JPS6117930A - 真空容器のリ−ク検出方法 - Google Patents
真空容器のリ−ク検出方法Info
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- JPS6117930A JPS6117930A JP13730984A JP13730984A JPS6117930A JP S6117930 A JPS6117930 A JP S6117930A JP 13730984 A JP13730984 A JP 13730984A JP 13730984 A JP13730984 A JP 13730984A JP S6117930 A JPS6117930 A JP S6117930A
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- JP
- Japan
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- vacuum
- vacuum container
- pressure
- organic solvent
- leakage
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
- G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
- G01M3/34—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by testing the possibility of maintaining the vacuum in containers, e.g. in can-testing machines
-
- G—PHYSICS
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
-
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
- G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
- G01M3/3236—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers
- G01M3/3272—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers for verifying the internal pressure of closed containers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は真空容器のリーク検出方法の改良に関する。
(従来の技術)
第3図に、従来の真空容器のリーク検出方法を示す。1
は真空容器、2はフランジ、3は盲7ランジ、4はガス
−ケラト、5はボルト、6はナツト、7は配管、f3
[Hθリークデテクター、9ハHθ吹付用スグレーガン
、10U1(eボンベ、11はゲージ取付用配管、12
は真空計、15は真空排気系である。
は真空容器、2はフランジ、3は盲7ランジ、4はガス
−ケラト、5はボルト、6はナツト、7は配管、f3
[Hθリークデテクター、9ハHθ吹付用スグレーガン
、10U1(eボンベ、11はゲージ取付用配管、12
は真空計、15は真空排気系である。
従来法は、第6図に示したように、ガスケット4部[H
θ吹付用スプレーガン9Vcよ!1llHe全吹付け、
Hθリークデテクター8により、ガスケット4部からの
リーク検査を行っていた。
θ吹付用スプレーガン9Vcよ!1llHe全吹付け、
Hθリークデテクター8により、ガスケット4部からの
リーク検査を行っていた。
しかしこの従来法には、Hθリークデテクター8による
検査のため、■Hθリークデテクター8全真空容器に接
続する必要がある点、■Hθリークデテクター8を作動
するのに、時間ケ要する(30分程度〕とともに、真空
容器内の圧力が通常1×10−4トール以下でなくては
いけないという制限がある点などの欠点があった。
検査のため、■Hθリークデテクター8全真空容器に接
続する必要がある点、■Hθリークデテクター8を作動
するのに、時間ケ要する(30分程度〕とともに、真空
容器内の圧力が通常1×10−4トール以下でなくては
いけないという制限がある点などの欠点があった。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、上記従来法の欠点全解消し、特にlX10”
)−ル以上の中低真空領域のリークテストを簡易に行え
る方法を提供しようとするものである。
)−ル以上の中低真空領域のリークテストを簡易に行え
る方法を提供しようとするものである。
(問題点(ll−解決するための手段)本発明は、真空
容器の真空圧力より高い蒸気圧?有する有機溶媒を真空
容器のリーク検出部分に吹付け、真空容器内での有機溶
媒の気化により真空圧力の急上昇が生ずるのを真空計で
モニターする方法である。
容器の真空圧力より高い蒸気圧?有する有機溶媒を真空
容器のリーク検出部分に吹付け、真空容器内での有機溶
媒の気化により真空圧力の急上昇が生ずるのを真空計で
モニターする方法である。
本発明においては、検出器全真空容器に接続する必要が
なく、真空圧力が有機溶媒の蒸気圧以下であれば、低中
真空領域でも単時間にリーク検査ができる効果を有する
。
なく、真空圧力が有機溶媒の蒸気圧以下であれば、低中
真空領域でも単時間にリーク検査ができる効果を有する
。
本発明は電子ビーム酊接装置、g&収冷凍機他真空容器
のリーク検出に有利に適用することができる。
のリーク検出に有利に適用することができる。
以下、本発明の一実施態様を示す第1図に従って詳述す
る。
る。
第1図において、1は真空容器、2はフランジ、5は盲
フランジ、4はガスケット、5はボルト、6はナツト、
9は有機m媒スプレーガン、10は有機溶媒貯蔵容器、
11はゲージ取付用配管、12は真空計、16は真空排
気系である。
フランジ、4はガスケット、5はボルト、6はナツト、
9は有機m媒スプレーガン、10は有機溶媒貯蔵容器、
11はゲージ取付用配管、12は真空計、16は真空排
気系である。
ここで用いられる有機溶媒は、検査する真空容器の真空
圧力より高い蒸気圧をもったものである。この有機浴媒
全、ガスケット4部に、有機溶媒スプレーガン9により
吹付け、真空計12の圧力上昇指示により、ガスケット
4部からのリークの有無を判定する。
圧力より高い蒸気圧をもったものである。この有機浴媒
全、ガスケット4部に、有機溶媒スプレーガン9により
吹付け、真空計12の圧力上昇指示により、ガスケット
4部からのリークの有無を判定する。
第2図に、アセトンとトリクレンの蒸気圧線図會示す。
こ\では、温度が20′Cで有+IA浴媒にアセトンを
用いる場合について説明する。この時の蒸気圧は、18
0トールであり、真空容器1内の圧力は、180トール
以下の所定の圧力に到達しているとする。ガスケット4
V(リークかある場合、アセトン會吹きつけるとリー
ク部分から、アセトンが真空容器1内に浸入する。真空
容器1内の圧力は、アセトンの蒸気圧より低いため、ア
セトンは気化し、真空容器1内の圧力が急上昇する。こ
の圧力の上昇を真空計13でモニタすれば、リークの有
無は直ちに判別しうる。
用いる場合について説明する。この時の蒸気圧は、18
0トールであり、真空容器1内の圧力は、180トール
