JPS6116842B2 - - Google Patents

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JPS6116842B2
JPS6116842B2 JP1695178A JP1695178A JPS6116842B2 JP S6116842 B2 JPS6116842 B2 JP S6116842B2 JP 1695178 A JP1695178 A JP 1695178A JP 1695178 A JP1695178 A JP 1695178A JP S6116842 B2 JPS6116842 B2 JP S6116842B2
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JP
Japan
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fluid
passage
chamber
actuator
valve body
Prior art date
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Application number
JP1695178A
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Japanese (ja)
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JPS54109586A (en
Inventor
Tomoaki Onoda
Osahisa Oohira
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Tokico Ltd
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Tokico Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は作動子を流体により直線或いは回動運
動させるアクチユエータに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an actuator that moves an actuator in a linear or rotational manner using fluid.

流体圧力を機械的運動にかえて所要の仕事をな
すアクチユエータは、流体が液体である場合にお
いては回路内の流体が抵抗となるため、調整その
他の理由でこれを手動で動かすことはできない。
このため従来においては、そのアクチユエータに
連結された流体回路に開放弁を設けてアクチユエ
ータの主動操作を可能にしているが、それでもア
クチユエータから開放弁に至る配管に流体抵抗が
存在するため、アクチユエータを手動で動かすの
は非常に重く相当の力を必要とするほか、開放弁
を設けるだけ回路構成が複雑になる欠点がある。
The actuator, which converts fluid pressure into mechanical motion to perform the required work, cannot be moved manually for adjustment or other reasons when the fluid is a liquid, because the fluid in the circuit provides resistance.
For this reason, in the past, a release valve was provided in the fluid circuit connected to the actuator to enable active operation of the actuator, but even then, fluid resistance existed in the piping from the actuator to the release valve, so In addition to being extremely heavy and requiring a considerable amount of force to move, it also has the disadvantage that the circuit configuration becomes complicated just by providing a release valve.

本発明は、流体圧力を作動子に作用させてこれ
を動かす二つの流体室を通路で相互に連通し、流
体圧力が加わると通路を閉じ、また流体圧力がゼ
ロになると上記通路を開ける特殊な弁装置を作動
子に設けて、前記従来の欠点を解消したものであ
る。以下に本発明を図面を参照して詳細に説明す
る。
The present invention utilizes a special method that allows fluid pressure to act on an actuator to move the actuator. Two fluid chambers are communicated with each other through a passage, and when fluid pressure is applied, the passage is closed, and when the fluid pressure becomes zero, the passage is opened. The above-mentioned drawbacks of the conventional valve device are solved by providing the valve device in the actuator. The present invention will be explained in detail below with reference to the drawings.

