JPS58165989A - Machine actuator - Google Patents

Machine actuator

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JPS58165989A
JPS58165989A JP4513582A JP4513582A JPS58165989A JP S58165989 A JPS58165989 A JP S58165989A JP 4513582 A JP4513582 A JP 4513582A JP 4513582 A JP4513582 A JP 4513582A JP S58165989 A JPS58165989 A JP S58165989A
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JP
Japan
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shape memory
mechanical
memory element
thermoelectric conversion
mechanical actuator
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JP4513582A
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阿部 幸平
芦川 正高
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Tokin Corp
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Tohoku Metal Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばロボット・・ンド等に適用して好適な
形状記憶合金、熱電変換素子及び機械ばねより成り電流
制御することにより作動する機械アクチュエータに関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a mechanical actuator comprising a shape memory alloy, a thermoelectric conversion element, and a mechanical spring, which is suitable for use in robots, etc., and is operated by controlling current.

従来、物をつかんだり、機構の局所的な変位を行うロボ
ットハンドを構成するには、空気圧−油圧・電気を動力
とするモータ等の動力源と、パルプ・ワイヤ・歯車等の
力の伝達機構を必要としている。そのだめ全体の構造が
大きくなったり騒音を発生することが多く、使用環境を
損ない、故障が多く、信頼性に欠ける等の欠点がある。
Conventionally, to construct a robot hand that grasps objects or locally displaces a mechanism, a power source such as a motor powered by pneumatics, hydraulics, or electricity, and a force transmission mechanism such as pulp, wire, or gears are required. need. As a result, the overall structure tends to be large, noise is often generated, the usage environment is degraded, there are many failures, and there is a lack of reliability.

本発明はかかる点に鑑み、この種機械アクチュエータの
構成を簡素化して騒音を排除し、連続的制御が容易に行
うことができるようにした機械アクチュエータを提案す
ることを主たる目的とすゐ。
In view of these points, the main object of the present invention is to propose a mechanical actuator that simplifies the structure of this type of mechanical actuator, eliminates noise, and facilitates continuous control.

以下本発明の一実施例につbて図面を参照しながら詳細
に説明する。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明の一例を示す正面図、第2図は同じく側
面図、第3図は平面図、第4図は底面図である。1は形
状記憶合金より構成された形状記憶素子を示す。形状記
憶合金は、ニッケルNi50%付近のT i −N i
合金又はCu−Al −Ni合金、Cu −Z n−A
 1合金、Cu−Zn−8i合金の如きCu基・β相合
金と呼ばれる合金組成範囲で現われる特性で、母相変態
温度範囲で一旦所定の形状を記憶させると、マルテンサ
イト変態温度以下に降温して変形しても再びマルテンサ
イト変態点以−ヒの・温度に昇温すると予め母相変態時
において変形した形状に戻るという形状記憶特性を示す
。しかも、マルテンサイト変態温度のときと母相変態温
度のときの同じひずみ量に対する力の変化は、母相変態
時のときはマルテンサイト変態時の4倍以上にもなるた
め、昇温することによりマルテンサイト変態点を越える
と、記憶されている形状に復帰する一方で、その形状の
変位に伴す外部に大きな機械的な力を作用せしめること
ができる。因みにT i −N i合金系では、マルテ
ンサイト変態時での応力が14〜15kg/−であるの
が、母相変態時では同じひずみ量ではほぼ60kg/ 
mmにも達する。
FIG. 1 is a front view showing an example of the present invention, FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a plan view, and FIG. 4 is a bottom view. 1 shows a shape memory element made of a shape memory alloy. The shape memory alloy is T i -N i near 50% nickel
alloy or Cu-Al-Ni alloy, Cu-Z n-A
1 alloy, Cu-Zn-8i alloy, etc., which appear in alloy composition ranges called Cu-base/β-phase alloys. Even if the material is deformed during the process, when the temperature is raised to a temperature above the martensitic transformation point, it exhibits a shape memory property in that it returns to the shape previously deformed during the matrix transformation. Moreover, the change in force for the same amount of strain at the martensitic transformation temperature and at the matrix transformation temperature is more than four times as large as at the matrix transformation than at the martensitic transformation. When the martensitic transformation point is exceeded, while the memorized shape is restored, a large mechanical force can be applied to the outside due to the displacement of the shape. Incidentally, in the Ti-Ni alloy system, the stress during martensitic transformation is 14 to 15 kg/-, but during matrix transformation, the stress is approximately 60 kg/- at the same amount of strain.
It can even reach mm.

