JPS6117930A - 真空容器のリ−ク検出方法 - Google Patents

真空容器のリ−ク検出方法

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JPS6117930A
JPS6117930A JP13730984A JP13730984A JPS6117930A JP S6117930 A JPS6117930 A JP S6117930A JP 13730984 A JP13730984 A JP 13730984A JP 13730984 A JP13730984 A JP 13730984A JP S6117930 A JPS6117930 A JP S6117930A
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JP
Japan
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vacuum
vacuum container
pressure
organic solvent
leakage
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Pending
Application number
JP13730984A
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English (en)
Inventor
Masaharu Minami
正晴 南
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/34—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by testing the possibility of maintaining the vacuum in containers, e.g. in can-testing machines
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は真空容器のリーク検出方法の改良に関する。
（従来の技術） 第３図に、従来の真空容器のリーク検出方法を示す。１
は真空容器、２はフランジ、３は盲７ランジ、４はガス
−ケラト、５はボルト、６はナツト、７は配管、ｆ３　
［Ｈθリークデテクター、９ハＨθ吹付用スグレーガン
、１０Ｕ１（ｅボンベ、１１はゲージ取付用配管、１２
は真空計、１５は真空排気系である。
従来法は、第６図に示したように、ガスケット４部［Ｈ
θ吹付用スプレーガン９Ｖｃよ！１ｌｌＨｅ全吹付け、
Ｈθリークデテクター８により、ガスケット４部からの
リーク検査を行っていた。
しかしこの従来法には、Ｈθリークデテクター８による
検査のため、■Ｈθリークデテクター８全真空容器に接
続する必要がある点、■Ｈθリークデテクター８を作動
するのに、時間ケ要する（３０分程度〕とともに、真空
容器内の圧力が通常１×１０−４トール以下でなくては
いけないという制限がある点などの欠点があった。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上記従来法の欠点全解消し、特にｌＸ１０”
）−ル以上の中低真空領域のリークテストを簡易に行え
る方法を提供しようとするものである。
（問題点（ｌｌ−解決するための手段）本発明は、真空
容器の真空圧力より高い蒸気圧？有する有機溶媒を真空
容器のリーク検出部分に吹付け、真空容器内での有機溶
媒の気化により真空圧力の急上昇が生ずるのを真空計で
モニターする方法である。
本発明においては、検出器全真空容器に接続する必要が
なく、真空圧力が有機溶媒の蒸気圧以下であれば、低中
真空領域でも単時間にリーク検査ができる効果を有する
。
本発明は電子ビーム酊接装置、ｇ＆収冷凍機他真空容器
のリーク検出に有利に適用することができる。
以下、本発明の一実施態様を示す第１図に従って詳述す
る。
第１図において、１は真空容器、２はフランジ、５は盲
フランジ、４はガスケット、５はボルト、６はナツト、
９は有機ｍ媒スプレーガン、１０は有機溶媒貯蔵容器、
１１はゲージ取付用配管、１２は真空計、１６は真空排
気系である。
ここで用いられる有機溶媒は、検査する真空容器の真空
圧力より高い蒸気圧をもったものである。この有機浴媒
全、ガスケット４部に、有機溶媒スプレーガン９により
吹付け、真空計１２の圧力上昇指示により、ガスケット
４部からのリークの有無を判定する。
第２図に、アセトンとトリクレンの蒸気圧線図會示す。
こ＼では、温度が２０′Ｃで有＋ＩＡ浴媒にアセトンを
用いる場合について説明する。この時の蒸気圧は、１８
０トールであり、真空容器１内の圧力は、１８０トール
以下の所定の圧力に到達しているとする。ガスケット４
　Ｖ（リークかある場合、アセトン會吹きつけるとリー
ク部分から、アセトンが真空容器１内に浸入する。真空
容器１内の圧力は、アセトンの蒸気圧より低いため、ア
セトンは気化し、真空容器１内の圧力が急上昇する。こ
の圧力の上昇を真空計１３でモニタすれば、リークの有
無は直ちに判別しうる。
有機溶媒にトリクレン（２０℃の蒸気圧６０トール）、
その他の有機溶媒を用いることができることは当業者に
は自明であろう。
本発明は、有機溶媒を検査対象部分に吹きつけ、真空計
でモニターする方式であるため、簡易な装置で、手早く
検査ができ、工学的に有意義な技術である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施態様を示す図、第２図は本発明
で使用しつる有機溶媒の物性を示すグラフ、第３図は従
来のリーク検出性全説明するための図である。 復代理人　　内　１）　　明 復代理人　　萩　原　亮　−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 真空容器の真空圧力より高い蒸気圧を有する有機溶媒を
    真空容器のリーク検出部分に吹きつけ、真空容器内の真
    空圧力の増大を真空計でモニターすることを特徴とする
    真空容器のリーク検出法。
JP13730984A 1984-07-04 1984-07-04 真空容器のリ−ク検出方法 Pending JPS6117930A (ja)

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