JPS61277463A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS61277463A JPS61277463A JP60120812A JP12081285A JPS61277463A JP S61277463 A JPS61277463 A JP S61277463A JP 60120812 A JP60120812 A JP 60120812A JP 12081285 A JP12081285 A JP 12081285A JP S61277463 A JPS61277463 A JP S61277463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- thermal head
- heating resistor
- protective layer
- silicon nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、サーマルへ、ドの改良に関する。
通常１サーマルヘツドは感熱記録に用いられているが−
この種のサーマルヘッドを製造するには、薄膜技術や厚
膜技術を使用する場合が一般的であシ、特に薄膜技術を
使用したものが性能１優れているため、広（実用化され
ている。
この種のサーマルヘッドを製造するには、薄膜技術や厚
膜技術を使用する場合が一般的であシ、特に薄膜技術を
使用したものが性能１優れているため、広（実用化され
ている。
この薄膜技術による従来のサーマルへ、ドは、第１図に
示すように構成され、喪熱伝導体であり、例えばアルミ
ナ焼結体からなる高抵抗基体１１上には、保温のための
ガラス等からなるグレーズ層１２、発熱抵抗体層１３、
この発熱抵抗体層１３を一部露出するために開口部１４
ｈが設けられた配線導体用の電極層１４、及びこの一部
露出しｔ発熱抵抗体Ｊ＠１３の酸化防止かつ摩耗防止の
ための保護層１５（この保護層１５は酸化防止場及び耐
摩耗防止層とを別々に形成しても良い。）とが順次積層
されている。
示すように構成され、喪熱伝導体であり、例えばアルミ
ナ焼結体からなる高抵抗基体１１上には、保温のための
ガラス等からなるグレーズ層１２、発熱抵抗体層１３、
この発熱抵抗体層１３を一部露出するために開口部１４
ｈが設けられた配線導体用の電極層１４、及びこの一部
露出しｔ発熱抵抗体Ｊ＠１３の酸化防止かつ摩耗防止の
ための保護層１５（この保護層１５は酸化防止場及び耐
摩耗防止層とを別々に形成しても良い。）とが順次積層
されている。
このようなサーマルヘッドでは、感熱紙と摺動しながら
高温加熱と冷却を繰返して使用されるため、サーマルヘ
ッドの信頼性については、発熱抵抗体層１３の加熱によ
る酸化防止と摩耗防止とが重要な要因となる。
高温加熱と冷却を繰返して使用されるため、サーマルヘ
ッドの信頼性については、発熱抵抗体層１３の加熱によ
る酸化防止と摩耗防止とが重要な要因となる。
このため、従来は上記保護層１５の材料として′は、酸
化タンタル（’ｒａ２ｏ５）や炭化ケイ素（ＳｉＣ）、
窒化ケイ素（Ｓ ｉ 、Ｎ４又はＳＩＮり等を使用して
いた。
化タンタル（’ｒａ２ｏ５）や炭化ケイ素（ＳｉＣ）、
窒化ケイ素（Ｓ ｉ 、Ｎ４又はＳＩＮり等を使用して
いた。
ところが、上記酸化タンタルは酸化防止機能を有してい
ない之め、５ＩＯ２等の酸化防止層を別に設けなければ
ならず、生産性の点で問題があり九。又、硬度も低く、
耐摩耗性も十分ではない。更に上記炭化ケイ素は化学的
に不安定で、例えば感熱記録紙上の感熱物質と反応を生
じ、耐摩耗性を著しく劣化させる。一方、上記窒化ケイ
素は硬度が高く化学的に安定で、上記２者よシ比較的優
れた材料であるが、薄膜形状では内部応力が太き（、亀
裂を生じ易いという欠点を有していた。
ない之め、５ＩＯ２等の酸化防止層を別に設けなければ
ならず、生産性の点で問題があり九。又、硬度も低く、
耐摩耗性も十分ではない。更に上記炭化ケイ素は化学的
に不安定で、例えば感熱記録紙上の感熱物質と反応を生
じ、耐摩耗性を著しく劣化させる。一方、上記窒化ケイ
