリル化剤を反応させるとと
Kよシ反応液をゲル化させることなくイミド化反応及び
シロキサン結合反応を円滑に進行せしめ、そしてシリル
化剤の使用量及び反応条件をそれぞれ前記の範囲内で変
えることによシ反応液の粘度すなわち前駆体の分子量を
自由にコントロールすることができる。
In the second stage of the reaction, when a silylating agent is used, the imidization reaction and the siloxane bonding reaction proceed smoothly without gelling the reaction solution, and the amount of silylating agent used and the reaction conditions can be controlled. The viscosity of the reaction solution, that is, the molecular weight of the precursor, can be freely controlled by varying each within the above-mentioned ranges.

このようKして0.05〜5dl/fという適度な固有
粘度、従って適度な分子量を有して溶媒に可溶性であっ
てしかも8−トリアジン環を有し、イミド結合を有する
可溶性イミドシロキサン前駆体が得られる。
In this way, the soluble imidosiloxane precursor has an appropriate intrinsic viscosity of 0.05 to 5 dl/f and therefore an appropriate molecular weight, is soluble in a solvent, has an 8-triazine ring, and has an imide bond. is obtained.

本発明において固有粘度(ηinh )とは、前記測定
条件により定義された通りのものであるが更に詳述すれ
ば、 tnη/η0 ηinh■□ (ここにηはウベローデ粘度計を使用し、重合溶媒と同
一組成の溶媒中の濃度0.5重量%のものを温度30±
0.01 ”Cで測定した値であシ、η。はウベローデ
粘度計を使用し、同温度における同溶媒の測定値であり
、Cは濃度0.5’l/dlである。) で示される。
In the present invention, the intrinsic viscosity (ηinh) is as defined by the measurement conditions described above, but in more detail, tnη/η0 ηinh■□ (where η is the polymerization solvent using an Ubbelohde viscometer). 0.5% by weight in a solvent with the same composition as that at a temperature of 30±
The value is measured at 0.01"C, η is the measured value of the same solvent at the same temperature using an Ubbelohde viscometer, and C is the concentration of 0.5'l/dl.) It will be done.

固有粘度が0.05dllI未満の場合は塗布液の塗布
状態が良好でなく、従ってまた塗膜形成が充分でなく、
5dl/fを超える場合には溶解困難又は不溶性となっ
て実用的でない。
If the intrinsic viscosity is less than 0.05 dllI, the coating state of the coating liquid is not good, and therefore the coating film formation is not sufficient.
If it exceeds 5 dl/f, it becomes difficult to dissolve or becomes insoluble, making it impractical.

イミド化の度合は第2段階での反応温度及び反応時間に
よりコントロールすることができ、反応温度が高いit
ど、また反応時間が長いほどポリマー中のアミド酸に対
するイミド基の比率を高めることができ、必要により全
てのアミド、  酸を、イミド基に転換することもでき
る。
The degree of imidization can be controlled by the reaction temperature and reaction time in the second step.
Furthermore, the longer the reaction time, the higher the ratio of imide groups to amic acid in the polymer, and if necessary, all of the amide and acid can be converted to imide groups.

C本発明方法の作用〕 本発明方法によれば第1段階の反応においてテトラカル
ボン酸二無水物とグアナミン類、ジアミン及びアミノク
リコン化合物から低温で両末端にアミノクリコン化合物
を結合したポリアミドカルボン酸(中間体G)が得られ
る【下記式q→)。
C. Effect of the method of the present invention] According to the method of the present invention, in the first step reaction, tetracarboxylic dianhydride, guanamines, diamines, and aminocricone compounds are combined at low temperature to form polyamidecarboxylic acid (with aminocricone compounds bonded to both ends). Intermediate G) is obtained [the following formula q→).

(−NH−R”−NH−CO−R”−CO)−ハ 1O −NH−R6−8iR78−kXk・・・・・aυ(た
だしここにnはO又は正の整数、tは正の整数を表わす
。他の記号は先に述べたのと同一の意味を表わす。) この中間体Gを塗布対象に塗布し焼成することによシボ
リアミドカルボン酸は脱水環化しイミド結合を形成する
と同時に分子末端の加水分解性基であるXIはシロキサ
ン縮合反応によυ高分子量化し強靭な塗膜を形成する。
(-NH-R"-NH-CO-R"-CO)-HA1O -NH-R6-8iR78-kXk...aυ (where n is O or a positive integer, t is a positive integer (Other symbols have the same meanings as mentioned above.) By applying this intermediate G to the object to be coated and baking it, the cibolyamide carboxylic acid undergoes dehydration and cyclization to form an imide bond, and at the same time the molecular The terminal hydrolyzable group, XI, undergoes a siloxane condensation reaction to increase its molecular weight to form a tough coating film.

