JPS61230242A - 荷電粒子ビ−ム偏向器 - Google Patents
荷電粒子ビ−ム偏向器Info
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- JPS61230242A JPS61230242A JP7027385A JP7027385A JPS61230242A JP S61230242 A JPS61230242 A JP S61230242A JP 7027385 A JP7027385 A JP 7027385A JP 7027385 A JP7027385 A JP 7027385A JP S61230242 A JPS61230242 A JP S61230242A
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/12—Picture reproducers
- H04N9/16—Picture reproducers using cathode ray tubes
- H04N9/22—Picture reproducers using cathode ray tubes using the same beam for more than one primary colour information
- H04N9/24—Picture reproducers using cathode ray tubes using the same beam for more than one primary colour information using means, integral with, or external to, the tube, for producing signal indicating instantaneous beam position
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
- H01J31/123—Flat display tubes
- H01J31/125—Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection
- H01J31/126—Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection using line sources
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- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電子ビームやイオンビームの電荷を利用し、進
行方向に直交する電界を作用させてこれらの軌道を屈折
させ、荷電粒子ビームによシ図形を描画したシ、テレビ
ジョン画像を表示するための荷電粒子ビームに関するも
のである０従来の技術 荷電粒子ビームを電界で屈折させ、偏向させる原理はマ
グロ−ヒル社発行ぺ罵、Ｒ５ＰＡＮＧＥＮＢＩｉ：ＲＧ
著ｒＶＡＣＵＵＭ ＴＵＢＥＳＪ １９４８ 、Ｐ
、１０１などによシ一般によく知られておシ、目的に応
じ各種の偏向器が提供されている。例えばテレビジ冒ン
受像管やオシロスコープ陰極線管で電子ビームを掃引さ
せるための電子ビーム偏向板がこれに相当する。第６図
ａ、、ｂに偏向器の代表例を示す。陰極線管であれば、
偏向器の前方に電子ビームを発生させ集束させる電子銃
部、後方には電子ビームによシ輝点を発生させる螢光体
を塗布したスクリーン、さらにこれらを真空雰囲気に保
つための外囲器等が存在するが、周知であるので図示を
省略している。
行方向に直交する電界を作用させてこれらの軌道を屈折
させ、荷電粒子ビームによシ図形を描画したシ、テレビ
ジョン画像を表示するための荷電粒子ビームに関するも
のである０従来の技術 荷電粒子ビームを電界で屈折させ、偏向させる原理はマ
グロ−ヒル社発行ぺ罵、Ｒ５ＰＡＮＧＥＮＢＩｉ：ＲＧ
