JPS6127260U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6127260U JPS6127260U JP10814684U JP10814684U JPS6127260U JP S6127260 U JPS6127260 U JP S6127260U JP 10814684 U JP10814684 U JP 10814684U JP 10814684 U JP10814684 U JP 10814684U JP S6127260 U JPS6127260 U JP S6127260U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- package
- hole
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
区面はこの考案の一実施例の構成を示す断面区である。
1・・・・・・パッケージ、1b・・・・・・底板、2
・・・・・・圧力センナ嵜子、3・・・・・・孔、4・
・・・・・基板、6・・・・・・印刷抵抗(調整用抵抗
)。
・・・・・・圧力センナ嵜子、3・・・・・・孔、4・
・・・・・基板、6・・・・・・印刷抵抗(調整用抵抗
)。
Claims (1)
- 1パッケージ内に圧カセンサ素子および補償抵抗を共に
取付けてなる半導体圧カセンサにおいて、孔が形成され
たパッケージ底板と、前記パッケージ底坂上に、前記孔
を覆うように取付けられた抵抗取付用の基板と、前記基
板裏面の前記孔を臨む位置に形成された調整用抵抗とを
具備してなる半導体圧カセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10814684U JPS6127260U (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10814684U JPS6127260U (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6127260U true JPS6127260U (ja) | 1986-02-18 |
Family
ID=30667356
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10814684U Pending JPS6127260U (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6127260U (ja) |
-
1984
- 1984-07-17 JP JP10814684U patent/JPS6127260U/ja active Pending
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