JPS61219592A - Machine actuator - Google Patents

Machine actuator

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JPS61219592A
JPS61219592A JP60270364A JP27036485A JPS61219592A JP S61219592 A JPS61219592 A JP S61219592A JP 60270364 A JP60270364 A JP 60270364A JP 27036485 A JP27036485 A JP 27036485A JP S61219592 A JPS61219592 A JP S61219592A
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JP
Japan
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shape memory
memory element
mechanical
thermoelectric conversion
shape
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JP60270364A
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阿部 幸平
芦川 正高
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Tokin Corp
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Tohoku Metal Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばロボットハンド等に適用して〈以下空
白〉 好適な形状記憶合金、熱電変換素子及び機械ばねより成
り電流制御することにより作動する機械アクチュエータ
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a mechanical actuator that is applied to, for example, a robot hand and is made of a suitable shape memory alloy, a thermoelectric conversion element, and a mechanical spring and is operated by current control.

従来、物をつかんだり、機構の局所的な変位を行つロボ
ットハンドを構成するには、空気圧・油圧・電気を動力
とするモータ等の動力源と、/くルプ・ワイヤ・歯車等
の力の伝達機構を必要としている。そのため全体の構造
が大きくなったり騒音を発生することが多く、使用環境
を損ない、故障が多く、信頼性に欠ける等の欠点がある
Conventionally, in order to construct a robot hand that grasps objects or locally displaces a mechanism, it is necessary to use a power source such as a motor powered by air pressure, hydraulic pressure, or electricity, and force such as a coil, wire, or gear. transmission mechanism is required. As a result, the overall structure tends to be large, noise is often generated, the usage environment is degraded, there are many failures, and there is a lack of reliability.

本発明はかかる点に鑑み、この種機械アクチュエータの
構成を簡素化して騒音を排除し、連続的制御が容易に行
うことができるようにした機械アクチュエータを提案す
ることを主たる目的とする。
In view of this, the main object of the present invention is to propose a mechanical actuator that simplifies the structure of this type of mechanical actuator, eliminates noise, and facilitates continuous control.

以下本発明の一実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一例を示す正面図、第2図は同じく側
面図、第3図は平面図、第4図は底面図である。1は形
状記憶合金より構成された形状記憶素子を示す。形状記
憶合金は、ニッケルN1、’50%付近のT i −N
 i合金又はCu−Al1−Ni合金、Cu−Zn−A
l合金、Cu−Zn−8i合金の如きCu基・β相合金
と呼ばれる合金組成範囲で現われる特性で、母相変態温
度範囲で一旦所定の形状を記憶させると、マルテンサイ
ト変態温度以下に降温して変形しても再びマルテンサイ
ト変態点以上の温度に昇温すると予め母相変態時におい
て変形した形状に戻るという形状記憶特性を示す。し力
・も、マルテンサイト変態温度のときと母相変態温度の
ときの同じひずみ量に対する力の変化は、母相変態時の
ときはマルテンサイト変態時の4倍以上にもなるため、
昇温することによりマルテンサイト変態点を越えると、
記憶されている形状に復帰する一方で、その形状の変位
に伴い外部に大きな機械的な力を作用せしめることがで
きる。因みにT i −N i合金系では、マルテンサ
イト変態時での応力が14〜15 kg /mff1で
あるのが、母相変態時では同じひずみ量ではほぼ60k
g/ mrflにも達する。
FIG. 1 is a front view showing an example of the present invention, FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a plan view, and FIG. 4 is a bottom view. 1 shows a shape memory element made of a shape memory alloy. The shape memory alloy is nickel N1, T i -N around 50%
i alloy or Cu-Al1-Ni alloy, Cu-Zn-A
It is a characteristic that appears in alloy composition ranges called Cu-based / β-phase alloys such as L alloy and Cu-Zn-8i alloy, and once a predetermined shape is memorized in the matrix transformation temperature range, the temperature decreases below the martensitic transformation temperature. Even if it is deformed during the process, when the temperature is raised to a temperature higher than the martensitic transformation point, it exhibits a shape memory property in that it returns to the shape previously deformed during the matrix transformation. As for the force, the change in force for the same amount of strain at the martensitic transformation temperature and at the parent phase transformation temperature is more than four times that at the parent phase transformation than at the martensitic transformation.
When the martensitic transformation point is exceeded by increasing the temperature,
While returning to the memorized shape, a large mechanical force can be applied to the outside as the shape is displaced. Incidentally, in the Ti-Ni alloy system, the stress during martensitic transformation is 14 to 15 kg/mff1, but the stress during matrix transformation is approximately 60 k at the same amount of strain.
g/mrfl.

