JPS61288782A - 変位拡大装置 - Google Patents
変位拡大装置Info
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- JPS61288782A JPS61288782A JP60128887A JP12888785A JPS61288782A JP S61288782 A JPS61288782 A JP S61288782A JP 60128887 A JP60128887 A JP 60128887A JP 12888785 A JP12888785 A JP 12888785A JP S61288782 A JPS61288782 A JP S61288782A
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- Japan
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- laminated piezoelectric
- arms
- buckling spring
- spring
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- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000606504 Drosophila melanogaster Tyrosine-protein kinase-like otk Proteins 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
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- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
主粟↓夏枡且分訪
本発明は変位拡大装置に関し、詳しくはＶＴＲ装置のト
ラッキング補正用磁気ヘッドのアクチュエータに好適な
変位拡大装置に関するものである。
ラッキング補正用磁気ヘッドのアクチュエータに好適な
変位拡大装置に関するものである。
麓】■店遺術
一般にＶＴＲ装置では、第３図及び第４図に示すように
磁気テープ（１）の走行方向に対し回転軸を若干傾斜さ
せて配置された回転シリンダ（２）の周縁の１８０°の
対称位置に記録・再生用の磁気ヘッド（３ａ） （３
ｂ）を取付け、第５図に示すように上記回転シリンダ（
２）を定速回転させて走行する磁気テープ（１）に所定
角度傾斜して設けられた記録トランクＡＩ、Ｂ１、ＡＨ
、Ｂ２ 、’−上に、上記磁気ヘッド（３ａ）（３ｂ）
を交互に走査させて記録・再生を行っている。
磁気テープ（１）の走行方向に対し回転軸を若干傾斜さ
せて配置された回転シリンダ（２）の周縁の１８０°の
対称位置に記録・再生用の磁気ヘッド（３ａ） （３
ｂ）を取付け、第５図に示すように上記回転シリンダ（
２）を定速回転させて走行する磁気テープ（１）に所定
角度傾斜して設けられた記録トランクＡＩ、Ｂ１、ＡＨ
、Ｂ２ 、’−上に、上記磁気ヘッド（３ａ）（３ｂ）
を交互に走査させて記録・再生を行っている。
上記ＶＴＲ装置では、スロー、スピードサーチ等の可変
速特殊再生機能を有するのが一般的であり、例えばスロ
ー再生時には、磁気テープ（１）の走行速度を遅くして
磁気ヘッド（３ａ）（３ｂ）で１つの記録トラックをｎ
回ずつ読み取るように走査することにより１ ／ ｎの
スピードで再生する。またスピードサーチ時には、上記
磁気テープ（１）の走行速度を早くして磁気へラド（３
ａ＞ （３ｂ）で（ｎ−１）個の記録トラックを跳ば
して走査することによりｎ倍のスピードで再生する。と
ころ士、この特殊再生時、“′上 ゛記ＶＴＲ装置
の回転シリンダ（２）が定速回転゛ するので、磁気ヘ
ッド（３ａ） （３ｂ）が記録トラック−Ｆを正確に
走査せず回生画像にノイズバンドが発生する。 ゛ そこで上記磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）のトラック
外れによるノイズ発生を防止するために、可変速特殊再