著ｒＶＡＣＵＵＭ ＴＵＢＥＳＪ １９４８ 、Ｐ
、１０１などによシ一般によく知られておシ、目的に応
じ各種の偏向器が提供されている。例えばテレビジ冒ン
受像管やオシロスコープ陰極線管で電子ビームを掃引さ
せるための電子ビーム偏向板がこれに相当する。第６図
ａ、、ｂに偏向器の代表例を示す。陰極線管であれば、
偏向器の前方に電子ビームを発生させ集束させる電子銃
部、後方には電子ビームによシ輝点を発生させる螢光体
を塗布したスクリーン、さらにこれらを真空雰囲気に保
つための外囲器等が存在するが、周知であるので図示を
省略している。
蔦第６図ａは最も簡単な例で平行平板形、第６図すは偏
向をよシ効率的に行うために偏向板を荷電粒子ビームの
軌道にそって曲面化した例である。第６図ａの電極１１
゜１２、第６図すの電極１３．１４に電圧を印加すれば
、その方向に従い、粒子の軌道は図の１５．１６に示さ
れるように曲げられる。この偏向器の特性は偏向されて
走行する粒子が到達するターゲット１７上での変位（図
中１８で示す）で示される場合が多い。すなわち偏向器
に入射する粒子の加速電圧をｖｏ（ボルト）、偏向板間
に印加される電圧を■ｄ（ボルト）、偏向板間の距離を
ａ（メートル）、偏向板の長さをｂ（メートル）、偏向
板中心からターゲット１７までの距離を１（メートル）
、偏向板の中心からターゲット１７上での偏向板ｙ３（
メートル）は第５図ａの平行平板の場合前記５ＰＡＮＧ
ＥＮＢＥＲＧ著「ＶＡｃＵ［ＪＭＴＵＢＥＳＪ Ｐ ４
１２に示されるように次式で書き表わされる。
向をよシ効率的に行うために偏向板を荷電粒子ビームの
軌道にそって曲面化した例である。第６図ａの電極１１
゜１２、第６図すの電極１３．１４に電圧を印加すれば
、その方向に従い、粒子の軌道は図の１５．１６に示さ
れるように曲げられる。この偏向器の特性は偏向されて
走行する粒子が到達するターゲット１７上での変位（図
中１８で示す）で示される場合が多い。すなわち偏向器
に入射する粒子の加速電圧をｖｏ（ボルト）、偏向板間
に印加される電圧を■ｄ（ボルト）、偏向板間の距離を
ａ（メートル）、偏向板の長さをｂ（メートル）、偏向
板中心からターゲット１７までの距離を１（メートル）
、偏向板の中心からターゲット１７上での偏向板ｙ３（
メートル）は第５図ａの平行平板の場合前記５ＰＡＮＧ
ＥＮＢＥＲＧ著「ＶＡｃＵ［ＪＭＴＵＢＥＳＪ Ｐ ４
１２に示されるように次式で書き表わされる。
この電圧ｖｄは偏向に要する電圧、すなわち偏向電圧と
呼ばれるが、よシ低い偏向電圧で犬なる偏向板７８が得
られることが実用上望ましい。
呼ばれるが、よシ低い偏向電圧で犬なる偏向板７８が得
られることが実用上望ましい。
そこで偏向板間距離とを小さく、偏向板の長さす。
偏向板−ターゲット間距離ｊを大きく選ぶか、粒子の加
速電圧ｖ０ を低く設定することが要求、される゛。
速電圧ｖ０ を低く設定することが要求、される゛。
偏向板間距離とを小さく、偏向板長すを大きくすること
は偏向された粒子が偏向板に衝突することによシ限界を
生じ、偏向板−ターゲット間距離ｌを大きくすることは
装置が大形になシ、例えばテレビジョン陰極線管では奥
行きの非常に大きい構成となってしまう。従って第５図
ａの構成に比して第６図すの構成淘の方が偏向板ｙＢ
を大きくとれるのですぐれているが、限界がある。つぎ
に加速電圧ｖ０を低下させるのは効果的であるが、この
加速電圧ｖ０は粒子ビームの利用上の関点から規定され
る場合が多い。例えば前述のテレビジョン陰極線管にお
いてはターゲット１７上に塗布された螢光物質を陰極線
、即ち電子ビームで励起発光させて画像表示するのであ
るから、必要な明るさの発光を得るためには、例えば加
速電圧ｖ０は１ｏＫＶ以上と高電圧にする必要がある０
そこで従来この問題を解決するために第６図に示すよう
な後段加速系が利用されて来た０即ち偏向電極を通過す
る時は粒子は低速で走行し、充分な偏向力を与え、通過
後ターゲット迄の走行区間で加速する方法である。
