JPS61187629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61187629U JPS61187629U JP6999685U JP6999685U JPS61187629U JP S61187629 U JPS61187629 U JP S61187629U JP 6999685 U JP6999685 U JP 6999685U JP 6999685 U JP6999685 U JP 6999685U JP S61187629 U JPS61187629 U JP S61187629U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- board
- conveyor
- rail
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜面図、第２
図は基板の動作範囲を示す平面図、第３図は他の
実施例の斜面図、第４図は２連式とした際の側面
図、第５図は従来の移載装置の側面図、第６図は
これを２連式とした側面図である。 ３０……基板、３１……ＸＹテーブル、３２…
…保持レール、３６ａ，３６ｂ……移載レール、
３８ａ，３８ｂ……爪、３９……スライドレール
、４３……前後動シリンダ、４４ａ，４４ｂ……
移載レール、４５……搬送シリンダ、４６ａ，４
６ｂ……コンベア、５１ａ，５１ｂ……移載レー
ル。
図は基板の動作範囲を示す平面図、第３図は他の
実施例の斜面図、第４図は２連式とした際の側面
図、第５図は従来の移載装置の側面図、第６図は
これを２連式とした側面図である。 ３０……基板、３１……ＸＹテーブル、３２…
…保持レール、３６ａ，３６ｂ……移載レール、
３８ａ，３８ｂ……爪、３９……スライドレール
、４３……前後動シリンダ、４４ａ，４４ｂ……
移載レール、４５……搬送シリンダ、４６ａ，４
６ｂ……コンベア、５１ａ，５１ｂ……移載レー
ル。
Claims (1)
- 基板を保持する基板保持装置が取付けられ、該
基板保持装置に保持された基板をＸ―Ｙ方向の所
定位置に移動すべくＸ―Ｙ方向に移動するＸＹテ
ーブルと、基板を搬送するコンベアと、基板の移
載時には基板保持装置の基板保持レール面とコン
ベアのレール面とを結ぶ位置にあり、ＸＹテーブ
ルの動作時にはコンベアと当らない位置に退避す
る移載レールと、基板をコンベアレールと基板保
持装置の間に移載レールを介して動かすローデイ
ング装置とを備えたことを特徴とするＸＹテーブ
ルへの基板移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6999685U JPS61187629U (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6999685U JPS61187629U (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187629U true JPS61187629U (ja) | 1986-11-22 |
Family
ID=30606196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6999685U Pending JPS61187629U (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61187629U (ja) |
-
1985
- 1985-05-14 JP JP6999685U patent/JPS61187629U/ja active Pending
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