JPS61287599A - 化学容器用バルブ - Google Patents

化学容器用バルブ

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JPS61287599A
JPS61287599A JP61133980A JP13398086A JPS61287599A JP S61287599 A JPS61287599 A JP S61287599A JP 61133980 A JP61133980 A JP 61133980A JP 13398086 A JP13398086 A JP 13398086A JP S61287599 A JPS61287599 A JP S61287599A
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JP
Japan
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valve
annular groove
product
line
gas
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JP61133980A
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English (en)
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フランク・ヨゼフ
ヘルムート・クラウス
ペーター・ミユーラー
クラウス・クレール
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Merck Patent GmbH
Original Assignee
Merck Patent GmbH
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
    • B67C9/00—Devices for emptying bottles, not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
    • B01J4/001—Feed or outlet devices as such, e.g. feeding tubes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/22—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with sealing faces shaped as surfaces of solids of revolution
    • F16K3/24—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with sealing faces shaped as surfaces of solids of revolution with cylindrical valve members
    • F16K3/26—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with sealing faces shaped as surfaces of solids of revolution with cylindrical valve members with fluid passages in the valve member
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
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  • Filling Of Jars Or Cans And Processes For Cleaning And Sealing Jars (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液体状または気体状の化学製品を抜出すと同
時に保護気体を供給するためのものであって、該製品お
よび該気体のための供給ラインと抜出ラインとを備えた
バルブノ・ウジングヲ有し、そして該パルプハウジング
内穿孔中に可動性のバルブ本体を有して成る化学容器用
のバルブに関する。
例えば半導体の製造に必要な物質は大体において有毒お
よび／または攻撃的（ａｇｇｒｅｓｓｉｖｅ　）である
。これらの液体の貯蔵および輸送に用いられる容器中、
および／捷たけ接続されるドーピングお」二びエピタキ
シャル・ブラントにおけろ不純物は、処理手順上相当な
問題を生じろため除かれなければならない。これらの応
用に対しては、前述のタイプのバルブが用いられる。供
給される保護気体例えば不活性気体は抜出すべき液体状
捷たけ気体状製品の輸送に用いられ、１だ大抵の場合、
抜出後接続系統を洗浄（フラッシュ）するのにも用いら
れる。
光フアイバー技術において、酸クロライドは、ガラス容
器、あるいは特に四塩化珪素の場合には、不銹鋼容器に
収納されて出荷あるいは貯蔵される。不銹鋼容器には鋼
球バルブが通常用いられるのに対し、ガラス容器には、
プラグバルブが用いられるがこれは確かに保護気体によ
る洗浄の可能性を与えるものの、バルブにおける表面圧
が比較的低いために、しばしば十分な密封（シーリング
）を与えない。このタイプの応用には、他のガラスおよ
び７寸たはＩ）　Ｔ　Ｆ　Ｅバルブも用いられる。
本発明の目的は、簡単かつコンパクトな構造でもって完
全な密封を達成する冒頭記載のタイプのバルブを提供す
ることにある。
この目的は、本発明により、そのバルブがバルブハウジ
ング内の穿孔中を軸方向に移動可能な円柱状バルブスプ
ールを有するスライディングバルブであって、該バルブ
スプールには、開弁位置において製品供給ラインを製品
抜出ラインに接続する第１環状溝が設けられ、また、開
弁位置において気体供給ラインを気体抜出ラインに接続
する第２環状溝が設けられており、第１環状溝を中心に
して第２環状溝の反対側には、バルブスプール中の中央
穿孔により第２環状溝に接続されそれによって化学製品
を扱う環状溝の内圧に等しい超過圧力（ｏｖｅｒｙｅｓ
ｓｕｒｅ）で不活性気体が供給されそして外側からのあ
るいは外側への汚染が生じないようにこれを包囲する第
６環状溝が設けられており、そしてすべての環状溝（１
４，１５，１９）が密封リング（２０）により軸方向に