以下の所定の圧力に到達しているとする。ガスケット4
V(リークかある場合、アセトン會吹きつけるとリー
ク部分から、アセトンが真空容器1内に浸入する。真空
容器1内の圧力は、アセトンの蒸気圧より低いため、ア
セトンは気化し、真空容器1内の圧力が急上昇する。こ
の圧力の上昇を真空計13でモニタすれば、リークの有
無は直ちに判別しうる。
有機溶媒にトリクレン(20℃の蒸気圧60トール)、
その他の有機溶媒を用いることができることは当業者に
は自明であろう。
その他の有機溶媒を用いることができることは当業者に
は自明であろう。
本発明は、有機溶媒を検査対象部分に吹きつけ、真空計
でモニターする方式であるため、簡易な装置で、手早く
検査ができ、工学的に有意義な技術である。
でモニターする方式であるため、簡易な装置で、手早く
検査ができ、工学的に有意義な技術である。
第1図は本発明の一実施態様を示す図、第2図は本発明
で使用しつる有機溶媒の物性を示すグラフ、第3図は従
来のリーク検出性全説明するための図である。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 亮 −
で使用しつる有機溶媒の物性を示すグラフ、第3図は従
来のリーク検出性全説明するための図である。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 亮 −
Claims (1)
- 真空容器の真空圧力より高い蒸気圧を有する有機溶媒を
真空容器のリーク検出部分に吹きつけ、真空容器内の真
空圧力の増大を真空計でモニターすることを特徴とする
真空容器のリーク検出法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13730984A JPS6117930A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 真空容器のリ−ク検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13730984A JPS6117930A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 真空容器のリ−ク検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6117930A true JPS6117930A (ja) | 1986-01-25 |
Family
ID=15195669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13730984A Pending JPS6117930A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 真空容器のリ−ク検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6117930A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63267676A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-04 | Murata Mach Ltd | 自動ワインダ−における異常糸継防止方法 |
EP0499259A2 (de) * | 1991-02-15 | 1992-08-19 | Liqui Moly Gmbh | Mittel zum Nachweis von Undichtigkeiten im Ansaugtrakt von Kraftfahrzeugen |
WO2005031297A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-04-07 | Xsemisys Di Fabio La Spina & C. S.N.C. | Method and device for the detection and localization of leakages in vacuum systems |
US7260981B2 (en) * | 1997-05-26 | 2007-08-28 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS497195A (ja) * | 1972-03-21 | 1974-01-22 | ||
JPS5321867A (en) * | 1976-08-13 | 1978-02-28 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Means for preventing clogging of holes in compacter |
JPS57182140A (en) * | 1981-04-20 | 1982-11-09 | Erisuwaasu Matsukuhoot Toomasu | Quality control method through reverse diffusion of impermeable treating vessel |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP13730984A patent/JPS6117930A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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JPS497195A (ja) * | 1972-03-21 | 1974-01-22 | ||
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EP0499259A2 (de) * | 1991-02-15 | 1992-08-19 | Liqui Moly Gmbh | Mittel zum Nachweis von Undichtigkeiten im Ansaugtrakt von Kraftfahrzeugen |
EP0499259A3 (en) * | 1991-02-15 | 1993-03-03 | Liqui Moly Gmbh | Means for detecting leaks in the intake manifold of vehicles |
US7260981B2 (en) * | 1997-05-26 | 2007-08-28 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
US7454957B2 (en) | 1997-05-26 | 2008-11-25 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
US9091612B2 (en) | 1997-05-26 | 2015-07-28 | Wilco Ag | Method for leak testing and leak testing apparatus |
US8459099B2 (en) | 1997-05-27 | 2013-06-11 | Wilco Ag | Method for leak testing and leak testing apparatus |
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