JPS6120814A - 磁気抵抗素子の取付基板 - Google Patents
磁気抵抗素子の取付基板Info
- Publication number
- JPS6120814A JPS6120814A JP59140547A JP14054784A JPS6120814A JP S6120814 A JPS6120814 A JP S6120814A JP 59140547 A JP59140547 A JP 59140547A JP 14054784 A JP14054784 A JP 14054784A JP S6120814 A JPS6120814 A JP S6120814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetoresistive element
- substrate
- magnetic
- adhesive
- magneto
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は磁性センサの移動体側磁気記録媒体上の磁気パ
ターンを読み取るのに用いる固定側磁気抵抗素子の取付
基板に関する。
ターンを読み取るのに用いる固定側磁気抵抗素子の取付
基板に関する。
磁性センサでは、例えば特開昭５９−５９１４号に開示
されているように、移動体に取付けた磁気記録媒体に着
磁して磁気パターンを形成させ、この磁気バター・ンを
、固定位置にある磁気抵抗素子で読み取り、移動体の移
動状態を検出している。
されているように、移動体に取付けた磁気記録媒体に着
磁して磁気パターンを形成させ、この磁気バター・ンを
、固定位置にある磁気抵抗素子で読み取り、移動体の移
動状態を検出している。
移動体側の磁気パターンは、精密に移動状態を検出しよ
うとすると微細な変化のある（高密度な）ものとなり、
その磁界を強くすることは困難であり、また、其の磁界
を読み取るのに用いる磁気抵抗素子の磁界の有無による
電気抵抗変化の割合も大きくはないので、移動体側の例
えば磁気ドラムや磁気ディスクの面と、固定側の磁気抵
抗素子との間隔を大きくすることは出来ず、この間隔の
僅かな変動が磁性センサとしての出力に大きく影響する
。したがって、磁気抵抗素子の位置決めは精密に行わな
ければならない。
うとすると微細な変化のある（高密度な）ものとなり、
その磁界を強くすることは困難であり、また、其の磁界
を読み取るのに用いる磁気抵抗素子の磁界の有無による
電気抵抗変化の割合も大きくはないので、移動体側の例
えば磁気ドラムや磁気ディスクの面と、固定側の磁気抵
抗素子との間隔を大きくすることは出来ず、この間隔の
僅かな変動が磁性センサとしての出力に大きく影響する
。したがって、磁気抵抗素子の位置決めは精密に行わな
ければならない。
磁性センサでは、通常、移動状態検出用磁気抵抗素子取
付は個所にまずセラミックス製の取付基板を取付け、こ
の取付基板に接着剤を用いて磁気抵抗素子（普通、ガラ
ス基板上にパーマロイ薄膜等で形成されたもの）を取付
ける方法が用いられている。これはセラミ７クスは非磁
性、非金属で、ガラスエポキシ系材料などに比べて、信
頼性、加工精度などにおいて優れているからである。こ
の従来の磁気抵抗素子の取付は状態の−・例の正面図を
第２図（ａ）に、其の側面図を第２図（ｂ）に示す。こ
れらの図において、１は磁気抵抗素子、２はセラミック
ス基板、３はフレキシブルケーブル、４は移動（回転）
側の磁気ドラム、５は接着剤である。
付は個所にまずセラミックス製の取付基板を取付け、こ
の取付基板に接着剤を用いて磁気抵抗素子（普通、ガラ
ス基板上にパーマロイ薄膜等で形成されたもの）を取付
ける方法が用いられている。これはセラミ７クスは非磁
性、非金属で、ガラスエポキシ系材料などに比べて、信
頼性、加工精度などにおいて優れているからである。こ
の従来の磁気抵抗素子の取付は状態の−・例の正面図を
第２図（ａ）に、其の側面図を第２図（ｂ）に示す。こ
れらの図において、１は磁気抵抗素子、２はセラミック
ス基板、３はフレキシブルケーブル、４は移動（回転）
側の磁気ドラム、５は接着剤である。
しかし、接着に用いる接着剤５の（特に接着後の）層の
厚さを正確に制御することは難しく、このため上記セン
サとしての検出出力に大きく影響する移動側磁気記録媒
体面すなわち磁気ドラム４の面と固定側磁気抵抗素子１
の・面との間隔りを常に正確に所望値とすることは困難
であり、さらに接着剤層の厚さを夫々の位置で所望の如
く制御することも困難で、磁気ドラム４の面と磁気抵抗
素子１０面とを平行にさせることも容易ではないなどの
問題が生じていた。
厚さを正確に制御することは難しく、このため上記セン
サとしての検出出力に大きく影響する移動側磁気記録媒
体面すなわち磁気ドラム４の面と固定側磁気抵抗素子１
の・面との間隔りを常に正確に所望値とすることは困難
であり、さらに接着剤層の厚さを夫々の位置で所望の如
く制御することも困難で、磁気ドラム４の面と磁気抵抗
素子１０面とを平行にさせることも容易ではないなどの
問題が生じていた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記のような制御困難な接着剤層の厚