第1図ないし第3図は本発明に係るロータリア
クチユエータの一実施例を示すもので、ケーシン
グ1はハウジング2の左右の端面にカバー3,4
をOリング5で気密に取り付けて成る。このケー
シング1の上記カバー3,4の中心位置には枢支
孔6,7が穿設され、この枢支孔6,7に枢軸
8,9を枢支し、かつケーシング1内に第1流体
室10と第2流体室11を画成して作動子12が
ケーシング1内に揺動自在に設けられている。上
記作動子12は第1流体室10と第2流体室11
とを相互に連通する通路13とこの通路13を開
閉する弁装置14とを有する。この弁装置14は
第1流体室10と第2流体室11のうちいずれか
一方の流体室の流体に圧力がかかつているとき通
路13を閉じ、また流体室10,11の流体圧力
がゼロのとき通路13を開くものである。この弁
装置14は、小径の第1ロツド15と大径の第2
ロツド16に支持された作動子12の内部に移動
自在に設けられた通路開閉用の弁体17と、この
弁体17を移動自在に収設するとともに第2流体
室11にそれぞれ第2連通孔18と第3連通孔1
9で連通された押圧室20及び補助室21と、こ
の補助室21内に設けられ弁体17を押して通路
13を開とするばね22と、前記第1ロツド15
を移動自在に嵌挿しかつ第1連通孔23により第
1流体室10に連通された第1軸孔24と、前記
第2ロツド16を移動自在に嵌挿しかつ透孔25
により大気に連通された第2軸孔26とから成
る。ここで押圧室20と補助室21は互の横断面
形状を同一に設定され、かつ中心軸線を一致させ
て一体に連設されている。ケーシング1のハウジ
ング2には第1流体室10と第2流体室11にそ
れぞれ連通する、流体の第1流入口27と第2流
入口28が設けられ、また、作動子12の外周面
とハウジング2の内周面には第1流体室10と第
2流体室11間の流体洩れを防止するシール部材
29,30が装着されている。31と32は枢支
孔6,7と枢軸8,9の間を気密にしているOリ
ング、33は第2軸孔26と第2ロツド16の間
を気密にしているOリング、35は第1軸孔24
と第1ロツド15との間を気密にしているOリン
グ、13′は通路13に設けられた絞りである。
1 to 3 show an embodiment of a rotary actuator according to the present invention, in which a casing 1 has covers 3 and 4 on the left and right end surfaces of a housing 2.
is airtightly attached with an O-ring 5. Pivot holes 6 and 7 are bored in the center positions of the covers 3 and 4 of this casing 1, and pivots 8 and 9 are pivotally supported in the pivot holes 6 and 7, and a first fluid is provided in the casing 1. An actuator 12 is swingably provided in the casing 1, defining a chamber 10 and a second fluid chamber 11. The actuator 12 has a first fluid chamber 10 and a second fluid chamber 11.
It has a passage 13 that communicates with the passage 13 and a valve device 14 that opens and closes the passage 13. This valve device 14 closes the passage 13 when pressure is applied to the fluid in either the first fluid chamber 10 or the second fluid chamber 11, and closes the passage 13 when the fluid pressure in the fluid chambers 10, 11 is zero. When the passage 13 is opened. This valve device 14 has a small diameter first rod 15 and a large diameter second rod.
A valve body 17 for opening and closing a passage is movably provided inside the actuator 12 supported by the rod 16, and this valve body 17 is movably housed, and second communication holes are provided in the second fluid chamber 11, respectively. 18 and third communication hole 1
A pressure chamber 20 and an auxiliary chamber 21 communicated with each other at 9, a spring 22 provided in the auxiliary chamber 21 for pushing the valve body 17 to open the passage 13, and the first rod 15.
The second rod 16 is movably inserted into the first shaft hole 24 and communicated with the first fluid chamber 10 through the first communication hole 23, and the second rod 16 is movably inserted into the through hole 25.
and a second shaft hole 26 communicated with the atmosphere. Here, the pressing chamber 20 and the auxiliary chamber 21 have the same cross-sectional shape, and are integrally connected with their central axes aligned. The housing 2 of the casing 1 is provided with a first inlet 27 and a second inlet 28 for fluid, which communicate with the first fluid chamber 10 and the second fluid chamber 11, respectively. Seal members 29 and 30 for preventing fluid leakage between the first fluid chamber 10 and the second fluid chamber 11 are attached to the inner circumferential surface of the fluid chamber 2 . 31 and 32 are O-rings that make airtight between the pivot holes 6, 7 and the pivots 8, 9, 33 is an O-ring that makes airtight between the second shaft hole 26 and the second rod 16, and 35 is the O-ring that makes the space between the second shaft hole 26 and the second rod 16 airtight. Single shaft hole 24
The O-ring 13' which makes the space between the first rod 15 and the first rod 15 airtight is a restriction provided in the passage 13.

しかして、第1ロツド15の横断面積A1、弁
体17の横断面積A3、第2ロツド16の横断面
積A2及びばね22の力Fは、第1流体室10に
Pなる圧力が加わつた時、A1P>Fを満足し、ま
た第2流体室11に圧力Pがかかつた時、(A3
A2)P+F<(A3−A1)Pとなるように定められ
ている。
Therefore, the cross-sectional area A 1 of the first rod 15, the cross-sectional area A 3 of the valve body 17, the cross-sectional area A 2 of the second rod 16, and the force F of the spring 22 are such that a pressure P is applied to the first fluid chamber 10. When A 1 P>F is satisfied, and when pressure P is applied to the second fluid chamber 11, (A 3
A 2 )P+F<(A 3 −A 1 )P.

次に上記のように構成されたロータリアクチユ
エータの作用を説明する。
Next, the operation of the rotary actuator configured as described above will be explained.

このアクチユエータは第1流入口27と第2流
入口28に流体の流通管路(図示せず)を連結
し、枢軸8を駆動軸として用いられる。第3図は
このようにして流体回路に組み込まれたアクチユ
エータの停止状態、つまり二つの流体室10,1
1内の流体に圧力がかかつていない状態を示すも
ので、この場合は弁体17はばね22に押されて
押圧室20に入り通路13を開けている。したが
つてこの状態では、流体は第1流体室10から第
2流体室11へ、またこれの逆に第2流体室11
から第1流体室10へ通路13を通つて流れるこ
とができるので、枢軸8に力を加えて作動子12
と一緒に枢軸8を左右いずれにも手動で自由に回
動させることができる。
This actuator connects a fluid flow conduit (not shown) to the first inlet 27 and the second inlet 28, and uses the pivot 8 as a drive shaft. FIG. 3 shows the stopped state of the actuator incorporated in the fluid circuit in this way, that is, the two fluid chambers 10 and 1.
This shows a state in which no pressure is built up in the fluid within the valve 1; in this case, the valve body 17 is pushed by the spring 22 and enters the pressure chamber 20, opening the passage 13. Therefore, in this state, fluid flows from the first fluid chamber 10 to the second fluid chamber 11 and vice versa.
through the passage 13 to the first fluid chamber 10, applying a force to the pivot 8 and causing the actuator 12 to
At the same time, the pivot 8 can be freely rotated manually to either the left or right.

