JPS61206582A - レ−ザビ−ム加工装置 - Google Patents
レ−ザビ−ム加工装置Info
- Publication number
- JPS61206582A JPS61206582A JP60044896A JP4489685A JPS61206582A JP S61206582 A JPS61206582 A JP S61206582A JP 60044896 A JP60044896 A JP 60044896A JP 4489685 A JP4489685 A JP 4489685A JP S61206582 A JPS61206582 A JP S61206582A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- mirror
- bend mirror
- bend
- laser
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ベンドミラーの損傷位置を変えて使用するこ
とによシ、その長寿命化をはかったレーザビーム加工装
置に関するものである。
とによシ、その長寿命化をはかったレーザビーム加工装
置に関するものである。
第３図は従来のレーザビーム加工装置ｔ−示す断面側面
図である。（１）はレーザ発振器、（２）はレーザ発振
器（１）から水平に出射されたレーザビーム、（３）は
水平なレーザビーム（２）全垂直に曲げるためのベンド
ミラー、（２ｍ）はベンドミラー（３） Ｋよシ儂直に
反射されたレーザビーム、（４）はレーザビーム（２ａ
） ｔｌ−加工の目的に適合したエネルギー密度に集光
する集光レンズ、（２ｂ）Ｊ’を集光レンズ（４）で集
光されたレーザビーム、（５）はレーザビーム（２ｂ）
と同軸で円筒状のアシストガスノズル、（６）ハ被加工
物である。
図である。（１）はレーザ発振器、（２）はレーザ発振
器（１）から水平に出射されたレーザビーム、（３）は
水平なレーザビーム（２）全垂直に曲げるためのベンド
ミラー、（２ｍ）はベンドミラー（３） Ｋよシ儂直に
反射されたレーザビーム、（４）はレーザビーム（２ａ
） ｔｌ−加工の目的に適合したエネルギー密度に集光
する集光レンズ、（２ｂ）Ｊ’を集光レンズ（４）で集
光されたレーザビーム、（５）はレーザビーム（２ｂ）
と同軸で円筒状のアシストガスノズル、（６）ハ被加工
物である。
第５図は発振器（１）より出射され次レーザビーム（２
）のパワー密度分布を示す線図で、縦軸はパワー密度、
横軸は光軸からの距離全示し、またＤ８はレーザビーム
（２）のビーム径を示している。なお曲線人はガウス分
布を示すもので、ビーム中心部が高くなっておシ、この
ため、レーザビーム（２）’ｔベンドミラー（３）で反
射させる場合、その中心部がベンドミラー（３）の表面
部分に損傷（ピンホール）を与える。
）のパワー密度分布を示す線図で、縦軸はパワー密度、
横軸は光軸からの距離全示し、またＤ８はレーザビーム
（２）のビーム径を示している。なお曲線人はガウス分
布を示すもので、ビーム中心部が高くなっておシ、この
ため、レーザビーム（２）’ｔベンドミラー（３）で反
射させる場合、その中心部がベンドミラー（３）の表面
部分に損傷（ピンホール）を与える。
第４図は第３図に示すレーザ加工装置によシ長時間加工
を行った後のベンドミラー（３）の状態を示す説明図で
ある。図から明らかなように、パワー密度の高いレーザ
ビーム（２）がベンドミラー（３）の中心部に照射され
るためその位置にピンホール（７）が生じ、そのまま長
時間使用し続けるとしだいにピンホール（７）が大きく
なシ、ベンドミラー（３）のビームの反射率が悪くなっ
て加工が行なえなくなる。
を行った後のベンドミラー（３）の状態を示す説明図で
ある。図から明らかなように、パワー密度の高いレーザ
ビーム（２）がベンドミラー（３）の中心部に照射され
るためその位置にピンホール（７）が生じ、そのまま長
時間使用し続けるとしだいにピンホール（７）が大きく
なシ、ベンドミラー（３）のビームの反射率が悪くなっ
て加工が行なえなくなる。
そのためピンホールが１力所発生しただけでベンドミラ
ー（３）を取シ替えなければならなかった。
ー（３）を取シ替えなければならなかった。
従来のレーザ加工機のベンドミラーは、レーザビームの
当たる位置が固定されているためレーザビームの当たる
位Ｒを変えることができず、かつ表面積がレーザビーム
の断面積より若干大きく作られている九め、一度ビンホ
ールが発生すると交換しなければならなかった。また表
面には金などの高価な貴金属が蒸着されているため、そ
の再生には非常に高度な技術が要求され、はとんど再利
用されていないなどの問題があった。
当たる位置が固定されているためレーザビームの当たる
位Ｒを変えることができず、かつ表面積がレーザビーム
の断面積より若干大きく作られている九め、一度ビンホ
ールが発生すると交換しなければならなかった。また表
面には金などの高価な貴金属が蒸着されているため、そ
の再生には非常に高度な技術が要求され、はとんど再利
用されていないなどの問題があった。
本発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
九もので、従来よりも大きなベンドミラーを用い、長期
間の使用でピンホールが生じるとレーザビームの当たる
位置を変え、１つのベンドミラーを何回も使用すること
のできるレーザビーム加工装置を得ることを目的とする
。
九もので、従来よりも大きなベンドミラーを用い、長期
間の使用でピンホールが生じるとレーザビームの当たる
