JPS61195352A - 被加工物を検査するための方法及び装置 - Google Patents

被加工物を検査するための方法及び装置

Info

Publication number
JPS61195352A
JPS61195352A JP61009072A JP907286A JPS61195352A JP S61195352 A JPS61195352 A JP S61195352A JP 61009072 A JP61009072 A JP 61009072A JP 907286 A JP907286 A JP 907286A JP S61195352 A JPS61195352 A JP S61195352A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
signal
coil
flaw
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61009072A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH087191B2 (ja
Inventor
ジエームス・エム・トス
リチヤード・エム・ハリス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ltv Steel Co Inc
Original Assignee
Ltv Steel Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ltv Steel Co Inc filed Critical Ltv Steel Co Inc
Publication of JPS61195352A publication Critical patent/JPS61195352A/ja
Publication of JPH087191B2 publication Critical patent/JPH087191B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9046Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Forging (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はうず電流傷インスイクターに関し、更には被加
工物が検査されるときにその被加工物を映像化する方法
及び装置に関する。
背景技術 従来技術のうず電流試験装置は金属性被加工物の傷及び
不規則性の検査に利用されていた。
うず電流試験器は電流コイルを利用して、該コイルに極
めて接近した被加工物表面にうず電流を誘導する。これ
らのうず電流を生じさせるために、交流電流信号が試験
コイルを付勢し、電磁放射を被加工物表面上に当てる。
この電磁放射に対する被加工物の応答は被加工物の構造
によって変化する。被加工物内の傷及び不規則性はうず
電流を変更し、これらの変更され九うず電流は傷及び/
又は不規則性の位置の表示を得るために監視される。被
加工物中の傷又は不規則性による破壊は被加工物の表面
に近接して置かれた試験コイルによって監視される。い
くつかのうず電流の応用では、試験コイルが付勢コイル
から離して置かれているが、ある例では試験及び付勢コ
イルが同じになっている。
うず電流試験装置の1つの利用は被加工物が生産される
ときに被加工物中の傷を検出することである。棒鋼生産
品の製造において、例えば、大量のスフラッグ棒が生産
される前にある程度重大なすし傷、割れ目又はその他の
不規則性を分離することは有益である。この試験はそれ
らの傷を無くす調整手段をtlどこすことができるよう
に棒鋼が運ばれた直後でまだ極めて熱いうちに行われな
ければならない。
1984年6月27日に出願された米国出願筒625.
029号の’ Eddy Current Flaw 
Date −etor Having Rotatab
le Field D@fining 5leeve”
’(発明者Hirr1mその他)にはうず電流試験の最
近の進歩が記載されている。この係属出願の開示は参考
としてここに取シ入れ°である。この出願で開示されて
いる装置は付勢コイルによりて作られた電磁場を周期的
に中断する装置を有する回転可能なスリープを利用して
いる。付勢コイルに接続された監視回路は、被加工物表
面内のうず電流上での電磁場の中断の効果を分析する。
この中断は被加工物の表面内の傷又はそれに類するもの
による信号出力の変化を強める。
付勢コイルの出力に変化を引き起こした傷はオシロスコ
ープ上に表示される。被加工物表面内の傷の存在は、オ
シロスコーグの掃引においてス/ぐイク(spike)
又はその他の変化によって示される。この種の信号の分
析には試験ユニットの操作者の側に技能を要求する。ス
・臂イクの高さはパックグラウンド信号と参照される。
該パックグラウンド信号はノイズ及び被加工物の形状に
おける不規則性によって変化する。オシロスコーグ波形
に沿ったスノヤイクの位置が被加工物表面上の傷の周囲
の位置を決定するとは容易には判断できない。
ハリスその他による発展は傷のためのうず電流試験にお
ける十分な改良を表わしているが、被加工物の状態の完
全な分析にはまだ被加工物の視覚による検査を必要とし
、前記装置によって表示された傷の情報を判断すること
においてハリスその他による装置を使用する操作者の側
に技能を必要とする。
ある深さの傷の検査に加えて、生産物が歪曲していると
きにそれを認識することが重要である。かりに生産物が
その外表面に傷又はすじ傷がなくても、真円の棒鋼がス
フラッグになるか・もしれない。歪曲した被加工物の特
別な形状は如何なる問題が生じ、その問題を除くために
どのような手段が取れるかの表示を与えることができる
。ハリスその他による装置は、被加工物の欠陥か歪曲か
を確認するという問題には取シ組んでいない。
発明の概要 本発明は傷の分析及び被加工物の状態の評価を平易にす
るために被加工物に関する形状の情報を生じさせるため
の方法及び装置に関する。
開示した方法は傷の位置及び重大度を示すことができる
ばかりでなく、調査中の被加工物の形状及び位置の正確
な像を提供することもできる。
この能力は例えば被加工物が歪曲しているか非対称であ
るとき釦は即時に示す。
本発明の装置によると、試験コイルが被加工物の進む通
路と並んで設置され、電気的に付勢するコイルのための
回路と接続されている。磁場変更部材はそのコイルによ
りて作られた磁場を周期的に変更する。そのコイルは被
加工物の外側表面とコイルとの間の距離に関する形状信
号を発生させるための回路に接続されている。
1つの実施例では、形状信号及び離れた傷の表示信号が
時分割多重化され、次に傷の深さ、傷の位置及び被加工
物の形状の表示を提供するために基準化される。時分割
多重化された信号は磁場変更手段が被加工物を走査する
に従って被加工物の状態を描くための装置に連結される