生時に磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）を、上記トラッ
ク外れを補正する方向に所定量変位させて記録トラック
に追従させるトラッキング補正を必要とする。
速特殊再生機能を有するのが一般的であり、例えばスロ
ー再生時には、磁気テープ（１）の走行速度を遅くして
磁気ヘッド（３ａ）（３ｂ）で１つの記録トラックをｎ
回ずつ読み取るように走査することにより１ ／ ｎの
スピードで再生する。またスピードサーチ時には、上記
磁気テープ（１）の走行速度を早くして磁気へラド（３
ａ＞ （３ｂ）で（ｎ−１）個の記録トラックを跳ば
して走査することによりｎ倍のスピードで再生する。と
ころ士、この特殊再生時、“′上 ゛記ＶＴＲ装置
の回転シリンダ（２）が定速回転゛ するので、磁気ヘ
ッド（３ａ） （３ｂ）が記録トラック−Ｆを正確に
走査せず回生画像にノイズバンドが発生する。 ゛ そこで上記磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）のトラック
外れによるノイズ発生を防止するために、可変速特殊再
生時に磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）を、上記トラッ
ク外れを補正する方向に所定量変位させて記録トラック
に追従させるトラッキング補正を必要とする。
このトラッキング補正をするための磁気ヘッド（３ａ）
（３ｂ）のアクチュエータとして本出願人は、先に
積層型圧電体を利用した変位拡大装置を出願している（
特願昭５９−９３４７０号及び特願昭５９−１６４１４
８号）。この変位拡大装置は、印加電圧に応じて伸縮変
形する積層型圧電体と、該積層型圧電体に連結された金
属板及び座屈バネとからなり、この座屈バネに上記磁気
ヘッド（３ａ） （３ｂ）が装着されている。上記変
位拡大装置を介して回転シリンダ（２）の所定位置に取
付けられた磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）は、特殊再
生時、変位拡大装置の積層型圧電体に印加された電圧値
に応じ、該積層型圧！体を伸縮変形させると共に、その
積層型圧電体の変形を前記金属板及び座屈バネにて拡大
することにより、トラック外れを補正する方向に所定量
変位されて記録トラックに追従する。
（３ｂ）のアクチュエータとして本出願人は、先に
積層型圧電体を利用した変位拡大装置を出願している（
特願昭５９−９３４７０号及び特願昭５９−１６４１４
８号）。この変位拡大装置は、印加電圧に応じて伸縮変
形する積層型圧電体と、該積層型圧電体に連結された金
属板及び座屈バネとからなり、この座屈バネに上記磁気
ヘッド（３ａ） （３ｂ）が装着されている。上記変
位拡大装置を介して回転シリンダ（２）の所定位置に取
付けられた磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）は、特殊再
生時、変位拡大装置の積層型圧電体に印加された電圧値
に応じ、該積層型圧！体を伸縮変形させると共に、その
積層型圧電体の変形を前記金属板及び座屈バネにて拡大
することにより、トラック外れを補正する方向に所定量
変位されて記録トラックに追従する。
１乳が酷央Ｕよ立上ｔゑ訓題点
上記変位拡大装置は、上述したように積層型圧電体、金
属板及び座屈バネの３種の異なった素材から構成されて
いるため、各素材についてその温度特性も異なり使用温
度範囲が限定される。即ち、上記積層型圧電体、金属板
及び座屈バネの各素材の熱膨張係数が異なるため、ＶＴ
Ｒ装置の使用時における温度上昇によって上記３者が熱
膨張変形し、各素材の変形量が相乗されて変位拡大装置
に装着された磁気ヘッドが、磁気テープの記録トランク
幅以上に変位してしまうことがある。この場合、特殊再
生時におけるトラッキング補正で上記磁気ヘッドを初期
位置に設定す名ことが困難になる。
属板及び座屈バネの３種の異なった素材から構成されて
いるため、各素材についてその温度特性も異なり使用温
度範囲が限定される。即ち、上記積層型圧電体、金属板
及び座屈バネの各素材の熱膨張係数が異なるため、ＶＴ
Ｒ装置の使用時における温度上昇によって上記３者が熱
膨張変形し、各素材の変形量が相乗されて変位拡大装置
