JPS6117612B2 - - Google Patents
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- JPS6117612B2 JPS6117612B2 JP4858881A JP4858881A JPS6117612B2 JP S6117612 B2 JPS6117612 B2 JP S6117612B2 JP 4858881 A JP4858881 A JP 4858881A JP 4858881 A JP4858881 A JP 4858881A JP S6117612 B2 JPS6117612 B2 JP S6117612B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
- B23Q15/20—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work before or after the tool acts upon the workpiece
- B23Q15/22—Control or regulation of position of tool or workpiece
- B23Q15/24—Control or regulation of position of tool or workpiece of linear position
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、テーブル停止位置検出方法、特に自
動加工組立ラインにおける自走式搬送テーブルの
停止位置検出をホトセンサーの如きセンサーを使
用して行い、このホトセンサーは互に他の搬送テ
ーブルの動きと干渉されない検出方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a method for detecting the stop position of a table, in particular, detecting the stop position of a self-propelled transport table in an automatic processing assembly line using a sensor such as a photosensor. This invention relates to a detection method that does not interfere with the movement of other transport tables.
自動加工組立ラインにおいて搬送テーブルを自
走式にする利点は、被加工物をステーシヨンから
次のステーシヨンへ移送する搬送テーブルを、ス
テーシヨンに対応して任意位置に設置することが
でき、またステーシヨンの数や大きさが増しても
軌道を延長しさえすれば無限に加工範囲を拡大し
うることである。しかしながら、搬送テーブルの
数が増し、しかも同期して移動する場合には、ホ
トセンサーの如きセンサーは互に他の搬送テーブ
ルに干渉されて移送ラインはまつたく混乱する危
険性が存在する。 The advantage of using a self-propelled transport table in an automatic processing assembly line is that the transport table that transports the workpiece from one station to the next station can be installed at any position corresponding to the station, and the number of stations can be reduced. Even if the diameter or size increases, the machining range can be expanded infinitely as long as the trajectory is extended. However, when the number of transfer tables increases and they move synchronously, there is a risk that sensors such as photo sensors will interfere with each other and the transfer line will become confused.
本発明の目的はかかる危険を避けるにあり、そ
の目的を達成するために、センサーの設置組合せ
に互に他の搬送テーブルの動きと干渉されない工
夫をなし、自動加工組立ラインの円滑な運営を計
るものである。なおセンサーはホトセンサーに限
るものではなく、マイクロスイツチでも同じ組合
せが可能である。 The purpose of the present invention is to avoid such a danger, and in order to achieve this purpose, the installation combination of sensors is devised so that they do not interfere with the movements of other conveyor tables, and the automatic processing assembly line is operated smoothly. It is something. Note that the sensor is not limited to a photo sensor, and the same combination is possible with a micro switch.
以下、本発明の実施例を添付図面を参照して説
明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
第１図は自動加工組立ラインにおける搬送テー
ブルの配置の一例を示した図である。固定軌道１
上で、ステーシヨン４，４′，４″に応じて配列さ
れた搬送テーブル，，は、図示していない
がそれぞれ別個の駆動用モータを搭載し、図示の
Ｘ方向の移動が可能な機構となつており、さらに
Ｙ方向移送テーブル２と被加工物のチヤツキング
部３もそれぞれ独立した駆動機構をもつ自動加工
組立ラインにおいて、まずＹ方向移送テーブル２
が移動し、ステーシヨン４内の被加工物（例えば
ウエハ）をチヤツキング部３で捕捉して元の位置
へ戻り停止し、次いで同様の動作を完了した各搬
送テーブル，，が固定軌道１上を次の設備
へ向つて移送を開始して各ステーシヨンに対応し
た所定の位置に停止し、再びＹ方向移送テーブル
が移動してステーシヨン内への被加工物の移送を
終え、しかる後に一斉に搬送テーブルが元の位置
へ復帰して１サイクルを終了する。 FIG. 1 is a diagram showing an example of the arrangement of transfer tables in an automatic processing assembly line. Fixed orbit 1
In the above, the transport tables arranged according to the stations 4, 4', 4'' are each equipped with separate drive motors (not shown), and are capable of movement in the X direction shown in the figure. Furthermore, in an automatic processing assembly line where the Y-direction transfer table 2 and the workpiece chucking section 3 each have independent drive mechanisms, the Y-direction transfer table 2 is first moved.
moves, captures the workpiece (for example, a wafer) in the station 4 with the chucking unit 3, returns to the original position and stops, and then each transfer table, which has completed the same operation, moves on to the next on the fixed track 1. The transfer table starts moving toward the equipment, stops at a predetermined position corresponding to each station, and the Y-direction transfer table moves again to finish transferring the workpieces into the station, after which the transfer table moves all at once. It returns to its original position and completes one cycle.