代るかわるに形状だけ又は傷信号だけが適切に基準化さ
れて表示される。
本発明の好適実施例においては、傷及び被加工物情報の
時分割多重化が1秒につき50回の割合で起こる。適切
に計られ良信号はオシロスコープのディスプレイのX及
びY成分として用いられる。50ヘルツの繰)返し速さ
は監視者に形状と傷の表示を同時に見させることになる
傷又はその類いのものは被加工物内のノツチとして現わ
れ、形状信号は被加工物の外側の周囲を描く。
スケーリング回路は従来技術では入手できない情報を加
える。そのスケーリング回路は形状及び/又は傷信号を
発生する回路からの入力を有し、この信号を被加工物に
関する磁場変更手段の方向に関する要素と基準化する。
この基準化要素の応用は磁場変更スリーブの回転と調和
される。特別な方向を向いた傷を有する試験被加工物は
走査され、オシロス;−ゲスクリーン上に描かれた傷が
被加工物上の傷の方向と一致するまで基準要素が調節さ
れる。
開示された発明は被加工物の傷及びそれに類するものの
分析を簡単にする。被加工物が走査されるに従って映像
が提供され、映像上の傷の様子はオシロスコーグの画像
上でス・ぐイク又は他の不規則性表示信号を判断するこ
となく容易に確認できる。形状信号は被加工物表面全体
の表示を与えるので、中心からずれた被加工物の位置は
容易に認められる。
上記から、本発明の1つの見地は、拡大された被加工物
の断面の映像を表示するための改良された方法と装置で
あることは明らかであろう。
本発明のこれら及びその他の目的、利点及び特徴は添付
の図面と共に記載された本発明の好適実施例の詳細な説
明により、よシ良く理解されるであろう。
好適実施例 図面を参照すると、%に第1図社拡大された金属被加工
物10が矢印121Cよって示される方向で2つの特異
に巻かれた付勢及び検査コイル14.16を支持するテ
ストヘッド(testhead)を通る方向に動かされ
ることが示されている。検査コイル14.16を通った
被加工物を動かすための装置はノ・リスその他に関連し
て組み入れられた出願に開示されている。
ステンレススチールシールド20は被加工物の進行通路
を取り囲んで回転可能に支持され、シールド内のスロッ
ト又はアノヤーチャ22が特異に巻かれたコイルの下で
回転するよう釦なっている。そのコイルは被加工物10
の付近に磁場を作る高周波数信号によって付勢される。
検査コイルが付勢されるときシールド20は被加工物の
周りを回転させられ、ア・ぐ−チャ又はスロット22は
被加工物100周シの異なった位置でこの磁場を周期的
に中断する。
コイル14.16は被加工物上の傷又はそれに類するも
のの存在によシ発生させられた信号が1つのコイル14
から正のスノ母イクを提供し、反対に巻かれたコイル1
6から負のス・ぐイクを提供するように特異に巻かれて
いる。ア/IF−チャ又はスロット22は、初めに正、
次に負の信号が被加工物表面上の傷によって発生される
ように互いに角度を変えて置かれている。分析回路11
0(第4図)は特異に巻かれたコイル14に接続され、
被加工物の横断面の即時応答映倫に適した信号を発生す
る。
第7A図は本発明の性能を示す傷を示している。その図
において、被加工物の形状がオシロスコーf23上に見
られる。その形状は許容できる。すなわち、断面が一様
な円を形成している。しかし、鉛直からおよそ120°
の方向の被加工物表面上に深い傷15が存在する。
第7B図を参照すると、本発明の異なる分析能力がオシ
ロスコーf23上に表示されている。
被加工物lOの断面が円に近いことがわかる。
しかし、被加工物10はスリーブ20内で中心がずれて
いる。これはコイルに被加工物を通過させるための装置
に欠陥があるか又は調節不良であることを示し、被加工
物を中心に置く装置の維持及び/又は変更が整っている
ことを示唆する。
第7C図はスリーブ20内で中心に置かれた六辺形の棒
を示す。もし棒の形状が例えば角が過度に丸く一様でな
ければ、これは明らかであろう。また、もし棒が明らか
に矩形であるにもかかわらず、丸くなった角によって円
形となっているならば、この欠陥は明らかであシ、改ま
った計測がなされ得る。
これらの表示を見ると、装置を操作する者はオシロスコ
ーグの走査上の信号変化を過度に検討することなく傷及
び不規則性又は被加工物が中心からはずれていることが
あることをすぐに確かめることができる。
第7A乃至70図の表示はオシロスコープ23へのX及
びY軸偏向入力を発生させる回路110(第4図参照)
によって作られる。回路110は溝をつけられたスリー
ブ20が被加工物の周シを回るとき、1つのコイル16
と被加工物表面との間の距離を表示する1つの信号を発
生し、傷の位置及び深さを表示する第2信号を発生する
。2つの信号は被加工物に関してスリーブの瞬間の方向
を示す要素によって時分割多重化され、基準化される。
第4図は分析回路110の分析の概略を示している。検
出コイル14.16からの2つの出力111a、bは第
1及び第2復調器回路112.114につながれる。1
つの復調器回路112からの出力は、被加工物表面上に
傷がないときは平坦であシ、すじ傷又は傷が検出された
ときは/母ルス又はスフ4イクとなる。/ぐロスの高さ
は傷の深さを表示する。
コイル16と被加工物表面との間の距離は第2復調器回
路114からの出力によって表示される。この信号の大
きさはコイル16とコイル16の下方のア/’P−チャ
22の周辺位置での被加工物表面との距離に関する。復
調器114からの平坦な応答は、スリーブ内で中心に置
かれた一様な円形断面棒を示す。
加算及び整形回路116は復調器回路112からの信号
が1キロヘルツ帯域フイルター115を通った後に半波
整流する。整流された出力は被加工物の外径に比例して
電圧源117からのり、C,信号に結合される。類似の
方法で復調器114からの信号は第2電圧源119から
のり。
C,バイアスによシレペルシフトされる。このり。
C,レベルシフトの次に2つの出力は初めに傷表示信号
を、次に被加工物形状表示信号を交番させるマルチプレ
ックスユニットに結合される。
多重化された信号は各々オシロスコーf23に結合され
た出力124,126を有する2つのアナログマルチグ
ライア回路120.122に結合される。
同期化及びタイミングは検出コイル132(第1図参照
)に結合された・々ロス整形器130によって、X及び
Y軸偏向制御器に提供される。
そのコイルは回転するスリーブ20に接続された磁気デ
バイス134の回転を検査する。この・ぐロス整形回路
130は検出コイル132からスパイク入力を受け、そ
れらのス・ダイクを方形波ノクルスに整形する。マルチ
!ライア回路140は・母ルス整形器130からの出力
によって同鉄化され、各A?ルス整形信号を受は取る間
に128の等しく間隔を空けられた・ぐルスを発生する
一周波数逓倍器140からの出力は2つの移相器回路1
42.144へのクロック入力として用いられる。ノJ
?ルス整形器からの出力は第1移相回路142をトリが