素は硬度が高く化学的に安定で、上記２者よシ比較的優
れた材料であるが、薄膜形状では内部応力が太き（、亀
裂を生じ易いという欠点を有していた。
この発明の目的は、上記従来の問題点を解消し、十分な
耐摩耗性と十分な化学的安定性と十分な耐亀裂性を有し
、寿命が長く生産性の良好なサーマルヘッドを提供する
ことである。
耐摩耗性と十分な化学的安定性と十分な耐亀裂性を有し
、寿命が長く生産性の良好なサーマルヘッドを提供する
ことである。
この発明は、高抵抗基体上に発熱抵抗体層、この発熱抵
抗体層を一部露出する几めに開口部が設けられ友電極層
、及び保護層を順次積層してなるサーマルヘッドにおい
て、上記保護層の材料として、窒化ケイ素と酸化ケイ素
の混合物を用い友サーマルヘッドである。
抗体層を一部露出する几めに開口部が設けられ友電極層
、及び保護層を順次積層してなるサーマルヘッドにおい
て、上記保護層の材料として、窒化ケイ素と酸化ケイ素
の混合物を用い友サーマルヘッドである。
この発明のサーマルヘッドは第１図に示すように構成さ
れ、アルミナ等からなる高抵抗基体１１上には、ガラス
等からなるグレーズ層１２が厚さ略５０乃至略８０μｍ
形成されている。このグレーズ層１２上には、Ｔａ−８
１０□からなる発熱抵抗体層１３が、厚さ略３０００乃
至略５０００Ｘ形成されている。更に、この発熱抵抗体
層１３上には、この発熱抵抗体層１３の一部を露出−す
るように開口部１４ａを有し、Ｃｒを１２００１．Ｐｄ
を１ｏ００又、Ａｕを１μｆｆｌ、 Ｃｒを６００Ｘ順
次積層してなる電極層１４が形成されている。この電極
層１４上と上記発熱抵抗体層１３の露出した部分の上に
は、５ｉｓＮ４−８１０２つまシ窒化ケイ素と酸化ケイ
素の混合物よプなる保護層１５が厚さ略３．０μｍ形成
されている。尚、この保護層１５は、Ｓｌ、Ｎ４−５ｔ
Ｏ２焼結体ターダットを用い、Ａｒ中でのスノ譬ツタリ
ング法によシ着膜されている。
れ、アルミナ等からなる高抵抗基体１１上には、ガラス
等からなるグレーズ層１２が厚さ略５０乃至略８０μｍ
形成されている。このグレーズ層１２上には、Ｔａ−８
１０□からなる発熱抵抗体層１３が、厚さ略３０００乃
至略５０００Ｘ形成されている。更に、この発熱抵抗体
層１３上には、この発熱抵抗体層１３の一部を露出−す
るように開口部１４ａを有し、Ｃｒを１２００１．Ｐｄ
を１ｏ００又、Ａｕを１μｆｆｌ、 Ｃｒを６００Ｘ順
次積層してなる電極層１４が形成されている。この電極
層１４上と上記発熱抵抗体層１３の露出した部分の上に
は、５ｉｓＮ４−８１０２つまシ窒化ケイ素と酸化ケイ
素の混合物よプなる保護層１５が厚さ略３．０μｍ形成
されている。尚、この保護層１５は、Ｓｌ、Ｎ４−５ｔ
Ｏ２焼結体ターダットを用い、Ａｒ中でのスノ譬ツタリ
ング法によシ着膜されている。
ところで、上記のような構造のサーマルヘッドにおいて
は、０．６５ ｗｘ ４ ｍｓの／−ルスを１０．４Ｈ
ｚの周期で印加し、１６０ ｗｍ／ｍｉｎで記録紙を送
った場合の摩耗量は、０．０８μｍ／ｋｍでありた。因
みに同じ条件下で耐摩耗層をＴａ２０５とした場合には
０．３μｍ ／ ｋｍで、Ｓｌ、Ｎ４−８１０２を用い
た場合の耐摩耗性は十分良好であることが分る。
は、０．６５ ｗｘ ４ ｍｓの／−ルスを１０．４Ｈ
ｚの周期で印加し、１６０ ｗｍ／ｍｉｎで記録紙を送
った場合の摩耗量は、０．０８μｍ／ｋｍでありた。因
みに同じ条件下で耐摩耗層をＴａ２０５とした場合には
０．３μｍ ／ ｋｍで、Ｓｌ、Ｎ４−８１０２を用い
た場合の耐摩耗性は十分良好であることが分る。
一般に、窒化ケイ素は前述したように硬度が高く化学的
に安定だが、薄膜形状では内部応力が大きく、亀裂を生
じ易いという欠点を有している。しかし、Ｓｔ、Ｎ４−
８１０□焼結体ターｒットを用いた８１ｓＮ４−８ｉＯ
２スパツタ膜では、８１０□によシ内部応力が緩和され
、サーマルヘッドとして十分な耐亀裂性を有するように
なる。ここで問題となるのは、８ｉ０２の含有率である
が、これは分子比で１０〜４０モルチが最も適している
。
に安定だが、薄膜形状では内部応力が大きく、亀裂を生
じ易いという欠点を有している。しかし、Ｓｔ、Ｎ４−
