JPS61233306A - Method for measuring extent of eccentricity - Google Patents
Method for measuring extent of eccentricityInfo
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- JPS61233306A JPS61233306A JP7484385A JP7484385A JPS61233306A JP S61233306 A JPS61233306 A JP S61233306A JP 7484385 A JP7484385 A JP 7484385A JP 7484385 A JP7484385 A JP 7484385A JP S61233306 A JPS61233306 A JP S61233306A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は偏心量測定方法、さらに詳しく言えば情報円盤
情報領域の偏心量測定方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for measuring eccentricity, and more specifically, to a method for measuring eccentricity of an information area of an information disk.
従来の偏心量測定装置は、第８図に示すように情報円盤
１を固定したＸＹテーブル１０と、前記情報円盤ｌを作
業者３０が目視するための顕微鏡３）と、前記顕微［３
）の光軸に反射ミ２−とプリズムを介して挿入された、
基準の十字カーソル発生手段３２と、前記ＸＹテーブル
１０から出力され次Ｘ移動量座標信号ａとＹ移動量座標
信号すとからＸＹテーブル１００ＸＹ座標を検出し表示
する座標カウンタ３３とを含んで構成される。The conventional eccentricity measuring device, as shown in FIG.
) was inserted into the optical axis of the reflector through a prism.
The cursor generating means 32 includes a reference cross cursor generating means 32, and a coordinate counter 33 that detects and displays the XY coordinates of the XY table 100 from the next X movement amount coordinate signal a and the Y movement amount coordinate signal output from the XY table 10. Ru.
たとえばＸＹテーブル１０を作業者３０が顕微＠３）を
目視しながらＸＹテーブル１０ｔ−移動することにより
、前記情報円盤ｌの外周５と、前記十字カーソルの中心
との２接点のＸＸ座標１＆：ＸＸ座標カウンタ３３から
検出し、この２接点の二つのＸ座標を加算して数値２で
除すことによシ得られる座標を外周５の中心のＸ座標と
し、前記２接点の二つのＸ座標を加算して数値２で除す
ことによル得られる座標を外周５の中心のＸ座標とする
ことにより、前記情報円盤１の外周５の中心座標を検出
し、つぎにＸＹテーブル１０ｔ−たとえばＸ方向に移動
することにより前記情報円盤１上の情報領域３の内周４
と前記基準の十字カーソルの中心との２接点のＸＹ座標
’（ｉ−ＸＸ座標カウンタ３３によシ検出し、前記２Ｗ
ｊ、点の二つのＸ座標を加算して数値２で除すことによ
り得られる座標上内周４の中心のＸＷｋ標とし、前記２
接点の二つのＸ座標を加算して数値２で除すことによシ
得られるＹ座標上内周４の中心のＸ座標とすることＫよ
り、前記情報領域３の内周４の中心座標とし、前記情報
円盤１の外周５の中心座標から前記情報領域３の内周４
の中心座ｉｔ減算した数値ｔもって、情報円盤１の情報
領域３の偏心量としていた。For example, when the operator 30 moves the XY table 10t while visually observing the microscope @3), the XX coordinates 1&:XX of the two points of contact between the outer circumference 5 of the information disk l and the center of the cross cursor The coordinates detected from the coordinate counter 33 and obtained by adding the two X coordinates of these two contact points and dividing by the numerical value 2 are set as the X coordinate of the center of the outer periphery 5, and the two X coordinates of the two contact points are The center coordinates of the outer periphery 5 of the information disk 1 are detected by using the coordinates obtained by adding and dividing by the numerical value 2 as the X coordinates of the center of the outer periphery 5, and then the XY table 10t - for example, By moving in the direction, the inner circumference 4 of the information area 3 on the information disk 1
and the center of the reference cross cursor (detected by the i-XX coordinate counter 33,
j, the XWk mark of the center of the inner circumference 4 on the coordinate obtained by adding the two X coordinates of the point and dividing by the numerical value 2, and the above 2
Let the X coordinate of the center of the inner circumference 4 be the Y coordinate obtained by adding the two X coordinates of the contact points and divide by the value 2. From K, let the center coordinate of the inner circumference 4 of the information area 3 be the , from the center coordinates of the outer circumference 5 of the information disk 1 to the inner circumference 4 of the information area 3
The eccentricity of the information area 3 of the information disk 1 was determined by subtracting the center position it from the value t.
上述した従来の偏心量測定方法は作業者が顕微ａｔ−用
いて、基準の十字カーソルの中心か情報円盤の外周と接
する２接点の座標から情報円盤の外周の中心座標を計算
し、つぎに前記十字カーソルの中心が情報領域の内周と
接する２接点の座標から情報領域の内周の中心座標を計
算し、前記情報円盤の外周の中心座標と前記情報領域の
内周の中心座標とから偏心量を計算する方法となってい
るので作業者によるバラツキや、作業者による位置合わ
せ等による測定誤差がロシ、さらに測定時間がかかると
埴う欠点がめった。In the conventional eccentricity measurement method described above, an operator uses a microscope to calculate the center coordinates of the outer periphery of the information disk from the coordinates of the center of the reference cross cursor or two contact points that touch the outer periphery of the information disk, and then The center coordinates of the inner circumference of the information area are calculated from the coordinates of two points of contact where the center of the cross cursor touches the inner circumference of the information area, and the eccentricity is calculated from the center coordinates of the outer circumference of the information disk and the center coordinates of the inner circumference of the information area. Since this method calculates the amount, there are many problems with measurement errors due to variations among workers and positioning by workers, and furthermore, it takes a long time to measure.
