JPS61270715A - 顕微鏡の載物台駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、顕微鏡の載物台駆動装置に係り、特に、倍
率選択、焦点合わせ等を自動的に行うことができるよう
にした顕微鏡の載物台駆動装置に関する。

【従来の技術】

従来、周知の顕微鏡は、被観察体を鮮明な結像によって
観察するためには、細かな調整作業と熟練とを必要とし
ていた。このため、工業生産過程において、迅速且つ大
量に被観察体を観察することは困難であり、倍率選択か
ら焦点合わせまでの過程を自動的に行うようにした顕微
鏡の出現が待たれていた。 ここで、顕微鏡の調整作業を自動化する場合、特に、焦
点合わせを自動化する場合は、該自動焦点機構が小型軽
量でなければ顕微鏡には不適当であるという問題点があ
る。 例えば、自動焦点用駆動機構として、被ｌｌ寮体を載置
する載物台をＤＣサーボ機構を採用した場合、これが大
型であり且つ静止位置を保持するためのブレーキ装置が
必要となり、小型軽量の！！謂に反する。 又、ステッピングモータによって載物台を駆動する構造
を採用した場合は、微小精度位置決めをするためには、
載物台の駆動軸に減速機を介して該ステッピングモータ
を接続しなければならず、装置が大型となると共にバツ
クラツシの問題が生ずる他、制動トルクを確保するため
に、作動中の発熱が著しいという問題点がある。 更に又、減速機の減速比を１／７０以上としなければな
らず、このような減速比を得ることは困難である。 又、従来周知の手段によって、対物レンズの自動焦点調
整を、数秒程度で完了することは可能であるが、その前
作業としての対物レンズ選択のためのレボルバ回動に多
くの時間を要し、これに、対物レンズと倍率関係を照合
する確認作業を必要とするならば、更に３０秒以上の作
業時間が必要となる。 このため、自動焦点装置の有効性が減殺されてしまう。 更に又、対物レンズの自動焦点調整を行う場合、対物レ
ンズの焦点位置に至るまでの載物台の移動時間及び精度
が問題となる。 即ち、顕微鏡のセット時間を短縮するためには、載物台
の高速移動が望ましいが、高速移動とした場合に、該載
物台を最適位置で静止させることが困難であり、ハンチ
ング等を生じ易く、又一般的に、顕微鏡では載物台の移
動ストロークが比較的小さいのでなおさら問題となる。 一方、載物台を低速送りした場合は、顕微鏡の迅速なセ
ットが困難となる。

【発明が解決しようとする問題点】

この発明は、顕微鏡を自動焦点ｖａＩｌとした場合に、
対物レンズの選択設定を短時間で行い、迅速なセツティ
ングを可能とした顕微鏡の載物台駆動装置を提供するこ
とを目的とする。 又、この発明は、顕微鏡を自動焦点調整とした場合に、
載物台の移動装置を軽量且つ小型であって、ハンチング
を生じたりすることなく、短時間で高精度に移動して焦
点合わせを行うことができるようにした顕微鏡の載物台
駆動装置を提供することを目的とする。

【問題点を解決するための手段】

この発明は、顕微鏡の観察光学系に選択的にセットされ
得るｌＩ数の対物レンズと、前記観察光学系にセットさ
れた対物レンズの光軸に沿って載物台を移動させるため
の移動機構と、前記観察光学系から前記セットされた対
物レンズの焦点合否を検出する焦点検出器とを備えた顕
微鏡の載物台駆動装置であって、前記昇降機構の駆動軸
に直結され、一定ステップ角度毎に安定点となるよう形
成されたステッピングモータと、前記安定点の位置を微
小角ずつ段階的に移動させてステップ角度を細分化する
ための対応する複数の励磁相の各相電流の大きさを１人
力バネス毎に段階的に変化させる動磁切換装置と、前記