位置を変え、１つのベンドミラーを何回も使用すること
のできるレーザビーム加工装置を得ることを目的とする
。
本発明は上記の目的を達成するためになされたもので、
レーザビームを発生させるレーザ発振器、該レーザ発振
器から出射され次レーザビームの当たる位置を自由に変
えることのできるベンドミラー、該ベンドミラーにより
垂直に曲げられたレーザビームを集光する集光光学系、
集光レーザビームと同軸の円筒状に構成されたノズルを
備えたレーザビーム加工装置を提供するものである。
レーザビームを発生させるレーザ発振器、該レーザ発振
器から出射され次レーザビームの当たる位置を自由に変
えることのできるベンドミラー、該ベンドミラーにより
垂直に曲げられたレーザビームを集光する集光光学系、
集光レーザビームと同軸の円筒状に構成されたノズルを
備えたレーザビーム加工装置を提供するものである。
発振器よシ出射したレーザビームがベンドミラーに当た
る位置を、ベンドミラーの角度を一定に保って回転させ
ることにより、ピンホールの生じたベンドミラーを何回
も使用する。
る位置を、ベンドミラーの角度を一定に保って回転させ
ることにより、ピンホールの生じたベンドミラーを何回
も使用する。
第１図は本発明の実施例を示す断面図である。
なお＠３図と同じ機能の部分には同じ記号を付し説明を
省略する。（８）はベンドミラーの中心軸、（９）は中
心軸（８）全中心に一定の角度を保って回軸させ、発振
器（１）よシ出射したレーザビーム（２）の当たる位置
を自由に変えることができるベンドミラーで、第６図に
示した従来のベンドミラー（３）よシ大きいものが使用
される。
省略する。（８）はベンドミラーの中心軸、（９）は中
心軸（８）全中心に一定の角度を保って回軸させ、発振
器（１）よシ出射したレーザビーム（２）の当たる位置
を自由に変えることができるベンドミラーで、第６図に
示した従来のベンドミラー（３）よシ大きいものが使用
される。
上記のように構成した本発明の詳細な説明すれば次の通
りである。発振器（１）より出射したレーザビーム（２
）を、全反射される範囲でできるだけベンドミラー（９
）の周縁部に近接した位置から被加工物（６）上へ反射
させるように、ベンドミラー（９）全固定する。この状
態でレーザ加工機を長期間使用すると、ベンドミラー（
９）のレーザビーム（２）が当る部分の表面に蒸着しで
ある金属が剥離してピンホール（７）が発生、シ、反射
率が低下する。そこでべ／ドミラー（９）全中心軸（８
）を中心に回転させ、金属が剥離していない面にレーザ
ビームが当たるようにする。
りである。発振器（１）より出射したレーザビーム（２
）を、全反射される範囲でできるだけベンドミラー（９
）の周縁部に近接した位置から被加工物（６）上へ反射
させるように、ベンドミラー（９）全固定する。この状
態でレーザ加工機を長期間使用すると、ベンドミラー（
９）のレーザビーム（２）が当る部分の表面に蒸着しで
ある金属が剥離してピンホール（７）が発生、シ、反射
率が低下する。そこでべ／ドミラー（９）全中心軸（８
）を中心に回転させ、金属が剥離していない面にレーザ
ビームが当たるようにする。
第２図はベンドミラー（９）を回転させて使用した場合
のベンドミラー表面を示したもので、ベンドミラー（９
）全回転させてピンホール（９）のない位置にレーザビ
ーム（２）ヲ当てることＫより、１つのベンドミラーを
何回も回転して使用することができる。
のベンドミラー表面を示したもので、ベンドミラー（９
）全回転させてピンホール（９）のない位置にレーザビ
ーム（２）ヲ当てることＫより、１つのベンドミラーを
何回も回転して使用することができる。
上記の説明では、円形のベンドミラーを回転させる場合
について説明したが、ビームの当たらない中心部をなく
したドーナツ形のミラーを回転させたり、長方形のミラ
ーを横送りするベンドミラーであってもよく、上記実施
例と同様の効果を奏する。
について説明したが、ビームの当たらない中心部をなく
したドーナツ形のミラーを回転させたり、長方形のミラ
ーを横送りするベンドミラーであってもよく、上記実施
例と同様の効果を奏する。
以上のように、この発明によればベンドミラーを回転さ
せて使用するように構成したので、１つのミラーを長期
間使用でき、部品の交換頻度が大巾に低下し、保守費用
を低減することができる。
せて使用するように構成したので、１つのミラーを長期
間使用でき、部品の交換頻度が大巾に低下し、保守費用
を低減することができる。
第１図は本発明の実施例を示す縦断面図、第２図は本発
明の効果を示す説明図、第３図は従来のレーザビーム加
工装置の縦断面図、第４図は従来法によりピンホールの
生じたベンドミラーの説明図、第５図は発振器より出射
されたレーザビームのパワー密度分布を示す線図である
。 （１）・・・発振器、（２）・・・発振器より水平に出
射されたレーザビーム、（４）・・・集光光学系、（５
）・・・ノズル、（２ａ）・・・ベンドミラーで椎直に
曲けられたビーム、（２ｂ）・・・集光されたビーム、
（６）・・・被加工物、（７）・・・ピンホール、（８
）・・・中心軸、（９）・・・ベンドミラー、なお、図
中同一符号は同−又は相当部分を示すものとする。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 ４ 図 第 ５Ｉ７１ 光ｆ吉
明の効果を示す説明図、第３図は従来のレーザビーム加
工装置の縦断面図、第４図は従来法によりピンホールの
生じたベンドミラーの説明図、第５図は発振器より出射