は偏向された粒子が偏向板に衝突することによシ限界を
生じ、偏向板−ターゲット間距離ｌを大きくすることは
装置が大形になシ、例えばテレビジョン陰極線管では奥
行きの非常に大きい構成となってしまう。従って第５図
ａの構成に比して第６図すの構成淘の方が偏向板ｙＢ
を大きくとれるのですぐれているが、限界がある。つぎ
に加速電圧ｖ０を低下させるのは効果的であるが、この
加速電圧ｖ０は粒子ビームの利用上の関点から規定され
る場合が多い。例えば前述のテレビジョン陰極線管にお
いてはターゲット１７上に塗布された螢光物質を陰極線
、即ち電子ビームで励起発光させて画像表示するのであ
るから、必要な明るさの発光を得るためには、例えば加
速電圧ｖ０は１ｏＫＶ以上と高電圧にする必要がある０
そこで従来この問題を解決するために第６図に示すよう
な後段加速系が利用されて来た０即ち偏向電極を通過す
る時は粒子は低速で走行し、充分な偏向力を与え、通過
後ターゲット迄の走行区間で加速する方法である。
第６図で２０は粒子ビーム形成部、２１．２２は対向す
る偏向板で偏向電圧■、が加えられる。
る偏向板で偏向電圧■、が加えられる。
２３はターゲットで偏向系に比べてｖＡ（ボルト）高電
圧にある。しかしこの方法では偏向系出口の電界の乱れ
によるレンズ作用とその後の加速電界効果によシ粒子の
軌道は内側に曲げられ軌道は２５とならずに２４で示す
軌道をとシ、高い偏向感度が得られにくい０そこで偏向
系の出口にメツシュをおき、電界の乱れを防止する等の
方法がとられている。
圧にある。しかしこの方法では偏向系出口の電界の乱れ
によるレンズ作用とその後の加速電界効果によシ粒子の
軌道は内側に曲げられ軌道は２５とならずに２４で示す
軌道をとシ、高い偏向感度が得られにくい０そこで偏向
系の出口にメツシュをおき、電界の乱れを防止する等の
方法がとられている。
発明が解決しようとする問題点
このように、以上のような構成では、低い偏向電圧で大
きな偏向板を得ること、すなわち十分な偏向感度を得る
ためには、偏向電圧を高くするか、偏向板を長くするか
、後段加速系を利用する必要がおった。しかし、偏向電
圧を高くすることには回路技術からくる制約があシ、偏
向板を長くすることには前述した粒子の偏向板への衝突
の問題および奥行きの長大化の問題がある。また後段加
速系においては偏向系出口の電界の乱れや、メッシ具に
よる電子ビームの利用率の低下や二次電子の発生等、偏
向感度の問題だけでなく、画像にとっても好ましくない
問題が多々含まれている。
きな偏向板を得ること、すなわち十分な偏向感度を得る
ためには、偏向電圧を高くするか、偏向板を長くするか
、後段加速系を利用する必要がおった。しかし、偏向電
圧を高くすることには回路技術からくる制約があシ、偏
向板を長くすることには前述した粒子の偏向板への衝突
の問題および奥行きの長大化の問題がある。また後段加
速系においては偏向系出口の電界の乱れや、メッシ具に
よる電子ビームの利用率の低下や二次電子の発生等、偏
向感度の問題だけでなく、画像にとっても好ましくない
問題が多々含まれている。
本発明は上記問題を解決するものであり、良好なビーム
フォーカシングスポットと偏向の直線性を損うことなく
高い偏向感度を与えることを目的としている。
フォーカシングスポットと偏向の直線性を損うことなく
高い偏向感度を与えることを目的としている。
問題点を解決するための手段
本発明は、荷電粒子ビーム偏向器の偏向板を複数組に分
割し、分割された偏向板の相対向する電極間隔を荷電粒
子ビームの進行方向に向って階段状に変化させる。更に
、分割された偏向板の各電極長と電極間隔を略等しくす
ることによシ、上記目的を達成するものである。
割し、分割された偏向板の相対向する電極間隔を荷電粒
子ビームの進行方向に向って階段状に変化させる。更に
、分割された偏向板の各電極長と電極間隔を略等しくす
ることによシ、上記目的を達成するものである。
作 用
本発明は上記構成によシ、偏向領域内において、偏向量
の少ない領域はど、偏向電極を電子ビームに近づけるこ
