JPS61252890A - 多段式真空用ル−ツブロワ− - Google Patents
多段式真空用ル−ツブロワ−Info
- Publication number
- JPS61252890A JPS61252890A JP7375885A JP7375885A JPS61252890A JP S61252890 A JPS61252890 A JP S61252890A JP 7375885 A JP7375885 A JP 7375885A JP 7375885 A JP7375885 A JP 7375885A JP S61252890 A JPS61252890 A JP S61252890A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- negative pressure
- chambers
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は多段式真空用ルーツブロワ−に係り、配列方向
中央部の真空室を吸込口を持つ目標高負圧到達真空室と
し、各真空室に通された二本の軸の軸封部の負担を最小
に保持して真空漏れの少ない効率の良い高真空ポンプを
提供できる利用分野を有するものである。
中央部の真空室を吸込口を持つ目標高負圧到達真空室と
し、各真空室に通された二本の軸の軸封部の負担を最小
に保持して真空漏れの少ない効率の良い高真空ポンプを
提供できる利用分野を有するものである。
(従来の技術)
真空室を多段に配列し、各室一組ずつのルーツ式ロータ
を、タイミングギヤにより連動するようにして各室に通
した二本の軸により回転する多段式真空用ルーツブロワ
−は、真空室の配列が例えば王室からなる場合、第6図
に示すように、配列方向の一方のサイドの真空室を、吸
込口a を備える目標高負圧到達真空室aとし、他方の
サイドの真空室を大気に連通する吐出口C′を備える最
終の低負圧圧縮室Cとし、画室の間を中間圧縮室すとし
ているもので目標高負圧到達室aの外壁の紬シールpは
大気圧と該室の負圧との差圧が例へば750Torrと
大きいので、その負担に耐えさせるため、例えば目標高
負圧到達室aと、該室に接続して設けた密閉のタイミン
グギヤ室Xとに圧力バランス管yを設けるか、軸シール
ρにダブルメカ五カルシールなどの高シール負担に耐え
る高価、複雑なシール材を使用しているもので、無接触
シールのごときシール装置の使用がゆるされず、しかも
上記の構成でも安全であるとは言い兼る。と言うのは運
転のはじめは吸込口aが大気圧であることが多く、圧力
バランス管y he設けであるとき、タイミングギヤ室
×のオイルが紬シールρを突破して前記到達室aに逆流
し、さらに吸込口a′から減圧室に逆流伝播して例えば
食品にオイル汚染を及ぼすことがあるからで、圧力バラ
ンス管yの開通操作のタイミングに高度の熟練が要求さ
れる。
を、タイミングギヤにより連動するようにして各室に通
した二本の軸により回転する多段式真空用ルーツブロワ
−は、真空室の配列が例えば王室からなる場合、第6図
に示すように、配列方向の一方のサイドの真空室を、吸
込口a を備える目標高負圧到達真空室aとし、他方の
サイドの真空室を大気に連通する吐出口C′を備える最
終の低負圧圧縮室Cとし、画室の間を中間圧縮室すとし
ているもので目標高負圧到達室aの外壁の紬シールpは
大気圧と該室の負圧との差圧が例へば750Torrと
大きいので、その負担に耐えさせるため、例えば目標高
負圧到達室aと、該室に接続して設けた密閉のタイミン
グギヤ室Xとに圧力バランス管yを設けるか、軸シール
ρにダブルメカ五カルシールなどの高シール負担に耐え
る高価、複雑なシール材を使用しているもので、無接触
シールのごときシール装置の使用がゆるされず、しかも
上記の構成でも安全であるとは言い兼る。と言うのは運
転のはじめは吸込口aが大気圧であることが多く、圧力
バランス管y he設けであるとき、タイミングギヤ室
×のオイルが紬シールρを突破して前記到達室aに逆流
し、さらに吸込口a′から減圧室に逆流伝播して例えば
食品にオイル汚染を及ぼすことがあるからで、圧力バラ
ンス管yの開通操作のタイミングに高度の熟練が要求さ
れる。
(本発明が解決しようとする問題点)
前記した従来の多段式真空用ルーツブロワ−は、目標高
負圧到達真空室aを、複数個の真空室の配列方向の一方
のサイドに設けているため、外気圧と該真空室aの吸込
側の差圧が大きいことにより問題点を生じているものと
判断された。本発明はこの差圧の大きさから袖シールを
不良にしている問題点を解決することを目的とするもの
である。
負圧到達真空室aを、複数個の真空室の配列方向の一方
のサイドに設けているため、外気圧と該真空室aの吸込