ところで、テトラカルボン酸二無水物とジアミン(3)
をは#τ当量で反応させることKよシ得られる通常のポ
リイミド前駆体であるポリアミドカルボン酸の合成に於
いてこのジアミンの一部または全部をグアナミン類(2
)で置き換えた場合、グアナミン類の比率の増大ととも
に得られるポリアミドカルボン酸の分子量は低下し従っ
てその溶液粘度は低下し、それを塗布対象物に塗布後焼
成しようとしても塗膜形成能がないかあるいは十分強靭
な塗膜を得ることは困難である。
By the way, tetracarboxylic dianhydride and diamine (3)
In the synthesis of polyamide carboxylic acid, which is a common polyimide precursor obtained by reacting with #τ equivalent, part or all of this diamine is converted into guanamines (2
), the molecular weight of the resulting polyamide carboxylic acid decreases as the ratio of guanamines increases, and the viscosity of the solution decreases, and even if you try to bake it after applying it to the object to be coated, it may not have the ability to form a coating. Alternatively, it is difficult to obtain a sufficiently tough coating film.

しかしながら本発明の方法によって多くの特異な物性を
有するトリアジン環を有する有用表ポリイミド前駆体の
合成を容易に可能にすることができたのである。ま次第
2段階の反応は式Qυで表わされる中間体Gの溶液t−
60〜200℃に加熱することによシ分子中のポリアミ
ドカルボン酸の一部または全部を脱水環化し、イミド結
合を形成すると同時に生成した水等により分子末端の加
水分解性基であるXiが加水分解しそれがシロキサン縮
合によシ高分子量化する。
However, the method of the present invention makes it possible to easily synthesize a useful polyimide precursor having a triazine ring that has many unique physical properties. Next, the two-step reaction begins with a solution t- of intermediate G represented by the formula Qυ.
By heating to 60 to 200°C, part or all of the polyamide carboxylic acid in the Si molecule is dehydrated and cyclized to form an imide bond, and at the same time, the hydrolyzable group at the end of the molecule, Xi, is hydrated by the water etc. produced. It decomposes and becomes high in molecular weight through siloxane condensation.

この際に必要により式(9)で表わされるシリル化剤を
式(8)の範囲に添加し急激な高分子量化によるゲル化
を抑制することができる。
At this time, if necessary, a silylating agent represented by formula (9) may be added within the range of formula (8) to suppress gelation due to rapid increase in molecular weight.

このようにイミド化された化学構造を有している前駆体
は塗布対象物に塗布焼成する際、その焼成温度を低温で
行うことが可能であシ、塗布対象物の耐熱性があま#)
高くない場合等はその利益は大きい。
When a precursor having such an imidized chemical structure is coated on the object to be coated and fired, it is possible to perform the firing at a low temperature, and the heat resistance of the object to be coated is poor.
If it is not expensive, the profit is large.

このようにして得られた第2段階の反応を経過したイミ
ド化されたポリイミドシロキサン前駆体は分子量も固有
粘度で示して0.05〜5 dl/fのものである。
The thus obtained imidized polyimidosiloxane precursor that has undergone the second reaction has a molecular weight of 0.05 to 5 dl/f in terms of intrinsic viscosity.

C本発明に係る前駆体の使用方法〕 本発明に係るポリイミドシロキサン前駆体(以下単に前
駆体と略称することがある)は電子機器分野における保
護材料、絶縁材料、接着、材、フィルム及び構造材を与
える前駆体として広く使用することができる。殆んどの
場合、フェス等の如く溶媒に溶解し九溶液の状態で使用
されるから、本発明方法で得られた溶液を濃縮または溶
媒で稀釈して使用するのが良い。溶媒としては反応溶媒
と同じものを使用することができる。例えば電子材料用
途として使用する場合、前駆体溶液を必要に応じて固体
の吸着剤等を使用してイオン性物質を除去し、さらK1
μm以下のフィルターによシ微小な固体不純物を除去し
て塗布液として使用することができる。この塗布液の濃
度は必要とする塗膜の厚さによシ決められるが、40重
量%以下が好ましく、特に0.3〜25重量%の範囲が
実際に使用する上で好ましい場合が多い。
C. Method of using the precursor according to the present invention] The polyimidosiloxane precursor according to the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as precursor) can be used as a protective material, an insulating material, an adhesive, a material, a film, and a structural material in the field of electronic equipment. It can be widely used as a precursor to give In most cases, it is dissolved in a solvent and used in the form of a solution, such as Fes, so it is preferable to use the solution obtained by the method of the present invention either by concentrating it or diluting it with a solvent. As the solvent, the same solvent as the reaction solvent can be used. For example, when using the precursor solution as an electronic material, ionic substances are removed from the precursor solution using a solid adsorbent, etc., as necessary, and K1
It can be used as a coating solution by removing minute solid impurities using a micrometer or smaller filter. The concentration of this coating solution is determined depending on the required thickness of the coating film, but is preferably 40% by weight or less, and a range of 0.3 to 25% by weight is often preferred in actual use.