本発明の偏心量測定方法は。 The eccentricity measurement method of the present invention is as follows.
ＸＹ平面上の情報円盤１ｃＩ第１の円周２を含む領域を
光電変換手段によシｘｙ平面上で走査して得られる映像
信号の２値化信号の論理“０＃と論理“ｌ″との境界線
上のｘｙ＠標を検出し、ＸＹ平面上の座標に変換して得
られる前記Ｗ！、１の内周２上の三点の座標のうち二点
の座標を用いて結べる、二つの弦の垂直二等分線の交点
を前記１！１の内周２の中心座標とし、さらに前記ＸＹ
平面上の情報円盤１の情報領域３の第２の内周４を含む
領域を光電変換手段によＦ）ｘｙ平面上で走査して得ら
れる映像信号の２値化信号の論理１０”と論理″′１”
との境界線上のｘｙＸ座標検出し、ＸＹ平面上の座標に
変換して得られる前記第２の内周４上の三点の座標のう
ち二点の座標を用いて結べる、二つの弦の垂直二等分線
の交点を前記第２の内周４の中心座標とすることにより
、前記第１の内周２の中心座標から前記第２の内周４の
中心座標を減算することにより情報円盤１の情報領域３
の偏心量とすること全特徴とする。The logic "0#" and the logic "l" of the binary signal of the video signal obtained by scanning the area including the first circumference 2 of the information disk 1cI on the XY plane with a photoelectric conversion means on the xy plane. Detecting the xy@ mark on the boundary line and converting it to the coordinates on the XY plane, the two points can be connected using the coordinates of two points on the inner circumference 2 of W! Let the intersection of the perpendicular bisectors of the chord be the center coordinates of the inner circumference 2 of the above 1!1, and further the above XY
Logic 10'' of the binary signal of the video signal obtained by scanning the area including the second inner circumference 4 of the information area 3 of the information disk 1 on the plane using photoelectric conversion means on the F) xy plane. ″′1”
The perpendicular of the two strings that can be connected using the coordinates of two of the three points on the second inner circumference 4 obtained by detecting the xyX coordinates on the boundary line and converting them to coordinates on the XY plane. By setting the intersection of the bisectors as the center coordinates of the second inner circumference 4, the center coordinates of the second inner circumference 4 are subtracted from the center coordinates of the first inner circumference 2. 1 information area 3
All characteristics shall be the amount of eccentricity.
次に、本発明の実施例について、図面上参照して詳細に
説明する。Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
以下第１−〜第７図に従って不発明に使用する方法を説
明する。The method used in the invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 7.
第１図は情報円盤１のＸＹテーブル上のＸＸ座標軸と光
電変換手段による撮偉領域との関係を示す−であり情報
円盤ｌはＸＸ座標上の第１象現にめ夛、ＸＸ座標の原点
ｔ−Ｏとする。Figure 1 shows the relationship between the XX coordinate axes on the XY table of the information disk 1 and the area photographed by the photoelectric conversion means. -O.
情報円盤１の第１の内周２を含む三領域は領域２０〜２
２でアシ、情報領域３の第２の内周を含む三領域は領域
２３〜２５である。The three areas including the first inner periphery 2 of the information disk 1 are areas 20 to 2.
The three areas including the second inner periphery of the information area 3 are areas 23 to 25.
第２図はＸＹテーブルｔ−ＸＹ輪軸上移動し前記領域２
０〜２２ｔ−光電変換手段によシ撮像しｘｙ軸で走査し
たときのＸＹ軸とｘｙ軸との関係を示す図で１）前記光
電変換手段で走査したときのＸ方向の分解能ｔｍｓｙ方
向の分解能ｉｎとし走査領域２０の原点ｔ” ０１ ＃
走査領域２１の原点を０２゜走査領域２２の原点ｔ−０
３とすると前記原点０１はＸＹ軸では座標（ＸｔｓＹｔ
）’となり、原点０２は座標（Ｘ２ ａ Ｙ２ ）とな
シ、Ｐ；Ｌ点０３ ／Ｉ′ｉ（Ｘ３ 、Ｙ３）となる。Figure 2 shows the area 2 of the XY table moved on the t-XY wheel axis.
0 to 22t - A diagram showing the relationship between the XY axes and the xy axes when an image is captured by the photoelectric conversion means and scanned in the xy axes. 1) Resolution in the X direction and resolution in the tmsy direction when scanned by the photoelectric conversion means. The origin of the scanning area 20 is t” 01 #
The origin of the scanning area 21 is 02°, the origin of the scanning area 22 is t-0
3, the origin 01 is the coordinate (XtsYt
)', and the origin 02 has the coordinates (X2 a Y2 ), P; L point 03 /I'i (X3, Y3).