さや其の一様性の問題に煩わされない、磁気抵抗素子を
正確に所望の位置、状態に取付は固定できる磁気抵抗素
子の取付基板を提供することにある。
さや其の一様性の問題に煩わされない、磁気抵抗素子を
正確に所望の位置、状態に取付は固定できる磁気抵抗素
子の取付基板を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、取付基板
の磁気抵抗素子を取付ける側に、非磁性金属製の、厚さ
を正確に制御できるスペーサを複数個所に配置して、接
着剤層の厚さが正確に所望の如くなるようにした。この
目的のスペーサは、例えば、粉末冶金法によって製造さ
れる非磁性金属すなわちタングステンやモリブデンなど
の粉末の懸濁液を用いて、セラミックス取付基板上の適
切な位置に印刷、焼成して形成すれば良い。このような
金属スペーサはセラミックスよりも遥かに容易に正確に
厚さ制御を行うことが出来るからスペーサとして便利で
ある。
の磁気抵抗素子を取付ける側に、非磁性金属製の、厚さ
を正確に制御できるスペーサを複数個所に配置して、接
着剤層の厚さが正確に所望の如くなるようにした。この
目的のスペーサは、例えば、粉末冶金法によって製造さ
れる非磁性金属すなわちタングステンやモリブデンなど
の粉末の懸濁液を用いて、セラミックス取付基板上の適
切な位置に印刷、焼成して形成すれば良い。このような
金属スペーサはセラミックスよりも遥かに容易に正確に
厚さ制御を行うことが出来るからスペーサとして便利で
ある。
本発明の一実施例の正面図を第１図（ａ）に、其の側面
図を第１図（ｂ）に示す。これらの図中、６は本発明に
係るスペーサで、その他の符号は第２図（ａ）、（ｂ）
の場合と同様である。磁気抵抗素子１からセラミックス
基板２への信号の取り出しには、フレキシブルケーブル
３を用いている。磁気ドラム４の磁気パターンの磁界の
有無により、磁気抵抗素子１の電気抵抗が変化するので
、たとえば磁気抵抗素子に定電流源により電流を流して
おいて、磁気抵抗素子両端間の電位差を計測するように
しておけば、磁気ドラム４の回転速度、回転した角度、
停止位置などの回転状態に関する情報が出力として得ら
れる。この出力は、磁気抵抗素子と磁気ドラムとの距離
りにより変動する。そのため、この距離りが一定となる
ように、磁気抵抗素子とその取付基板との接着個所状態
の寸法精度を正確に制御する必要がある。この制御のた
めに、第１図（ａ）に示すようにセラミックス基板２の
上に、スペーサ６を取付けて接着剤５の量などには影響
されずに、セラミックス基板２と磁気抵抗素子１のガラ
ス基板との間の間隔（通常十数μｍ程度）を所望の寸法
値に制御しようというのである。このスペーサ６は、第
１図＜ａ＞に示すように、セラミックス基板２の上に非
磁性金属を用いて焼成して形成させる。その材料として
は、粉末冶金法により製造されるタングステンやモリブ
デンなどが適している。これらの金属は非磁性であって
磁気抵抗効果に影響を与えない。
図を第１図（ｂ）に示す。これらの図中、６は本発明に
係るスペーサで、その他の符号は第２図（ａ）、（ｂ）
の場合と同様である。磁気抵抗素子１からセラミックス
基板２への信号の取り出しには、フレキシブルケーブル
３を用いている。磁気ドラム４の磁気パターンの磁界の
有無により、磁気抵抗素子１の電気抵抗が変化するので
、たとえば磁気抵抗素子に定電流源により電流を流して
おいて、磁気抵抗素子両端間の電位差を計測するように
しておけば、磁気ドラム４の回転速度、回転した角度、
停止位置などの回転状態に関する情報が出力として得ら
れる。この出力は、磁気抵抗素子と磁気ドラムとの距離
りにより変動する。そのため、この距離りが一定となる
ように、磁気抵抗素子とその取付基板との接着個所状態
の寸法精度を正確に制御する必要がある。この制御のた
めに、第１図（ａ）に示すようにセラミックス基板２の
上に、スペーサ６を取付けて接着剤５の量などには影響
されずに、セラミックス基板２と磁気抵抗素子１のガラ
ス基板との間の間隔（通常十数μｍ程度）を所望の寸法
値に制御しようというのである。このスペーサ６は、第
１図＜ａ＞に示すように、セラミックス基板２の上に非
磁性金属を用いて焼成して形成させる。その材料として
は、粉末冶金法により製造されるタングステンやモリブ
デンなどが適している。これらの金属は非磁性であって
磁気抵抗効果に影響を与えない。
セラミックス基板に焼結して固着できる（金属粉末の懸
濁液をインクにして、セラミックス基板上にスクリーン
印刷法などで所定の形状、厚さに印刷することが出来る
）。このスペーサ６は、その厚さを容易に正確に制御で
きるので、当初軟らかい接着剤５の層の厚さを制御でき
、接着強度には問題を生じない。本実施例では１．スペ
ーサはかぎ状に形成して四隅に配置しであるが、このよ
うな形状、配置に限定する必要はない。スペーサの配置
場所、形状は、高さの設定、スペーサの平行度の設定が
主目的であるから、此の目的を達成するのに適切でさえ
あればどんな配置、形状でも差支え無い。ただ、この実
施例のようにスペーサを配置すると、磁気抵抗素子の配