ステッピングモータに高速送り用パルス信号を出力して
前記駆動軸を高速送りさせ得る高速駆動指令装置と、前
記セットされた対物レンズの焦点深度に基づき、前記ス
テッピングモータに前記高速送り用パルス信号より少な
い所定のパルス信号数を単位として出力する定量駆動指
令装置と、前記焦点検出器の検出出力信号から前記セッ
トされた対物レンズの焦点深度範囲に接近したことを検
出したとき、前記ステツビングモータを前記高速駆動指
令装置から定量駆動指令装置に切換え接続し、且つ、単
位パルス駆動毎に、前記焦点検出器の出力信号と照合し
、前記セットされた対物レンズの焦点深度範囲内に到達
するまで前記定量駆動指令装置を繰返し作動させるため
の制−回路と、を備えることにより上記目的を達成する
ものである。

【作用】

この発明において、載物台を対物レンズの焦点位置に移
動するための載物台移動ＩＡＨは、これを直接駆動する
ステッピングモータによって細分化されたステップ角度
をもって直接駆動されて、且つ対物レンズの焦点深度近
傍まで高速送りで、又、焦点深度範囲内へは、低速の定
量送りで移動されオーバーストロークなく、正確、迅速
に焦点合わせがなされる。

【実施例】

以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、第１因乃至第３図に示されるように、被
観察体く図示省略）を載置する載物台１２と、前記被観
察体を光照明するための光１１１１４と、レボルバ１６
に配設された複数の対物レンズ１８を含み、前記被観察
体からの反射光及び透過光の少なくとも一方を受けて拡
大結像するための拡大光学系と、接眼レンズ２２を含み
、前記拡大光学系による結像を観察するための観察光学
系と、を有してなる顕微鏡１ｏにおいて：前記レボルバ
１６を回動させるための駆動機構２６、選択された対物
レンズ１８を前記拡大光学系の光軸に自動位置合わせす
るための倍率選択制御回路２８、を備えた倍率選択肢Ｍ
３０と；前記観察光学系に臨み、前記被観察体の拡大結
像状態を識別するための焦点検出器３２、この焦点検出
器３２のｍｍ力信号に基づき、前記選択された対物レン
ズ１８の焦点位置まで、駆動機構３４Ａにより前記載物
台１２をレンズ光軸に沿って駆動する載物台移動装置３
４、を備えた自動焦点調整装置３６と：予め設定、、５
ゎえ光量設定１！１Ｇ、：基っ、前記光ヨ□４゜発光　
　　ｉ量を調整する光量調整装置３８と；観察に先立ち
入力指令される倍率選択信号に基づき、前記倍率選択装
置３０、前記自動焦点調整装置ｌ！３６及び前記光量調
整装置３８を所定の手順に沿って自動的に作動させるた
めの操作卓４０と、を設けたものである。 前記載物台移動装置３４は、前記載物台１２に直結され
たステッピングモータ４２と、該ステッピングモータ４
２の静止トルク曲線の安定点の位置を微小角ずつ段階的
に移動させてステップ角度を細分化するための複数の励
磁相の各相電流の大きさを、１人力パルス毎に段階的に
変化させる励磁切換装置４４と、から構成されている。 又、前記ステッピングモータ４２は、１−２相励嫌の４
相基本構造とされ、前記励磁切換装＠４４は、前記ステ
ッピングモータ４２の第１相及び第２相を９０’位相ず
れした略ｓｉｎ波形状軌跡となるべく励ｆａｌｌｌｔ流
を段階的に切換えるように構成されている。 前記倍率選択装置３０は、第４図に示されるように、前
記レボルバ１６に配設された４個の対物レンズ１８の数
に対応させて、該レボルバ１６の静止側に取付けられた
位置センサ４６Ａ〜４６Ｄと、該レボルバ１６の回転側
に取付けられ、前記位置センサ４６Ａ〜４６Ｄのうちの
２個に同時に検出され博る２１Ｉｍの被検知体４８．５