ここで走査領域２０における第１の内周２上の座標は（
ｘｔ＊ｙ１）＠走査軸域２１における第１の内周２上の
座標ｈ （Ｘ２ ｓ ｙｚ ） ＊走査領域２２におけ
る第１の内周２上の座標＆！（Ｘｓ、Ｙａ）である。Here, the coordinates on the first inner circumference 2 in the scanning area 20 are (
xt*y1) @Coordinate h (X2 s yz) on the first inner circumference 2 in the scanning axis area 21 *Coordinate on the first inner circumference 2 in the scanning area 22 &! (Xs, Ya).
第３図は前記領域２０ｔ−光電変換手段で撮像し走査し
たときのＸ方向のサンプリング数を２５６ビ、トとし、
ｙ方向のサンプリングライン全２５６上で
（Ｘ１＋ｎｘｌ 、Ｙｔ＋ｍ（２５６−ｙｌ ））とな
る。ここでＸ１ｏ＝Ｘｌ＋ｎｘ１．Ｙ１ｏ＝Ｙ１＋ｍ（
２５６）’ｔ） とすることにより前記座標（ｘｌ、
ｙｌ）はＸＹ［ｉ標上で
（Ｘｌｏ ＊ ＹＩＯ）
となる。つぎにＸＹテーブル２ＸＹ軸上で座標（Ｘ２
ｐ Ｙｚ ）に移動し、前記領域２１を光電変換手段で
走査し、２値化したときの論理＠ｌ＃と論理″０”との
境界線上の座標（ｘ２．ｙ２）とすると、この座標はＸ
Ｙ軸上で
（Ｘ２＋ｎｘ２．Ｙｚ−）−ｍ（２５６７２））トｆｋ
ルａ ココテＸ１） ＝Ｘ２ ＋ ｎ ｘ２ 、 Ｙ
１） ＝Ｙ２ ＋ｍ（２５６Ｙｚ）とすることにより
前記座標（ｘ２゜ｙｚ）はＸＹ座標上で
（Ｘｌｌ ｅ Ｙｌｌ ）
となる。つぎにＸＹテーブルｔｋＸＹ軸上で座標（Ｘｓ
、Ｙａ）ＶＣ移動し、前記領域２２を光電変換手段によ
り走査し、２値化し几ときの論理＠０”と論理＠１＃と
の境界線上の座標ｔ−（ｘａ、ｙｓ）とすると、この座
１ｍ（ｘａ、ｙｓ）ＨＸＹ座軸上で（Ｘ３＋ｎｘ３ 、
Ｙ３＋ｍ（２５６）’ｓ ） ）となる。ここでＸ１２
＝Ｘ３＋ｎｘ３．Ｙ□２＝Ｙ３＋ｍ（２５６−Ｙａ）
とすることＫよシ前記座標（ｘａ。FIG. 3 shows the area 20t - the number of samplings in the X direction when imaged and scanned by the photoelectric conversion means is 256 bits,
(X1+nxl, Yt+m(256-yl)) on all 256 sampling lines in the y direction. Here, X1o=Xl+nx1. Y1o=Y1+m(
256)'t) By setting the coordinates (xl,
yl) becomes (Xlo * YIO) at XY[i standard. Next, set the coordinates (X2
p Yz ), scan the area 21 with a photoelectric conversion means, and take the coordinates (x2.y2) on the boundary line between logic @l# and logic "0" when binarized, then these coordinates are X
On the Y axis (X2+nx2.Yz-)-m(25672)) fk
Rua KokoteX1) =X2 + n x2, Y
1) By setting =Y2 +m(256Yz), the coordinates (x2°yz) become (Xll e Yll) on the XY coordinates. Next, coordinates (Xs
, Ya) VC is moved, the area 22 is scanned by the photoelectric conversion means, and the area 22 is binarized. Assuming that the coordinates t-(xa, ys) are on the boundary line between logic @0'' and logic @1#, then this On the seat 1m (xa, ys) HXY seat axis (X3+nx3,
Y3+m(256)'s)). Here X12
=X3+nx3. Y□2=Y3+m(256-Ya)
Let K be the coordinates (xa.
ｙｓ）はＸＹ座標上で
（Ｘ１２ ｔ Ｙ１２ ）
となる。したかって前記情報円盤ｌの第１内周２上の三
つの座標（ＸＩＯ＊ Ｙｌｏ ） ＃ （Ｘｌｌ ｓ
Ｙｔｌ） ＃（Ｘ１２ ｅ Ｙ１２ ）が検出される。ys) becomes (X12 t Y12 ) on the XY coordinates. Therefore, three coordinates (XIO*Ylo) #(Xlls
Ytl) #(X12 e Y12) is detected.