形状記憶素子1は、第1図及び第2図に示す如く、両端
に雄ねじ1aが形成された直方体状を呈し、下側中央部
に熱電変換素子2を挾むだめの四部1bが形成され、下
部には機械ばね3を嵌入するだめのダプテイル状溝1C
が形成されたものである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the shape memory element 1 has a rectangular parallelepiped shape with male screws 1a formed at both ends, and four parts 1b for sandwiching the thermoelectric conversion element 2 are formed at the lower center part. At the bottom is a dovetail groove 1C into which the mechanical spring 3 is inserted.
was formed.

熱電変換素子2は、ペルチェ効果を示すものが用いられ
、接合した異種金属の部分に直流電流を流すことにより
、接合金属の種類、電流方向により、接合部に加熱冷却
の効果を生ずる現象を示し、Zn5b、PbTe、u型
B i、T e、(T e 8e)3等の合金が材料と
して用いられている。
The thermoelectric conversion element 2 is one that exhibits the Peltier effect, which exhibits a phenomenon in which by passing a direct current through the parts of joined dissimilar metals, a heating and cooling effect is produced in the joint depending on the type of joining metal and the direction of the current. , Zn5b, PbTe, u-type B i, T e, (T e 8e) 3, and other alloys are used as materials.

との熱電変換素子2け形状記憶素子1のほぼ中央位置に
電気絶縁層4を介して形状記憶素子1の長手方向に直交
するように上下者2本配設される。
Two thermoelectric conversion elements are disposed at approximately the center of the shape memory element 1 with an electrical insulating layer 4 interposed therebetween so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the shape memory element 1.

形状記憶素子1は事前に母相変態温度において、第5図
に示す如く、所用の曲げ変形を加えて形状を記憶せしめ
、マルテンサイト変態温度以下においては、第1図に示
す如き形状にしておく。この場合、マルテンサイト時に
おける形状記憶素子1の応力は機械ばね3の力より小さ
く、母相変態時における形状記憶素子1の応力は機械ば
ね3の力より大きい関係に設定される。形状記憶素子1
の昇温冷却は、熱電変換素子2に流す電流によって適宜
調整され1例えば熱電変換素子2に電流を加えることに
より、形状記憶素子1の温度がマルテンサイト変態から
母相変態に変化するため、形状記憶素子1の有する応力
が勝って第5図に示す如く、形状記憶素子1の両端が一
定の角度になる。
The shape memory element 1 is made to memorize its shape by applying the required bending deformation in advance as shown in FIG. 5 at the matrix transformation temperature, and is kept in the shape as shown in FIG. 1 below the martensitic transformation temperature. . In this case, the stress of the shape memory element 1 during martensitic state is smaller than the force of the mechanical spring 3, and the stress of the shape memory element 1 during matrix transformation is set to be larger than the force of the mechanical spring 3. Shape memory element 1
The heating and cooling of the shape memory element 1 is adjusted appropriately by the current flowing through the thermoelectric conversion element 2. For example, by applying a current to the thermoelectric conversion element 2, the temperature of the shape memory element 1 changes from martensitic transformation to matrix transformation. The stress of the memory element 1 prevails, and both ends of the shape memory element 1 form a constant angle, as shown in FIG.

従って、熱電変換素子2への電流の制御によって形状記
憶素子1の両端に他の機構を接続することにより、機械
アクチーエータとして作用させることができる。
Therefore, by controlling the current to the thermoelectric conversion element 2 and connecting other mechanisms to both ends of the shape memory element 1, it can be made to act as a mechanical actuator.