ｏと、前記位置検出センサ４６Ａ〜４６Ｄの出力信号か
ら現在対物レンズを認識すると共に支持された倍率の対
物レンズまでの最短回転方向を特定する回転方向特定回
路（第５図参照）２８Ａと、を備えている。 第４図の符号６２はクリック機構、６４はクリック機構
６２に係合されるためレボルバ１６に、対物レンズ１８
と同数、これに対応して設けられた凹部をそれぞれ示す
。 前記倍率選択装置３０における位置検出器４５の被検知
体４８．６０はマグネットとされ、又、位置センサ４６
Ａ〜４６ＤはホールＩＣとされている。 前記マグネットたる被検知体４８．５０は前記位置セン
サ４６Ａ〜４６０の取付は間隔よりも若干ずらして、且
つ、前記クリック機構６２が凹部６４内に落ち込んだ状
態で、２つの位置センサが被検知体４８．５０の両方を
検出することができるようにされている。 前記位置検出器４５による対物レンズ１８の位置判別は
、第５図に示されるように、位置センサ４６Ａ〜４６Ｄ
のうちのいずれか２つが前記被検知体４Ｂと５０を検出
することによって、行われるようになっている。 即ち、２つの位置センサが被検知体４８．５０を検出す
るので、その論理積により現在位置を知ることができる
。 前記倍率選択制御回路２８は、前記位置検出器４５の出
力信号及び前記操作卓４０に設けられた拡大倍率設定装
置８２からの倍率選択指令信号が入力されると共に、こ
れらの信号に基づいて、レボルバ１６の現在位置から、
拡大倍率設定装置８２によって指定された対物レンズ１
８の位置までの最短距離の回転方向の信号を出力する回
転方向特定回路２８Ａと、この回転方向特定回路２８Ａ
の出力信号を記憶するメモリ２８Ｂと、前記拡大倍率設
定装置８２からの選択設定信号を記憶するメモリ２８Ｃ
と、このメモリ２８Ｇからの出力信号及び前記位置検出
器４５からの出力信号を比較して１両者が一致したとき
停止信号を出力するための停止判断回路２８０と、前記
メモリ２８Ｂの出力信号によって駆動機構２６を駆動さ
せると共に、停止判断回路２８Ｄからの停止信号が入力
されたとき、駆動機構２６を停止させるための駆動回路
２８Ｅとから構成されている。 ここで、前記倍率選択装置３０における駆動機構２６、
位置検出器４５、自動焦点調整装置３６における焦点検
出器３２、載物台移動装置３４、光源１４は顕微鏡本体
１０Ａ側に設けられている。 又、前記倍率選択装置３０、自動焦点調整装置３６にお
ける前記顕微鏡本体１０Ａに設けられた部分以外の部分
と、前記光！！Ｉ整装Ｗ３８は、顕微鏡本体１０Ａとは
別体の制御ボックス１０Ｂに設けられている。 前記顕微鏡本体１０Ａには、更に、載物台１２をＸ軸方
向及びＹ軸方向に駆動するためのＸ方向モータ６６と、
Ｙ方向モータ６８と、載物台１２のＸＹ方向の位置を検
出するための位置検出器７０とが設けられている。 又、前記制御ボックス１０Ｂには、前記以外に、載物台
１２のためのＸＹ駆動装Ｗ１７２が設けられている。 このＸＹ駆動装置ｔ！７２は、中央処理装＠７４と、メ
モリ７６と、前記Ｘ方向モータ６６及びＹ方向モータ６
８を駆動制御するためのＸ方向駆動回路７８及びＹ方向
駆動回路８０とを有している。 前記自動焦点調整装置３６における駆動機構３４Ａは、
前述の如くステッピングモータ４２と励磁切換装置ｌ！
４４を備えてなり、この励磁切換装置４４は、第６因に
示されるように、パルス信号を発生するための発振器４
４Ａと、この発振器４４Ａから出力されるパルス列を計
数して、２５６で零に戻る８　ｂｉｔデータを作るリン
グカウンタ４４Ｂと、このリングカウンタ４４Ｂからの
出力信号に対応するｓｉｎ、　　ｃｏｓの値を出力する
たのＲＯＭ４４Ｇと、このＲＯＭ４４Ｇからの出力信号