第４＠はＸＹテーブルｔ−ＸＹ軸上で移動し前記領域２
３〜２５を光電変換手段によシ撒像しｘｙ軸で走査した
ときのＸＹ軸とｘｙ軸との関係を示す図であり前記光電
変換手段で走査したときのＸ方向の分解能′Ｉｋｍｔｙ
方向の分解能′ｆｒｎとし走査領域２３の原点ｔ−ｏ４
ｊ走査領域２４の原点を０５゜走査領域２５の原点を０
６とすると前記原点０４はＸＹ軸では座標（Ｘ４ ＃
Ｙ４ ）となシ、原点０５は座標（Ｘｓ ｅ Ｙｓ ）
となシ、原点０６は（Ｘｓ、Ｙｓ）となる。ここで走査
領域２３における第２の内周４上の座標は（ｘ４＃Ｙ４
）＃走査領域２４における第２の内周４上の座標は（Ｘ
５ｍＹ５）ｓ走査領域２５における＄２の内周４上の座
標は（ｘｓ、ｙ６）である０
第５図は前記領域２３を光電変換手段で撮像し走査した
ときのＸ方向のサンプリング数ｔ″２５６ビ、トとし、
ｙ方向のサンプリングラインを２５６ラインとすると２
値化したときの論理１）”と論理１０”との境界線上の
座標は（ｘ４） ｙ４ ）でるり、この座ＩＩＣ！４．
７４）はＸＹ座標上で（Ｘ４ ＋ｎｘ４ 、 Ｙ４ ＋
ｍ（２５６３’４ ） ）となる。ここでＸ２Ｇ ＝Ｘ
４ ＋ｎ Ｘ４ 、 Ｙ２ｏ＝Ｙ ４ ＋ｍ（２５６ｙ
４） とすることにより前記座標（ｘｓ。The fourth @ moves on the XY table t-XY axis and the area 2
3 to 25 are imaged by a photoelectric conversion means and scanned in the xy axes, and the relationship between the XY axes and the xy axis is shown.
The resolution in the direction 'frn is the origin of the scanning area 23 t-o4
j Set the origin of the scanning area 24 to 05°; set the origin of the scanning area 25 to 0
6, the origin 04 is the coordinate (X4 #
Y4), the origin 05 is the coordinates (Xs e Ys)
The origin 06 is (Xs, Ys). Here, the coordinates on the second inner circumference 4 in the scanning area 23 are (x4#Y4
)# The coordinates on the second inner circumference 4 in the scanning area 24 are (X
5mY5)s The coordinates of $2 on the inner circumference 4 in the scanning area 25 are (xs, y6) 0 Figure 5 shows the sampling number t'' in the X direction when the area 23 is imaged and scanned by the photoelectric conversion means. 256 bits, Totoshi,
If the sampling line in the y direction is 256 lines, then 2
The coordinates on the boundary line between logic 1)" and logic 10" when converted into values are (x4) y4), and this locus IIC! 4.
74) is on the XY coordinates (X4 + nx4 , Y4 +
m(2563'4)). Here X2G =X
4 +n X4, Y2o=Y4 +m(256y
4) The coordinates (xs.
Ｙｓ） は、ＸＹ座標上で
（Ｘｚｏ・Ｙ２Ｏ）
となる。つぎにＸＹテーブルをＸＹ軸上で座標（Ｘｓ
ｍ Ｙｓ ）に移動し、前記領域２４を光電変換手段で
走査し、２値化したときの論理＠１＃と論理＠Ｏｍとの
境界線上の座標（ｘｓ＊ｙｓ）とすると、この座標はＸ
Ｙ軸上で
（Ｘ５＋ｎｘ５ ｅ Ｙｓ＋ｍ（２５６−７５） ）と
なる。ここでＸ２１ ＝Ｘ５ ” ” ”５ ＊ Ｙ２
１ ＝Ｙ５ ＋ｍ（２５６−ｙｓ ） とすることに
より前記座９１（ｘｓ。Ys) becomes (Xzo・Y2O) on the XY coordinates. Next, coordinate the XY table on the XY axes (Xs
m Ys ), scan the area 24 with a photoelectric conversion means, and take the coordinates (xs*ys) on the boundary line between logic @1# and logic @Om when binarized, then this coordinate is
On the Y axis, it becomes (X5+nx5 e Ys+m(256-75)). Here, X21 = X5 ” ” 5 * Y2
1 = Y5 + m (256-ys), the seat 91 (xs).
ｙｓ ）はＸＹ座標上で
（Ｘ２１ ｓ Ｙ２１ ）
となる。つぎにＸＹテーブルをＸＹ軸上で座標（Ｘ６＃
Ｙ６）に移動し、前記領域２５を光電変換手段によシ走
査し、、２ｆｉｋ化したときの論理＠０”と論理“１＃
との境界線上の座１）’ｔ（ｘｉ、ｙｓ）とすると、こ
の座標（Ｘｓ ｍ ７６ ）はＸＹ座軸上で（’Ｘｓ
＋ｎｘｅ 、 Ｙｓ ＋ｍ（２５ｓ −ｙｓ ） ）と
なる。ここでＸ２２＝Ｘ６−１−ｎｘ６＃Ｙｚ２＝Ｙ６
＋ｍ（２５６７６） とすることにより前記座標（ｘ
ｓ。ys ) becomes (X21 s Y21 ) on the XY coordinates. Next, coordinate the XY table on the XY axes (X6#
Y6), the area 25 is scanned by the photoelectric conversion means, and the logic @0" and the logic "1#" are obtained when the area 25 is converted into 2fik.
If the locus 1)'t(xi, ys) is on the boundary line with
+nxe, Ys +m(25s -ys)). Here, X22=X6-1-nx6#Yz2=Y6
+m (25676), the coordinate (x
s.