第6図は本発明の他の例を示す図であ゛る。本例におい
ては、機械ばね3の形状記憶素子1に対する取付けをね
じ5を用いる外は、第1図例と同様である。尚、第6図
は形状記憶素子1のマルテンサイト変態の状態を示し、
第7図は形状記憶素子1の母相変態の状態を示しており
、形状記憶素子1が母相変態時に機械はね3に抗して記
憶している形状に変形している様子を示している。
FIG. 6 is a diagram showing another example of the present invention. This example is the same as the example in FIG. 1, except that the mechanical spring 3 is attached to the shape memory element 1 using screws 5. In addition, FIG. 6 shows the state of martensitic transformation of the shape memory element 1,
FIG. 7 shows the state of matrix transformation of the shape memory element 1, and shows how the shape memory element 1 deforms into the memorized shape against the mechanical spring 3 during matrix transformation. There is.

tへ1 第8図は本発明の他の例を示す図、第9図は同じく側面
図、第10図は同じく平面図である。本例においては、
形状記憶素子1の母相変態時に、第12図に示す如く、
軸心に沿ってねじれを生ずるようKその形状を記憶して
おく構成としだものである。形状記憶素子1の断面は円
形状と【7、第9図に示す如く、上下側面から挾むよう
に機械ばね3がねじ5によって固定され、左右側面がら
熱電変換素子2が挾むように設けられている。尚、熱電
変換素子2は機掛械ばねと接触しな−ように、第11図
に示す如く、空隙が設けられ、形状記憶素子1に対して
も絶縁を図るため絶縁層4が設けられる。従って、マル
テンサイト変態時にあった形状記憶素子1は、熱電変換
素子2への通電によって母相変態温度に達すると、第1
2図及び第13図に示す如く、機械ばね3のカに抗して
ねじれ変位を生ずることになる。尚、熱電変換素子2へ
の通電方向によって加熱又は冷却となるから、事前に電
流方向を確認しておくことは勿論である。
t1 Fig. 8 is a diagram showing another example of the present invention, Fig. 9 is a side view, and Fig. 10 is a plan view. In this example,
At the time of matrix transformation of the shape memory element 1, as shown in FIG.
The structure is such that the shape is memorized so that twisting occurs along the axis. The cross section of the shape memory element 1 is circular. As shown in FIG. 9, a mechanical spring 3 is fixed by a screw 5 so as to be sandwiched between the upper and lower sides, and a thermoelectric conversion element 2 is provided between the left and right sides. As shown in FIG. 11, a gap is provided so that the thermoelectric conversion element 2 does not come into contact with the mechanical spring, and an insulating layer 4 is also provided to insulate the shape memory element 1. Therefore, when the shape memory element 1 that was at the time of martensitic transformation reaches the matrix transformation temperature by energizing the thermoelectric conversion element 2, the shape memory element 1 transforms into the first state.
As shown in FIGS. 2 and 13, torsional displacement occurs against the force of the mechanical spring 3. Note that heating or cooling is performed depending on the direction in which the current is applied to the thermoelectric conversion element 2, so it goes without saying that the current direction should be confirmed in advance.

第14図は上述した機械アクチュエータ6を2個接続し
た例を示しだものである。形状記憶合金の形状記憶特性
を繰返し利用する場合は変位によって生ずるひずみ量を
4チ以下に抑える必要があるため、機械アクチーエータ
単体丁は、接続するアームの長さにより異るが、大きな
変位を得るには、同一軸心上に複数の機械アクチュエー
タを縦接続することにより、変位を類積して大きな変位
にする必要がある。本図例においては形状記憶素子1の
変位を全て同じ方向に定め、第1の機械アクチュエータ
6Aを作用させて第2の機械アクチュエータ6Bを作用
させない制御(第14図C参照)及び第1及び第2の機
械アクチュエータ6A。
FIG. 14 shows an example in which two mechanical actuators 6 described above are connected. When repeatedly using the shape memory properties of shape memory alloys, it is necessary to suppress the amount of strain caused by displacement to 4 inches or less, so a single mechanical actuator can achieve large displacements, although this varies depending on the length of the connected arm. In order to achieve this, it is necessary to connect multiple mechanical actuators vertically on the same axis so that displacements can be integrated to produce large displacements. In this example, the displacements of the shape memory elements 1 are all set in the same direction, and the first mechanical actuator 6A is activated and the second mechanical actuator 6B is not activated (see FIG. 14C). 2 mechanical actuator 6A.

6Bを作用させる制゛御(第14図C参照)をすること
ができるように構成したものである。もつとも第1図例
に示す如き機械アクチュエータ及び第8図例に示す如く
機械アクチュエータを適宜組合せることにより、所望の
運動を可能ならしめることができよう。尚、7は接続ア
ーム、8は腕を示す。
6B (see FIG. 14C). Of course, the desired movement can be made possible by appropriately combining a mechanical actuator as shown in the example of FIG. 1 and a mechanical actuator as shown in the example of FIG. Note that 7 indicates a connection arm and 8 indicates an arm.