ンールされるという構成によって達成される。
抜出されるべき製品を扱う環状溝のいずれかの側に、保
護気体が導入される前記２個の環状溝を配設したことに
より、微量の製品の逃出が確実に妨げられ、あるいは製
品を扱う導管内への外部からの不純物の侵入が妨げられ
る。製品を容器から搬出する保護気体は化学品と同じ圧
力のｉ！マであるので、その結果、製品逃出の原因とな
りうる製品を隔離するシーリング表面における内部超過
圧力が生じない。
可動性のバルブ本体をバルブスプールとして構成したこ
とにより、一方において容器からの製品の抜出に、他方
において同時にシーリング効果の実質的改良を達成する
ために用いられる保護気体の同時供給に必要なバルブ制
御機能を可及的に小さい相互隣接空間の中で果させるこ
とが可能である。
本発明概念の好ましい態様によれば、閉弁位置において
第３環状溝が製品抜出ラインに接続されるように配置さ
れる。これにより、構造的に極めてシンプルに、洗浄設
備が得られる。すなわち、それによりバルブ系を洗浄す
ることが可能となる。供給される保護気体、好ましくは
＝　６− 不活性気体は、気体系統を通って製品を扱う第１環状溝
の一方の側にある第２環状溝に流入し、そこからバルブ
スプールの中央穿孔を通って他方の側に位置する第３環
状溝に流入し、そしてそこから製品抜出ラインに流入す
る。すなわち、閉弁位置では、これらすべての管路が保
護気体で洗浄される。
本発明の好ましい態様は、実施態様項に示されている。
以下に図面に示された設計例を用いて本発明をより詳細
に説明する。
図示されるバルブ１は化学的に攻撃的で高純度の化学薬
品を液体状捷たは気体状で容器２（これは第１図には一
点鎖線により一部が示されているにすぎない）から抜出
するのに用いられる。バルブ１は軸方向に移動自在の円
筒状バルブスプール５が収容されろ中火穿孔４を設けた
バルブハウジング６を有している。
バルブハウジングろの下側には、容器２どの接続を形成
するユニオンナット８を相持する雄螺子７を有する接続
ブランチ６が存在する。ユニオンナット８は左螺子の切
られた上側螺子セクションと右螺子の切られた下側螺子
セクションを有する。右−左螺子カッブリングがそのよ
うに形成されることによって容器２に対しバルブ１を確
実に位置させることが可能となる。
製品供給ライン９および気体抜出ライン１０は相互に軸
方向に隣接され、接続ブランチ６の前面にて終止し、ま
たそれぞれの有する螺子には、選択に従って、容器２内
に収容された液体中に浸漬する浸漬管１１（これは第１
図に一点鎖線によってのみ示されている）を螺子込むこ
とができる。
気体供給ライン１２と製品抜出ライン１６はパルプハウ
ジング乙の穿孔４内に水平的に終止する。バルブスプー
ル５の有する第１環状溝１４は、バルブ１の開弁位置に
あっては（第２図参照）、製品供給ライン９を製品抜出
ライン１３に接続する。第１環状溝１４の片側には第２
環状溝１５があり、これはバルブ１の開弁位置にあって
は（第２図参照）、気体供給ライン１２を、容器２内に
終止する気体抜出ライフ１０に接続する。図示された例
では、浸漬管１１は製品抜出ライン９に螺子込まれてい
るので、供給される不活性気体またはその他の保護気体
による置換を受けて、液体状製品は浸漬管１１内を上昇
しそして製品抜出ライン１３内に送り込まれる。
他方、その浸漬管１１が気体供給ライン１０に螺子込捷
れていれば、供給気体の気泡が液体状製品中を上昇し、
そして気体状または蒸気状態の製品が製品抜出ライン９
を通して製品抜出ライン１３内に送り出されろであろう
。この抜出過程は「吹込み（バブリング）」と称される
。
第１環状溝１４に関し第２環状溝１５の反対側にある第
６環状溝１９は、中央穿孔１６と短い半径方向の穿孔１
７．１Ｂにより第２環状溝１５に連結されている。２個
の環状溝１５．１９は製品を扱う環状溝１４のいずれか
の側に配設されており、したがって保護気体が供給され
、また製品の側方への逃げを妨げろ。
＝　９− すべての環状溝１４．１５および１９は、好ましくは０
−リングの形の密封リング２０によって軸方向にシール
されている。供給ラインおよび抜出ライン（９，１０１
１２および１６）の各排出点の領域において、バルブハ
ウジングろの穿孔４は浅い周溝２１を有している。これ
により、バルブスプール５がその２つの終端位置間を移
動する際の密封リング２０の摩擦が小さくなる。
バブルスプール５の端部に設けられた雄螺子２２は、パ
ルプハウジング乙に嵌合されている動作ナツト２４の雌
螺子２３に係合し、それによって回動はできるが軸方向
には移動できないようにしである。そのために、駆動ナ
ツト２４の肩には周溝２５が設けられ、これはバルブハ
ウジングろに挿着された釘２６と係合する。
バルブハウジング３内に位置する横針２７は、バルブス
プール５内の細長スロット２８を通して突出している。
これによってバルブスプール５の回動が妨げられる。細
長スロット２８の長サバパルプスプール５の軸方向の移
動を制限している。
動作ナツト２４を回動することによって、バルブスプー
ル５は、第６図に示される閉弁位置にくる。この閉弁位
置において、第１環状溝１４は製品供給ライン９と気体
抜出ライン１０に重なり合う。すなわち、容器２に接続
されたそれら２個のライン９およびライン１０はつなが
るが外側とは隔離される。この位置において、第６環状
溝１９は製品抜出ライン１３の上にあり、環状溝１５、
中央穿孔１６、環状溝１９、および製品抜出ライン１３
を介して、気体供給ライン１２からの直接の気体接続が
形成される。このようにして、これら通路を保護気体で
洗浄することができる。
開弁位置におけると同様、ライン９およびライン１０の
放出点の両側のバルブ空間には閉弁位置においても保護
気体が供給され、したがって外側からのあるいは外側へ
の汚染のおきないように包囲されろ。このバルブ作用は
、浸漬管１１をライン９捷たはライン１０のいずれかに
装着することにより、液体の抜出時、および気体または
蒸気の抜出時のいずれの際にも保証されろ。
好ましくは、すべてのバルブ要素０：、化学的抵抗性の
ある合成利料、例えばＰ　’ｒ”　Ｉ”　Ｅおよび／捷
たはＰＶＤＦにより製造される。
【図面の簡単な説明】
図面には本発明のバルブの一般泪例が示され、第１図は
、本発明の化学容器用バルブの一実施例の側面図を含む
図である。 第２図は、開弁位置における第１図の線ｎ−ｎに沿った
断面図を示し、 第６図は、閉弁位置における第１図の線Ｉ−■に沿った
断面図を示す。 特許出願人　　　メルク・パテント・ゲゼルンヤフト・
Ｆｉｑ、　　１