形状記憶素子1は、第1図及び第2図に示す如く、両端
に雄ねじ1aが形成された直方体状を呈し、下側中央部
に熱電変換素子2を挾むだめの四部1bが形成され、下
部には機械ばね3を嵌入するだめのダブテイル状溝1C
が形成されたものである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the shape memory element 1 has a rectangular parallelepiped shape with male screws 1a formed at both ends, and four parts 1b for sandwiching the thermoelectric conversion element 2 are formed at the lower center part. At the bottom is a dovetail groove 1C into which the mechanical spring 3 is inserted.
was formed.

熱電変換素子2は、ベルチェ効果を示すものが用いられ
、接合した異種金属の部分に直流電流を流すことにより
、接合金属の種類、電流方向により、接合部に加熱冷却
の効果を生ずる現象を示し、Zn5b、PbTe、u型
Bi2Te5(TeSe)3等の合金が材料とし、て用
いられている。
The thermoelectric conversion element 2 used is one that exhibits the Beltier effect, which shows a phenomenon in which by passing a direct current through the parts of joined dissimilar metals, a heating and cooling effect is produced in the joint depending on the type of joining metal and the direction of the current. , Zn5b, PbTe, u-type Bi2Te5(TeSe)3, and other alloys are used as materials.

この熱電変換素子2は形状記憶素子1のほぼ中央位置に
電気絶縁層4を介して形状記憶素子1の長手方向に直交
するように上下者2本配設される。
Two thermoelectric conversion elements 2 are disposed at approximately the center of the shape memory element 1 with an electrical insulating layer 4 interposed therebetween so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the shape memory element 1.

形状記憶素子1は事前に母相変態温度において、第5図
に示す如く、所用の曲げ変形を加えて形状を記憶せしめ
、マルテンサイト変態温度以下においては、第1図に示
す如き形状にしておく。この場合、マルテンサイト時に
おける形状記憶素子1の応力は機械ばね3の力より小さ
く、母相変態時における形状記憶素子1の応力は機械ば
ね3の力より大きい関係に設定される。形状記憶素子1
の昇温冷却は、熱電変換素子2に流す電流によって適宜
調整され、例えば熱電変換素子2に電流を加えることに
より、形状記憶素子1の温度がマルテンサイト変態から
母相変態に変化するため、形状記憶素子1の有する応力
が勝って第5図に示す如く、形状記憶素子1の両端が一
定の角度になる。
The shape memory element 1 is made to memorize its shape by applying the required bending deformation in advance as shown in FIG. 5 at the matrix transformation temperature, and is kept in the shape as shown in FIG. 1 below the martensitic transformation temperature. . In this case, the stress of the shape memory element 1 during martensitic state is smaller than the force of the mechanical spring 3, and the stress of the shape memory element 1 during matrix transformation is set to be larger than the force of the mechanical spring 3. Shape memory element 1
The heating and cooling of the shape memory element 1 is adjusted appropriately by the current flowing through the thermoelectric conversion element 2. For example, by applying a current to the thermoelectric conversion element 2, the temperature of the shape memory element 1 changes from martensitic transformation to matrix transformation. The stress of the memory element 1 prevails, and both ends of the shape memory element 1 form a constant angle, as shown in FIG.

従って、熱電変換素子2への電流の制御によって形状記
憶゛素子1の両端に他の機構を接続するこ逅により、機
械アクチュエータとして作用させることができる。
Therefore, by controlling the current to the thermoelectric conversion element 2 and connecting other mechanisms to both ends of the shape memory element 1, it can be made to act as a mechanical actuator.