をＤ／Ａ変換後励磁信号として駆動回路４４Ｇに出力す
るためのＤ／Ａコンバータ４４０と、から構成されてい
る。 又、前記自動焦点調整装置３６は、前記焦点検出器３２
からの焦点検出信号がインターフェイス３６Ａを介して
入力され、且つこの入力信号が焦点位置に対してどの程
度のずれがあるか、即ち、被観察体の画像の鮮明度を検
出するビデオ信号評価部３６Ｂと、このビデオ信号評価
部３６Ｂの出力信号、前記操作卓４０における拡大倍率
設定装置８２からの設定指令信号がインターフェイス３
６Ｃを介して入力され、且つ、メモリ３６０からの信号
が入力され、前絵駆動機構３４Ａの励磁切換装置４４を
駆動させる中央処理装置３６Ｅと、を備えている。 ここで、前記載物台移動装＠３４の、載物台上限及び下
限位置にはリミットスイッチ３４Ｂが設けられ、載物台
１２によってその上限又は下限位置で信号が出力され、
この信号がインターフェイス３６Ｇを介して前記中央処
理装置３６Ｅに入力されるようになっている。 前記中央処理装置３６Ｅは、第７図に示されるよう、前
記ステッピングモータ４２のための励磁切換装Ｍ４４に
おける発振器から、高速送り用パルス信号を出力して該
ステッピングモータ４２を高速送りさせ得る高速駆動指
令装置３７Ａと、拡大倍率設定装置Ｉ！３２によって選
択された対物レンズ１８の焦点深度に基づき、前記高速
送り用パルス信号より少ない所定のパルス信号数を単位
として出力するべく信号を出−力する定量駆動指令装置
３７Ｂと、前記ビデオ信号評価部３６Ｂによって、前記
焦点検出器３２の検出出力信号から、前記選択された対
物レンズ１８の焦点深度範囲に接近したことが検出され
たとき、前記高速駆動指令装置３７Ａから定量駆動指令
装＠３７Ｂに切換えて、旦つ、単位パルス駆動毎に前記
焦点検出器３２　ｈｋら、ビデオ信号評価部３６Ｂを介
して入力される信号と、メモリ３６Ｄに予め記憶され、
選択された対物レンズ１８の焦点深度とを比較し、ビデ
オ信号評価部３６Ｂからの信号が、前記焦点深度の範囲
内に到達するまで前記定量駆動指令装！！！３７Ｂを繰
返し作動させるための制御回路３７Ｃと、を（藉えてい
る。 ここで、前記駆動機構３４Ａにおけるステッピングモー
タ４２は一般的なステッピングモータと同様に、１−２
相励磁で、１パルス当り０．９′″回転し、１周期８パ
ルス即ち７．２’とされているが、励磁切換装置４４は
、前記７．２’を２５６等分して１パルス当り０．０２
８’″進むように段階的励磁を行うようにされている。 従って、載物台移動装Ｗ１３４の駆動軸のピッチが２．
４ｎとした場合、載物台１２の移動量は、１パルス当り
２．４ＸＯ，０２８′″／３６０°→０．１９μｍとさ
れる。 ここで、前記高速駆動指令装！！３７Ａ及び定量駆動指
令装置２３７Ｂから出力される信号に基づいて励磁切換
装置Ｉ！２４４の発振器４４Ａが発撥する１単位のパル
ス数は、予めメモリ３６０に記憶され　　　１ている対
物レンズ１８の倍率に対応する焦点深度に基づき、第９
図に示されるようになっている。 即ち、選択された対物レンズ１８の焦点深度が深い場合
は、定量駆動指令＠Ｍ３７Ｂからの指令に基づいて出力
される単位当りのパルス信号数は大きく、浅い場合は、
小さくなるようにされている。 ヌ、高速駆動指令装置３７Ａからの信号に基づく高速送
り用のパルス信号は、１秒当りは２２０００Ｐ、／ｓｅ
ａ即ち１秒当り載物台１２の移動距離が４．１８ｚｍ／
ｓｅａとなるようにされている。 前記焦点深度と単位パルス数との関係は、第９図に示さ
れるように、１単位のパルス数口にょる載物台１２の送
り！が選択された対物レンズ１８の焦点深度よりも小さ
くなるようにされている。 ここで、前記焦点深度に対応する単位のパルス数ならび