に装着された磁気ヘッドが、磁気テープの記録トランク
幅以上に変位してしまうことがある。この場合、特殊再
生時におけるトラッキング補正で上記磁気ヘッドを初期
位置に設定す名ことが困難になる。
問題点奎解決工Ａ太及企手故
本発明は上記問題点に鑑みて提案されたものであり、構
成部材３者の各素材を温度上昇による変形量が相殺され
るよう選定し、その使用温度範囲を拡張することに着目
したものである。
成部材３者の各素材を温度上昇による変形量が相殺され
るよう選定し、その使用温度範囲を拡張することに着目
したものである。
すなわち、この問題点を解決するための技術的手段は、
印加電圧の大きさに応じて伸縮変形する積層型圧電体と
、一端部が積層型圧電体に連結されて該積層型圧電体の
変位量を拡大する一対のアームと、該アームの他端部間
に橋架された帯板状の座屈バネとからなり、上記積層型
圧電体、アーム及び座屈バネの３者は、温度変化に対す
る座屈バネの拡大変位量を可及的に小さくするよう、上
記３者について所望の熱膨張温度係数を有する素材を選
定することによって組合せ構成したものである。
印加電圧の大きさに応じて伸縮変形する積層型圧電体と
、一端部が積層型圧電体に連結されて該積層型圧電体の
変位量を拡大する一対のアームと、該アームの他端部間
に橋架された帯板状の座屈バネとからなり、上記積層型
圧電体、アーム及び座屈バネの３者は、温度変化に対す
る座屈バネの拡大変位量を可及的に小さくするよう、上
記３者について所望の熱膨張温度係数を有する素材を選
定することによって組合せ構成したものである。
肩り且
上記技術的手段のように、装置使用時での温度変化に対
する拡大変位量が可及的に小さくなるように、積層型圧
電体、アーム及び座屈バネの各素材を選定すれば、装置
の使用温度範囲が拡張されて前記問題点を容易に解決し
得る。
する拡大変位量が可及的に小さくなるように、積層型圧
電体、アーム及び座屈バネの各素材を選定すれば、装置
の使用温度範囲が拡張されて前記問題点を容易に解決し
得る。
災Ｈ
本発明に係る変位拡大装置をＶＴＲ装置における磁気ヘ
ッドのアクチュエータに適用した実施例を第１１！ｌ及
び第２図を参照しながら説明する。第１図及び第２図に
於いては、（４）は後述する積層型圧電体の変位を拡大
するための金属板で、この金属板（４）は、回転シリン
ダ（２） （第３図及び第４図参照）に固定された門形
の固定基部（５）と、該固定基部（５）の両側に対称配
置された一対のＬ字状アーム（６）（６）と、固定基部
（５）とアーム（６）（６）の一端部（６ａ） （６
ａ）とを連結する肉薄で可撓性のヒンジ部（７）（７）
と、上記両アーム（６）（６）の一端部（６ａ） （
６ａ）同士を連結する肉薄で可撓性の連結部（８）とで
構成されている。（９）は上記連結部（８）と固定基部
（５）の中央部とで挟持された積層セラミック等の積層
型圧電体、〈１０）は両アーム（６）（６）の遊端部（
６ｂ） （６ｂ）に橋架固定された帯板状の座屈バネ
で、この座屈バネ（１０）の中央に設けられたヘッド取
付部（１１）に磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）が固着
される。
ッドのアクチュエータに適用した実施例を第１１！ｌ及
び第２図を参照しながら説明する。第１図及び第２図に
於いては、（４）は後述する積層型圧電体の変位を拡大
するための金属板で、この金属板（４）は、回転シリン
ダ（２） （第３図及び第４図参照）に固定された門形
の固定基部（５）と、該固定基部（５）の両側に対称配
置された一対のＬ字状アーム（６）（６）と、固定基部
（５）とアーム（６）（６）の一端部（６ａ） （６
ａ）とを連結する肉薄で可撓性のヒンジ部（７）（７）
と、上記両アーム（６）（６）の一端部（６ａ） （
６ａ）同士を連結する肉薄で可撓性の連結部（８）とで
構成されている。（９）は上記連結部（８）と固定基部
（５）の中央部とで挟持された積層セラミック等の積層
型圧電体、〈１０）は両アーム（６）（６）の遊端部（
６ｂ） （６ｂ）に橋架固定された帯板状の座屈バネ
で、この座屈バネ（１０）の中央に設けられたヘッド取
付部（１１）に磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）が固着