側の差圧が大きいことにより問題点を生じているものと
判断された。本発明はこの差圧の大きさから袖シールを
不良にしている問題点を解決することを目的とするもの
である。
(問題点を解決するための手段)
本発明の第1の発明は真空室を多段に配列し、各室一組
ずつのルーツ式ロータを、タイミングギヤにより連動す
るようにして各室に通した二本の軸により回転する多段
式真空用ルーツブロワ−に於いて、配列方向中央部の真
空室を、吸込口を持つ目標高負圧到達真空室とし、配列
方向両サイドの真空室を吐出口が大気に向って開放され
た低負圧圧縮真空室としたことを特徴とするものである
。
ずつのルーツ式ロータを、タイミングギヤにより連動す
るようにして各室に通した二本の軸により回転する多段
式真空用ルーツブロワ−に於いて、配列方向中央部の真
空室を、吸込口を持つ目標高負圧到達真空室とし、配列
方向両サイドの真空室を吐出口が大気に向って開放され
た低負圧圧縮真空室としたことを特徴とするものである
。
その発明要旨を第1図のブロック図に示した。このブロ
ック図の各部に付した符号は第2図の実施例の図面に付
した符号と同じである。
ック図の各部に付した符号は第2図の実施例の図面に付
した符号と同じである。
本発明の第2の発明は前記第1の発明の要部を要部とす
るもので、真空室を多段に配列し、各室一組ずつのルー
ツ式ロータを、タイミングギヤにより連動するようにし
て各室に通した二本の軸により回転する多段式真空用ル
ーツブロワ−に於いて、配列方向中央部の真空室を吸込
口を持つ目標高負圧到達真空室とし、配列方向両サイド
の真空室を吐出口が大気に向って開放された低負圧圧縮
真空室とし、前記二本の軸を、互いに隣り合った真空室
間及び両サイド真空室とハウジングの紬通部に於いてラ
ビリンス式シールによりシールしたことを特徴とするも
のである。
るもので、真空室を多段に配列し、各室一組ずつのルー
ツ式ロータを、タイミングギヤにより連動するようにし
て各室に通した二本の軸により回転する多段式真空用ル
ーツブロワ−に於いて、配列方向中央部の真空室を吸込
口を持つ目標高負圧到達真空室とし、配列方向両サイド
の真空室を吐出口が大気に向って開放された低負圧圧縮
真空室とし、前記二本の軸を、互いに隣り合った真空室
間及び両サイド真空室とハウジングの紬通部に於いてラ
ビリンス式シールによりシールしたことを特徴とするも
のである。
(実施例)
本発明の第1の発明及びtJ&2の発明を包括した実施
例を第2〜5図に示す。
例を第2〜5図に示す。
(6)は第2図の右から@1真空室I、第2真空室■、
第3真空室■、第4真空室■、第5真空室Vを連装した
5段式ルーツプロワ−筐体であって、中央に吸込口(3
a)を設けたケーシング3を配置し、その両サイドに、
ケーシング(3)の内空を区切る側壁(2−1)、(4
−1)を設けたケーシング(2)、(4)を接合し、さ
らにその両サイドにケーシング(2)、(4)の内空を
区切る側壁(Ll)(5−1)を設けたケーシング(1
)、(5)を接合し、最外側の両サイドにケーシング(
1)、(5)のエンド板(Ll)、及び(7−+)を備
えるハウジング(6)、(7)を取付け、ハウジング(
7)にタイミングギヤカバー(8)を固定する。ケーシ
ング(3)の周壁構成材には据付脚(9)を設け、その
構成材と前記側壁(Ll)、(4−+)の外周とを連結
ピンにより連結する。
第3真空室■、第4真空室■、第5真空室Vを連装した
5段式ルーツプロワ−筐体であって、中央に吸込口(3
a)を設けたケーシング3を配置し、その両サイドに、
ケーシング(3)の内空を区切る側壁(2−1)、(4
−1)を設けたケーシング(2)、(4)を接合し、さ
らにその両サイドにケーシング(2)、(4)の内空を
区切る側壁(Ll)(5−1)を設けたケーシング(1
)、(5)を接合し、最外側の両サイドにケーシング(
1)、(5)のエンド板(Ll)、及び(7−+)を備
えるハウジング(6)、(7)を取付け、ハウジング(
7)にタイミングギヤカバー(8)を固定する。ケーシ
ング(3)の周壁構成材には据付脚(9)を設け、その
構成材と前記側壁(Ll)、(4−+)の外周とを連結
ピンにより連結する。
本発明は第1真空室I〜第5真空室Vの配列方向中央部
の第3真空室■を目標高負圧到達真空室(61)とし、
その両サイドの第2真空室■を第2室(62)、第4真
空室■を第3室(63)とし、最外側の第1真空室■と
第5真空室Vとを共に低負圧圧縮室(64)、(64)
とするもので、目標高負圧到達真空室(61)のケーシ
ング(3)には前記のように吸込口(3a)を設けるの
他、連結パイプ(51)によって第2室(62)のケー
シング(2)に設けた吸込口(2a)に連結される吐出
口(3b)を設け、その第2室(62)のケーシング(