に高速送りにおける単位のパルス数は増減調整ができる
ようにされている。 又、前記制御回路３７Ｇは、立上がりから高速駆動に入
るまで及び高速駆動が終了して定量駆動に切換える際に
、２５００　Ｐ／ｓｅｃの過渡速度の指令信号を前記励
磁切換装置４４に出力するようにされている。 前記光量調整装Ｗ！３８は、操作卓４ｏの光１！！設定
ｌ１１Ｍ８４からの設定指令信号を記憶すると共に、拡
大倍率設定＠＠８２の設定指令信号がデコーダ３８Ａを
介して入力され、これを記憶するためのメモリ３８Ｂと
、このメモリ３８Ｂの出力信号に基づいて光＋１１１４
の点灯制御を行う光源点灯制御装＠３８Ｃとを備えてい
る。 ヌ、前記光源１４は、ランプ１４Ａ及び１４Ｂと、ラン
プ１４Ａから射出される光を載物台上の被観察体の上方
から照明する反射光源１４Ｃと、ランプ１４Ｂから射出
される光を載物台１２上の被観察体の下方から照明する
透過光源１４０とを備えて構成されている。 前記メモリ３８Ｂは、対物レンズ１８の各倍率に対応し
たランプ１４Ａ及び１４Ｂの光量が予め記憶されると共
に、操作卓４０に設けられた光量設定装置８４からの指
令信号に基づいて前記光量の記憶を変更され得るように
構成され、且っ°、デコーダ３８Ａを介して入力される
拡大倍率設定装！ｌｌ８２による選択設定信号に基づい
て、該選択された対物レンズの倍率に対応した光量の信
号を光源点灯制御装置！！３８Ｇに出力するようにされ
ている。 この光源点灯制御１１装Ｍ３８Ｃは、メモリ３８Ｂから
の信号に基づいてランプ１４Ａ及びランプ１４Ｂの光量
を制御するようにされている。 ここで、ランプ１４Ａとランプ１４Ｂの切換え即ち反射
照明か透過照明かの切換えは外部からマニュアルで行う
ようにする。 次に上記実施例の作用を説明する。 まず、顕微鏡１０の載物台１２に被Ｈｖ！体をセットし
た後、操作卓４０における拡大倍率設定装Ｍ８２により
所望の拡大倍率を選択する。 該拡大倍率設定装置８２によって、倍率選択設定指令信
号が、倍率選択制−回路２８、自動焦点調整装Ｍ３６、
光１ｕｌｌ！１１Ｎ置３８及びＸＹ駆動装置７２にそれ
ぞれ出力される。 前記倍率選択制御回路２８の回転方向特定回路２８Ａは
、入力される選択設定指令信号と、位置検出器４５から
入力される現在位置での対物レンズ１８の倍率を比較し
て、指令された倍率の対物レンズ１８に至る最短距離の
回転方向を選択してこれをメモリ２８Ｂを介して駆動回
路２８Ｅに出力する。 一方、停止判断回路２８Ｄは、メモリ２８Ｃを介して入
力される拡大倍率設定装置８２からの選択設定指令信号
と、位置検出器４５から入力される現在位置の信号とを
比較して、両者が一致したとき、即ち所望の倍率の対物
レンズ１８が観察光学系の光軸に一致したとき停止信号
を駆動回路２８Ｅに出力する。 駆動回路２８Ｅは停止判断回路２８Ｄから停止信号が出
力されるまでの間、回転方向特定回路２８Ａ及びメモリ
２８Ｂを介して入力された回転方向の指令信号に基づい
て駆動機構２６を回転させる。 ここで、対物レンズ１８の現在位置は、第４図に示され
るクリック機構６２が凹部６４に落ちた状態で２つの位
置センサ４６Ａ及び４６Ｄがマグネットである被検知体
４８．５０を検知し、その検知信号の論理積により検出
される。 又、駆動機構２６によってレボルバ１６が回転され、指
定位置のａ、／）だけ手前の位置で指定位置に対応した
２つの位置センサが被検知体４８．５０を検出するが、
この場合のａ／２のずれは、慣性等の影響により生ずる
停止位置のずれ量と一致させておく。 又、駆動機構２６の停止後に、位置センサ４６Ａ〜４６
０の１つからの信号により停止位置を確認し、１１つの