第15図A、Bは、第114図例に示す如き機械アクチ
ュエータを3本用いてワークをつかむマニビーレータを
構成した例を示している。同図Aにおいては、各機械ア
クチュエータ10′/J′−制御部11によって支持さ
れると共に、熱電変換素子12の制御を制御部11の電
源供給装置によって行う例である。13はワークを示す
。そして熱電変換素子12は形状記憶素子14のほぼ中
央部を包むように接触している。各機械アクチュエータ
10の形状記憶素子14のマルテンサイト変態温度にお
いては、機械ばね15の力によって機械アクチュエータ
10が伸長状態にあるが、今、制御部11を操作するこ
とにより熱電変換素子12に通電すると、形状記憶素子
14が加熱して母相変態温度に達し、同図Bに示す如く
、機械ばね15の力に抗して形状記憶素子14が既に記
憶されている形状に戻るだめ、ワーク13を摘むことが
できる。このときの摘持力は極めて強いため、誤落下す
ることはない。従って、制御部11全体を移動させるこ
とにより、ロボットハンドリングが可能となる。まだワ
ーク13を離すときは、熱電変換素子12に通電方向を
変えて冷却作用するように制御することにより、形状記
憶素子14の母相変態温度からマルテンサイト変態温度
になるため、第15図Aに示す如く、元の伸長状態に復
帰することになり、ワーク13を離間せしめることがで
きる。
FIGS. 15A and 15B show an example in which a manibulator for gripping a workpiece is constructed using three mechanical actuators as shown in the example in FIG. 114. In FIG. 1A, each mechanical actuator 10'/J' is supported by a control section 11, and the thermoelectric conversion element 12 is controlled by a power supply device of the control section 11. 13 indicates a workpiece. The thermoelectric conversion element 12 is in contact with the shape memory element 14 so as to cover approximately the center thereof. At the martensitic transformation temperature of the shape memory element 14 of each mechanical actuator 10, the mechanical actuator 10 is in an extended state due to the force of the mechanical spring 15, but if current is applied to the thermoelectric conversion element 12 by operating the control unit 11, , when the shape memory element 14 is heated to reach the matrix transformation temperature, the workpiece 13 is forced to return to its already memorized shape against the force of the mechanical spring 15, as shown in FIG. You can pick it. The gripping force at this time is extremely strong, so it will not fall accidentally. Therefore, by moving the entire control section 11, robot handling becomes possible. When the workpiece 13 is still to be released, by controlling the thermoelectric conversion element 12 to change the direction of current supply and to have a cooling effect, the matrix transformation temperature of the shape memory element 14 changes to the martensitic transformation temperature. As shown in FIG. 2, the workpiece 13 is returned to its original extended state, and the workpiece 13 can be separated.

尚、第15図例に示す機械アクチュエータは各腕の自由
度が2であるものを示しているが、形状。
Note that although the mechanical actuator shown in the example in FIG. 15 has two degrees of freedom for each arm, the shape may vary.

記憶素子の変形自由度を更に多くすることがでとること
は勿論、自由度の方向を任意に選択することにより、複
雑な作動をする機械アクチュエータ又はマニュピレータ
を構成することができる。
Of course, it is possible to increase the degree of freedom in deforming the memory element, and by arbitrarily selecting the direction of the degree of freedom, it is possible to construct a mechanical actuator or manipulator that performs complex operations.

また上述例は1つの曲げ変位による機械アクチュエータ
を組合わせて種々のアクチュエータを構成する説明をし
たが、1つの形状記憶素子に予め複数の位置に形状を記
憶させておき、各形状記憶箇所に熱電変換素子を配設し
、部分的な加熱冷却の制御を行なうことにより、更に複
雑な動作を行うな機械アクチュエータを得ることができ
る。
Furthermore, in the above example, various actuators are constructed by combining mechanical actuators that generate one bending displacement. By arranging a conversion element and controlling partial heating and cooling, a mechanical actuator that does not perform more complicated operations can be obtained.