し、今度は同期化された正弦波ゼネレータ150への出
力をトリがし、そのぜネレータは第1アナログマルチグ
ライア120へのスケーリング入力を提供する。第1移
相器によって用いられた遅延は周波数逓倍器140によ
って形成されたOと64のクロックパルスの間にあるよ
うにグロダラムされ得る。
この遅延は傷の位置が映像スクリーン上に正確に表示さ
れることを可能にする。第2移相器144は第1移相器
142に関する相の外で90゜のスリーブの回転の・母
ルスを発生する。この遅延又は移相は第2正弦波ゼネレ
ータ152を同期化する。
シールドの互い違いの回転で、初めは整形次に傷信号が
マルチプレクサ118によって送られる。この伝達のタ
イミングはパルス整形器130からの出力によってクロ
ックされる二安定フリップフロッグ154によって制御
される。
もしスリーブの回転が100ヘルツであるときは、整形
及び傷信号は各々マルチプレクサ118によって毎秒5
0回与えられる。
これらの実時間信号を第1アナログマルチグライア12
0でサイン関数に基準化することは、F’d+θとS*
θの連続する出力124を生じる。
ここでFは傷信号でありSは整形信号である。
この基準化された信号はオシロスコー!のY軸偏向制御
に結合され、もし、整形信号が表示されているときは被
加工物の直径の瞬時Y成分を意味し、或いはもし、傷信
号が表示されているときは傷表示信号のY軸成分を意味
する。50ヘルツの割合では人間の目は両方の表示を知
覚し、スクリーン上に傷信号と整形信号の両方が現われ
る。
移相器144による90度の移相は第2の正弦波ジェネ
レータ152をトリガし、マルチグライア122への入
力を生じさせ°、そのマルチグライアはF(2)θ及び
5QIIθの形の出力126を生じさせるためにマルチ
グライア118からの出力によシ基準化される。この信
号はX軸方向の偏向のオシロスコーグ制御として働く。
この基準化及びマルチグライア120,122による偏
向制御の結果は、被加工物の断面の実時間表示(第7A
乃至7C図)を提供するスリーブの回転と同期化した2
次元画像である。
移相回路142は試験被加工物の傷の方向が画像上で適
切な方向に向けられるまで経験的に調節されることを可
能にする。基準化信号を適切に遅延することによって傷
の向きが画像の周シで回される。
コイル14.16のための付勢及び検出回路155が第
2図に図示されている。45キロヘルツ正弦波ジェネレ
ータ156は平衡抵抗器158及び2つの可変キャパシ
タ160,162を介してコイル14.16を駆動する
。2つのコイル14−16を通る信号は変圧器166を
介して演算増幅器164に結合される。演算増幅器16
4からの出力は第1復調器112に結合する。第2変圧
器170及び演算増幅器172は1つのコイル16を通
る信号を第2復調器114に結合する。
第3図を参照すると、インターフェース155の一部が
復調器112と連結して図示されている。発振器156
は出力増幅器174を駆動し、その増幅器は交互に2つ
の特異に巻かれたコイル14.16に連結されている。
出力増幅器174とコイルとの間に置かれているのは可
変抵抗器158と2つの同調及び移相可変キヤ・やシタ
160,162である。これらの要素はコイル14.1
6を通る交互の信号の相対的大きさ及び位相が傷感知の
感度を増すよう忙調節されることを可能にする。発振器
周波数は調節可能であシ、好適実施例においてはおよそ
45キロヘルツの周波数を有するシヌソイドな出力を発
するように調節される。2つのコイルのとの付勢社磁場
を作り、その磁場は被加工物の表面上にうず電流を誘導
する。
これらのうず電流が傷によって粉砕されるとき、コイル
を通る自己誘導電流もまた粉砕される。スリーブと被加
工物の傷による前記場の相互作用は変圧器166の一次
コイルによって感知されるコイル14,16からのスノ
ぐイク又はノ譬ルス出力となる。変圧器166の2次コ
イルからの出力は復調器回路112におけるアナログス
イッチ176に結合された出力を有する増幅器164に
結合される。アナログスイッチ176は信号を選択的に
スイッチ176を通し、キャノ9シタ180及びバッフ
ァ増幅器182に送るダート入力178を有する。この
ノ々ツファ182からの出力183はフィルタ回路11
5に送られる。
アナログスイッチのためのr−)信号は発振器156で
発生する。?−)信号はアナログダート入力をその出力
に定期的に結合する・ぐルスである。発振器156から
の出力は比較器184につながれ、該比較器は発振器1
56からのアナログ出力を一連の・母ルスに転換するた
めに、発振器156からの交流信号の正の部分をスイッ
チングトランジスタ186に送る。第1ワンシ’j17
ト(one 5hot )188は可変20に抵抗器1
90の設置に依存して7乃至16マイクロ秒のこれらの
・母ルスに遅延をもたらす。第2ワンシヨツト192は
IOK可変抵抗器194の設置に依存してその出力・母
ルスの幅を1乃至5マイクロ秒に変化させる。
40キロヘルツの発振器出力は25マイクロ秒のピーク
書ツー・ピーク信号の間に時間又は期間を生じさせる。
この25マイクロ秒間にダート信号を移し、整形する能
力は使用者が傷検出の出力と感度を最大にすることを可
能にする。
増幅器182からの信号は傷の存在によって大きさが変
化する電圧出力である。
フィルタ回路115は4つの集積回路から成り、各々が
4つの演算増幅器を有し総計16の演算増幅器になる。
そのフィルタ回路は高A?スフィルタと低i4スフィル
タに分けられ、初めの8つの演算増幅器が高ノ4スフィ
ルタを構成し、次の8つの演算増幅器が低/臂スフイル
タを構成する。本発明の好適実施例において、これらの
フィルタは共同して、およそ1キロヘルツ以下又は大き
すぎる周波数を有する全ての信号を弱める。このようK
してスチール製造施設の騒がしい環境において無関係の
信号が除かれ、被加工物の傷によって生じた信号のみを
加算及び整形回路116に伝達する。
第5図は第4図の回路の拡大図である。2つの入力21
0,212は傷及び形状情報を各々2つの復調器回路1
12.114から受ける。
表示された傷信号が第8A図に図示されておシ、傷の位
置に中心を置かれた大きな・ぐルスに伴った比較的平坦
な応答を有する。この典型的な傷信号は例えば長手方向
に沿って伸びる細長い1つの傷(第1図)15の信号を
有する円形被加工物からの出力でよい。この傷信号は結
合キャノ々シタ214を介して演算増幅器216に結合
されている。演算増幅器216は第8A図の信号の負の
部分が消去されるように正確な整流器として形成されて
いる。正確な整流器216の出力に結合されたオゾショ
ナルダイオード217はこの出力からの小さな正の信号
を消去する限界機能を果たす。最終結果は傷の深さに応
じた高さを有する単一の正の・やルスである。このノク
ルスの大きさは演算増幅器220の反転入力に結合され
た出力を有する傷rイン電位差計218に調節される。
増幅器220は加算増幅器として作動する。