位置センサのみが被検知体４８又は５０を検出している
場合は、指定位置に応じた２つの位置センサとの関係か
ら誤差が生じている方向を判断して修正することができ
る。 又、２個のマグネットからなる被検知体４８．５０を利
用しているので、検出対象の幅を容易に調整することが
できる。 拡大倍率設定装置８２からの対物レンズ１８の選択設定
指令信号は、自動焦点調整装＠３６における中央処理装
置３６Ｅにインターフェイス３６Ｃを介して入力される
。 この中央処理装置３６Ｅは、予めメモリ３６Ｄに記憶さ
れている情報に基づき、与えられた倍率に対応する定量
駆動のパルス数ｎを選択する。 又、焦点検出器３２から得られる画像、信号はインター
フェイス３６Ａを介してビデオ信号評価部３６Ｂに入力
されて、該ビデオ信号評価部３６Ｂは載物台１２の焦点
位置までの距離に対応した信号を中央処理ｆｉ：＠３６
Ｅに出力する。 中央処理装置３６Ｅは、この信号に基づいて、駆動部３
６Ｆに駆動信号を出力する。゛即ち、選択された対物レ
ンズ１８の倍率に対応する焦点深度の外側に設定された
焦点深度近接域〈第８図参照）に入るまでの間は、制御
回路３７Ｃにより、高速駆動指令装置３７Ａから、高速
駆動用の信号出力して、駆動部３６Ｆを介して、載物台
移動装Ｗ１３４の駆動機構３４Ａを駆動する。 駆動部３６Ｆから出力された信号は、駆動機構３４Ａに
おける励磁切換装Ｍ４４の発振器４４Ａに、高速駆動用
のパルス信号即ち、第８図に示される２　２０００　Ｐ
、／ｓｅｃの信号を出力させる。 ビデオ信号評価部３６Ｂからの信号が、載物台１０が焦
点深度近接域に到達した信号となったときに、制御回路
３７Ｃは、第８図に示されるように、駆動部３６Ｆに出
力する信号を、高速駆動指令装置３７Ａから定量駆動指
令＠１！３７Ｂに切換える。 この定量駆動指令装Ｍ３７Ｂは、第８図に示されるよう
に、選択された対物レンズ１８の倍率に対応した単位パ
ルスｎを出力すべく発振器４４Ａに指令信号を出りする
。 従って、ステッピングモータ４２は定量駆動指令装置３
７Ｂからの出力に対応して、例えば、選択された倍率が
５倍の場合は、第８図より、単位パルスｎ−５０のパル
スを断続的に出力する。 この単位パルスｎは、このパルス数に対応する載物台１
２の送り量が焦点深度（倍率が５倍の場合は２８μｍ）
よりも小さい９．５μ−とされているので、１回の単位
パルスｎによっては、焦点深度の反対側に行き過ぎたり
することはない。 中央処理装置３６Ｅは、定量駆動指令装置３７Ｂを介し
ての単位パルスｎの１回の発振毎にビデオ信号評価部３
６Ｂからの信号を捉え、載物台１２が焦点深度の範囲に
入ったか否かを判断して、該焦点深度の範囲に入るまで
上記過程を繰返し、ステッピングモータ４２を駆動する
。 ここで、前記自動焦点調整装！！３６は、載物台１２の
現在位置から、拡大倍率設定装置８２によって対物レン
ズ１８が選択設定された後、直ちに該対物レンズ１８の
焦点位置に向けて、載物台１２を駆動するようにしたも
のであるが、これは、例えば、一旦上限又は下限まで載
物台１２を駆動して、リミットスイッチ３４Ｂがオン、
されて、このりミツトスイッチ３４Ｂのオン信号から載
物台１２を所定の焦点位置にまで駆動するようにしても
よい。 ここで、前記ステッピングモータ４２の励磁切換装置４
４は、該ステッピングモータ４２の安定　　　１点の位
置を微小角ずつ段階的に移動させてステップ角度を細分
化するための対応する複数のＳ毎相の各相電流の大きさ
を１人力パルス毎に段階的に変化させるようになってい
るので、該ステッピングモータ４２に直結される駆動１
１ｆ１３４Ａは、正確に微小曇ずつ載物台１２を駆動さ