以上述べた如く本発明によれば、形状記憶素子の側面に
機械ばね及び熱電変換素子の両端が上記形状記憶素子の
軸芯に沿って夫々固定され、母層変態時に予め形状記憶
素子が軸芯に対してねじれるように記憶しておくように
したので、従来のように加熱手段が遠隔にあるような構
成に比べて、上記記憶素子に対する加熱手段の熱伝導に
よる時間的遅れが解消されて即時応答特性が向上され、
また上記機械ばねの存在によって記憶素子のマルテンサ
イF変態時の作用点が安定して再現でき、アクチュエー
タ自体の信頼性が高くなる。更に従来の如きギア・シャ
フト・バルブ等により構成される機械アクチュエータの
作動に伴なう騒音を発生させることがなく、部分点数も
大幅に低減することができ、制御も簡単に行ない得る等
の効果を有する。
As described above, according to the present invention, both ends of the mechanical spring and the thermoelectric conversion element are respectively fixed to the side surface of the shape memory element along the axis of the shape memory element, and the shape memory element is aligned with the axis in advance during matrix transformation. Since the memory element is stored in such a way that it is twisted relative to the memory element, the time delay caused by the heat conduction of the heating means to the memory element is eliminated, compared to a conventional configuration in which the heating means is located remotely. Improved response characteristics
Further, due to the presence of the mechanical spring, the point of action during Martensi F transformation of the memory element can be stably reproduced, and the reliability of the actuator itself is increased. Furthermore, it does not generate the noise associated with the operation of mechanical actuators composed of conventional gears, shafts, valves, etc., the number of parts can be significantly reduced, and control can be easily performed. has.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一例を示す正面図、第2図は同じく側
面図、第3図は同じく平面図、第4図は同じく底面図、
第5図は同じく動作状態の説明に供する図、第6図は本
発明の他の例を示す正面図、第7図は同じく動作状態の
説明に供する図、第8図は本発明の更に他の例を示す図
、第9図は同じく側面図、第10図は同じく平面図、第
11図は同じく断面図、第12図、第13図は夫々動作
状態を示す図、第14図A、B、Cは本発明を適用した
機械アクチュエータの構成及び動作の説明に供する図、
第15図A、Bは本発明の応用例を示す構成及び動作の
説明に供する図である。 1・・・形状記憶素子、2・・・熱電変換素子、3・・
・機械ばね。 出願人代理人 弁理士 秋 山   高歳lθ図。 と 第12.      第75図 第74 [!] く
FIG. 1 is a front view showing an example of the present invention, FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a top view, and FIG. 4 is a bottom view.
FIG. 5 is a diagram also used to explain the operating state, FIG. 6 is a front view showing another example of the present invention, FIG. 7 is a diagram also used to explain the operating state, and FIG. 8 is another example of the present invention. FIG. 9 is a side view, FIG. 10 is a plan view, FIG. 11 is a sectional view, FIGS. 12 and 13 are diagrams showing operating states, and FIG. 14 is a side view. B and C are diagrams for explaining the configuration and operation of a mechanical actuator to which the present invention is applied;
FIGS. 15A and 15B are diagrams for explaining the configuration and operation of an applied example of the present invention. 1... Shape memory element, 2... Thermoelectric conversion element, 3...
・Mechanical spring. Applicant's agent Patent attorney Takatoshi Akiyama lθ diagram. and 12th. Figure 75 Figure 74 [! ] Ku

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 形状記憶素子の側面に機械ばね及び熱電変換素子の両端
が上記形状記憶素子の軸芯に沿って夫々固定され、母層
変態時に予め形状記憶素子が軸芯に対してねじれるよう
に記憶しておくようにしたことを特徴とする機械アクチ
ュエータ。
Both ends of the mechanical spring and the thermoelectric conversion element are respectively fixed to the side surface of the shape memory element along the axis of the shape memory element, and the shape memory element is memorized in advance so as to be twisted with respect to the axis during matrix transformation. A mechanical actuator characterized by:
JP60270364A 1985-11-30 1985-11-30 Machine actuator Granted JPS61219592A (en)

Priority Applications (1)

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JP60270364A JPS61219592A (en) 1985-11-30 1985-11-30 Machine actuator

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JPH0258078B2 JPH0258078B2 (en) 1990-12-06

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0655865U (en) * 1993-01-14 1994-08-02 株式会社クボタ Drainage pump car

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58165989A (en) * 1982-03-20 1983-10-01 東北金属工業株式会社 Machine actuator

Patent Citations (1)

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JPS58165989A (en) * 1982-03-20 1983-10-01 東北金属工業株式会社 Machine actuator

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