される。
ＶＴＲ装置によるスロー、スピードサーチ等の特殊再生
時でのトラッキング補正では、積層型圧電体（９）にト
ラッキング禎正信号に応した駆動電圧が印加されると、
この印加電圧の大きさに応じて積層型圧電体（９）が伸
長し、この積層型圧電体（９）の伸長に応じて両アーム
（６）（６）がヒンジ部（７）（７）を支点として回動
する。この両アーム（６）（６）の回動により両アーム
（６）（６）の遊端部（６ｂ）（６ｂ）が、積層型圧電
体（９）の変位量を拡大して第３図及び第４図実線矢印
方向に変位し、更に座屈バネ（１０）が、上記アーム（
６）（６）の遊端部（６ｂ） （６ｂ）の変位量を拡
大して第４図実線矢印方向、即ち、トラック外れを補正
する方向に変位し、磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）の
トラッキング補正がなされる。
時でのトラッキング補正では、積層型圧電体（９）にト
ラッキング禎正信号に応した駆動電圧が印加されると、
この印加電圧の大きさに応じて積層型圧電体（９）が伸
長し、この積層型圧電体（９）の伸長に応じて両アーム
（６）（６）がヒンジ部（７）（７）を支点として回動
する。この両アーム（６）（６）の回動により両アーム
（６）（６）の遊端部（６ｂ）（６ｂ）が、積層型圧電
体（９）の変位量を拡大して第３図及び第４図実線矢印
方向に変位し、更に座屈バネ（１０）が、上記アーム（
６）（６）の遊端部（６ｂ） （６ｂ）の変位量を拡
大して第４図実線矢印方向、即ち、トラック外れを補正
する方向に変位し、磁気ヘッド（３ａ） （３ｂ）の
トラッキング補正がなされる。
ところで上記ＶＴＲ装置の特殊再生におけるトラッキン
グ補正で使用される変位拡大装置では、その使用状態で
の温度上昇により該変位拡大装置を構成する積層型圧電
体（９）、金属板（４）及び座屈バネ（１０）が熱膨張
変形してその使用温度範囲が限定されるばかりでなく、
磁気ヘッド（３ａ） （３ａ）の初期位置も設定しす
らいため、上記３者の温度上昇による変形量が相殺され
るようにその各素材を選定する必要がある。現状では、
積層型圧電体（９）としては積層セラミンクが使用され
、また座屈バネ（１０）としてはリン青銅が使用される
ため、ｉ＆終的に金属板（４）の素材によって決定され
る。
グ補正で使用される変位拡大装置では、その使用状態で
の温度上昇により該変位拡大装置を構成する積層型圧電
体（９）、金属板（４）及び座屈バネ（１０）が熱膨張
変形してその使用温度範囲が限定されるばかりでなく、
磁気ヘッド（３ａ） （３ａ）の初期位置も設定しす
らいため、上記３者の温度上昇による変形量が相殺され
るようにその各素材を選定する必要がある。現状では、
積層型圧電体（９）としては積層セラミンクが使用され
、また座屈バネ（１０）としてはリン青銅が使用される
ため、ｉ＆終的に金属板（４）の素材によって決定され
る。
ここで、上記積層型圧電体（９）の素材、即ち積層セラ
ミックの熱膨張係数をＴｃ、座屈バネ（１０）の素材、
即ちリン青銅の熱膨張係数をＴＰ、金属板（４）の素材
の熱膨張係数をＴＫ、また−り記金属板（４）及び座屈
バネ（１０）の各変位拡大率をα１、α２とすると、温
度上昇による金属板（４）の変位係数ＮＡは、ＮＡ ＝
α１ （Ｔ ｅ ＴＫ ） 、座屈バネ（１０）の
変位係数ＮＢは、ＮＢ−α２ （ＴＰ ＴＫ）とな
る。
ミックの熱膨張係数をＴｃ、座屈バネ（１０）の素材、
即ちリン青銅の熱膨張係数をＴＰ、金属板（４）の素材
の熱膨張係数をＴＫ、また−り記金属板（４）及び座屈
バネ（１０）の各変位拡大率をα１、α２とすると、温
度上昇による金属板（４）の変位係数ＮＡは、ＮＡ ＝
α１ （Ｔ ｅ ＴＫ ） 、座屈バネ（１０）の
変位係数ＮＢは、ＮＢ−α２ （ＴＰ ＴＫ）とな
る。
従って、変位拡大装置の座屈バネ（１０）による全体的
な拡大変位係数Ｎは、Ｎ−ＮＡ ＋Ｎ、 −αＩ（Ｔ
ｃ −Ｔ ＊ ）＋α２ （Ｔｔ＋ Ｔｇ）本出願
人による実験では、上記金属板（４）の素材として、５
ＩＪＳ（ステンレス鋼） 、ＳＫＤ （工具用鋼）、イ
ンバー（低膨張合金）を使用し、各素材のうち、積層型
圧電体（９）、金属板（４）及び座屈バネ（１０）の温