かかる搬送テーブルの停止位置の検出はホトセ
ンサーと動作板を使用して行われるが、それらの
概括的な設置状況を示すと第２図のとおりであ
る。 Detection of the stop position of the transport table is carried out using a photo sensor and an operating plate, and the general arrangement of these is shown in FIG. 2.
第２図より、Ｘ方向移送用として、固定軌道１
１の側壁に取付けた支持台１６の穴を通して固定
軌道に平行に固定させた支持棒１７の任意位置に
ホトセンサー１４を設置し、またこれに対応する
２個の動作板１５はＸ方向搬送テーブル１２の片
方端部の下面に下向きに取付けられ、Ｙ方向移送
用として、ホトセンサー１４′は搬送テーブル１
２に平行して固定された支持棒１７′上の任意位
置に、またそれに対応する動作板１５′はＹ方向
移送用テーブル１３の上面にそれぞれ設置配列さ
れる。かかるＸ方向移送用の動作板１５は、自動
原点復帰をさせるために、搬送テーブル１台につ
き２個ずつ必要である。即ちそのうちの１個は安
全対策用であり、他の１個は前述した搬送テーブ
ルの移送、停止、復帰動作用である。 From Fig. 2, fixed orbit 1 is used for X-direction transfer.
A photo sensor 14 is installed at an arbitrary position on a support rod 17 which is fixed parallel to a fixed track through a hole in a support stand 16 attached to the side wall of 1, and the two corresponding operation plates 15 are connected to an X-direction transport table. The photosensor 14' is attached downward to the lower surface of one end of the transport table 1, and is used for transporting in the Y direction.
The operating plates 15' corresponding thereto are arranged at arbitrary positions on the support rod 17' fixed in parallel to the Y-direction transfer table 13, respectively. Two operation plates 15 for X-direction transfer are required for each transport table in order to automatically return to the origin. That is, one of them is for safety measures, and the other one is for the above-mentioned transfer, stop, and return operations of the conveyance table.
しかして、複数個の搬送テーブルが同一軌道上
を同期して移動する自動加工組立ラインにおいて
は、他の搬送テーブルの動きに干渉されないでそ
れぞれ停止位置を検出する必要があり、そのため
に複数個のホトセンサーと動作板を使用してそれ
らを効果的に設置配列しなければならない。 However, in an automatic processing assembly line where multiple transport tables move synchronously on the same orbit, it is necessary to detect the stop position of each transport table without being interfered with by the movement of other transport tables. They must be effectively installed and arranged using photo sensors and operating plates.
第３図は上記目的を達成するための構成の具体
的実施例を示した断面図であり、固定軌道１１の
側壁に形成した切欠溝２０に支持台１６を取付
け、この支持台１６にはあらかじめ３組の大小の
穴２４，２４′を並列的に開けておき、またホト
センサー１４にも対応する穴を開けておき、これ
らの穴に支持棒１７を通してホトセンサー１４の
保持機構が形成される。一方、相対的に移動する
搬送テーブル１２には動作板１５が設置され、そ
の先端がホトセンサー１４のＵ字溝の中心を通る
ように配列される。かかる方式により、ホトセン
サー１４は、支持棒の上をスライドさせることに
より任意位置への設置が可能となり、また傾斜な
どによる位置ずれを起すおそれもなくなる。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing a specific embodiment of the configuration for achieving the above object. Three sets of large and small holes 24, 24' are opened in parallel, and a hole corresponding to the photosensor 14 is also opened, and a support rod 17 is passed through these holes to form a holding mechanism for the photosensor 14. . On the other hand, an operating plate 15 is installed on the relatively movable transport table 12 and arranged so that its tip passes through the center of the U-shaped groove of the photosensor 14. With this method, the photosensor 14 can be installed at any position by sliding it on the support rod, and there is no risk of displacement due to inclination or the like.
しかして、複数個の自走式搬送用テーブルが同
期して動く場合のホトセンサー１４の必要数は搬
送テーブル１台につき原点を基準にして(イ)原点用
(ロ)必要移送位置用、そして安全対策用として(ハ)原
点マイナス方向用(ニ)必要移送位置プラス方向用の
合計４個を必要とし、また動作板１５は自動原点
復帰させるため、これら４個のセンサーに対応し
て搬送テーブル１台につき２個必要である。 Therefore, when multiple self-propelled transport tables move synchronously, the required number of photosensors 14 for each transport table is based on the origin (a) for the origin.
A total of four pieces are required: (b) for the required transfer position, and (c) for the negative direction of the origin (d) for the positive direction of the necessary transfer position, and since the operating plate 15 automatically returns to the origin, these four pieces are required. Two sensors are required for each transport table, corresponding to the number of sensors.
