JPS61184935U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61184935U JPS61184935U JP6983885U JP6983885U JPS61184935U JP S61184935 U JPS61184935 U JP S61184935U JP 6983885 U JP6983885 U JP 6983885U JP 6983885 U JP6983885 U JP 6983885U JP S61184935 U JPS61184935 U JP S61184935U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- sensor chip
- medium pressure
- resin
- pedestal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の説明図、第２図は平
スリーブ２４の説明図、第３図は従来技術の説明
図である。 １０：センサチツプ、１２：台座、１４：ステ
ム、１６：キヤン、１８……樹脂、２２：指先、
２４……平スリーブ。
スリーブ２４の説明図、第３図は従来技術の説明
図である。 １０：センサチツプ、１２：台座、１４：ステ
ム、１６：キヤン、１８……樹脂、２２：指先、
２４……平スリーブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ステム１４上に台座１２を設け、その上に拡散
型半導体圧力センサチツプ１０を設置し、センサ
チツプ１０をとりまき、下端がステム１４に接着
され、かつ上部の開口する筒形のキヤン１６を設
け、その中にゴム弾性を持つ樹脂１８を注入して
、センサチツプ１０がその中に埋没するようにし
た樹脂媒体圧力センサにおいて、 拡散歪抵抗体上の前記樹脂１８の表面中央に、
センサチツプ１０の寸法よりもわずかに大きい寸
法の平セスリーブ２４を埋め込んだことを特徴と
する、樹脂媒体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6983885U JPS61184935U (ja) | 1985-05-11 | 1985-05-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6983885U JPS61184935U (ja) | 1985-05-11 | 1985-05-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61184935U true JPS61184935U (ja) | 1986-11-18 |
Family
ID=30605893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6983885U Pending JPS61184935U (ja) | 1985-05-11 | 1985-05-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61184935U (ja) |
-
1985
- 1985-05-11 JP JP6983885U patent/JPS61184935U/ja active Pending