せることができる。 前記拡大倍率設定Ｓ！ｒＩ１８２によって出力される対
物レンズ１８の選択設定指令信号は、デコーダ３８Ａを
介して光！１１整装ｆｌ！！３８のメモリ３８Ｂに入力
される。 このメモリ３８Ｂは、選択された対物レンズ１８の倍率
に対応する光量が予め記憶されていて、これが光源点灯
制御装置３８Ｃに出力されて、該光源点灯−Ｗ装Ｍ３８
０は、指令された光量信号に基づいてランプ１４Ａ及び
ランプ１４Ｂの光量を調整する。 又、前記光量設定装Ｗ！８４には、前記自動焦点調整装
＠３６における中央処理装＠３６Ｅの出力信号がインタ
ーフェイス３６Ｇを介して入りされ、例えば、ビデオ信
号評価部３６Ｂからの信号が、光量過多あるいは光量過
少の場合に、光量の減少及び増大の！Ｉｌ！！信号をメ
モリ３８Ｂに出力するようにされている。 従って、光ｌＩ設定装置８４は、自動焦点調整装置！３
６からの信号あるいは操作者の調整によって、メモリ３
８Ｂの記録を変更するように作動される。 従って、上記実施例においては、操作卓４０に設けられ
た拡大倍率設定装置！Ｆ８２により、倍率を選択設定指
令すると、該指令信号に基づいて対物レンズ１８が選択
してセットされると共に、載物台１２が自動的に対物レ
ンズ１８の焦点位置にまでｍＷ察体をセットし、更には
、設定された拡大倍率に対応して光源１４の光量が自動
的にセットされる。 しかも、対物レンズ１８の選択設定は、設定前にセット
されている倍率の対物レンズから最短時間で選択された
対物レンズの位置にまでレボルバ１６が回転駆動されて
、対物レンズ１８の選択の時間を短縮し、又、自動焦点
調整１！１１３６によって、載物台１２をハンチングを
生じたりすることなく高速度で、且つ正確に焦点位置に
被観察体を移動させることができる。 従って、システム全体としては、短時間で効率良く、且
つ正確に顕微［１０全体をセットすることができる。 ここで、前記制御ボックス１０８に：設けられたＸＹ駆
動装置７２は、操作車４０に設けられた自動観察設定装
Ｗ１８６からの指令信号に基づいて、載物台１２をＸＹ
方向に駆動して、所定の位置にまで移動させるものであ
る。 即チ、ｘＹ駆動！！ＩＦ７２（７）中央処理装ＷＩ７４
は、与えられた指令信号に基づき、位置検出器７０から
フィードバックされる載物台１２のＸＹ方向の位置信号
と比較しつつ、ＸＹ方向駆動回路７８及びＹ方向駆動方
向８０を介して、ステッピングモータからなるＸ方向モ
ータ６６及びＹ方向モータ６８を駆動するものである。 ＸＹ駆動装！！７２におけるメモリ７６は、拡大倍率設
定装Ｍ８２からの倍率選択設定指令信号を記憶して、そ
の内容を中央処理装置Ｉ！７４に出力する。 なお、上記実施例は、操作卓４０に設けられた拡大倍率
設定装＠８２によって対物レンズ１日の倍率を選択設定
するようにしたものであるが、これは例えば、操作卓４
０に、自動観察設定装Ｍ８６を設け、これを操作するこ
とによって全自動で載物台のＸＹ方向の位置及び対物レ
ンズ１８の拡大倍率設定選択を行うことができる。 即ち、自動観察設定装置８６を、載物台１２のＸＹ方向
の位置の設定のみならず、拡大倍率選択設定をも行うよ
うにして、全自動で顕微鏡１０のセットを行うものであ
る。 又、上記実施例において、倍率選択装置３０の位置セン
サ４６Ａ〜４６ＤはホールＩＣ，被検知体４８．５０は
マグネットからそれぞれ構成したものであるが、本発明
はこれに限定されるものでなく、要すればレボルバ１６
における対物レンズ１８の位置を検出できるものであれ
ばよい。 又、倍率選択制御回路２８は、前記位置センサ４６Ａ〜
４６Ｄ及び被検知体４８．５０を含んで構成される位置
検出器４５の検出信号に基づいて、選択設定指令信号に