されたレーザビームのパワー密度分布を示す線図である
。 （１）・・・発振器、（２）・・・発振器より水平に出
射されたレーザビーム、（４）・・・集光光学系、（５
）・・・ノズル、（２ａ）・・・ベンドミラーで椎直に
曲けられたビーム、（２ｂ）・・・集光されたビーム、
（６）・・・被加工物、（７）・・・ピンホール、（８
）・・・中心軸、（９）・・・ベンドミラー、なお、図
中同一符号は同−又は相当部分を示すものとする。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 ４ 図 第 ５Ｉ７１ 光ｆ吉
Claims (1)
- 高エネルギー密度のレーザビームを用いて金属材料の加
工を行う装置においてレーザビームを発生させるレーザ
発振器、該レーザ発振器から水平に出射されたレーザビ
ームを垂直に反射するためのベンドミラー、該レーザビ
ームを集光する集光光学系等からなり、前記ベンドミラ
ーのレーザビームが当たる位置を任意に変え得るように
したことを特徴とするレーザビーム加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60044896A JPS61206582A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | レ−ザビ−ム加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60044896A JPS61206582A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | レ−ザビ−ム加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61206582A true JPS61206582A (ja) | 1986-09-12 |
Family
ID=12704242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60044896A Pending JPS61206582A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | レ−ザビ−ム加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61206582A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007050415A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置とその補正方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52139971U (ja) * | 1976-04-19 | 1977-10-24 | ||
| JPS5625855U (ja) * | 1979-08-02 | 1981-03-10 | ||
| JPS56160447A (en) * | 1980-05-15 | 1981-12-10 | Toyo Seimitsu Zoki Kk | Method of coupling output shaft and carrier in planetary gear transmission |
| JPS5861982A (ja) * | 1981-10-07 | 1983-04-13 | Nissan Motor Co Ltd | 遊星歯車キヤリアの製造方法 |
| JPS58156773A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-17 | Nissan Motor Co Ltd | 遊星歯車キヤリア組立体 |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP60044896A patent/JPS61206582A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52139971U (ja) * | 1976-04-19 | 1977-10-24 | ||
| JPS5625855U (ja) * | 1979-08-02 | 1981-03-10 | ||
| JPS56160447A (en) * | 1980-05-15 | 1981-12-10 | Toyo Seimitsu Zoki Kk | Method of coupling output shaft and carrier in planetary gear transmission |
| JPS5861982A (ja) * | 1981-10-07 | 1983-04-13 | Nissan Motor Co Ltd | 遊星歯車キヤリアの製造方法 |
| JPS58156773A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-17 | Nissan Motor Co Ltd | 遊星歯車キヤリア組立体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007050415A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置とその補正方法 |
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