JPS6119171U - ゲ−トバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案の一実施例によるゲートバルブの平面
図、ｂは正面図であり、第２図ａは従来のゲートバルブ
の平面図、ｂは正面図である。 １・・・・・・メインチャンバー、２・・・・・・サブ
チャンバー、３・・・・・・ゲートバルブ、４・・・・
・・ゲートバルブ駆動エアーシリンダー、５・・・・・
・メインチャンバー開口部、６・・・・・・メインチャ
ンバー、７・・・・・・サブチャンバー、訃・・・・・
連結チャンバー、９・・・・・・メインチャンバー開口
部、１０・・・・・・ゲートバルブ、１１・・・・・・
ゲートバルブ駆動用エアーシリンダー、１２・・・・・
・サブチャンバー開口部、１３・・・・・・ゲートバル
ブ、１４・・・・・・ゲートバルブ駆動用エアーシリン
ダー、１５・・・・・・真空引き用配管、１６・・・・
・・Ｎ２ブロー用配管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 各真空チャンバーを連結チャンバーで接続し、その連結
   チャンバー内で両真空チャンバー外壁にそれぞれゲート
   バルブを有し、連結チャバー内を単独に真空引きしたり
   大気圧にしたりできるゲートバルブ。