塗布液は常法に従いスピンナー等によシシリコンウエハ
ー、ガラス板等に均一に塗布し焼成する。焼成条件は使
用する溶媒、塗膜の厚さ及び前駆体のイミド化の度合等
によシ異なるが100〜250℃で0.5〜1.5時間
位の比較的短時間で焼成することで充分である。このよ
うな焼成により、イミド化率が100%未満の前駆体は
100%になり、分子量が未だそれ程大きくなく溶媒に
可溶性の前駆体がシロキサン結合による架橋が増加して
溶媒不溶性の無限網状組織となシ、前駆体溶液が呈して
いた透明な淡黄色が例えば透明な茶色(厚さ数μm以下
の薄物では淡黄色〜無色)となって非常に硬くて高耐熱
性の皮膜を形成するのである。
The coating solution is uniformly applied to a silicon wafer, glass plate, etc. using a spinner or the like according to a conventional method and baked. The firing conditions vary depending on the solvent used, the thickness of the coating film, the degree of imidization of the precursor, etc., but the firing can be performed at 100 to 250°C for a relatively short time of about 0.5 to 1.5 hours. That's enough. By such calcination, the imidization rate of the precursor whose imidization rate was less than 100% becomes 100%, and the precursor whose molecular weight is not so large and is soluble in the solvent increases crosslinking by siloxane bonds and becomes a solvent-insoluble infinite network structure. However, the transparent light yellow color of the precursor solution turns into a transparent brown color (pale yellow to colorless for thin materials with a thickness of several micrometers or less), forming a very hard and highly heat-resistant film. .

本発明の方法により得られる前駆体は液晶配向剤として
も良い結果を示す。
The precursor obtained by the method of the present invention shows good results as a liquid crystal aligning agent.

〔本発明の効果〕[Effects of the present invention]

本発明に係る8−トリアジン環を有する可溶性ポリイミ
ドシロキサン前駆体は適度な固有粘度を有しているので
その溶液の粘性は適度であって塗布は良好に行なうこと
ができ、焼成は残存する未イミド化部分のイミド化と未
反応の活性点でのシロキサン縮合反応の完結のためであ
るから、イミド化の度合によりその焼成条件を選択する
ことができる。完全にイミド化された前駆体溶液の場合
100〜150℃の比較的低温での焼成が可能であり、
塗布対象物の耐熱性如何によっては大きな利益になる。
The soluble polyimide siloxane precursor having an 8-triazine ring according to the present invention has an appropriate intrinsic viscosity, so the viscosity of the solution is appropriate and coating can be performed well. The firing conditions can be selected depending on the degree of imidization because the purpose is to imidize the chemical moieties and complete the siloxane condensation reaction at the unreacted active sites. In the case of a completely imidized precursor solution, it is possible to bake at a relatively low temperature of 100 to 150°C,
This can be of great benefit depending on the heat resistance of the object to be coated.

また前駆体分子中にはけい素原子が存在し、これが前記
第2段階の反応及び/または焼成によりシ四キサン結合
を形成するためけい素及びけい素化合物を有するシリコ
ンウェハーやガラス等に対する良好な塗膜形成能と接着
性を与えると考えられる。
In addition, silicon atoms are present in the precursor molecules, which form si-tetraxane bonds through the reaction and/or calcination in the second step, which makes them a good material for silicon wafers, glasses, etc. containing silicon and silicon compounds. It is thought to provide film-forming ability and adhesion.

次に高分子量化が困難なグアナミン類とテトラカルボン
酸二無水物とからのポリイミド合成に於いてアミノクリ
コン化合物をその両末端に配することにより、両末端を
活性化し高分子量化を可能にしたことである。トリアジ
ン環の導入によりややもすれば保存安定性に劣る前駆体
溶液の安定性を著しく改良することが可能になり、その
実用的効果は大きいと言える。トリアジ/環を有するポ
リマーは一般的に高絶縁性、耐摩耗性、耐放射性等絶縁
材料としての良好な特性を有していると言われており、
本発明の前駆体も当然これらの緒特性を具えていること
が予想される。電子材料以外への展開は今後の検討課題
でちる。
Next, in the synthesis of polyimide from guanamines and tetracarboxylic dianhydrides, which are difficult to achieve high molecular weight, by placing an aminocricon compound at both ends, both terminals were activated and high molecular weight was made possible. That's true. By introducing a triazine ring, it becomes possible to significantly improve the stability of a precursor solution that has poor storage stability, and it can be said that this has a great practical effect. Polymers with triazines/rings are generally said to have good properties as insulating materials, such as high insulation, wear resistance, and radiation resistance.
It is naturally expected that the precursor of the present invention will also have these characteristics. Expansion to areas other than electronic materials is a subject for future consideration.

