JPS61256248A

JPS61256248A - 湿度標準装置

Info

Publication number: JPS61256248A
Application number: JP9884685A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Murai; 村井　保秀; Kingo Omura; 大村　金吾
Original assignee: Fujitsu General Ltd
Current assignee: Fujitsu General Ltd
Priority date: 1985-05-09
Filing date: 1985-05-09
Publication date: 1986-11-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、湿度の標準状態を作るための湿度標準装置に
関するもので、制御機器内にも容易に組込めるように小
形で取扱い易いものを得ることを目的とする。

「従来の技術」一般に、湿度センサの感湿特性を調べるには。

日本工業規格による飽和塩方法が知られている。

これは、結晶が存在する程の状態で塩類を水に溶かして
飽和水溶液を作ると、この飽和水溶液に接近した雰囲気
中では、塩類からなる溶質の種類によって決まる相対湿
度が得られることを利用したものである。ちなみに、温
度２０°Ｃにおいて、溶質がに２ＳＯ，では９８％（旧
１）、ＫＮＯ３では９５％（Ｒ１＋）、にＣａでは８５
％（Ｒ１１）、ＮａＣＱでは７５％（Ｒ）Ｉ）、　Ｎａ
Ｂｒでは５９％（Ｒ１１）　、　Ｍｇ（Ｎｏ　３　）　
２・６＋１２０では５４％（１１１り、Ｋ　２ＣＯ３・
２１１□０では４３％（Ｒ１＋）、ＫｇＣＱ、２・６Ｈ
２０では３３％（Ｒ１１）、ＬｉＣＱでは１１％（Ｒ１
＋）である。温度によってやや変化をするものもあるが
ほとんど一定である。

「発明が解決しようとする問題点」しかるに、日本工業規格では、飽和塩方法が規定されて
いるが機器等に組込めるようなより小形で扱い易い具体
的な湿度標準装置までは規定していない。また、湿度セ
ンサは経時変化をするため、一定時間毎に湿度標準装置
で湿度を測定し、誤差が生じたときは、それを更正する
必要がある。

ｒ問題点を解決するための手段」本発明は上述のような要望を達成するためになされたも
ので、一部開口した小形の有底容器と、この容器の底部
に形成された塩類の飽和水溶液を収納する室と、前記容
器の開口に密閉状態に取付けられる湿度センサと、前記
容器の内部であって。

飽和水溶液収納室と湿度センサとの間を仕切るための多
孔質膜体とを具備してなるものである。

「作用」容器の開口に湿度センサを密閉状態に取付けると、多孔
質膜体を通して気体が充満して容器の内部は平衡状態と
なる。そのため、湿度センサはそのときの相対湿度を検
出する。容器が傾いても水溶液は多孔質膜体で遮断され
直接湿度センサに触れることがない。

「実施例」以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図および第２図において、（１）は上端を開口した
直径］、Ｏｍｍ程度の小形の容器で、この容器（１）の
材料には、塩類により腐食することのないように、セラ
ミック、プラスチックなどが用いられる。

塩類の種類によっては耐腐食性全屈も用いられる。

この容器（１）の底部には、塩類の飽和水溶液（２）が
一部結晶（３）を析出する状態で収納されるための水溶
液収納室（４）が形成されている。また、この容器（１
）の上端開口（５）には湿度センサ（６）が密閉状態に
設けられている。この湿度センサ（６）の着脱を容易に
するためには２例えば、上端の両側に案内溝（７）（７
）を形成し、この案内溝（７）（７）内に側方から湿度
センサ（６）を圧入係合する。

前記容器（１）の内部中間には、段部（８）を形成し、
この段部（８）に多孔質膜体（９）が取付けられている
。

飽和水溶液（２）の補充のためには、パツキン（１０）
を介在しつつ容器（１）を上部（１ａ）と下部（１ｂ）
で螺合することが望ましいが、場合によっては多孔質膜
体（９）は接着剤で接着してもよい。この多孔質膜体（
９）は、飽和水溶液（２）の蒸気を通過させるが、液体
を通過させることのない材料からなり、例えば、ガラス
、セラミック、プラスチック（ふっ素糸、ポリエチレン
、ポリカーボネート、ポリプロピレン等）の多孔質物が
用いられる。なお、飽和水溶液（２）が塩類以外であっ
て金属板を腐食しないものであるときは、蒸気だけを通
す多数の小さな孔を穿設した金属板を用いることができ
る。