度上昇による変形量が相殺されて上記座屈バネ（１０）
の全体的な拡大変位量Ｎが、磁気テープの記録トランク
幅、例えば３０μｍ以下になるように所望の素材を選定
した。この実験では、Ｔ Ｃ＝−４４Ｘ１０’ ／’Ｃ
１ＴＰ＝ １８０Ｘ１０−７ ／’Ｃの各熱膨張係数を
有する積層型圧電体（９）及び座屈バネ（１０）を使用
した結果、ＳＵＳ製の金属板（４）の場合、その熱膨張
係数’ｒＫ＝ １７０Ｘ１０−’ ／’Ｃから座屈バネ
（１０）の拡大変位量Ｎが＋６０μｍとなった。またＳ
ＫＤ製の金属板（４）の場合、その熱膨張係数ＴＫ−１
３０Ｘ１０−７／’ｔ：から上記拡大変位量Ｎが＋１０
μｍとなり、更にインバー製の金属板（４）の場合、そ
の熱膨張係数ＴＫ ＝３５Ｘ１０−７／’ｔ：から拡大
変位量Ｎが一５５μｍとなった。尚、上記拡大変位量は
、室温から８０℃まで温度上昇させた状態での実験デー
タである。
な拡大変位係数Ｎは、Ｎ−ＮＡ ＋Ｎ、 −αＩ（Ｔ
ｃ −Ｔ ＊ ）＋α２ （Ｔｔ＋ Ｔｇ）本出願
人による実験では、上記金属板（４）の素材として、５
ＩＪＳ（ステンレス鋼） 、ＳＫＤ （工具用鋼）、イ
ンバー（低膨張合金）を使用し、各素材のうち、積層型
圧電体（９）、金属板（４）及び座屈バネ（１０）の温
度上昇による変形量が相殺されて上記座屈バネ（１０）
の全体的な拡大変位量Ｎが、磁気テープの記録トランク
幅、例えば３０μｍ以下になるように所望の素材を選定
した。この実験では、Ｔ Ｃ＝−４４Ｘ１０’ ／’Ｃ
１ＴＰ＝ １８０Ｘ１０−７ ／’Ｃの各熱膨張係数を
有する積層型圧電体（９）及び座屈バネ（１０）を使用
した結果、ＳＵＳ製の金属板（４）の場合、その熱膨張
係数’ｒＫ＝ １７０Ｘ１０−’ ／’Ｃから座屈バネ
（１０）の拡大変位量Ｎが＋６０μｍとなった。またＳ
ＫＤ製の金属板（４）の場合、その熱膨張係数ＴＫ−１
３０Ｘ１０−７／’ｔ：から上記拡大変位量Ｎが＋１０
μｍとなり、更にインバー製の金属板（４）の場合、そ
の熱膨張係数ＴＫ ＝３５Ｘ１０−７／’ｔ：から拡大
変位量Ｎが一５５μｍとなった。尚、上記拡大変位量は
、室温から８０℃まで温度上昇させた状態での実験デー
タである。
この実験結果から、金属板（４）の素材にＳＫＤを選定
した場合、座屈バネ（１０）の温度上昇による全体的な
拡大変位量Ｎが、磁気テープの記録トランク幅以下にす
ることができ、温度上昇による拡大変位量が小さい最適
の変位拡大装置を得ることが可能となる。
した場合、座屈バネ（１０）の温度上昇による全体的な
拡大変位量Ｎが、磁気テープの記録トランク幅以下にす
ることができ、温度上昇による拡大変位量が小さい最適
の変位拡大装置を得ることが可能となる。
尚、上記実施例では、ＶＴＲ装置のトラッキング補正に
使用される磁気ヘッドのアクチュエータに適用した場合
について説明したが、本発明はこれに限定されることな
く、上記磁気ヘソド以外のものの変位を拡大する場合に
も適用可能であるのは勿論である。
使用される磁気ヘッドのアクチュエータに適用した場合
について説明したが、本発明はこれに限定されることな
く、上記磁気ヘソド以外のものの変位を拡大する場合に
も適用可能であるのは勿論である。
一発朋吏効１
本発明によれば、温度上昇による拡大変位量が可及的に
小さくなるように各素材を選定したことにより、装置の
使用温度範囲が拡張されると共に、変位初期位置を容易
に設定することが可能となって温度特性の優れた変位拡
大装置を提供することができる。
小さくなるように各素材を選定したことにより、装置の
使用温度範囲が拡張されると共に、変位初期位置を容易
に設定することが可能となって温度特性の優れた変位拡
大装置を提供することができる。
第１図は本発明に係る変位拡大装置を磁気ヘッドの７ク
チユエータに適用した一実施例を示す平面図、第２図は
第１図の正面図である。第３図は一般的なＶＴＲ装置の
回転シリンダ及び磁気テープを示す斜視図、第４図は第
３図の平面図、第５図は磁気テープの記録トランクを示
す部分平面図である。 （６）−ｍ−アーム、（９） −積層型圧電体、（１０
）−座屈バネ。 第１図 第２図
チユエータに適用した一実施例を示す平面図、第２図は
第１図の正面図である。第３図は一般的なＶＴＲ装置の