D、C,レベルシフトは電圧源117によって加えられ
る。その電圧源は好適には演算増幅器220の非反転増
幅器に対する可変電位差計222である。この増幅器か
らの出力224は、被加工物表面上の傷によって発生さ
れ九ノ4ルスが傷の深さに比例した量だけ減少させられ
た大きさの出力と出合わなければ、その信号の大きさは
一定である。これによりて、多重ユニット118への1
つの入力224は被加工物10の傷の位置及び重大性の
両方を表示することを満足させる情報を有する時変信号
である。
第2人力212は結合キヤ/臂シタ230を介して形状
利得電位差計232に結合される形状情報を有する。と
の信号は時変信号であり、コイル16とスリーブ20内
でア/ぐ−チャ22の直下にある被加工物表面との間の
距離に関する大きさを有する。もし円形状の一様断面の
棒が回転スリーブを通過するときに中心がずれているな
らば、被加工物表面とアパーチャ又はスロット付近の瞬
間的距離が時間とともに変化するので、時変信号(第8
B図)が発生されるであろう。この信号は演算増幅器2
34の非反転増幅器に入力される。前記演算増幅器は電
圧源119に連結された第2人力を有し、その電圧源は
好適には可変電位差計236である。仁の電位差計から
の入力は調節可能であシ、形状信号に適切なオフセット
を提供するために調節することができる。演算増幅器2
34からの出力238は、それ故に、被加工物表面とス
リーブ内の回転スロットの付近のコイル16との間の距
離に関する瞬間値を有する時変信号である。
マルチプレクサ118からの出力は2つの基準化マルチ
プライアユニット120.122に結合れ、その基準化
マルチグライアユニットはMPY 100に設計された
市販のものが利用できる。
パルス整形器130及び周波数逓倍器140からの2つ
のトリが信号が第5図の回路への2つの入力250,2
52としてわかる。これらのトリが信号はマルチプライ
ア回路120,122によって基準化を調整する。表示
回転移相器142は使用者が移相器と連結した一組の6
つのスイッチ254を調節することによって調節される
。第1トリガからの/臂ルスは第2トリガ入力252に
よって発生された1から64はどのクロック信号により
て遅延される。周波数逓倍器140はトリガφ1・臂ル
ス間の間隔を等しく間を空けた128の・々ルスに分割
するので、1と64のり四ツク信号間の時間の遅れは、
スリーブ回転1同半に達する第1トリlf A?ルスの
伝送の遅れとなる。このトリが信号は次に直接第17二
−ズロツクルーグ回路256に伝達される。
第27エーズロツ゛クルーグ回路258と第1トリガ信
号との間に入れられているのは遅延回路260であり、
好適実施例においては第2トリが入力252によって形
成される30のクロック信号によって第1トリガ信号の
伝送を遅らせている。この30クロック信号の遅延は2
つの7工−ズロツクルーグ回路256.258への入力
の間に90度の移相をもたらすように適切な遅延になる
ように経験的に決定される。フェーズロックルーグ回路
256の1つが第6図に図示されている。第2フエーズ
ロツクルーグ回路はあらゆる点でこの回路と同じである
ことを理解すべきである。
第6図を見ると、フェーズロックルーグ回路256は2
つの入力272,274を有する周波数比較器270を
備えている。第1人力272はスクエアリングトランジ
スタ276を介してトリ力信号に結合されている。周波
数比較器270の内部は入力272,274での信号の
受は入れの間の時間間隔を記憶するための機構である。
周波数比較器の目的は入力272の周波数で変化するそ
の2つの出力275a、bにわたる電圧を発生させると
とである。この人力272で現われる信号の周波数が大
きくなればなるほど電圧出力が大きくなる。
第6図に示されたフェーズロックルーグ回路の第2部分
は正弦波ゼネレータ278であり、それは一定の振幅の
正弦波信号を発生し、その周波数は入力280の電圧に
よりて決定される。
このように第6図の回路は一連のノ母ルス入力を受は取
シ、該・ぐルスを正弦波の形のシヌソイド波形出力28
2に変換し、その周波数は入力272で現われる信号の
周波数に等しい。比較器回路284は位相比較器270
への入力274を発生させる。この比較は正弦波ゼネレ
ータの周波数が入ってくる信号272の周波数をたどる
ことを確実にする。入力周波数にをける変化は2つの入
力272.274での°信号間の不一致を引き起こし、
出力電圧の調節は再び周波数を一致させる。
再度第5図を参照すると、フエーズロックルーグ回路2
56.258からの出力は、スイッチ292のセツティ
ングに依存するイン/J−タ回路290を介して選択的
に結合可能である。
このスイッチはフェーズロックルー!シヌンイダル出力
を変換し、特にオシロスコープの入力に必要な信号によ
って必要とされてもよい。この信号にレベルシフトがな
され、次に連合したマルチシライア120及び122に
結合される。
レベルシフトは好適実施例に用いられているMPY 1
00 1C回路に固有のマルチシライア相殺を取シ消す
。これらのマルチシライアはBurr −Brown社
から市販されている。
本発明のいくつかの利点が、第7A乃至7C図及び第8
A乃至80図を参照することでわかるであろう。第8A
図における波形は入力210(第5図参照)での電圧対
時間の図である。この信号をオシロスコープ又はそれと
同様なもので見ている操作者はこの出力を引き起こす傷
の重大さと方向を認識することはできないであろう。し
かし、第4図の回路によりて処理され、増幅器172(
第2図参照)からの整形信号によって多重化されるとき
、X軸方向及びY軸方向のオシロスコープ制御入力がオ
シロスコーグ23上に第7A図の表示を作)出す。傷の
重大性は被加工物表面を表示する円17のノツチ15a
の深さによって示される。画面上のノツチ15aの方向
は傷の円周での位置の表示を与える。この加えられた情
報は傷の重大性と考えられる原因を分析するのに重要で
ある。
整形信号212は被加工物とコイル16との距離に比例
する一定の振幅信号である。第7A図において、整形信
号は被加工物の輪郭を作ることに利用されている。もし
、被加工物が中心がずれているか又は真円でないときは
、波形10がこのことを監視者に示す。ノツチ15JL
を作り出す傷の情報は輪郭を描き出した整形信号におい
ては見られないが、そのことは選択的フィルタリング及
び傷の出力111aK提供された利得が整形出力111
bには許容されない九めであることに注意を要する。
第8B及び8C図は整形信号を表示する増幅器172か
らの2つの波形出力を示す。再び、これらの波形を見て
いる使用者が被加工物の形状を確認するのは困難であろ
う。第4図の回路はこれらの波形を第7B及び7C図の
オシロスコープ上の映像に変換する。使用者は第7B図
の被加工物表面の中心がずれていることを表示する画像
10bを容易に決定することができ、被加工物をよシ適
切にガイドする段階が設けられる。第7C図において、