(実施例、比較例及び使用試験) 以下、実施例、比較例及び使用試験により本発明を更に
具体的に説明する。
(Examples, Comparative Examples, and Usage Tests) The present invention will be explained in more detail below using Examples, Comparative Examples, and Usage Tests.

実施例1 攪拌装置、滴下漏斗、温度計、コンデンサーおよび窒素
置換装置を付した11のフラスコを冷水中に固定した。
Example 1 Eleven flasks equipped with a stirrer, addition funnel, thermometer, condenser and nitrogen purge were fixed in cold water.

フラスコ内を窒素ガスによジ置換した後、脱水精製した
5 00 wlのN−メチル−2−ピロリドン、66.
6Of(0,356モル)のベンゾグアナミンを投入し
、この溶液を25〜30″Cに保ちつつ108.49F
(0,474モル)のピロメリット酸二無水物を滴下漏
斗から30分間で添加し、この温度で1時間、さらに4
5〜50℃で1時間反応を行ない均−液を得た。さらに
50.60f(0,237モル)のアミノフェニルトリ
メトキシン2ン(オルト異性体2.3%、メタ異性体6
1.2%及びバラ異性体36.5%よりなる)を添加し
、この温度で2時間反応を行なった。この第1段階の反
応により淡黄色透明液が得られた。次いで第2段階の反
応としてこの反応液を更に昇温し、100℃で9時間反
応を行なった。この結果25℃での回転粘度が54セン
チボイスの淡褐色の透明液であるs−トリアジン環を有
する可溶性ポリイミドシロキサン前駆体溶液が得られた
After purging the inside of the flask with nitrogen gas, 500 wl of dehydrated and purified N-methyl-2-pyrrolidone, 66.
6Of (0,356 mol) of benzoguanamine was added and the solution was heated to 108.49F while keeping it at 25-30"C.
(0,474 mol) of pyromellitic dianhydride was added in 30 minutes through the addition funnel and kept at this temperature for 1 hour.
The reaction was carried out at 5 to 50°C for 1 hour to obtain a homogeneous liquid. In addition, 50.60 f (0,237 mol) of aminophenyltrimethoxine 2 (2.3% ortho isomer, 6% meta isomer)
(consisting of 1.2% and 36.5% of disparate isomers) was added, and the reaction was carried out at this temperature for 2 hours. This first stage reaction yielded a pale yellow transparent liquid. Next, as a second stage reaction, the temperature of this reaction solution was further raised, and the reaction was carried out at 100°C for 9 hours. As a result, a soluble polyimidosiloxane precursor solution having an s-triazine ring was obtained as a light brown transparent liquid having a rotational viscosity of 54 centivoices at 25°C.

この前駆体溶液の1部をとり常温減圧下に乾燥して淡褐
色の固形物状の前駆体を得た。
A portion of this precursor solution was taken and dried at room temperature and under reduced pressure to obtain a pale brown solid precursor.

この前駆体のN−メチル−2−ピロリドン中での固有粘
度は0.0941/fであった。
The intrinsic viscosity of this precursor in N-methyl-2-pyrrolidone was 0.0941/f.

ここで回転粘度とはE型粘度計(株式会社東京計器製V
ISCONICEMD ) ?使用シテ温度25℃で測
定した粘度である(以下同じ)。
Here, rotational viscosity refers to an E-type viscometer (V manufactured by Tokyo Keiki Co., Ltd.).
ISCONICEMD)? This is the viscosity measured at a working temperature of 25°C (the same applies hereinafter).

なお、第1図は本例で得た前、1駆体の赤外線吸収ス°
ベクトル図である。第1図にはイミド基の吸収スペクト
ル(5,63l1m及び18.85μFFJ)が明瞭に
存在している。
In addition, Figure 1 shows the infrared absorption spectrum of the first precursor obtained in this example.
It is a vector diagram. In FIG. 1, the absorption spectrum of the imide group (5,63l1m and 18.85μFFJ) is clearly present.

実施例2 実施例1と同様の装置及び方法で22.60f(0,1
21モル)のベンゾグアナミンを500m1のN−メチ
ル−2−ピロリドン中に投入し、この溶液を20〜30
℃に保ちながら、これにs2.6710.2+1モル)
のピロメリット酸二無水物を60分間で添加し、この温
度で1時間、さらに40〜50℃で1時間反応を行ない
均−液を得念。これに58.46F(0,241モル)
の3−アミノプロピルトリエトキシシランを添加し、こ
の温度で1時間反応を行なった。
Example 2 22.60f (0,1
21 mol) of benzoguanamine was placed in 500 ml of N-methyl-2-pyrrolidone, and this solution was
s2.6710.2+1 mole)
pyromellitic dianhydride was added over 60 minutes, and the reaction was carried out at this temperature for 1 hour and then at 40 to 50°C for 1 hour to obtain a homogeneous solution. In this, 58.46F (0,241 mol)
3-aminopropyltriethoxysilane was added thereto, and the reaction was carried out at this temperature for 1 hour.