第6図は本発明の他の例を示す図である。本例において
は1機械ばね3の形状記憶素子1に対する取付けをねじ
5を用いる外は、第1図例と同様である。尚、第6図は
形状記憶素子1のマルテンサイト変態の状態を示し、第
7図は形状記憶素子1の母相変態の状態を示しており、
形状記憶素子1が母相変態時に機械ばね3に抗して記憶
している形状に変形している様子を示している。
FIG. 6 is a diagram showing another example of the present invention. This example is the same as the example in FIG. 1, except that screws 5 are used to attach mechanical spring 3 to shape memory element 1. Note that FIG. 6 shows the state of martensitic transformation of the shape memory element 1, and FIG. 7 shows the state of matrix transformation of the shape memory element 1.
The shape memory element 1 is shown deforming into a memorized shape against the mechanical spring 3 during matrix transformation.

第8図は本発明の他の例を示す図、第9図は同じく側面
図、第10図は同じく平面図である。本例においては、
形状記憶素子1の母相変態時に、第12図に示す如く、
軸心に沿ってねじれを生ずるようKその形状を記憶して
おく構成としたものである。形状記憶素子1の断面は円
形状とし、第9図に示す如く、上下側面から挾むように
機械ばね3がねじ5によって固定され、左右側面から熱
電変換素子2が挾むように設けられてbる。尚、熱電変
換素子2は機N械ばねと接触しないように、第11図に
示す如く、空隙が設けられ、形状記憶素子1に対しても
絶縁を図るだめ絶縁層4が設けられる。従って、マルテ
ンサイト変態時にあった形状記憶素子1Fi、熱電変換
素子2への通電によって母相変態温度に達すると、第1
2図及び第13図に示す如く、機械ばね3の力に抗して
ねじれ変位を生ずることになる。尚、熱電変換素子2へ
の通電方向によって加熱又は冷却となるから、事前に電
流方向を確認しておくことは勿論である。
FIG. 8 is a diagram showing another example of the present invention, FIG. 9 is a side view, and FIG. 10 is a plan view. In this example,
At the time of matrix transformation of the shape memory element 1, as shown in FIG.
The configuration is such that the shape is memorized so that twisting occurs along the axis. The cross section of the shape memory element 1 is circular, and as shown in FIG. 9, mechanical springs 3 are fixed with screws 5 so as to be sandwiched between the upper and lower side surfaces, and thermoelectric conversion elements 2 are provided so as to be sandwiched between the left and right sides. As shown in FIG. 11, a gap is provided so that the thermoelectric conversion element 2 does not come into contact with the mechanical spring, and an insulating layer 4 is provided to insulate the shape memory element 1 as well. Therefore, when the matrix transformation temperature is reached by energizing the shape memory element 1Fi and the thermoelectric conversion element 2 that were at the time of martensitic transformation, the first
As shown in FIGS. 2 and 13, torsional displacement occurs against the force of the mechanical spring 3. Note that heating or cooling is performed depending on the direction in which the current is applied to the thermoelectric conversion element 2, so it goes without saying that the current direction should be confirmed in advance.

第14図は上述した機械アクチュエータ6を2個接続し
た例を示したものである。形状記憶合金の形状記憶特性
を繰返し利用する場合は変位によって生ずるひずみ量を
4q/)以下に抑える必要があるため、機械アクチーエ
ータ単体では、接続するアームの長さにより異るが、大
きな変位を得るには、同一軸心上に複数の機械アクチュ
エータを縦接続することにより、変位を類積して大きな
変位にする必要がある。本図例においては形状記憶素子
1の変位を全て同じ方向に定め、第1の機械アクチュエ
ータ6Aを作用させて第2の機械アクチュエータ6Bを
作用させない制御(第14図C参照)及び第1及び第2
の機械アクチュエータ5A。
FIG. 14 shows an example in which two mechanical actuators 6 described above are connected. When repeatedly using the shape memory properties of shape memory alloys, it is necessary to suppress the amount of strain caused by displacement to 4q/) or less, so a mechanical actuator alone can achieve large displacements, although this varies depending on the length of the connected arm. In order to achieve this, it is necessary to connect multiple mechanical actuators vertically on the same axis so that displacements can be integrated to produce large displacements. In this example, the displacements of the shape memory elements 1 are all set in the same direction, and the first mechanical actuator 6A is activated and the second mechanical actuator 6B is not activated (see FIG. 14C). 2
mechanical actuator 5A.