前記湿度センサ（６）は、具体的には、第３図および第
４図に示すように、セラミック等の電気絶縁材料からな
る基板（］１）を有し、この基板（１１）の一方の面に
は第３図に示すように感湿素子（１２）が設けられ、他
方の面には第４図に示すように感温素子（１３）が設け
られている。前記感湿素子（１２）は、一定の間隔をも
って櫛形に形成された例えばルテニウムオキサイドから
なる１対の電極（１４）（１５）と、これらの電極（１
４）（１５）上に設けられた金属酸化物からなる感湿層
（１６）とから形成されている。他方、感温素子（１３
）は、基板（１１）の裏面側に例えばパラジウム銀を用
いて１対の電極（１７）　（１８）を形成し、それらの
間にサーミスタ（１９）を設けることにより構成されて
いる。このサーミスタ（１９）は各電極（１７）　（１
８）に導電性接着剤やワイヤボンディング等により電気
的に接続される。なお、（２０）（２］、）は感湿素子
（１２）の端子ピン、（２２）　（２３）は感温素子（
１３）の端子ピンである。

また、この湿度センサ（６）は四弗化エチレン、ポリエ
チレン、ポリプロピレンまたはポリメチルメタアクリレ
ートなどの高分子多孔質の保護カバー（２４）で被覆さ
れている。この保護カバー（２４）はそれ自体通気性を
備えているが、その上壁内面には、感湿素子（１２）側
の空間と感温素子（１３）側の空間とを連通させるため
の貫通孔（２５）が形成されている。

また、保護カバー（２４）の上面には、容器（１）に係
合したとき容器（１）内の蒸気が外部へ漏れないような
蒸発防止膜（２Ｇ）を一体に形成する。

以上のような構成において、湿度センサ（６）を案内溝
（７）（７）に圧入係合すると感湿素子（１２）の部分
が開口（５）に臨ませられつつ密閉状態に取りつけられ
る。飽和水溶液（２）の蒸発気体が多孔質膜体（９）を
通過するので、多孔質膜体（９）の上下の空間が完全に
飽和状態となる。したがって、湿度センサ（６）は湿度
標準状態での相対湿度を検出する。

なお、湿度センサ（６）の長さと略同しだけの蓋体を一
体に形成すれば、湿度センサ（６）で外部の湿度を検出
中に、蓋体が容器（１）の開口（５）を閉鎖し、飽和水
溶液（２）の蒸発が防止される。

「発明の効果」本発明は上述のように構成したので、直径、高さがそれ
ぞれ１０１程度の小形の湿度標準装置を得ることができ
、機器内への組込みが可能である。

したがって、経時変化を看視して常に正確な湿度データ
を得ることができる。しかも容器が傾いても水溶液が漏
れたり、湿度センサに直接触れることがないので取扱い
が簡単で、センサへの悪影響もない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による湿度標準装置の一実施例を示す断
面図、第２図は同上斜視図、第３図は湿度センサの一部
切欠いた正面図、第４図は同ｈ　一部切欠いた背面図で
ある。（１）・・・容器、（２）・・飽和水溶液、（３）・・
・結晶、（４）・・飽和水溶液収納室、（５）・・開口
、（６）・湿度センサ、（７）・・・案内溝、（８）・
段部、（９）・・・多孔質膜体、（１０）・・・パツキ
ン、（１２）・・・感湿素子、（１３）・・・感温素子
。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一部開口した小形の有底容器と、この容器の底部
に形成された塩類の飽和水溶液を収納する室と、前記容
器の開口に密閉状態に取付けられる湿度センサと、前記
容器の内部であって、飽和水溶液収納室と湿度センサと
の間を仕切るための多孔質膜体とを具備してなることを
特徴とする湿度標準装置。
（２）多孔質膜体は、耐塩類性と耐触性を具備した材料
からなる特許請求の範囲第１項記載の湿度標準装置。