使用者は良く中心が合った6角形の棒を表示する形状1
0Cを見る。
使用者はコイル14.16がこのような棒を走査してい
ると推断できない第8C図の波形を判断する仕事に直面
する。
第7B及び70図のいずれにおいても輪郭像17は傷信
号出力111aから発生させられる。
被加工物10上に傷が存在しないとき、マルチシライア
118への傷信号の入力はり、C,信号であシ、その大
きさはり、C,電圧源117によって調節される。この
電圧を調節するととKよって、形状画像10b、10c
は円形イメージ17によって輪郭が描かれ、使用者に中
心がはずれた被加工物の経路を決定するための参考を与
える。
開示され九オシロスコープ像は本質的に実時間であって
、監視者が見る物はコイルの下のスリーブを通過するも
のであるようKなっている。
この性能は大量の生産物が生産される前に問題の位置を
見つけるために予め組み入れたハリスその他の出願で強
調された性能を強化する。
本発明のいくぶんかの特徴が記載されたが、発明は添付
の特許請求の範囲の精神及び範囲内にある開示された好
適実施例からの全ての改変及び変更を有することを目的
としていることを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
第1図は被加工物を分析するためのグロープの近くを動
く被加工物の略示正面図である。 第2乃至6図はプローブからの信号を分析し、被加工物
の形状の映像を作るのに用いられる制御信号を発するた
めの電気回路の略示図である。 第7A乃至7C図は映像スクリーン上に表示された被加
工物の横断面の典型的な映像である。 第8A乃至80図は第7A乃至70図の映像を作るため
のプローブ出力波形図である。 主要符号の説明 10・・・被加工物 14.16・・・検出フィル 20・・・スリーブ 22・・・アー譬−チャ 118・・・iルチグレクサ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、金属性被加工物を試験するための装置であって、 a)被加工物に近接して設置され、また、周期的に付勢
    するための手段に連結された検 出コイル、 b)前記コイルによって作られた磁場を選択的に変更す
    るための磁場変更手段、 c)前記磁場が変更されるとき、外部被加工物表面と前
    記コイルとの間の距離に関した 形状表示信号を作るために前記コイルに連 結された手段、 d)被加工物の形状の変化とともに変わる表示信号を提
    供するために形状信号を規準化 するための前記磁場変更手段と同等の手段 とから成る装置。 2、特許請求の範囲第1項に記載された装置であって、 更に、表示画像スクリーン上に表示信号を 描くためにスケーリングするための前記手段に連結され
    たディスプレイを有するところの装置。 3、特許請求の範囲第2項に記載された装置であって、 更に、スケーリングのための手段に連結さ れた傷表示信号を発生させ、又、表示画像上に前記傷表
    示信号を表示するための装置。 4、被加工物上の傷の位置に関連した傷信号を生ぜしめ
    るための手段を有する傷検出装置において、被加工物映
    像装置が、 a)被加工物外部表面の形状とともに変わる形状信号を
    生ぜしめるための手段、 b)前記形状及び傷信号を時分割多重化するための手段
    、 c)前記時分割多重化された信号を参考と比例する成分
    信号にスケーリングするための スケーリング手段、 d)被加工物の断面の実時間画像をもたらすために画像
    スクリーン上に前記成分信号を 表示するためのディスプレイ手段、 とから成る装置。 5、特許請求の範囲第4項に記載された装置であって、 前記傷検出装置が前記傷信号を得るために 磁場変更物を前記被加工物のまわりに回転させるための
    手段から成り、前記スケーリング手段が前記変更物の角
    の方法を決定し、前記信号のスケーリングを前記変更物
    の回転と同等にするタイミング信号を作るための同期手
    段を有するところの装置。 6、特許請求の範囲第5項に記載された装置であって、 前記スケーリング手段が前記信号直交成分 を作り出す時変要素によって前記信号を増幅させ、前記
    ディスプレイ手段が被加工物断面の2次元表示を作り出
    す前記直交成分に応答する入力によるビデオモニターか
    ら成るところの装置。 7、うず電流試験において、被加工物の画像を表示する
    ための方法が、 a)プローブコイルを被加工物が動く経路のそばに置く
    工程、 b)前記被加工物内にうず電流を誘導する電磁場を作る
    ために時変信号で前記プローブ コイルを付勢する工程、 c)電磁場変更物を被加工物の周りで回わすことによっ
    て、前記電磁場を変更する工程、d)前記うず電流によ
    って前記コイル内に誘導された信号を監視する工程及び
    、前記被 加工物における傷の存在に関した第1信号 及びコイルと被加工物表面との間の距離に 関する第2信号を発生させる工程、 e)前記第1及び第2信号を時分割多重化する工程及び
    前記回転物の瞬間の位置に関連 した要素によって前記第1及び第2信号を スケーリングする工程、 f)前記断面の目に見える表示を表示する工程であって
    、ディスプレイ上に表示の位置 決めをする制御信号としてのスケールされ た第1及び第2信号を用いて表示する工程、とから成る
    方法。 8、特許請求の範囲第7項に記載された方法であって、 前記電磁場変更手段の動作がスケーリング 工程と監視工程を調和させるのに利用され、前記スケー
    リング工程が前記第1及び第2信号を前記の目に見える
    表示の位置決めに利用するために直交する方向に沿った
    成分に分離するところの方法。 9、金属性被加工物の像を映すための装置であって、 a)被加工物に近接して設置され、また、周期的に付勢
    するための手段に連結された検 出コイル、 b)外部被加工物表面と前記コイルとの間の距離に関す
    る形状表示信号を作るために、 被加工物表面上で時間変化する位置に前記 コイルによって作られた磁場を選択的に変 更するための磁場変更手段、 c)前記コイル及び磁場変更手段が被加工物を走査して
    前記被加工物表面の実時間表示 を提供するとき、前記形状表示信号の表示 を表示するために、前記変更手段と調和し た像を映す手段、 とから成る装置。 10、特許請求の範囲第9項に記載された装置であって
    、 更に、傷信号を発生させるための手段と被 加工物上の傷の方向を描くように表示するために前記手
    段上に傷及び形状信号を時分割多重化する手段とから成
    る装置。 11、うず電流試験において、被加工物の画像を表示す
    るための方法が、 a)プローブコイルを被加工物が動く経路のそばに置く
    工程、 b)前記被加工物内にうず電流を誘導する電磁場を作る
    ために時変信号で前記プローブ コイルを付勢する工程、 c)前記磁場を被加工物の周りで変化する位置で変更す