6Bを作用させる制御(第14図C参照)をすることが
できるように構成したものである。もつとも第1図例に
示す如き機械アクチュエータ及び第8図例に示す如く機
械アクチュエータを適宜組合せることにより、所望の運
動を可能ならしめることができよう。尚、71′i接続
アーム、8は腕を示す。
6B (see FIG. 14C). Of course, the desired movement can be made possible by appropriately combining a mechanical actuator as shown in the example of FIG. 1 and a mechanical actuator as shown in the example of FIG. In addition, 71'i is a connecting arm, and 8 indicates an arm.

第15図A、Bは、第14図例に示す如き機械アクチュ
エータを3本用いてワークをつかむマニピュレータを構
成した例を示している。同図Aにおいては、各機械アク
チュエータ10が制御部11によって支持されると共に
、熱電変換素子12の制御を制御部11の電源供給装置
によって行う例である。13はワークを示す。そして熱
電変換素子12は形状記憶素子14のほぼ中央部を包む
ように接触している。各機械アクチュエータ10の形状
記憶素子14のマルテンサイト変態温度にお−ては、機
械ばね15の力によって機械アクチュエータ10が伸長
状態にあるが、今、制御部11を操作することにより熱
電変換素子12に通電すると、形状記憶素子14が加熱
して母相変態温度に達し、同図Bに示す如く、機械ばね
15の力に抗して形状記憶素子14が既に記憶されてい
る形状に戻るだめ、ワーク13を摘むことができる。こ
のときの摘持力は極めて強いため、誤落下することはな
い。従って、制御部11全体を移動させることにより、
ロボットハンドリングが可能となる。またワーク13を
離すときは、熱電変換素子12に通電方向を変えて冷却
作用するように制御することにより、形状記憶素子14
の母相変態温度からマルテンサイト変態温度になるため
15A and 15B show an example in which a manipulator for grasping a workpiece is configured using three mechanical actuators as shown in the example in FIG. 14. In FIG. 1A, each mechanical actuator 10 is supported by a control section 11, and the thermoelectric conversion element 12 is controlled by a power supply device of the control section 11. 13 indicates a workpiece. The thermoelectric conversion element 12 is in contact with the shape memory element 14 so as to cover approximately the center thereof. At the martensitic transformation temperature of the shape memory element 14 of each mechanical actuator 10, the mechanical actuator 10 is in an extended state due to the force of the mechanical spring 15. When energized, the shape memory element 14 heats up and reaches the matrix transformation temperature, and as shown in FIG. The workpiece 13 can be picked up. The gripping force at this time is extremely strong, so it will not fall accidentally. Therefore, by moving the entire control section 11,
Robot handling becomes possible. Furthermore, when the workpiece 13 is released, the shape memory element 14 is controlled by changing the current direction to the thermoelectric conversion element 12 to cool the workpiece 13.
from the parent phase transformation temperature to the martensitic transformation temperature.

第15図Aに示す如く、元の伸長状態に復帰することに
なり、ワーク13を離間せしめることができる。
As shown in FIG. 15A, the original elongated state is restored, and the workpiece 13 can be separated.

尚、第15図例に示す機械アクチュエータは6腕の自由
度が2であるものを示しているが、形状記憶素子の変形
自由度を更に多くすることができるのは勿論、自由度の
方向を任意に選択することにより、複雑な作動をする機
械アクチュエータ又はマニュピレータを構成することが
できる。
Although the mechanical actuator shown in the example in Fig. 15 has six arms with two degrees of freedom, it is possible to increase the degree of freedom of deformation of the shape memory element, and it is possible to change the direction of the degrees of freedom. By making arbitrary selections, mechanical actuators or manipulators with complex operations can be constructed.

また上述例は1つの曲げ変位による機械アクチュエータ
を組合せて種々のアクチュエータを構成する説明をした
が、1つの形状記憶素子に予め複数の位置に形状を記憶
させておき、各形状記憶箇所に熱電変換素子を配設し、
部分的な加熱冷却の制御を行うことにより、更に複雑な
動作を行う機械アクチュエータを得ることができる。
In addition, in the above example, various actuators were constructed by combining mechanical actuators based on one bending displacement. Arrange the elements,
By controlling partial heating and cooling, it is possible to obtain a mechanical actuator that performs more complex operations.