とによって、偏向感度を増加させ、更に、分割された偏
向板の前段の分割電極のところで偏向量を大きくしすぎ
て、分割電極間での電位差による集束作用を強く受ける
ような場合には、って、偏向の直線性を悪くすることな
く偏向感度を増加させるようにしたものである。
の少ない領域はど、偏向電極を電子ビームに近づけるこ
とによって、偏向感度を増加させ、更に、分割された偏
向板の前段の分割電極のところで偏向量を大きくしすぎ
て、分割電極間での電位差による集束作用を強く受ける
ような場合には、って、偏向の直線性を悪くすることな
く偏向感度を増加させるようにしたものである。
実施例
第１図ａは本発明の一実施例として偏向電極がビーム進
行方向に３分割された荷電粒子ビーム偏向器３ｏの斜視
図を示し、第１図すは動作回路系を示す。３１．３２は
第１偏向電極、３３．３４は第２偏向電極、３５ 、３
６は第３偏向電極であシ、それぞれの電極長をＩｌｌ
ｒ ｌ１２ｔ １３３ を電極間隔をＤｌ。
行方向に３分割された荷電粒子ビーム偏向器３ｏの斜視
図を示し、第１図すは動作回路系を示す。３１．３２は
第１偏向電極、３３．３４は第２偏向電極、３５ 、３
６は第３偏向電極であシ、それぞれの電極長をＩｌｌ
ｒ ｌ１２ｔ １３３ を電極間隔をＤｌ。
ＤＤ とし、Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３は、荷電粒子ビームの
進行方向に序々に階段状に広くなっている０すなわちＤ
ｌ＜Ｄ２＜Ｄ３に設定されるｏｄは電極間の間隙である
。
進行方向に序々に階段状に広くなっている０すなわちＤ
ｌ＜Ｄ２＜Ｄ３に設定されるｏｄは電極間の間隙である
。
上記構成において、以下その動作について、荷電粒子を
電子として説明する０各偏向電極対３１゜３２．３３．
３４．３５．３６には異なった直流加速電圧ｖ１．ｖ２
．ｖ３（ボルト）をそれぞれ中点に印加するようにし、
各対の偏向電極板間には共通の鋸歯状偏向走査電圧ｖｄ
を印加する例を示している。この偏向器に加速電圧ｖ０
ボルトで入射する電子は偏向器を通過する間にｖｌ、ｖ
２．ｖ３と加速され同時にｖｄによシ偏向作用と集束作
用を同時に受けながら、所定の量だけ偏向されて偏向器
３゜を通過し、ｖ３ポルトに相当する速度でターゲツト
面の中心から１２ｍ離れたターゲツト面へ到達する。す
なわち、偏向器ｙｓ＝１２１１ＩＫとなる。第２図は第
１図において、偏向中心電圧がそれぞれｖｌ−Ｉ ＫＶ
、Ｖ２＝５ＫＶ、Ｖ３＝１０ＫＶ資也Ａ１ｊ＃２゜１１
Ｊｈ ２０１１１１１ を分割電極間距離ｄがＩ Ｗ（
７）とき、Ｄ、。
電子として説明する０各偏向電極対３１゜３２．３３．
３４．３５．３６には異なった直流加速電圧ｖ１．ｖ２
．ｖ３（ボルト）をそれぞれ中点に印加するようにし、
各対の偏向電極板間には共通の鋸歯状偏向走査電圧ｖｄ
を印加する例を示している。この偏向器に加速電圧ｖ０
ボルトで入射する電子は偏向器を通過する間にｖｌ、ｖ
２．ｖ３と加速され同時にｖｄによシ偏向作用と集束作
用を同時に受けながら、所定の量だけ偏向されて偏向器
３゜を通過し、ｖ３ポルトに相当する速度でターゲツト
面の中心から１２ｍ離れたターゲツト面へ到達する。す
なわち、偏向器ｙｓ＝１２１１ＩＫとなる。第２図は第
１図において、偏向中心電圧がそれぞれｖｌ−Ｉ ＫＶ
、Ｖ２＝５ＫＶ、Ｖ３＝１０ＫＶ資也Ａ１ｊ＃２゜１１
Ｊｈ ２０１１１１１ を分割電極間距離ｄがＩ Ｗ（
７）とき、Ｄ、。
Ｄ２．Ｄ３を変えたときの偏向電圧ｖＣＰ偏向距離の関
係を調べたものであシ、Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３が全て２゜ｎ
の場合の直線Ａ（厳密には曲線）に比べて、Ｄ。
係を調べたものであシ、Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３が全て２゜ｎ
の場合の直線Ａ（厳密には曲線）に比べて、Ｄ。