    る工程、 d)前記変更された磁場によって前記コイル内に誘導さ
    れた信号を監視する工程及び、 コイルと被加工物表面との間の距離に関し た信号を発生させる工程、 e)被加工物の外表面の形状の目に見える表示を提供す
    るためにスクリーン上に前記信 号を表示する工程、 とから成る方法。 12、特許請求の範囲第11項に記載された方法であっ
    て、 前記信号を表示する前に、スクリーン上の 前記表示を適切な方向に向けるため、前記変更された磁
    場の被加工物についての位置に関する要素によって前記
    信号が規準化されるところの方法。 13、特許請求の範囲第12項に記載された方法であっ
    て、 磁場変更物が被加工物の周りを回ることに よって磁場の変更が行われ、前記スケーリング要素が前
    記被加工物に関する前記変更物の瞬間的方向から得られ
    るところの方法。 14、金属性被加工物の像を映すための装置であって、 a)被加工物の進む経路に沿って間隔の空いた位置に設
    置された2つの部分を有する反 対に巻かれた検出コイルで、該コイルを周 期的に付勢するための手段に連結されたと ころのコイル、 b)前記コイル部分を横切る傷表示信号を生じせしめる
    ために前記コイル部分によって 作り出された電磁場を選択的に変更するた めに、前記の間隔を空けた位置にアパーチ ャを有する回転可能に取り付けられたスリ ーブ、 c)電磁場変更の領域における被加工物表面と前記1つ
    のコイル部分との間の距離に関 する形状表示信号を作り出すために、前記コイル部分の
    1つを横切って連結された手段、d)形状及び傷信号を
    スケーリングするために前記スリーブの回転と調和した
    手段であ って、前記形状及び傷信号の直交する方向 の成分を提供するところの手段、 e)ディスプレイ手段であって、前記コイル及び磁場変
    更手段が被加工物を走査すると きに前記傷信号の1つ又は他の或いは両方 の前記直交する方向の成分を表示するため のディスプレイ手段、 とから成る装置。 15、特許請求の範囲第14項に記載された装置であっ
    て、 スリーブの回転を監視し、約90度のスリ ーブ回転の時間隔たった2つのトリガパルスを生ぜしめ
    るための回路と、前記トリガパルスに連結され、前記傷
    及び形状信号をスケーリングするために正弦波スケーリ
    ング信号を作り出す第1及び第2正弦波ジェネレータと
    から成る装置。 16、特許請求の範囲第13項に記載された装置であっ
    て、 更に、交互に前記形状及び傷信号を前記ス ケーリング手段に連結するためのマルチプレクサ回路か
    ら成り、ディスプレイ手段が最初の信号を次に他方前記
    直交方向信号成分を表示するところの装置。 17、うず電流試験において、被加工物の画像を表示す
    るための方法が、 a)プローブコイルを被加工物が動く経路のそばに置く
    工程、 b)前記被加工物内にうず電流を誘導する電磁場を作る
    ために時変信号で前記プローブ コイルを付勢する工程、 c)電磁場変更物を被加工物の周りで回わすことによっ
    て、前記電磁場を変更する工程、d)前記うず電流によ
    って前記コイル内に誘導された信号を監視する工程及び
    、コイル と電磁場が変更される領域での被加工物表 面との間の距離に関する信号を生じさせる 工程、 とから成る方法。
JP61009072A 1985-02-25 1986-01-21 被加工物を検査するための方法及び装置 Expired - Lifetime JPH087191B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/705,149 US4644271A (en) 1985-02-25 1985-02-25 Method and apparatus for examining a workpiece
US705149 1985-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61195352A true JPS61195352A (ja) 1986-08-29
JPH087191B2 JPH087191B2 (ja) 1996-01-29

Family

ID=24832241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61009072A Expired - Lifetime JPH087191B2 (ja) 1985-02-25 1986-01-21 被加工物を検査するための方法及び装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4644271A (ja)
EP (1) EP0193315B1 (ja)
JP (1) JPH087191B2 (ja)
AT (1) ATE66071T1 (ja)
CA (1) CA1238685A (ja)
DE (1) DE3680687D1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5030911A (en) * 1980-10-19 1991-07-09 Baker Hughes Incorporated Method and apparatus for displaying defects in tubular members on a two-dimensional map in a variety of display modes
US5019775A (en) * 1989-07-21 1991-05-28 Iowa State University Research Foundation, Inc. Calibrating an eddy-current-probe using a modulated thermal energy source
US5006800A (en) * 1989-11-06 1991-04-09 General Electric Company Eddy current imaging apparatus and method using phase difference detection
JP2622536B2 (ja) * 1990-03-16 1997-06-18 株式会社日本非破壊計測研究所 渦流探傷方法及びその装置
US5066913A (en) * 1990-05-02 1991-11-19 Westinghouse Electric Corp. Ferrous metal detector for detecting a broken mandrel in a cold pilgering operation
AU673076B2 (en) * 1993-07-05 1996-10-24 Alan Boyle A shielded tubular mineral detector