８１０□焼結体ターｒットを用いた８１ｓＮ４−８ｉＯ
２スパツタ膜では、８１０□によシ内部応力が緩和され
、サーマルヘッドとして十分な耐亀裂性を有するように
なる。ここで問題となるのは、８ｉ０２の含有率である
が、これは分子比で１０〜４０モルチが最も適している
。
８１０□の含有率が１０モルチ未満では充分な耐亀裂性
が得られず、４０モルチを超えると、サーマルヘッドと
して十分な耐摩耗性が失われてしまうからである。
が得られず、４０モルチを超えると、サーマルヘッドと
して十分な耐摩耗性が失われてしまうからである。
そこで、この発明では、ｓｉｏ、っまシ酸化りイ素の含
有率が分子比で１０〜４０モルチに設定されている。
有率が分子比で１０〜４０モルチに設定されている。
この発明のサーマルヘッドは、゛保護層１５の材料とし
て、窒化ケイ素と酸化ケイ素の混合物を用いているので
、従来の問題点が解消され、十分な耐摩耗性と十分な化
学的安定性と十分な耐亀裂性を有し、寿命が長く生産性
の良好なサーマルへ、ドを提供することが出来る。
て、窒化ケイ素と酸化ケイ素の混合物を用いているので
、従来の問題点が解消され、十分な耐摩耗性と十分な化
学的安定性と十分な耐亀裂性を有し、寿命が長く生産性
の良好なサーマルへ、ドを提供することが出来る。
第１図は従来及びこの発明の一冥施例を説明するために
用いるサーマルヘッドを示す断面図である。 １１・・・高抵抗基体、１２・・・グレーズ層、１３・
・・発熱抵抗体層、１４・・・電極層、１４ａ・・・開
口 。 部、１５・・・保護層。
用いるサーマルヘッドを示す断面図である。 １１・・・高抵抗基体、１２・・・グレーズ層、１３・
・・発熱抵抗体層、１４・・・電極層、１４ａ・・・開
口 。 部、１５・・・保護層。
Claims (2)
- （１）高抵抗基体上に発熱抵抗体層、この発熱抵抗体層
を一部露出するために開口部が設けられた電極層、及び
保護層を順次積層してなるサーマルヘッドにおいて、 上記保護層の材料として、窒化ケイ素と酸化ケイ素との
混合物を用いたことを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）上記酸化ケイ素の含有率は分子比で１０〜４０モ
ル％であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60120812A JPS61277463A (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60120812A JPS61277463A (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61277463A true JPS61277463A (ja) | 1986-12-08 |
Family
ID=14795584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60120812A Pending JPS61277463A (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61277463A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58118273A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-14 | Hitachi Ltd | 感熱記録ヘツド |
-
1985
- 1985-06-04 JP JP60120812A patent/JPS61277463A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58118273A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-14 | Hitachi Ltd | 感熱記録ヘツド |
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