2)には連結パイプ(52)によって第4室(63)の
ケーシング(4)の吸込口(4a)に連結される吐出口
(2b)を設け、さらにそのtJ&4室(63)のケー
シング(4)に設けた吐出口(4b)を連結パイプ(5
3)、(53)により低負圧圧縮室(64)、(64)
のケーシング(1)、(5)の吸込口(1a)、(5a
)に連結し、そのケーシング(1)、(5)の吐出口(
1b)、(5b)を大気に連通する(以上第1図参照)
。
の第3真空室■を目標高負圧到達真空室(61)とし、
その両サイドの第2真空室■を第2室(62)、第4真
空室■を第3室(63)とし、最外側の第1真空室■と
第5真空室Vとを共に低負圧圧縮室(64)、(64)
とするもので、目標高負圧到達真空室(61)のケーシ
ング(3)には前記のように吸込口(3a)を設けるの
他、連結パイプ(51)によって第2室(62)のケー
シング(2)に設けた吸込口(2a)に連結される吐出
口(3b)を設け、その第2室(62)のケーシング(
2)には連結パイプ(52)によって第4室(63)の
ケーシング(4)の吸込口(4a)に連結される吐出口
(2b)を設け、さらにそのtJ&4室(63)のケー
シング(4)に設けた吐出口(4b)を連結パイプ(5
3)、(53)により低負圧圧縮室(64)、(64)
のケーシング(1)、(5)の吸込口(1a)、(5a
)に連結し、そのケーシング(1)、(5)の吐出口(
1b)、(5b)を大気に連通する(以上第1図参照)
。
1 ケーシング(1)〜(5)には第3.4図の断面
図に示したように一組ずつのルーツ式ロータ(10−、
)、(10−+ )・(10−2)、(10−2)・(
10−3)、(10−3)・(10−、)、(10−4
)・(10−9)、(10,)を配置し、ハウジング(
6)、(7)の粕受(fLl)・(7−1)により軸支
して、タイミングギヤカバー(8)内タイミングギヤ(
12)、(13)により反対方向に連動するようにした
二本の軸(15)、(15)を各ハウジング(6)、(
7)が構成するエンド板(e−+)、(7−+)及び全
ケーシングの側壁(1−1)(2−i )・(4−1>
(5−1)に形成した六個ずつの軸孔(L7)〜(22
)及V (17)−(22)ニ密接状に通して前記各ル
ーツ式ロータを連結し、一方の軸(15)(第2図の下
方)をモータによる駆動軸にするためハウシング(6)
の外部に突出する。
図に示したように一組ずつのルーツ式ロータ(10−、
)、(10−+ )・(10−2)、(10−2)・(
10−3)、(10−3)・(10−、)、(10−4
)・(10−9)、(10,)を配置し、ハウジング(
6)、(7)の粕受(fLl)・(7−1)により軸支
して、タイミングギヤカバー(8)内タイミングギヤ(
12)、(13)により反対方向に連動するようにした
二本の軸(15)、(15)を各ハウジング(6)、(
7)が構成するエンド板(e−+)、(7−+)及び全
ケーシングの側壁(1−1)(2−i )・(4−1>
(5−1)に形成した六個ずつの軸孔(L7)〜(22
)及V (17)−(22)ニ密接状に通して前記各ル
ーツ式ロータを連結し、一方の軸(15)(第2図の下
方)をモータによる駆動軸にするためハウシング(6)
の外部に突出する。
二本の軸(15)、(15)には前記各軸孔(17)−
(22)及び(17)〜(22)を通る部分の外周に、
ラビリンス(23)〜(28)及びラビリンス(23)
〜(28)を設ける。
(22)及び(17)〜(22)を通る部分の外周に、
ラビリンス(23)〜(28)及びラビリンス(23)
〜(28)を設ける。
紬(15)に対するルーツ式ロータ(10,、)〜(t
O−6)の取付は及びラビリンス(23)〜(28)の
形成は、二本の紬(15)、(15)ともに同じである
。第5図に一方の軸(15)についての取付は及び形成
を示した。即ち紬(15)には中央のルーツ式ロータ(
IL3)を一体に形成して他の四個のロータを単独回転
不能に嵌め込むようにしである。ロータ(10−2)、
(10−4)には側壁(2−1)、(4−1)の各軸孔
に通す間隔子(10−211)、(10,a)を設け、
その外周にラビリンス(23)、(26)を形成し、ロ
ータ(to−I)、(io−s)には側壁(1−+)、
(5−、)の各軸孔に通す間隔子(10−+a)、(1
0−5a)を一体に設けてその外周にラビリンス(24
)、(27)を形成する。前記各ロータは順序立ててロ
ータ(10−3)の両側に押付け、軸(15)に螺合し
たナラ) (29)、(30)により締付ける。該ナツ
ト(29)、(30)はエンド板(Ll)、(7−+)
の各軸孔に通る外径とし、その外周にラビリンス(25
)、(28)を形成する。
O−6)の取付は及びラビリンス(23)〜(28)の
形成は、二本の紬(15)、(15)ともに同じである