ｙｓ）はＸＹ座標上で
（Ｘ４２ ｅ Ｘ２２ ）
となる。したがって前記情報領域３の第２の内周４上の
三ツノ座１３！（Ｘ２０ ｅ Ｙｚｏ ） ａ （Ｘ２
１ ＃ Ｘ２１ ）。ys) becomes (X42 e X22 ) on the XY coordinates. Therefore, the triangular constellation 13 on the second inner circumference 4 of the information area 3! (X20 e Yzo) a (X2
1 #X21).
（Ｘｚ□５Ｙ２２）が検出される。(Xz□5Y22) is detected.
第６図は前記方法により検出された情報円盤１の第１の
内周ｚ上の三点の座１ｌｌｌ（”１ｏ ｓ Ｙｔｏ ）
５（Ｘｕ ５Ｙｌｌ）＊ （Ｘ１２ｅＹｘｚ）から前
記第１の内周２の中心座標を検出する方法管示している
。FIG. 6 shows the three points 1llll ("1os Yto) on the first inner circumference z of the information disk 1 detected by the method described above.
5(Xu 5Yll)*(X12eYxz) shows a method for detecting the center coordinates of the first inner circumference 2.
ここでｌ！１の内周２の中心座標ｔ （Ｘ ｔｏｏ ＊
Ｙｔｏｏ）とする。Here l! The center coordinate t of the inner circumference 2 of 1 (X too *
Ytoo).
前記三点の座標のうち座標（Ｘｌｏ ＊ Ｙｔｏ ）と
座標（Ｘｌｌ ｅ Ｙｔｔ ）とを結んで弦ｔ１とし、
座標（Ｘ１） ＃Ｙｏ）と座標（Ｘｘｚ ｔ Ｙｔ２）
とを結んで弦ｔ２とすると、円の二つの弦の垂直二等分
線の交点は円の中心となることから第１の円周２の中心
座標（Ｘ１００ ｅ Ｙｔｏｏ ）が求まることになる
。Among the coordinates of the three points, coordinates (Xlo * Yto) and (Xlle Ytt) are connected to form a chord t1,
Coordinates (X1) #Yo) and coordinates (Xxz t Yt2)
If we connect them to form the chord t2, the intersection of the perpendicular bisectors of the two chords of the circle is the center of the circle, so the center coordinates (X100 e Ytoo) of the first circumference 2 can be found.
弦ｔ１は傾き（Ｘｌｏ−Ｘｌｔ ）／（ＹＩＯ−Ｙｌｌ
）の直線であり、この弦ｔ１と直交する垂直二等分線
ｔ１は傾き−（ＹＩＯＹｌｌ）／（ＸＩＯ−Ｘｌｌ）で
座標（（Ｘｔｏ＋Ｘｔｔ ）／２ ｅ （Ｙ１０＋Ｙ１
） ）／２ ） ｋ通るＮｋで表わされる。すなわち
Ａ１＝ （ＹＩＯ−Ｙｌｌ）／（ＸＩＯＸ１ｌ）Ｂ１
＝（ＸｔｏＹｔｏ ＹｌｌＸＩＩ）／（ＸＩＯ−Ｘｌ
ｌ）とすることくよシｔｌは
Ｙ＝Ａｌｘ＋Ｂ１
となる。つぎに弦ｔｚ Ｆｉ傾き（Ｘｌｌ Ｘ１２）
／（Ｙ工Ｉ Ｘ１２）で表わされる直線であり、この
弦ｔ２と直交する垂直二等分線ｔ２は傾き−（Ｙｔｔ−
Ｘ１２ ）／ （Ｘｌｌ Ｘ１２ ）であシ座標（（
Ｘ１□＋Ｘ１２ ）／２ ＃ （Ｙｌｌ ＋Ｙ１２ ）
／ ２ ） ’Ｉｔ通る画線で表わされる。すなわちＡ
２＝＝−（Ｙｌｌ−Ｘ１２ ）／（Ｘｌｌ−Ｘ１２ ）
Ｂ ２＝（Ｘｌｌ Ｙｌｌ−Ｘ１２Ｘ１２ ）／（Ｘ
ｕ−Ｘ １２ ） とすることによりｔ２はＹ＝Ａ２
Ｘ ＋Ｂ２
となる。したがって、前記二つの弦の垂直二等分１）
Ｌ １とｔ２ との交点の座標は（（Ｂｌ−−Ｂ２
）／（Ａ２−ＡＩ ） 、 （ＢＩＡｚ −ＡｌＢ２
）／（Ａ２−ＡＩ））
であることからｇｉｌｌの内周２の中心座＊ （Ｘｔｏ
ｏ ｅＹｌｏｏ ）は
Ｘ１ｏｏ＝（Ｂｔ Ｂ２）／（Ａ２−ＡＩ）Ｙ１ｏｏ
＝（Ｂｔ人２−人ＩＢ２）／（Ａ２−ＡＩ）となる。The chord t1 has a slope (Xlo-Xlt)/(YIO-Yll
), and the perpendicular bisector t1 perpendicular to this chord t1 has a slope of -(YIOYll)/(XIO-Xll) and the coordinates ((Xto+Xtt)/2 e (Y10+Y1
))/2) It is expressed as Nk through k. That is, A1= (YIO-Yll)/(XIOX1l)B1
=(XtoYtoYllXII)/(XIO−Xl
Note that tl is Y=Alx+B1. Next, the string tz Fi slope (Xll X12)
/(Ywork I
X12 ) / (Xll X12 ) and coordinates ((
X1□+X12 )/2 # (Yll +Y12)
/2) 'It is represented by a drawing line that passes through it. That is, A
2==-(Yll-X12)/(Xll-X12)
B2=(Xll Yll-X12X12)/(X
u−X 12 ), t2 becomes Y=A2
It becomes X + B2. Therefore, the perpendicular bisect of the two chords 1)
The coordinates of the intersection of L 1 and t2 are ((Bl--B2
)/(A2-AI), (BIAz-AlB2
)/(A2-AI)), so the center position of the inner circumference 2 of gill* (Xto
o eYloo ) is X1oo=(Bt B2)/(A2-AI)Y1oo
= (Bt person 2 - person IB2)/(A2 - AI).