US5453688A (en) * 1993-08-23 1995-09-26 Atomic Energy Of Canada Limited Rotating probe for inspecting tubes having an eccentric housing for supporting sensing means
US5541510A (en) * 1995-04-06 1996-07-30 Kaman Instrumentation Corporation Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field
US6657429B1 (en) 1995-08-25 2003-12-02 Jentek Sensors, Inc. Material condition assessment with spatially periodic field sensors
US7161350B2 (en) * 1999-09-07 2007-01-09 Jentek Sensors, Inc. Method for material property monitoring with perforated, surface mounted sensors
US6952095B1 (en) 1999-09-20 2005-10-04 Jentek Sensors, Inc. Surface mounted and scanning spatially periodic eddy-current sensor arrays
US7824244B2 (en) * 2007-05-30 2010-11-02 Corning Incorporated Methods and apparatus for polishing a semiconductor wafer
US6593737B2 (en) * 2000-08-24 2003-07-15 Shell Oil Company Method for measuring the wall thickness of an electrically conductive object
US6844722B2 (en) * 2001-08-09 2005-01-18 Avistar, Inc. Mutual inductance bridge for detection of degradation in metallic components
US6741074B2 (en) 2002-03-01 2004-05-25 General Electric Company Method and apparatus for separating electrical runout from mechanical runout
DE102012017871A1 (de) * 2012-09-06 2014-03-06 Institut Dr. Foerster Gmbh & Co. Kg Differentieller Sensor und Verfahren zur Detektion von Anomalien in elektrisch leitfähigen Materialien
JP6362259B2 (ja) * 2014-08-07 2018-07-25 高島産業株式会社 渦電流検査装置
WO2019202435A1 (en) * 2018-04-16 2019-10-24 Shree Magnets Private Limited Magnetic apparatus with plurality of pole pieces and search coils for determining shape and/or contour of a work piece

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3152302A (en) * 1962-05-16 1964-10-06 Budd Co Electromagnetic testing apparatus having a rotating apertured cylinder for spirally scanning cylindrical workpieces
JPS4960980A (ja) * 1972-10-16 1974-06-13
JPS5550156A (en) * 1978-10-05 1980-04-11 Sumitomo Metal Ind Ltd Eddy current loating method and device
JPS59218946A (ja) * 1983-05-24 1984-12-10 Nippon Benkan Kogyo Kk 渦流探傷方法及びこの方法に使用する探傷検出器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2938162A (en) * 1957-01-24 1960-05-24 Roffman Eugene Non-destructive testing by televisual methods
US2998566A (en) * 1959-03-16 1961-08-29 Russell C Heldenbrand Apparatus for electro-magnetic inspection
US3056081A (en) * 1959-06-22 1962-09-25 Budd Co Electromagnetic testing
DE1138962B (de) * 1960-12-27 1962-10-31 Funkwerk Dresden Veb Einrichtung zur Pruefung von magnetostriktiven Materialien mit transversalen Schallwellen
US3110860A (en) * 1961-11-06 1963-11-12 Budd Co Electromagnetic testing apparatus using an eccentrically mounted annular test coil whose axis is rotated about the workpiece axis
US3419797A (en) * 1966-01-21 1968-12-31 Atomic Energy Commission Usa Nondestructive eddy current testing device for testing metal tubing and instantaneously displaying the cross section of said tubing