この第1段階の反応終了液をさらに昇温させ100℃で
6時間反応を行ない第2段階の反応を行なった。この結
果25℃での回転粘度が8.3センチボイズである淡褐
色の透明な8−トリアジン環を有する可溶性ポリイミド
シロキサン前駆体の溶液が得られた。この前駆体の固有
粘度は0.07dt/fであった。
The temperature of the first-stage reaction solution was further raised and the reaction was carried out at 100° C. for 6 hours to carry out the second-stage reaction. As a result, a light brown transparent solution of a soluble polyimidosiloxane precursor having an 8-triazine ring was obtained with a rotational viscosity of 8.3 centivoids at 25°C. The intrinsic viscosity of this precursor was 0.07 dt/f.

本例で得た前駆体の赤外線吸収スペクトルによるとイミ
ド基の吸収スペクトルが明瞭に存在していた。
According to the infrared absorption spectrum of the precursor obtained in this example, the absorption spectrum of imide groups was clearly present.

比較例1 実施例1と同様の装置及び方法で59.46F(0,3
18モル)のベンゾグアナミンIso。
Comparative Example 1 59.46F (0,3
18 mol) of benzoguanamine Iso.

wlのN−メチル−2−ピロリドン中に投入し、この溶
液fc25〜30℃に保ちながら69.291/(0,
318モル)のどロメリット酸二無水物を30分で添加
し、この温度で3時間さらに40〜45℃に昇温し、2
時間反応を行ない淡黄色の均−液を得た。この反応終了
後の25℃での回転粘度は7.1センチボイズであった
wl of N-methyl-2-pyrrolidone, and while keeping this solution fc at 25 to 30°C, 69.291/(0,
318 mol) throat romellitic dianhydride was added over 30 minutes, and the temperature was further raised to 40-45°C for 3 hours at this temperature, and
The reaction was carried out for a period of time to obtain a pale yellow homogeneous solution. After completion of this reaction, the rotational viscosity at 25°C was 7.1 centivoise.

実施例3 実施例1と同様の装置及び方法で32.68F(0,1
75モル)のベンゾグアナミン及び34.96f(0,
175モル)の4.41−ジアミノジフェニルエーテル
t 500 wtlのN−メチル−2−ピロリドン中に
投入し、この溶液を20〜25℃に保ちながら101.
5511(0,466モル)のピロメリット酸二無水物
を30分間で添加し、この温度で1時間さらに40〜4
5℃で30分間反応を行ない均−液を得た。これに51
.54F(0,232モル)の3−7ミノプロビルトリ
エトキシシラン及び4.13 F (0,0349モル
)のトリメチルエトキシシランを添加し、この温度でさ
らに2時間反応を行ない均−液を得た。この第1段階反
応終了液をさらに昇温させ100℃で8時間反応を行な
い第2段階の反応を終了した。この結果25℃での回転
粘度が230センチボイズである淡褐色の透明な均−液
が得られた。この前駆体の固有粘度は0.13di/I
であった。
Example 3 32.68F (0,1
75 mol) of benzoguanamine and 34.96 f (0,
175 mol) of 4.41-diaminodiphenyl ether was added to 500 wtl of N-methyl-2-pyrrolidone, and the solution was heated to 101.
5511 (0,466 mol) of pyromellitic dianhydride was added in 30 minutes and kept at this temperature for a further 1 hour.
The reaction was carried out at 5°C for 30 minutes to obtain a homogeneous solution. 51 to this
.. 54F (0,232 mol) of 3-7minoprobyltriethoxysilane and 4.13F (0,0349 mol) of trimethylethoxysilane were added, and the reaction was further carried out at this temperature for 2 hours to obtain a homogeneous solution. Ta. The temperature of this first stage reaction completed liquid was further raised and the reaction was carried out at 100° C. for 8 hours to complete the second stage reaction. As a result, a light brown transparent homogeneous liquid having a rotational viscosity of 230 centivoise at 25°C was obtained. The intrinsic viscosity of this precursor is 0.13 di/I
Met.

本例で得た前駆体の赤外線吸収スペクトルによるとイミ
ド基の吸収スペクトルが明瞭に存在していた。
According to the infrared absorption spectrum of the precursor obtained in this example, the absorption spectrum of imide groups was clearly present.