。第5図に一方の軸(15)についての取付は及び形成
を示した。即ち紬(15)には中央のルーツ式ロータ(
IL3)を一体に形成して他の四個のロータを単独回転
不能に嵌め込むようにしである。ロータ(10−2)、
(10−4)には側壁(2−1)、(4−1)の各軸孔
に通す間隔子(10−211)、(10,a)を設け、
その外周にラビリンス(23)、(26)を形成し、ロ
ータ(to−I)、(io−s)には側壁(1−+)、
(5−、)の各軸孔に通す間隔子(10−+a)、(1
0−5a)を一体に設けてその外周にラビリンス(24
)、(27)を形成する。前記各ロータは順序立ててロ
ータ(10−3)の両側に押付け、軸(15)に螺合し
たナラ) (29)、(30)により締付ける。該ナツ
ト(29)、(30)はエンド板(Ll)、(7−+)
の各軸孔に通る外径とし、その外周にラビリンス(25
)、(28)を形成する。
軸(15)、(15)の組付けは第2図の通りである。
ルーツ式ロータ(10−+)〜(10−5)は二葉式、
三葉式の何れでもよい。
三葉式の何れでもよい。
また前記ラビリンス(23)〜(Z8)に代えて非接触
のドライリップシールを使用することもできる。
のドライリップシールを使用することもできる。
前記各吸込口と各吐出口には冷却水を循環させる套管(
41)を夫々に設けた吸込口管(ls)〜(5−3)と
吐出口管(1−、)〜(5−4)を接合する。前記した
連結パイプ(51)、(52)、(53)、(53)は
吸込口管(1−3)〜(5−s)と吐出口管(1−4)
〜(5−4)に連接するものである。吸込口管と吐出口
管とは一部を図示していないが、図示されたものと同じ
である。
41)を夫々に設けた吸込口管(ls)〜(5−3)と
吐出口管(1−、)〜(5−4)を接合する。前記した
連結パイプ(51)、(52)、(53)、(53)は
吸込口管(1−3)〜(5−s)と吐出口管(1−4)
〜(5−4)に連接するものである。吸込口管と吐出口
管とは一部を図示していないが、図示されたものと同じ
である。
前記において、
目標高負圧到達真空室(61)の吸込制約 I T
orr 第2室(62)の吸込側 約 10Torr
第3室(63)の吸込側 約100 Tor
r低負圧圧m室(64)、C64)の曙込([111h
400 Torr同 吐出制約
760 Torrとなるようにケーシング(1)〜(5
)の容積、ルーツ式ロータ(IL+)〜(10−1)の
圧縮能力を夫々に設定する。
orr 第2室(62)の吸込側 約 10Torr
第3室(63)の吸込側 約100 Tor
r低負圧圧m室(64)、C64)の曙込([111h
400 Torr同 吐出制約
760 Torrとなるようにケーシング(1)〜(5
)の容積、ルーツ式ロータ(IL+)〜(10−1)の
圧縮能力を夫々に設定する。
ラビリンス(23)〜(28)の最大外径50mm、長
さは20mmにする。
さは20mmにする。
(本発明の作用及び効果)
本発明第1の発明及び第2の発明の構成は前記実施例の
記載により明確にした通りであって、真空室が五室であ
り真空室I及びVを同圧の低負圧圧縮室(64)、(6
4)とする場合、目標高負圧到達真空室(61)と第2
室同 (61)と第3室第2室と
低負圧圧縮室(64) 第3室と低負圧圧縮室(64) の夫々の圧力差が少ないから、圧力洩れを少(する。
記載により明確にした通りであって、真空室が五室であ
り真空室I及びVを同圧の低負圧圧縮室(64)、(6
4)とする場合、目標高負圧到達真空室(61)と第2
室同 (61)と第3室第2室と
低負圧圧縮室(64) 第3室と低負圧圧縮室(64) の夫々の圧力差が少ないから、圧力洩れを少(する。
このため、第2の発明のようにラビリンス等の、故障が
なく、製作も容易な無接触シールにより軸封することが
可能になる。
なく、製作も容易な無接触シールにより軸封することが
可能になる。
本発明の1@1の発明及びその第1の発明の要部を要部
とする#&2の発明により、多段式真空用ルーツプロワ
−の性能を向上し、且つ低コストを以て提供できる効果
をもつ。
とする#&2の発明により、多段式真空用ルーツプロワ
−の性能を向上し、且つ低コストを以て提供できる効果
をもつ。
第1図は本発明の詳細な説明する概要図、第2図は縦断
何間図、第3図は第2図A−A線切断正面図、第4図は
第2図B−B#i切断正面図、第5図は軸(15)及び
ロータ、ラビリンスを示した縦断側面図である。第6図
は従来の多段式真空用ルーツブロワ−の第1図に準じた
概要図である。 r−v−第1〜第5真空室 (1)〜(5)→ケーシング (10−1)〜(10−s)→ルーツ式ロータ(15)
、(15)→軸 (51)、(52L (53)→連結
パイプ(61)→目標高負圧到達真空室 (62)→第