よって選択された対物レンズ１８のＪｌ短回転方向を選
択して、これによって駆動機構２６を駆動できるもので
あればよい。 又、前記自動焦点調整装ｆｆ！２３６は、ビデオ信号評
価部３６８！備え、このビデオ信＠評価部３６Ｂによっ
て焦点検出器３２からの信号を評価して画鍮の鮮明賓か
ら焦点を自動的に検出できるようにしたものであるが、
本発明はこれに限定されるものでなく、自動焦点調整装
置３６は、選択された対物レンズ１８の焦点深度範囲及
びその焦点深度近接域に載物台１２の位置があるか否か
を検出できるものであればよい。

【発明の効果】

本発明は、上記のように構成したので、顕微鏡の載物台
をオーバーストロークしたりすることなく、迅速に且つ
正確に対物レンズの焦点位置にまで駆動させることがで
きるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る載物台駆動装置を備えた顕微鏡の
実施例を示す側面図、第２図は同正面図、第３因は同実
施例における制御回路を示すブロック図、第４図は同実
施例における位置検出器を示す平面図、第５図は同位置
検出器の位置センサの出力信号とレボルバの回転角度と
の関係を示す縮図、第６図は前記実施例における載物台
移動装置の駆動機構を示すブロック図、第７図は同実施
例の自動焦点調整装置における中央処理装置を示すブロ
ック図、第８図は同実施例における自動焦点調整装置の
中央処理装置による載物台駆動機構の制御過程を示す縮
図である。 １０・・・顕微鏡、 １２・・・載物台、 １４・・・光源、 １８・・・対物レンズ、 ２０・・・拡大光学系、 ２２・・・接眼レンズ、 ２４・・・観察光学系計、 ３２・・・焦点検出器、 ３４・・・載物台移動装置、 ３４Ａ・・・駆動機構、 ３６・・・自動焦点調整装置、 ３７Ａ・・・高速駆動指令装置、 ３７Ｂ・・・定量駆動指令装置、 ３７Ｇ・・・制御回路、 ４０・・・操作卓、 ４２・・・ステッピングモータ、 ４４・・・励磁切換装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）顕微鏡の観察光学系に選択的にセットされ得る複
   数の対物レンズと、前記観察光学系にセットされた対物
   レンズの光軸に沿つて載物台を移動させるための移動機
   構と、前記観察光学系から前記セットされた対物レンズ
   の焦点合否を検出する焦点検出器とを備えた顕微鏡の載
   物台駆動装置であつて、前記昇降機構の駆動軸に直結さ
   れ、一定ステップ角度毎に安定点となるよう形成された
   ステッピングモータと、 前記安定点の位置を微小角ずつ段階的に移動させてステ
   ップ角度を細分化するための対応する複数の励磁相の各
   相電流の大きさを１入力パネス毎に段階的に変化させる
   励磁切換装置と、 前記ステッピングモータに高速送り用パルス信号を出力
   して前記駆動軸を高速送りさせ得る高速駆動指令装置と
   、 前記セットされた対物レンズの焦点深度に基づき、前記
   ステッピングモータに前記高速送り用パルス信号より少
   ない所定のパルス信号数を単位として出力する定量駆動
   指令装置と、 前記焦点検出器の検出出力信号から前記セットされた対
   物レンズの焦点深度範囲に接近したことを検出したとき
   、前記ステッピングモータを前記高速駆動指令装置から
   定量駆動指令装置に切換え接続し、且つ、単位パルス駆
   動毎に、前記焦点検出器の出力信号と照合し、前記セッ
   トされた対物レンズの焦点深度範囲内に到達するまで前
   記定量駆動指令装置を繰返し作動させるための制御回路
   と、を備えたことを特徴とする顕微鏡の載物台駆動装置
   。