かかるホトセンサー１４と動作板１５は、第３
図に示す如く平行した３本の支持棒１７上と搬送
テーブル上に規則的に配列され、各々のホトセン
サー１４と対応した動作板１５によつてのみしか
動作しないようになつている。この点について以
下に説明する。 The photosensor 14 and the operation plate 15 are connected to the third
As shown in the figure, they are arranged regularly on three parallel support rods 17 and a transport table, and can only be operated by operating plates 15 corresponding to each photosensor 14. This point will be explained below.
第４図はホトセンサーと動作板の配列を模式的
に表わしたもので、Ａ−，Ａ−……は搬送テ
ーブルを、１，２，３は３軸の支持棒を、Ａ，Ｂ
は搬送テーブルに取付けた動作板を表わし、また
ホトセンサーは(イ)原点用をHP１，HP２……(ロ)必
要移送位置用をT.HP１，T.HP２……(ハ)原点マイ
ナス方向用をOT１，OT２……(ニ)必要移送位置
プラス方向用をT.OT１，T.OT２……で表わ
す。 Figure 4 schematically shows the arrangement of the photosensors and operating plates, where A-, A-... are the transport tables, 1, 2, and 3 are the 3-axis support rods, and A, B
represents the operating plate attached to the transfer table, and the photo sensors are (a) for the origin HP1, HP2...(b) for the required transfer position T.HP1, T.HP2...(c) for the minus direction of the origin are expressed as OT1, OT2... (d) The required transfer position for the positive direction is expressed as T.OT1, T.OT2...
第４図より明らかなように、２個の動作板は３
軸中の２軸を選択的に走査するように設計され、
これに対応するホトセンサーとともに３軸上に規
則的に配列されており、例えば(イ)原点用のホトセ
ンサーは図中実線矢印で示すごとく、軸１−２−
３−１の順に配列され、動作板Ｂが専用にこれを
動作し、搬送テーブルＡ−，Ａ−，Ａ−…
…の原点への位置決めに供され、また(ハ)原点マイ
ナス方向用ホトセンサーは、図中点線矢印で示す
ごとく、軸２−３−１−２の順に配列され、動作
板Ａが専用にこれの動作に当り、搬送テーブルＡ
−，Ａ−，Ａ−……の復帰時にこれら搬送
テーブルが原点を越え、オーバランするのを防止
する。動作板Ｂは必要移送位置用ホトセンサー
THP１，THP２……に専用に動作し、搬送テー
ブルＡ−，Ａ−，Ａ−……を所定の位置に
停止させ、動作板Ａは必要移送位置プラス方向用
センサーTOT１，TOT２……に専用に動作し、
搬送テーブルＡ−，Ａ−，Ａ−……が前記
所定位置を越えて、オーバランするのを防止す
る。また図中、ぬりつぶした三角形は搬送テーブ
ルＡ−に、山印は搬送テーブルＡ−に、二重
山印は搬送テーブルＡ−にそれぞれ対応するホ
トセンサーを表わしている。なお、搬送テーブル
Ａ−以降はまつたく同様の配列を繰り返すこと
により操作され、また各搬送テーブル間のピツチ
P1，P2，P3……が異つても何ら問題はない。 As is clear from Figure 4, the two operating plates are 3
Designed to selectively scan two of the axes,
They are regularly arranged on three axes along with the corresponding photosensors. For example, (a) the photosensor for the origin is shown on the axes 1-2-2 as shown by the solid arrow in the figure.
The transport tables A-, A-, A-...
(c) The photosensors for the minus direction of the origin are arranged in the order of the axes 2-3-1-2 as shown by the dotted line arrows in the figure, and the operation plate A is dedicated to this. During the operation, transport table A
-, A-, A-, etc. are prevented from exceeding the origin and overrunning when returning. Operation plate B is a photo sensor for the required transfer position.
It operates exclusively for THP1, THP2... to stop the transfer tables A-, A-, A-... at predetermined positions, and the operating plate A is operated exclusively for the sensors TOT1, TOT2... for the required transfer position plus direction. Work,
To prevent conveyance tables A-, A-, A-... from exceeding the predetermined position and overrunning. Further, in the figure, the filled triangles represent the photosensors corresponding to the transport table A-, the crests represent the photosensors corresponding to the transport table A-, and the double crests represent the photosensors corresponding to the transport table A-, respectively. Note that the transport tables A and onwards are operated by repeating the same arrangement, and the pitch between each transport table is
There is no problem even if P 1 , P 2 , P 3 ... are different.
