JPS6120041U - 薬液洗浄槽の発生蒸気除去装置 - Google Patents
薬液洗浄槽の発生蒸気除去装置Info
- Publication number
- JPS6120041U JPS6120041U JP10315184U JP10315184U JPS6120041U JP S6120041 U JPS6120041 U JP S6120041U JP 10315184 U JP10315184 U JP 10315184U JP 10315184 U JP10315184 U JP 10315184U JP S6120041 U JPS6120041 U JP S6120041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning tank
- side wall
- chemical liquid
- chemical
- chemical cleaning
- Prior art date
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Weting (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の１実施例の垂直断面図、第２図は同じ
く平面図である。 １・・・ウエハ搬送機、２・・・ウエハ、３・・・薬液
、４・・・洗浄槽、４ａ，４ｂ・・・側壁、５・・・キ
ャリア、ｉ′・・・気体噴射ノズル、７・・・送気管、
８・・・圧縮空気、９・・・局所ダクト、１０・・・薬
剤の蒸気。
く平面図である。 １・・・ウエハ搬送機、２・・・ウエハ、３・・・薬液
、４・・・洗浄槽、４ａ，４ｂ・・・側壁、５・・・キ
ャリア、ｉ′・・・気体噴射ノズル、７・・・送気管、
８・・・圧縮空気、９・・・局所ダクト、１０・・・薬
剤の蒸気。
Claims (1)
- 薬液を満たした無蓋の洗浄槽の一方の側壁の上一 縁に
沿って、水平方向に気体を噴射する複数個のノズルを列
設するとともに、上記一方の側壁に対向する他方の側壁
の上縁に沿って気体を吸入する局所ダクトを設けて、薬
液面直近の上方に水平方向の帯状気流を発生せしめ、薬
液面から発鮫した薬液蒸気を前記ツ状の水平気流に吸収
して局所ダクトによって捕捉し得るように構成したこと
を特徴とする薬液洗浄槽の発生蒸気除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315184U JPS6120041U (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 薬液洗浄槽の発生蒸気除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315184U JPS6120041U (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 薬液洗浄槽の発生蒸気除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120041U true JPS6120041U (ja) | 1986-02-05 |
Family
ID=30662545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10315184U Pending JPS6120041U (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 薬液洗浄槽の発生蒸気除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120041U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5316231A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-15 | Toyota Motor Corp | Automobile theft preventive device |
| JPS5743315A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-11 | Fujikura Ltd | Method of producing paper coil |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP10315184U patent/JPS6120041U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5316231A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-15 | Toyota Motor Corp | Automobile theft preventive device |
| JPS5743315A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-11 | Fujikura Ltd | Method of producing paper coil |
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