実施例4 実施例1と同様の装置及び方法で1.711(0,01
37モル)のアセトグアナミン、24.34g(0,1
23モル)の4.4′−ジアミノジフェニルメタン及び
1.61F(0,0136モル)のトリメチルエトキシ
シランを500 mlのN−メチル−2−ピロリドン中
に投入し、この溶液を25〜30℃に保ちながら52.
74f(0,164モル)のベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物を30分間で添加し、この温度で1時間
、さらに40〜45℃で1時間反応を行ない均−液を得
た。これに12.08jF(0,0546モル)の3−
アミノプロピルトリエトキシシランを添加し50〜55
℃に昇温し1.5時間反応を行ない均−液を得た。この
第1段階反応終了液をさらに昇温し、120℃で5時間
反応を行ない第2段階の反応を終了した。
Example 4 1.711 (0,01
37 mol) acetoguanamine, 24.34 g (0,1
23 mol) of 4,4'-diaminodiphenylmethane and 1.61 F (0,0136 mol) of trimethylethoxysilane were put into 500 ml of N-methyl-2-pyrrolidone, and the solution was kept at 25-30°C. While 52.
74f (0,164 mol) of benzophenone tetracarboxylic dianhydride was added over 30 minutes, and the reaction was carried out at this temperature for 1 hour and then at 40-45°C for 1 hour to obtain a homogeneous solution. To this, 12.08jF (0,0546 mol) of 3-
Add aminopropyltriethoxysilane to 50-55
The temperature was raised to 0.degree. C., and the reaction was carried out for 1.5 hours to obtain a homogeneous solution. The temperature of this first stage reaction completed liquid was further raised and the reaction was carried out at 120°C for 5 hours to complete the second stage reaction.

この結果25℃での回転粘度が840センチボイズの淡
褐色均一液が得られた。この前駆体の固有粘度は1.2
dt/Iであった。
As a result, a pale brown homogeneous liquid having a rotational viscosity of 840 centivoids at 25°C was obtained. The intrinsic viscosity of this precursor is 1.2
It was dt/I.

実施例5 実施例1と同様の装置及び方法で29.81F(0,1
59モル)のベンゾグアナミン及び17.63y(0,
0796モル)の3−アミノプロピルトリエトキシシラ
ンを500 mlのN−メチル−2−ピロリドン中に投
入し、この溶液を20〜25℃に保ちながら、これに4
8.42f(0,199モル)のどロメリット酸二無水
物を30分間で添加し、この温度で2時間、さらに50
〜55℃で1時間反応を行ない均−液を得た。この第1
段階反応終了液をさらに昇温させ100℃で8時間反応
を行ない第2段階の反応を終了した。この結果25℃で
の回転粘度が12センチボイズである淡褐色透明液が得
られた。
Example 5 29.81F (0,1
59 mol) of benzoguanamine and 17.63y (0,
0,796 mol) of 3-aminopropyltriethoxysilane was added to 500 ml of N-methyl-2-pyrrolidone, and while keeping this solution at 20-25°C, 4-aminopropyltriethoxysilane was added.
8.42 f (0,199 mol) of romellitic dianhydride was added over a period of 30 minutes and kept at this temperature for 2 hours.
The reaction was carried out at ~55°C for 1 hour to obtain a homogeneous liquid. This first
The temperature of the step-reaction completed liquid was further raised and the reaction was carried out at 100° C. for 8 hours to complete the second step reaction. As a result, a light brown transparent liquid having a rotational viscosity of 12 centivoise at 25°C was obtained.

この前駆体の固有粘度は0.11dl/flであった。The intrinsic viscosity of this precursor was 0.11 dl/fl.

この前駆体溶液を25℃の温度で60日間保存したとき
の25℃での回転粘度は12センチボイズであり、卓越
した保存安定性を示している。
When this precursor solution was stored at a temperature of 25°C for 60 days, the rotational viscosity at 25°C was 12 centivoise, indicating excellent storage stability.

比較例2 実施例1と同様の装置及び方法で31.18g(0,1
56モル)の4.4′−ジアミノジフェニルエーテル、
、17.24F(0,0779%ル)の3−7ミノプロ
ビルトリエトキシシラン及び8.7711(0,031
9モル)のトリメチルエトキシシラン’1500r/の
N−メチル−2−ピロリドン中に投入し、この溶液を1
0〜15℃K保ちながら、これに42.469 (0,
195%#)のピロメリット酸二無水物を30分間で添
加し、この温度で2時間さらに40〜45℃で1時間反
応を行ない均−液を得た。
Comparative Example 2 Using the same equipment and method as in Example 1, 31.18g (0.1
56 mol) of 4,4'-diaminodiphenyl ether,
, 17.24F (0.0779%) of 3-7 minoprobyl triethoxysilane and 8.7711 (0.031%
9 mol) of trimethylethoxysilane' in 1500 r/N-methyl-2-pyrrolidone, and this solution was
42.469 (0,
195% #) of pyromellitic dianhydride was added over 30 minutes, and the reaction was carried out at this temperature for 2 hours and further at 40-45°C for 1 hour to obtain a homogeneous solution.

この第1段階反応終了液をさらに昇温させ100℃で4
時間反応を行ない第2段階の反応を終了した。この結果
、25℃での回転粘度が205センチボイズである淡褐
色透明液が得られた。
This first stage reaction completed liquid was further heated to 100°C for 4 hours.
The reaction was carried out for a period of time to complete the second stage reaction. As a result, a light brown transparent liquid having a rotational viscosity of 205 centivoise at 25°C was obtained.