US3872379A (en) * 1973-08-29 1975-03-18 Magnetic Analysis Corp Eddy current testing apparatus using slotted monoturn conductive members
SU565248A1 (ru) * 1974-02-26 1977-07-15 Предприятие П/Я Р-6303 Модул ционный вихретоковый преобразователь
US4203069A (en) * 1977-12-29 1980-05-13 Electric Power Research Institute, Inc. Method and apparatus for non-destructively testing electrically conductive elongate cylindrical components using an eddy current producing coil with a rotor to concentrate the magnetic field in a selected area
JPS5940265B2 (ja) * 1978-02-13 1984-09-28 日本鋼管株式会社 熱ビレツト渦流探傷装置
DE2909649A1 (de) * 1978-03-13 1979-09-27 Atomic Energy Authority Uk Wirbelstrom-pruefeinrichtung
US4507610A (en) * 1981-07-30 1985-03-26 Shimadzu Corporation Apparatus for electromagnetically detecting flaws in metallic objects
US4673879A (en) * 1984-06-27 1987-06-16 Rupublic Steel Corporation Eddy current flaw detector having rotatable field defining sleeve for selectively enhancing induced eddy currents in a workpiece

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3152302A (en) * 1962-05-16 1964-10-06 Budd Co Electromagnetic testing apparatus having a rotating apertured cylinder for spirally scanning cylindrical workpieces
JPS4960980A (ja) * 1972-10-16 1974-06-13
JPS5550156A (en) * 1978-10-05 1980-04-11 Sumitomo Metal Ind Ltd Eddy current loating method and device
JPS59218946A (ja) * 1983-05-24 1984-12-10 Nippon Benkan Kogyo Kk 渦流探傷方法及びこの方法に使用する探傷検出器

Also Published As

Publication number Publication date
DE3680687D1 (de) 1991-09-12
EP0193315A3 (en) 1987-08-19
US4644271A (en) 1987-02-17
JPH087191B2 (ja) 1996-01-29
CA1238685A (en) 1988-06-28
EP0193315B1 (en) 1991-08-07
ATE66071T1 (de) 1991-08-15
EP0193315A2 (en) 1986-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61195352A (ja) 被加工物を検査するための方法及び装置
EP0107844B1 (en) Eddy-current defect-detecting system for metal tubes
EP2282199B1 (en) Magnetic flaw detecting method and magnetic flaw detection device
JP2840445B2 (ja) 非破壊検査のための方法と装置
US5311128A (en) Eddy current imaging system using spatial derivatives for flow detection
CN101893600A (zh) 用于感应测量的装置和方法
GB2273782A (en) Eddy current flaw detection of sheet metal adjacent fasteners
US5424640A (en) Method for removal of random noise in eddy-current testing system
US20180217099A1 (en) Virtual channels for eddy current array probes
JPH102883A (ja) 渦電流探傷装置
US9726640B2 (en) Circuit and method of providing a stable display for eddy current instruments
GB2456583A (en) Eddy current inspection system and method of eddy current flaw detection
US7095410B2 (en) Method for generating and displaying complex data utilizing color-coded signals
KR20200091161A (ko) 비접촉식 초음파/화상 자동 검사 장치
JPH09178710A (ja) 渦電流探傷装置用探傷子
JPH0599901A (ja) 渦電流探傷装置
SU1651190A1 (ru) Способ неразрушающего контрол ферромагнитных изделий
JPH04278454A (ja) 渦流探傷法の探傷感度設定方法
JPS63275951A (ja) 金属探傷用プロ−ブ
JPS63200058A (ja) 超音波探傷装置
JP2006010518A (ja) 電磁妨害波測定装置および電磁妨害波測定方法
JPH0238907B2 (ja)
JPS5596446A (en) Method for analysis in insertion-type eddy current flaw detection
JPS60161555A (ja) 金属表面の欠陥検出方法
JPH0736056U (ja) 方向感知型渦電流探傷装置