2室(63)→第3室 (64)→低負圧圧縮室薊 嘗8図 第4図
何間図、第3図は第2図A−A線切断正面図、第4図は
第2図B−B#i切断正面図、第5図は軸(15)及び
ロータ、ラビリンスを示した縦断側面図である。第6図
は従来の多段式真空用ルーツブロワ−の第1図に準じた
概要図である。 r−v−第1〜第5真空室 (1)〜(5)→ケーシング (10−1)〜(10−s)→ルーツ式ロータ(15)
、(15)→軸 (51)、(52L (53)→連結
パイプ(61)→目標高負圧到達真空室 (62)→第
2室(63)→第3室 (64)→低負圧圧縮室薊 嘗8図 第4図
Claims (2)
- (1)真空室を多段に配列し、各室一組ずつのルーツ式
ロータを、タイミングギヤにより連動するようにして各
室に通した二本の軸により回転する多段式真空用ルーツ
ブロワーに於いて、配列方向中央部の真空室を吸込口を
持つ目標高負圧到達真空室とし、配列方向両サイドの真
空室を低負圧圧縮真空室とし中央部目標高負圧到達真空
室から、両サイドに向かって順次大気圧に近づくように
したことを特徴とする多段式真空用ルーツブロワー。 - (2)真空室を多段に配列し、各室一組ずつのルーツ式
ロータを、タイミングギヤにより連動するようにして各
室に通した二本の軸により回転する多段式真空用ルーツ
ブロワーに於いて、配列方向中央部の真空室を吸込口を
持つ目標高負圧到達真空室とし、配列方向両サイドの真
空室を低負圧圧縮真空室とし中央部目標高負圧到達真空
室から、両サイドに向かって順次大気圧に近づくように
するとともに、前記二本の軸を互いに隣り合った真空室
間及び両サイド真空室とハウシングの軸通部に於いてラ
ビリンス式シールによりシールしたことを特徴とする多
段式真空用ルーツブロワー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7375885A JPS61252890A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 多段式真空用ル−ツブロワ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7375885A JPS61252890A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 多段式真空用ル−ツブロワ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61252890A true JPS61252890A (ja) | 1986-11-10 |
Family
ID=13527451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7375885A Pending JPS61252890A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 多段式真空用ル−ツブロワ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61252890A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63246486A (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-13 | Anretsuto:Kk | 多段式真空ル−ツブロワ− |
JPH01108379U (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-21 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50153307A (ja) * | 1974-05-31 | 1975-12-10 |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP7375885A patent/JPS61252890A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50153307A (ja) * | 1974-05-31 | 1975-12-10 |
Cited By (2)
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JPH01108379U (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-21 |
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