置場所に合わせて、接着剤を塗布する位置の目合わせが
できる。さらに此のスペーサの外形部に磁気抵抗素子ガ
ラス基板を合わせることによって、磁気抵抗素子の平面
的位置合わせを行うことも出来る。
濁液をインクにして、セラミックス基板上にスクリーン
印刷法などで所定の形状、厚さに印刷することが出来る
）。このスペーサ６は、その厚さを容易に正確に制御で
きるので、当初軟らかい接着剤５の層の厚さを制御でき
、接着強度には問題を生じない。本実施例では１．スペ
ーサはかぎ状に形成して四隅に配置しであるが、このよ
うな形状、配置に限定する必要はない。スペーサの配置
場所、形状は、高さの設定、スペーサの平行度の設定が
主目的であるから、此の目的を達成するのに適切でさえ
あればどんな配置、形状でも差支え無い。ただ、この実
施例のようにスペーサを配置すると、磁気抵抗素子の配
置場所に合わせて、接着剤を塗布する位置の目合わせが
できる。さらに此のスペーサの外形部に磁気抵抗素子ガ
ラス基板を合わせることによって、磁気抵抗素子の平面
的位置合わせを行うことも出来る。
次ぎに接着剤の塗布量であるが、丁度必要な体積量より
若干条目に塗布すれば良い。接着剤が位置決め時、ある
いは硬化時に、スペーサによって定まる体積からはみ出
しても何等問題を生じないからである。
若干条目に塗布すれば良い。接着剤が位置決め時、ある
いは硬化時に、スペーサによって定まる体積からはみ出
しても何等問題を生じないからである。
以上説明したように本発明によれば、接着剤の塗布量、
塗布状態での厚さ方向の変動などに影響されずに、スペ
ーサによって、磁気抵抗素子とセラミックス取付基板の
間の間隔や平行度が、所望の如く高精度で設定され、磁
気抵抗効果による出力が一定な磁気センサが得られる。
塗布状態での厚さ方向の変動などに影響されずに、スペ
ーサによって、磁気抵抗素子とセラミックス取付基板の
間の間隔や平行度が、所望の如く高精度で設定され、磁
気抵抗効果による出力が一定な磁気センサが得られる。
第１図（ａ）は本発明実施例の正面図、第１図（ｂ）は
其の側面図、第２図（ａ）は従来例の正面図、第２図（
ｂ）はその側面図である。 １・・−磁気抵抗素子、 ２−セラミックス基板、３−
・−フレキシブルケーブル、 ４−・−・磁気ドラム
、Ｃす に 第 ２ （６Ｌ） 図 （ｂ） 図 （１＞）
其の側面図、第２図（ａ）は従来例の正面図、第２図（
ｂ）はその側面図である。 １・・−磁気抵抗素子、 ２−セラミックス基板、３−
・−フレキシブルケーブル、 ４−・−・磁気ドラム
、Ｃす に 第 ２ （６Ｌ） 図 （ｂ） 図 （１＞）
Claims (1)
- 磁性センサ用磁気抵抗素子を接着剤を用いて取付ける
磁気抵抗素子の取付基板において、取付基板の磁気抵抗
素子を取付ける側に、非磁性金属製の、厚さを正確に制
御できるスペーサを複数個所に配置して、接着剤層の厚
さが正確に所望の如くなるようにしたことを特徴とする
磁気抵抗素子の取付基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140547A JPS6120814A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 磁気抵抗素子の取付基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140547A JPS6120814A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 磁気抵抗素子の取付基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120814A true JPS6120814A (ja) | 1986-01-29 |
Family
ID=15271210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59140547A Pending JPS6120814A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 磁気抵抗素子の取付基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120814A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100440565C (zh) * | 2004-09-17 | 2008-12-03 | 日本电产三协株式会社 | 磁阻元件 |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP59140547A patent/JPS6120814A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100440565C (zh) * | 2004-09-17 | 2008-12-03 | 日本电产三协株式会社 | 磁阻元件 |
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