ｗＬ７図は前記方法により検出された情報領域３の第２
の内周４上の三点の座標（Ｘ２０ ｅ Ｘ２０ ） ａ
（ＸｎｓＹｚｘ）ｓ（Ｘ２ｚｅＹ２ｇ）から前記１）２
０円周４の中心座標を検出する方法を示している。Figure wL7 shows the second area of information area 3 detected by the above method.
Coordinates of three points on inner circumference 4 of (X20 e X20) a
(XnsYzx)s(X2zeY2g) to the above 1)2
A method for detecting the center coordinates of the 0th circumference 4 is shown.
ここで第２の内周４の中心座標ｋ （Ｘ２００ ｅ Ｘ
２０Ｇ）とする。Here, the center coordinate k of the second inner circumference 4 (X200 e
20G).
前記三点の座標のうち座標（Ｘ２ｏ、Ｙ２ｏ）と座標（
Ｘ２１ ＃ Ｘ２１ ）とを結んで弦ｔ３とし、座標（
Ｘ２１ ＃ Ｘ２１ ）と座標（Ｘ２２ ｓ Ｘ２２
） とを結んで弦ｔ４とすると、円の二つの弦の垂直
二等分線の交点は円の中心となることから第２の内周４
の中心座標（Ｘ２００ ＃ Ｙ２Ｏ０）が求まることに
なる。Among the coordinates of the three points, coordinates (X2o, Y2o) and coordinates (
X21 #
X21 #X21 ) and coordinates (X22 s X22
) are connected to form chord t4, the intersection of the perpendicular bisectors of the two chords of the circle is the center of the circle, so the second inner circumference 4
The center coordinates (X200 #Y2O0) of
弦ＬｓＦｉ傾き（Ｘ２０ Ｘ２１）／（Ｙ２Ｏ−Ｘ２
１）の直線でめ）、この弦ｔ３と直交する垂直二等分線
ｔ′３は傾き−（Ｘ２０−Ｘ２１ ）／ （Ｘ２０−Ｘ
２１ ）で座標（（Ｘ２０＋Ｘ２１ ）／２ ｓ （Ｙ
２Ｇ＋Ｙ２１ ）／２ ） ｉｔ通る直線で表わされる
。すなわち Ａ３＝＝ −（Ｙ２Ｏ−Ｘ２１ ） ／
（Ｘ２Ｇ −Ｘ２１ ）Ｂ３＝（ＸＩＯＹＩＯＹｌｌＸ
ＩＩ）／（ＸＩＯ−Ｘ１））とすることによりｔ３は
Ｙ＝Ａ３ス十Ｂ３
となる。つぎに弦ｔ４は傾き（Ｘ２１−Ｘ２２ ） ／
（Ｙｇｘ Ｙｚｚ）で表わされる直線であり、この弦
ｔ４と直交する垂直二等分線ｔ４は傾き−（ＹｚｘＹ２
２ ）／ （Ｘ２ｌ−Ｘｘｚ） であ）座標（（Ｘ２
１＋Ｘ２□）／２．（Ｙｚ□＋Ｙ２２）／２）を通る直
線で表わされる。すなわちＡ４＝ −（Ｘ２１ Ｘ２
１ ）／（Ｘ２１−Ｘ２２ ） Ｂ４＝＝（ＸｚｔＹｚ
ｌ−Ｘ２２Ｘ２ｚ ）／（Ｘ２ｌ−Ｘ２２）とすること
によ〕ｔ４は
Ｙ冨Ａ４Ｘ′＋８４
となる。し九がって、前記二つの弦の垂直二等分Ｗｔ３
とｔ４ との交点の座標扛
（（Ｂｓ Ｂ４）／（Ａ４−Ａａ）ｅ（ＢｓＡ４−Ａ
ａＢｔ）／（Ａ４−人３））
であることから第２の内周４の中心座ｌ１ｌ（Ｘ２Ｇ０
＊Ｙ２Ｏ０） は
Ｘｚｏｏ＝（Ｂ３ Ｂ４ ）／（Ａ４ Ａ３ ）Ｙ
２０Ｇ＝（Ｂ３Ａ４ Ａ３Ｂ４）／（Ａ４−Ａｓ）と
なる。String LsFi slope (X20 X21)/(Y2O-X2
1), the perpendicular bisector t'3 perpendicular to this chord t3 has a slope of -(X20-X21)/(X20-X
21 ) and the coordinates ((X20+X21 )/2 s (Y
It is represented by a straight line passing through 2G+Y21)/2)it. That is, A3== −(Y2O−X21 ) /
(X2G −X21 )B3=(XIOYIOYllX
II)/(XIO-X1)), t3 becomes Y=A3+B3. Next, the slope of chord t4 is (X21-X22) /
(Ygx Yzz), and the perpendicular bisector t4 perpendicular to this chord t4 has an inclination of −(YzxY2
2 ) / (X2l-Xxz) ) coordinates ((X2
1+X2□)/2. (Yz□+Y22)/2). That is, A4=-(X21 X2
1 )/(X21-X22) B4==(XztYz
By setting 1-X22X2z)/(X21-X22), t4 becomes Y-value A4X'+84. Therefore, the perpendicular bisector of the two strings Wt3
The coordinates of the intersection of and t4 ((Bs B4)/(A4-Aa)e(BsA4-A
aBt)/(A4-Person 3)), the center seat l1l of the second inner periphery 4 (X2G0
*Y2O0) is Xzoo=(B3 B4 )/(A4 A3 )Y
20G=(B3A4 A3B4)/(A4-As).