が１ｅｇｇ 、 Ｄ、１）１１ｓｔｙ 、 Ｄ３が２０
１１の場合の直線Ｂ（厳密には曲線）の方が偏向感度が
増加していることを示している。従って、Ｄｌ、Ｄ２．
Ｄ３を階段状に変えることによって、偏向感度が増加し
、偏向の直線性も問題になるほど悪くはないことがわか
る。
１１の場合の直線Ｂ（厳密には曲線）の方が偏向感度が
増加していることを示している。従って、Ｄｌ、Ｄ２．
Ｄ３を階段状に変えることによって、偏向感度が増加し
、偏向の直線性も問題になるほど悪くはないことがわか
る。
ここで、分割されていない偏向板と分割された偏向板の
偏向感度の比較をするために、分割されていない偏向板
で、偏向中心電圧が１０にＶの場合の偏向電圧ｖｄ対偏
向距離を調べた結果を第２図中直線Ｃに示す。
偏向感度の比較をするために、分割されていない偏向板
で、偏向中心電圧が１０にＶの場合の偏向電圧ｖｄ対偏
向距離を調べた結果を第２図中直線Ｃに示す。
偏向感度の点から分割された偏向板が便利であることは
一目瞭然であシ、約２倍の偏向感度が得られているが、
この値は当然のことながら、分割数や、偏向板の形状寸
法によって決まってくる。
一目瞭然であシ、約２倍の偏向感度が得られているが、
この値は当然のことながら、分割数や、偏向板の形状寸
法によって決まってくる。
第３図は、Ｄｌが１０．０８３ｆｆ 、 Ｄ２が１２．
０８ｆｆＪＩ。
０８ｆｆＪＩ。
Ｄ３が１４．０８ｆｆｊｌ 、 ｄカＩ Ｉｆｆ 、
Ｖｌ、 Ｖ２． Ｖ３カソレ（’れＩ ＫＶ、５ＫＶ、
１ ｏｘｖｏとｔｓ、＃１ ｓ １２ｔ １３を変えた
ときの偏向電圧ｖ、声偏向距離の関係を調べたものであ
シ、Ａ？１ ｔ ｊ？２，１３が全て１５１１ｒＩＩＩ
）場合には、曲線Ａのように偏向の直線性が著しく悪く
なっているが、１１を１１ｆｌ、Ｉ１２を１３ｆｆ、１
３を１５ｆｆとすることによって直線Ｂ（厳密には曲線
）のように偏向の直線性が問題にならない程度にまで改
善され偏向感度もほとんど同一になることを示している
。従って、Ｄ１？Ｄ２２Ｄ３を階段状に変えたことによ
って、偏向感度が増加しても、偏向の直線性が悪くなる
場合には、ＤｌとＩｌｌ、Ｄ２と１２ｔＤ３と１３を略
等しく選ぶことによって、偏向感度を大きく保ったまま
、偏向の直線性を改善することが可能であることがわか
る。
Ｖｌ、 Ｖ２． Ｖ３カソレ（’れＩ ＫＶ、５ＫＶ、
１ ｏｘｖｏとｔｓ、＃１ ｓ １２ｔ １３を変えた
ときの偏向電圧ｖ、声偏向距離の関係を調べたものであ
シ、Ａ？１ ｔ ｊ？２，１３が全て１５１１ｒＩＩＩ
）場合には、曲線Ａのように偏向の直線性が著しく悪く
なっているが、１１を１１ｆｌ、Ｉ１２を１３ｆｆ、１
３を１５ｆｆとすることによって直線Ｂ（厳密には曲線
）のように偏向の直線性が問題にならない程度にまで改
善され偏向感度もほとんど同一になることを示している
。従って、Ｄ１？Ｄ２２Ｄ３を階段状に変えたことによ
って、偏向感度が増加しても、偏向の直線性が悪くなる
場合には、ＤｌとＩｌｌ、Ｄ２と１２ｔＤ３と１３を略
等しく選ぶことによって、偏向感度を大きく保ったまま
、偏向の直線性を改善することが可能であることがわか
る。
一般的に言って、Ａ１ ｔ １２ｔ １１３・・・・・
・を等しい値にべした場合にはＤｌ、Ｄ２．Ｄ３・・・
・・・の段差を大きくするに従って、偏向の直線性が悪
くなっていき、Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３・・・・・・の段差を
固定した場合には、１１ｔ＃２＊ ｊ？３・・・・・・
を短かくするに従って偏向の直線性は悪くはないが、偏
向感度が低下していき、！１゜１２ｐ１！３・・・・・
・を長くするに従い、偏向感度は大きくなっていくが、
偏向の直線性が保たれる領域がせばめられていく傾向に
ある。このことは、分割されている個々の偏向電極内で
偏向量を多くしていくと、偏向電極間での電界の歪を大
きく受けてしまうことになシ、最終的な偏向量の直線性
が悪くなるということで説明することができ、偏向板の