回転シリンダ及び磁気テープを示す斜視図、第４図は第
３図の平面図、第５図は磁気テープの記録トランクを示
す部分平面図である。 （６）−ｍ−アーム、（９） −積層型圧電体、（１０
）−座屈バネ。 第１図 第２図
Claims (1)
- （１）印加電圧の大きさに応じて伸縮変形する積層型圧
電体と、一端部が積層型圧電体に連結されて該積層型圧
電体の変位量を拡大する一対のアームと、該アームの他
端部間に橋架された帯板状の座屈バネとからなり、上記
積層型圧電体、アーム及び座屈バネの３者は、温度変化
によって生ずる座屈バネの変位量を可及的に小さくする
よう、上記３者について所望の熱膨張温度係数を有する
素材を選定したことを特徴とする変位拡大装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60128887A JPS61288782A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | 変位拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60128887A JPS61288782A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | 変位拡大装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61288782A true JPS61288782A (ja) | 1986-12-18 |
| JPH0150193B2 JPH0150193B2 (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=14995807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60128887A Granted JPS61288782A (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | 変位拡大装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61288782A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01185175A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-24 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
| DE102005023767A1 (de) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg | Stellantrieb |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7290306B2 (ja) * | 2019-01-31 | 2023-06-13 | 国立大学法人東京工業大学 | 可変熱膨張及びゼロ熱膨張を有する変位拡大装置及びこれを用いた形状可変副鏡ユニット |
-
1985
- 1985-06-13 JP JP60128887A patent/JPS61288782A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01185175A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-24 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
| DE102005023767A1 (de) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg | Stellantrieb |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0150193B2 (ja) | 1989-10-27 |
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