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）液体状または気体状の化学製品を抜出すと同時に保
    護気体を供給するための化学容器用のバルブであつて、
    該製品および該気体のための供給ラインと抜出ラインを
    有するバルブハウジングおよび該バルブハウジング内穿
    孔中に可動性のバルブ本体を有するものにおいて、その
    バルブがバルブハウジング（３）内の穿孔（４）中を軸
    方向に移動可能な円柱状バルブスプール（５）を有する
    スライディングバルブであり、上記のバルブスプール（
    ５）には開弁位置において製品供給ライン（９）を製品
    抜出ライン（１３）に接続する第１環状溝（１４）が設
    けられており、また、上記バルブスプール（５）には、
    開弁位置において気体供給ライン（１２）を気体抜出ラ
    イン（１０）に接続する第２環状溝（１５）が設けられ
    ており、第１環状溝（１４）に対し第２環状溝（１５）
    の反対側にはバルブスプール（５）内の中央の穿孔（１
    ６）により第２環状溝（１５）に接続される第３環状溝
    （１９）が設けられそして上記の環状溝（１４、１５、
    １９）のすべてが密封リング（２０）により軸方向にシ
    ールされていることを特徴とする前記化学容器用バルブ
    。 ２）閉弁位置において第３環状溝（１９）が製品抜出ラ
    イン（１６）に接続される特許請求の範囲第１項記載の
    バルブ。 ３）気体抜出ライン（１０）および製品供給ライン（９
    ）が軸方向に相互に隣接配置され、かつ共通の容器接続
    ブランチ（６）内で終止し、そして各々に選択に従つて
    浸漬管（１１）を接続するための螺子が設けられている
    特許請求の範囲第１項記載のバルブ。 ４）供給ラインおよび抜出ライン（９、１０、１２、１
    ３）の各々の領域においてバルブハウジング（３）の穿
    孔（４）に浅い周溝（２１）が設けられている特許請求
    の範囲第１項記載のバルブ。 ５）バルブスプール（５）がバルブハウジング（３）に
    回動できないように嵌合され、その一端に設けた雄螺子
    （２２）は動作ナット（２４）の雌螺子（２３）に係合
    され、そして該ナット（２４）は回動はできないが軸方
    向には移動できるようにバルブハウジング（３）に嵌合
    されている特許請求の範囲第１項記載のバルブ。 ６）密封リング（２０）がＯ−リングである特許請求の
    範囲第１項記載のバルブ。
JP61133980A 1985-06-11 1986-06-11 化学容器用バルブ Pending JPS61287599A (ja)

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DE3520795.7 1985-06-11
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JPS61287599A true JPS61287599A (ja) 1986-12-17

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KR (1) KR940009092B1 (ja)
AT (1) ATE39906T1 (ja)
DD (1) DD246149A5 (ja)
DE (3) DE3520795A1 (ja)
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