形状、寸法、動作電圧の設定に肖っては、このことを十
分に考慮して最適値を選ぶ必要がある。
・を等しい値にべした場合にはＤｌ、Ｄ２．Ｄ３・・・
・・・の段差を大きくするに従って、偏向の直線性が悪
くなっていき、Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３・・・・・・の段差を
固定した場合には、１１ｔ＃２＊ ｊ？３・・・・・・
を短かくするに従って偏向の直線性は悪くはないが、偏
向感度が低下していき、！１゜１２ｐ１！３・・・・・
・を長くするに従い、偏向感度は大きくなっていくが、
偏向の直線性が保たれる領域がせばめられていく傾向に
ある。このことは、分割されている個々の偏向電極内で
偏向量を多くしていくと、偏向電極間での電界の歪を大
きく受けてしまうことになシ、最終的な偏向量の直線性
が悪くなるということで説明することができ、偏向板の
形状、寸法、動作電圧の設定に肖っては、このことを十
分に考慮して最適値を選ぶ必要がある。
従って、偏向の直線性と感度を同時に満足させるために
は、Ｄ、と１１．Ｄ２と１２．Ｄ３と１３・・・・・・
を略等しく選べばよい。
は、Ｄ、と１１．Ｄ２と１２．Ｄ３と１３・・・・・・
を略等しく選べばよい。
要するに、偏向の直線性に対する要求の度合によって、
選択すべき値に許容範囲の広がりがでてくることになる
。ただし、最終電極に関しては、電位がターゲツト面と
同じで最終電極以降に電界の歪が生じない場合には、電
極長の制限は除外される。
選択すべき値に許容範囲の広がりがでてくることになる
。ただし、最終電極に関しては、電位がターゲツト面と
同じで最終電極以降に電界の歪が生じない場合には、電
極長の制限は除外される。
第１図において、分割された偏向板の各電極は、平行に
相対する電極を示しているが、電子ビームが進む方向に
、広がっていく傾斜を持った電極の場合でも、その効果
は全く同じものである。第４図は、分割された水平偏向
電極の各電極３１，３２゜３３．３４，３５，３６が電
子ビームの進行方向に沿って広がっていき、隣接する各
電極間で段差をもつように配された例を示す。・すなわ
ち、各電極の入口と出口での間隔相互間には、Ｄｌｌ＜
Ｄ、２＜Ｄ２１＜Ｄ２□＜Ｄ３１＜Ｄ３２の関係があシ
、しかも電極３１と３３間、電極３３と３６間、電極３
２との入口と出口での間隔の平均値とすれば、これらの
Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３を用いることによって第１図の実施例
と全く同じ関係が成立する。
相対する電極を示しているが、電子ビームが進む方向に
、広がっていく傾斜を持った電極の場合でも、その効果
は全く同じものである。第４図は、分割された水平偏向
電極の各電極３１，３２゜３３．３４，３５，３６が電
子ビームの進行方向に沿って広がっていき、隣接する各
電極間で段差をもつように配された例を示す。・すなわ
ち、各電極の入口と出口での間隔相互間には、Ｄｌｌ＜
Ｄ、２＜Ｄ２１＜Ｄ２□＜Ｄ３１＜Ｄ３２の関係があシ
、しかも電極３１と３３間、電極３３と３６間、電極３
２との入口と出口での間隔の平均値とすれば、これらの
Ｄｌ、Ｄ２．Ｄ３を用いることによって第１図の実施例
と全く同じ関係が成立する。
発明の効果
以上のように、本発明は荷電粒子ビームを偏向させる偏
向板がビーム進行方向に複数に分割され、分割された各
電極の電極間隔が階段状の段差を有するように構成され
た荷電粒子ビーム偏向器で、偏向の直線性を損＼うこと
なく偏向感度を増加させることができる。
向板がビーム進行方向に複数に分割され、分割された各
電極の電極間隔が階段状の段差を有するように構成され
た荷電粒子ビーム偏向器で、偏向の直線性を損＼うこと
なく偏向感度を増加させることができる。
図および第３図は各々本発明による荷電粒子ビーム偏向
器の偏向感度を示す特性図、第４図は本発明による荷電
粒子ビーム偏向器の他の実施例を示す断面図、第５図ａ
、ｂは各々従来の荷電粒子ビーム偏向器の一例を示す斜