以上述べた如く本発明によれば、形状記憶合金より成る
形状記憶素子と、ペルチェ効果を示す熱電変換素子と、
機械ばねとより構成したので、従来の如きギア・シャフ
ト・パルプ等により構成される機械アクチュエータの作
動に伴う騒音を発生させることがなく、部品点数も大幅
に低減することができ、制御も簡単に行い得る等の効果
を有する。
As described above, according to the present invention, a shape memory element made of a shape memory alloy, a thermoelectric conversion element exhibiting the Peltier effect,
Since it is composed of mechanical springs, it does not generate the noise associated with the operation of mechanical actuators made of conventional gears, shafts, pulp, etc., and the number of parts can be significantly reduced, making control easy. It has the effect that it can be used.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一例を示す正面図、第2図は同じく側
面図、第3図は同じく平面図、第4図は同じく底面図、
第5図は同じく動作状態の説明に供する図、第6図は本
発明の他の例を示す正面図。 第7図は同じく動作状態の説明に供する図、第8図は本
発明の更に他の例を示す図、第9図は同じく側面図、第
10図は同じく平面図、第11図は同じく断面図、第1
2図、第13図は夫々動作状態を示す図、第14図A、
B、Cは本発明を適用した機械アクチュエータの構成及
び動作の説明に供する図、第15図A、Bは本発明の応
用例を示す構成及び動作の説明に供する図である。 1・・・形状記憶素子、2・・・熱電変換素子、3・・
・機械ばね、6A、6B・・・第1及び第2の機械アク
チュエータ。 代理人 解理士 秋  山   高 惇3 図 で754図 第10図 第12図      第13図 第14図 第1511 \
FIG. 1 is a front view showing an example of the present invention, FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a top view, and FIG. 4 is a bottom view.
FIG. 5 is a diagram also used to explain the operating state, and FIG. 6 is a front view showing another example of the present invention. FIG. 7 is a diagram for explaining the operating state, FIG. 8 is a diagram showing still another example of the present invention, FIG. 9 is a side view, FIG. 10 is a plan view, and FIG. 11 is a cross-sectional view. Figure, 1st
Figures 2 and 13 are diagrams showing operating states, Figure 14A,
15B and 15C are diagrams for explaining the configuration and operation of a mechanical actuator to which the present invention is applied, and FIGS. 15A and 15B are diagrams for explaining the configuration and operation of an application example of the present invention. 1... Shape memory element, 2... Thermoelectric conversion element, 3...
- Mechanical springs, 6A, 6B...first and second mechanical actuators. Agent Anatomist Akiyama Takaatsu 3 Figure 754 Figure 10 Figure 12 Figure 13 Figure 14 Figure 1511 \

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、形状記憶合金より成る形状記憶素子と、ペルチェ効
果を示す熱電変換素子と、機械ばねとより構成したこと
を特徴とする機械アクチュエータ。 2、上記形状記憶素子は、上記熱電変換素子に接、して
上記熱電変換素子に流す電流によって加熱冷却され、上
記形状記憶素子のマルテンサイト変態時は上記機械ばね
によって伸長又は収縮し母相状態時は上記ばねの力に抗
して収縮又は伸長変形を生ずるようにした特許請求の範
囲第1項記載の機械アクチュエータ。 3、上記機械アクチュエータを1個又は複数個組合わせ
て多方向の変位を生ずるように構成した特許請求の範囲
第1項又は第2項記載の機械アクチュエータ。
[Scope of Claims] 1. A mechanical actuator comprising a shape memory element made of a shape memory alloy, a thermoelectric conversion element exhibiting the Peltier effect, and a mechanical spring. 2. The shape memory element is in contact with the thermoelectric conversion element and is heated and cooled by a current flowing through the thermoelectric conversion element, and when the shape memory element transforms to martensitic state, it is expanded or contracted by the mechanical spring to enter the matrix state. 2. The mechanical actuator according to claim 1, wherein the mechanical actuator is configured to contract or expand in response to the force of the spring. 3. The mechanical actuator according to claim 1 or 2, wherein one or more mechanical actuators are combined to produce displacement in multiple directions.
JP4513582A 1982-03-20 1982-03-20 Machine actuator Granted JPS58165989A (en)

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