したがって上記検出された情報円盤ｌのｆｓｌの内周２
の中心座標（Ｘ１ｏｏ ｔ Ｙｔｏｏ ）から情報領域
３の第２の内周４の中心座標（Ｘ２００ ＊ Ｙ２Ｏ０
） ’に減算し次値をもって情報領域３の偏心量とする
ことができる。すなわちＸ方向の偏心量ｘｔｏｏ −Ｘ
２ＧＧ會Ｙ方向の偏心量はＹｌｏｏ−Ｙ２Ｏ０で表わさ
れるととＫなる。Therefore, the inner circumference 2 of fsl of the information disk l detected above
From the center coordinates (X1oo t Ytoo ) of the second inner circumference 4 of the information area 3 (X200 * Y2O0
)' and the next value can be used as the eccentricity amount of the information area 3. That is, the eccentricity in the X direction xtoo −X
The amount of eccentricity in the Y direction of the 2GG is expressed as Yloo-Y2O0.
本発明の偏心量測定方法はＸＹ軸上に固定され九情報円
盤のＩＩｌの内周上の３点の座標と情報領域の第２の内
周上の三点の座標とを光電変換手段によシｘｙ軸上で撮
偉走査し、得られる２値化信号ｔ−−形処理することに
よりＸＸ座標として検出できるため、前記第１の内周上
の三座標と、第２の内周上の三座標とから、第１の内周
の中心座標と第２の内周の中心座ＩＩヲ検出し、前記二
つの中心座標から偏心量を演算できるので、従来のよう
に作業者を必要とせす、測定のバラツキをなくし測定精
度の向上さらに測定時間の短縮がはかれるという効果が
あム。The eccentricity measurement method of the present invention uses photoelectric conversion means to convert the coordinates of three points on the inner circumference of the information disk IIl fixed on the XY axes and the coordinates of three points on the second inner circumference of the information area. It can be detected as XX coordinates by scanning on the XY axis and processing the obtained binary signal t-form, so the three coordinates on the first inner circumference and the three coordinates on the second inner circumference can be detected. The center coordinates of the first inner circumference and the center position II of the second inner circumference can be detected from the three coordinates, and the amount of eccentricity can be calculated from the two center coordinates, so there is no need for a worker as in the past. This has the effect of eliminating measurement variations, improving measurement accuracy, and shortening measurement time.
第１図〜第７図は本発明に使用する方法を示すための説
明図、第８因は従来噌装置の一真例を示すプａ、り融で
ある。
１・・・・・・情報円盤、２・・・・・・第１の内周、
３・・・・・・情報領域、４・・・・・・ＩＸ２の内周
、５・・・・・・情報円盤の外周、１０・・・・・・Ｘ
Ｙテーブル、２０〜２２・・・・・・第１の内周を含む
領域、２３〜２５・・・・・・第２の内周を含む領域％
３０・・・・・・作業者、３）・・・・・・顕微鏡、３
２・・・・・・カーソル発生手段、３３・・・・・・Ｘ
ＹＩＩ標カウンタ、
ａ・・・・・・Ｘ移動量の座標信号、ｂ・・・・・・Ｙ
移動量の座標信号、０・・・・・・ＸＹ軸の原点、０１
〜０６・・・・・・Ｘｙ軸の原点、Ｘ１〜Ｘ６・・・・
・・ＸＹ軸上のＸ座標、Ｙ。
〜Ｙ６・・・・・・ＸＹ軸上のＹ座標％ｘ１〜ｘ６・・
・・・・ｘｙ軸上のＸ座標、ｙ１〜ｙ６・・・・・・Ｘ
ｌ軸上のｙ座Ｓ。
ＸＩＯ−ｗｘ１２”””第１の内周上のＸ座標、ＹＩＯ
−Ｙ１２・・・・・・第１の内周上のＹ座標ｓ Ｘ ２
０ ”” Ｘ２２・・・・・・第２の内周上のＸ座標、
Ｙ２０’＝Ｙ２２・・・・・・１［２の内周上のＸ座標
、ｔｘｍｔ２・・・・・・ＩＩＩの内周の弦、Ｚ３ｅｔ
４・・・・・・第２の内周の弦、ｔ１〜ｔ４ ・・・・
・・弦の垂直二等分線、Ｘ１００・・・・・・第１の内
周中心のＸ座標、ＹＩＧＯ・・・・・・第１の内周中心
のＸ座標、Ｘ２ＧＧ・・・・・・第２の内周中心のＸ座
標％Ｙ２Ｏ０・旧・・第２の内周中心のＸ座標。
第、１図
第２図
Ｙ
２１ （χ２．び、）
第３図
第４図
第５図
巖６図
第７図1 to 7 are explanatory diagrams showing the method used in the present invention, and the eighth factor is a plastic melting method showing an example of a conventional method. 1... Information disk, 2... First inner periphery,
3...Information area, 4...Inner circumference of IX2, 5...Outer circumference of information disk, 10...X
Y table, 20-22...Area including the first inner circumference, 23-25...Area % including the second inner circumference
30...Worker, 3)...Microscope, 3
2...Cursor generation means, 33...X
YII mark counter, a...Coordinate signal of X movement amount, b...Y
Coordinate signal of movement amount, 0...Origin of XY axis, 01
~06...Origin of Xy axis, X1~X6...