この前駆体の固有粘度はo、ssd//fであった。The intrinsic viscosity of this precursor was o, ssd//f.

この前駆体溶液を25℃の温度で保存したとき時間の経
過とともに粘度は上昇し、34日後に溶液はゲル化し使
用不能になった。
When this precursor solution was stored at a temperature of 25° C., the viscosity increased over time, and after 34 days the solution gelled and became unusable.

使用試験1 次のような塗布焼成試験を行なった。Usage test 1 The following coating and firing test was conducted.

各実施例で得られたポリイミドシロキサン前駆体の溶液
及び比較例1で得られた最終の反応生成液を塗布液とし
て用い、これらを1μmのフィルターで濾過した後、ス
ピンナーにょタガ2ス板上に塗布し、さらに150℃、
200″Cまたは250℃で1時間焼成し厚さ1〜2−
の塗膜を形成せしめた後、その塗膜の状況を観察した結
果を第1表に示す。
The solution of the polyimide siloxane precursor obtained in each example and the final reaction product solution obtained in Comparative Example 1 were used as coating solutions, and after filtering through a 1 μm filter, they were coated on a spinner Nyotaga 2 plate. Apply and further heat to 150℃,
Baked at 200″C or 250°C for 1 hour to a thickness of 1-2-
After forming a coating film, the condition of the coating film was observed and the results are shown in Table 1.

第  1  表 ×塗膜を均一に形成しない。Table 1 ×The coating film is not formed uniformly.

使用試験2 次のような接着性試験を行なった。Usage test 2 The following adhesion test was conducted.

スライドガラスの表面に第2表eζ示す各種塗布液をス
ピンナーにより塗布し、各々を150”C,200℃ま
たは250℃で1時間焼成し、1〜2μmの塗膜を形成
せしめた。その後90℃、相対湿度95%に保たれた恒
温恒湿槽中で4時間処理した後、得られた塗膜に切目を
入れて一辺2Hの正方形の小片に細分し、その表面にセ
ロハンテープを貼り付は直ちにはがした。  ・そのと
きのセロハンテープとともにはがれた塗膜小片の数をは
がす前の100個当たりの数で表わした結果を第2表に
示す。
Various coating solutions shown in Table 2 eζ were applied to the surface of a slide glass using a spinner, and each was baked at 150"C, 200°C or 250°C for 1 hour to form a coating film of 1 to 2 μm. Thereafter, the coating solution was heated at 90°C. After processing for 4 hours in a constant temperature and humidity chamber maintained at 95% relative humidity, the resulting coating film was cut into small square pieces of 2H on each side, and cellophane tape was pasted on the surface. It was immediately removed. - Table 2 shows the number of paint film pieces that were peeled off along with the cellophane tape, expressed as a number per 100 before peeling off.

第2表 *ピロメリット酸二無水物と4.4′−ジアミノジフェ
ニルエーテルから合成された通常のポリイミド前駆体で
あるポリアミドカルボン酸フェス。溶媒はN−メチル−
2−ピロリドンであり固形分濃度18重量%、25℃で
の回転粘度1050センチボイズである。
Table 2 * Polyamide carboxylic acid phase, a common polyimide precursor synthesized from pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether. The solvent is N-methyl-
It is 2-pyrrolidone, has a solid content concentration of 18% by weight, and a rotational viscosity of 1050 centiboise at 25°C.