以上のホトセンサーと動作板との設置組合せに
より、対応のとれていない動作板がそのホトセン
サーを動作させることはまつたく起り得ず、した
がつて複数の自走式搬送テーブルを同期的に移動
せしめる自動加工組立ラインの互に干渉すること
のない操業を可能にする。 Due to the above installation combination of photosensors and operation plates, it is impossible for an operation plate that is not compatible to operate the photosensor, and therefore multiple self-propelled transfer tables can be moved synchronously. This enables automatic processing and assembly lines to operate without interfering with each other.
なお、以上の説明においてはホトセンサーを例
にとつたが、それはマイクロスイツチであつても
よい。 In addition, in the above description, a photo sensor was taken as an example, but it may also be a micro switch.
第１図は自動加工組立ラインにおける搬送テー
ブルの配置の斜視図、第２図はホトセンサーと動
作板の配列を示す斜視図、第３図はホトセンサー
と動作板の配置の断面図、第４図はホトセンサー
と動作板の配列順序の線図である。
１……固定軌道、，，，１２……Ｘ方向
搬送テーブル、２，１３……Ｙ方向移送用テーブ
ル、３……チヤツキング部、４，４′，４″……ス
テーシヨン、１１……固定軌道、１４，１４′…
…ホトセンサー、１５，１５′……動作板、１６
……支持台、１７……支持棒、２０……切欠溝、
２４，２４′……穴。
Fig. 1 is a perspective view of the arrangement of the transport table in the automatic processing assembly line, Fig. 2 is a perspective view showing the arrangement of the photosensors and operating plates, Fig. 3 is a sectional view of the arrangement of the photosensors and operating plates, and Fig. 4 The figure is a diagram of the arrangement order of photosensors and operating plates. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Fixed track,,,,12...X direction transfer table, 2, 13...Y direction transfer table, 3...Chucking section, 4, 4', 4''...Station, 11...Fixed track , 14, 14'...
...Photo sensor, 15, 15'...Operation plate, 16
... Support stand, 17 ... Support rod, 20 ... Notch groove,
24, 24'...hole.
Claims (1)
ブルの停止位置をセンサーを用いて検出する方法
にして、各搬送テーブルには２個ずつの動作板を
設置し、センサーは各搬送テーブルにつき、原点
用、必要移送位置用、原点マイナス方向用および
必要移送位置プラス方向用の４個を用意し、前記
２個の動作板はセンサーを支持する３軸の２軸を
選択的に走査し、該センサーはかかる走査に対応
する如く、第１、第２および第３の各軸に前記搬
送テーブルの必要移送領域を設定するための第
１、第２および第３の原点用および必要移送位置
用センサーを、各領域が重複することなからしめ
るように配設し、前記第２、第３および第１の各
軸には、前記第１、第２および第３の搬送テーブ
ル用の原点マイナスおよび必要移送位置プラス方
向用センサーを設け、かかる対応のとられていな
い動作板はいかなるセンサーをも動作することな
く、複数の自走式搬送テーブルは互いに干渉する
ことなく同期的に移動することを特徴とする搬送
テーブル停止位置検出方法。1 The method uses sensors to detect the stop position of self-propelled conveyance tables in automatic processing and assembly lines. Two operating plates are installed on each conveyance table, and sensors are installed for each conveyance table, one for the origin, one for the origin, Four plates are prepared, one for the required transfer position, one for the origin minus direction, and one for the necessary transfer position plus direction, and the two operating plates selectively scan two of the three axes that support the sensor, and the sensor Sensors for the first, second, and third origin and for the required transfer position are provided for setting the required transfer area of the transfer table on each of the first, second, and third axes so as to correspond to scanning. The second, third, and first axes each have an origin minus and a required transfer position plus for the first, second, and third transfer tables. A conveyance table characterized in that a direction sensor is provided, such an uncorresponding operation plate does not operate any sensor, and a plurality of self-propelled conveyance tables move synchronously without interfering with each other. Stop position detection method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4858881A JPS57163044A (en) | 1981-03-31 | 1981-03-31 | Detecting method of stop position in conveying table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4858881A JPS57163044A (en) | 1981-03-31 | 1981-03-31 | Detecting method of stop position in conveying table |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57163044A JPS57163044A (en) | 1982-10-07 |
| JPS6117612B2 true JPS6117612B2 (en) | 1986-05-08 |
Family
ID=12807554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4858881A Granted JPS57163044A (en) | 1981-03-31 | 1981-03-31 | Detecting method of stop position in conveying table |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57163044A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2187096B1 (en) | 2008-11-14 | 2012-09-12 | Sankyo Seisakusho Co. | Planetary rolling rotation transmission device |
-
1981
- 1981-03-31 JP JP4858881A patent/JPS57163044A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57163044A (en) | 1982-10-07 |
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