...X coordinate on the XY axis, Y. ~Y6...Y coordinate on the XY axis %x1~x6...
...X coordinates on the xy axis, y1 to y6...X
y-locus S on the l-axis. XIO-wx12"""X coordinate on the first inner circumference, YIO
-Y12... Y coordinate on the first inner circumference s X 2
0 ”” X22...X coordinate on the second inner circumference,
Y20'=Y22...1[X coordinate on the inner circumference of 2, txmt2......chord on the inner circumference of III, Z3et
4... Second inner string, t1 to t4...
...Perpendicular bisector of the string, X100...X coordinate of the center of the first inner circumference, YIGO...X coordinate of the center of the first inner circumference, X2GG... - X coordinate of the center of the second inner circumference %Y2O0 - Old - X coordinate of the center of the second inner circumference. Fig. 1 Fig. 2 Y 21 (χ2. bi) Fig. 3 Fig. 4 Fig. 5 Figure 6 Fig. 7
Claims (1)
領域を光電変換手段によりｘｙ平面上で走査して得られ
る映像信号の２値化信号の論理“０”と論理“１”との
境界線上のｘｙ座標を検出し、ＸＹ平面上の座標に変換
して得られる前記第１の内周（２）上の三点の座標のう
ち二点の座標を用いて結べる、二つの弦の垂直二等分線
の交点を前記第１の内周（２）の中心座標とし、さらに
前記ＸＹ平面上の情報円盤（１）の情報領域（３）の第
２の内周（４）を含む領域を光電変換手段によりｘｙ平
面上で走査して得られる映像信号の２値化信号の論理“
０”と論理“１”との境界線上のｘｙ座標を検出し、Ｘ
Ｙ平面上の座標に変換して得られる前記第２の内周４上
の三点の座標のうち二点の座標を用いて結べる、二つの
弦の垂直二等分線の交点を前記第２の内周（４）の中心
座標とすることにより、前記第１の内周（２）の中心座
標から前記第２の内周（４）の中心座標を減算すること
により情報円盤１の情報領域３の偏心量とすることを特
徴とする偏心量測定方法。Logic "0" and logic "" of the binary signal of the video signal obtained by scanning the area including the first inner circumference (2) of the information disk (1) on the XY plane on the xy plane by photoelectric conversion means 1", and can be connected using the coordinates of two of the three points on the first inner circumference (2) obtained by detecting the xy coordinates on the boundary line with the first inner circumference (2) and converting them to coordinates on the XY plane. The intersection of the perpendicular bisectors of the two chords is the center coordinate of the first inner circumference (2), and the second inner circumference ( 4) Logic of the binarized signal of the video signal obtained by scanning the area including the area on the xy plane with photoelectric conversion means
Detect the xy coordinates on the boundary line between “0” and logical “1”, and
The intersection of the perpendicular bisectors of the two chords, which can be connected using the coordinates of two of the three points on the second inner circumference 4 obtained by converting the coordinates on the Y plane, is the second By subtracting the center coordinates of the second inner circumference (4) from the center coordinates of the first inner circumference (2), the information area of the information disk 1 can be calculated. A method for measuring an amount of eccentricity, characterized in that the amount of eccentricity is set as an amount of eccentricity of 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7484385A JPS61233306A (en) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | Method for measuring extent of eccentricity |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7484385A JPS61233306A (en) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | Method for measuring extent of eccentricity |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61233306A true JPS61233306A (en) | 1986-10-17 |
Family
ID=13559009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7484385A Pending JPS61233306A (en) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | Method for measuring extent of eccentricity |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61233306A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0749212A (en) * | 1993-06-15 | 1995-02-21 | Niigata Plant Service Kk | Center indexing method and transfer method for cake or the like |
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| CN110715621A (en) * | 2018-07-12 | 2020-01-21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Detection method, device and equipment |
-
1985
- 1985-04-09 JP JP7484385A patent/JPS61233306A/en active Pending
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| CN110715621A (en) * | 2018-07-12 | 2020-01-21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Detection method, device and equipment |
| CN110715621B (en) * | 2018-07-12 | 2021-07-02 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Detection method, device and equipment |
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