第1表及び第2表の結果から、本発明に係る前駆体はそ
の溶液を塗布して後に行なう焼成の条件が低温(150
℃)かつ短時間(1時間)であっても充分に強度と接着
力のある塗膜を形成することが判る。
From the results in Tables 1 and 2, it is clear that the precursor according to the present invention requires low temperature conditions (150
℃) and for a short time (1 hour), it was found that a coating film with sufficient strength and adhesive strength was formed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は実施例1で得られた本発明に係るS−トリアジ
ン環を有する可溶性ポリイミドシロキサン前駆体の赤外
線吸収スペクトル図である。 以上
FIG. 1 is an infrared absorption spectrum diagram of the soluble polyimide siloxane precursor having an S-triazine ring according to the present invention obtained in Example 1. that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】 下記の式(1)で表わされるテトラカルボン酸二無水物
Aモル、式(2)で表わされるグアナミン類Bモル、式
(3)で表わされるジアミンEモル及び式(4)で表わ
されるアミノクリコン化合物DモルをA、B、E、D間
に式(5)、式(6)及びほぼ式(7)の関係を存在せ
しめ、溶媒の存在下に0〜60℃の温度で0.2〜6時
間反応を行なつた後、式(8)で示される範囲にあるF
モルの式(9)で表わされるシリル化剤を添加し、60
℃以上200℃以下の温度で0.5〜30時間反応させ
、溶媒中温度30±0.01℃、濃度0.5重量%で測
定された固有粘度0.05〜5g/dlとすることを特
徴とするs−トリアジン環を有し、イミド化された可溶
性ポリイミドシロキサン前駆体の製造法。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(1) ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(2) NH_2−R^2−NH_2・・・(3) NH_2−R^6−SiR^7_8_−_kX^1_k
・・・(4)D/(B+D+E)≧0.1・・・(5) ただしB>0 B/(B+E)≧0.05・・・(6) 2A=2B+2E+D・・・(7) 0≦F/Dk≦1・・・(8) R^1^1R^1^2R^1^3SiX^2・・・(9
)〔式(1)〜(4)及び(9)に於いてR^1は4価
の炭素環式芳香族基を表わし、R^2は炭素数2〜12
個の脂肪族基、炭素数4〜30個の脂環式基、炭素数6
〜30個の芳香脂肪族基、炭素数6〜30個の炭素環式
芳香族基または次式(10)を表わし▲数式、化学式、
表等があります▼・・・(10) {ただしR^9は−(CH_2)−_s、▲数式、化学
式、表等があります▼、▲数式、化学式、表等がありま
す▼または▲数式、化学式、表等があります▼であり(
ただしこ こにsは1〜4の整数を示す。)、R^3及びR^4は
独立に炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基または炭
素数7〜12個のアルキル置換フェニル基を表わし、l
は1≦l≦100の値をとる。}、R^6はR^9とは
独立に−(CH_2)−_s、▲数式、化学式、表等が
あります▼、▲数式、化学式、表等があります▼または
▲数式、化学式、表等があります▼で あり(ただしsは1〜4の整数を示す。)、R^7、R
^1^1、R^1^2及びR^1^3は独立に炭素数1
〜6のアルキル基、フェニル基または炭素数7〜12個
のアルキル置換フェニル基を表わし、R^1^0は炭素
数8以下の脂肪族基、芳香脂肪族基または水素を表わし
、X^1及びX^2は独立にアルコキシ基、アセトキシ
基、ハロゲンまたは水酸基を表わし、には1≦k≦3の
値をとる。〕
[Scope of Claims] A mole of tetracarboxylic dianhydride represented by the following formula (1), B mole of guanamine represented by formula (2), E mole of diamine represented by formula (3) and formula (4). ) in the presence of a solvent at 0 to 60°C, with the relationships of formula (5), formula (6), and approximately formula (7) existing between A, B, E, and D. After carrying out the reaction at a temperature of 0.2 to 6 hours, F in the range shown by formula (8)
A silylating agent represented by the formula (9) in moles is added, and 60
React for 0.5 to 30 hours at a temperature of ℃ to 200℃, and make the intrinsic viscosity 0.05 to 5 g/dl measured in a solvent at a temperature of 30 ± 0.01℃ and a concentration of 0.5% by weight. A method for producing an imidized soluble polyimidosiloxane precursor having a characteristic s-triazine ring. ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(1) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(2) NH_2-R^2-NH_2...(3) NH_2-R^6 -SiR^7_8_-_kX^1_k
...(4) D/(B+D+E)≧0.1...(5) However, B>0 B/(B+E)≧0.05...(6) 2A=2B+2E+D...(7) 0 ≦F/Dk≦1...(8) R^1^1R^1^2R^1^3SiX^2...(9
) [In formulas (1) to (4) and (9), R^1 represents a tetravalent carbocyclic aromatic group, and R^2 has a carbon number of 2 to 12
aliphatic group with 4 to 30 carbon atoms, alicyclic group with 4 to 30 carbon atoms, 6 carbon atoms
~ Represents 30 aromatic aliphatic groups, carbocyclic aromatic groups having 6 to 30 carbon atoms, or the following formula (10) ▲ Numerical formula, chemical formula,
There are tables, etc. ▼...(10) {However, R^9 is -(CH_2)-_s, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ or ▲ Mathematical formulas, chemical formulas , there are tables, etc. ▼ and (
However, here s represents an integer of 1 to 4. ), R^3 and R^4 independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or an alkyl-substituted phenyl group having 7 to 12 carbon atoms;
takes a value of 1≦l≦100. }, R^6 is independent of R^9 - (CH_2) -_s, ▲ there are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ there are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ or ▲ mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. There is ▼ (where s indicates an integer from 1 to 4), R^7, R
^1^1, R^1^2 and R^1^3 independently have a carbon number of 1
~6 alkyl group, phenyl group, or alkyl-substituted phenyl group having 7 to 12 carbon atoms, R^1^0 represents an aliphatic group having 8 or less carbon atoms, an araliphatic group, or hydrogen, and X^1 and X^2 independently represent an alkoxy group, an acetoxy group, a halogen or a hydroxyl group, and have a value of 1≦k≦3. ]
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