視図、第６図は従来の荷電粒子ビーム偏向器の動作を説
明するための側面図である。 ３０・・・・・・荷電粒子ビーム偏向器１．３１，３２
゜３３．３４，３５，３６・・・・・−偏向電極、３７
・・・・・・電子ビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ’ｐｌｙ ｎ）ｌ：ｈ ｖｔ ｒｙｐｐ〕第５図 第６図
器の偏向感度を示す特性図、第４図は本発明による荷電
粒子ビーム偏向器の他の実施例を示す断面図、第５図ａ
、ｂは各々従来の荷電粒子ビーム偏向器の一例を示す斜
視図、第６図は従来の荷電粒子ビーム偏向器の動作を説
明するための側面図である。 ３０・・・・・・荷電粒子ビーム偏向器１．３１，３２
゜３３．３４，３５，３６・・・・・−偏向電極、３７
・・・・・・電子ビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ’ｐｌｙ ｎ）ｌ：ｈ ｖｔ ｒｙｐｐ〕第５図 第６図
Claims (3)
- （１）対向する電極の組が複数組設けられ、各電極の組
の電極間隔が階段状の段差をもって荷電粒子ビーム進行
方向に大きくなることを特徴とする荷電粒子ビーム偏向
器。 - （２）個々の電極の組毎に、互に電極長と電極間隔が異
なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の荷電
粒子ビーム偏向器。 - （３）少なくとも最終段以外の各電極の組の個々の電極
の電極長と電極間隔が略等しいことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の荷電粒子ビーム偏向器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7027385A JPS61230242A (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | 荷電粒子ビ−ム偏向器 |
| US06/774,801 US4752721A (en) | 1984-09-12 | 1985-09-11 | Charged particle beam deflector and flat CRT using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7027385A JPS61230242A (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | 荷電粒子ビ−ム偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61230242A true JPS61230242A (ja) | 1986-10-14 |
Family
ID=13426745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7027385A Pending JPS61230242A (ja) | 1984-09-12 | 1985-04-03 | 荷電粒子ビ−ム偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61230242A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5196280A (ja) * | 1975-02-20 | 1976-08-24 |
-
1985
- 1985-04-03 JP JP7027385A patent/JPS61230242A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5196280A (ja) * | 1975-02-20 | 1976-08-24 |
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