第3図のフリー状態から第1流体室10に第1
流入口27から流体が送り込まれると、第1流体
室10に入つた流体の一部は通路13を通つて第
2流体室11に流入するとともに補助室21にも
流入する。他の流体は同時に第1連通孔23から
第1軸孔24に流入する。この際、第1流体室1
0側の通路には絞り13′が設けられているた
め、補助室21の圧力は第1軸孔24のそれに比
べて低いものとなる。そして、この場合、前述の
ようにA1P>Fが満されるように定められている
ため、第1ロツド15は、ばね22の弾力に抗し
て第3図右方に押され、これにより弁体17は右
方に移動し、通路13を閉じる(第1図)。した
がつて作動子12は第1流入口27から第1流体
室10に送り込まれる流体の圧力で第2図におい
て反時計方向に回動する。
From the free state shown in FIG. 3 to the first fluid chamber 10, the first
When fluid is sent from the inlet 27 , a portion of the fluid that has entered the first fluid chamber 10 flows into the second fluid chamber 11 through the passage 13 and also flows into the auxiliary chamber 21 . Other fluids simultaneously flow into the first shaft hole 24 from the first communication hole 23. At this time, the first fluid chamber 1
Since the 0-side passage is provided with the throttle 13', the pressure in the auxiliary chamber 21 is lower than that in the first shaft hole 24. In this case, since A 1 P>F is set to be satisfied as described above, the first rod 15 is pushed to the right in FIG. 3 against the elasticity of the spring 22. This causes the valve body 17 to move to the right and close the passage 13 (FIG. 1). Therefore, the actuator 12 is rotated counterclockwise in FIG. 2 by the pressure of the fluid sent into the first fluid chamber 10 from the first inlet 27.

上記とは逆に第3図において第2流体室11に
第2流入口28から流体が送り込まれると、第2
流体室11に入つた流体の一部は矢張り通路13
を通つて第1流体室10にも流入し、他の流体は
第2連通孔18と第3連通孔19を通つて押圧室
20と補助室21に流入するように作用する。と
ころが第1ロツド15の方が第2ロツド16より
も小径に形成され、押圧室20側の弁体17の受
圧面積の方が補助室21側の弁体17の受圧面積
よりも大きくなつており、前述のように(A3
A2)P+F<(A3−A1)Pが満足されるように設
定されているため、押圧室20内の流体圧力の方
が補助室21内の流体圧力に打ち勝つて弁体17
をばね22の弾力に抗して第3図で右に移動さ
せ、通路13を閉じさせる(第1図)。したがつ
て作動子12は第2流入口28から第2流体室1
1に送り込まれる流体の圧力で第2図において時
計方向に回動する。
Contrary to the above, when fluid is fed into the second fluid chamber 11 from the second inlet 28 in FIG.
A portion of the fluid that has entered the fluid chamber 11 flows through the arrow passage 13.
The fluid also flows into the first fluid chamber 10 through the first fluid chamber 10, and other fluids flow into the press chamber 20 and the auxiliary chamber 21 through the second communication hole 18 and the third communication hole 19. However, the first rod 15 is formed to have a smaller diameter than the second rod 16, and the pressure receiving area of the valve body 17 on the pressure chamber 20 side is larger than the pressure receiving area of the valve body 17 on the auxiliary chamber 21 side. , as mentioned above (A 3
A 2 )P+F<(A 3 −A 1 )P is set so that the fluid pressure in the pressure chamber 20 overcomes the fluid pressure in the auxiliary chamber 21 and the valve body 17
is moved to the right in FIG. 3 against the elasticity of the spring 22 to close the passage 13 (FIG. 1). Therefore, the actuator 12 flows from the second inlet 28 to the second fluid chamber 1.
1 rotates clockwise in FIG.

なお、上記において作動子12が第2図におい
て反時計方向に回動する場合は第2流体室11内
の流体は第2流入口28から排出され、また作動
子12が時計方向に回動する場合は、第1流体室
10内の流体が第1流入口27から排出されるこ
とは説明するまでもない。
In addition, in the above case, when the actuator 12 rotates counterclockwise in FIG. 2, the fluid in the second fluid chamber 11 is discharged from the second inlet 28, and the actuator 12 rotates clockwise. Needless to say, in this case, the fluid in the first fluid chamber 10 is discharged from the first inlet 27.

また、第1流体室10への流体の圧力が止む
と、第1軸孔24内の圧力が低下してばね22の
反撥力の方がこれにまさり、弁体17がばね22
に押されて第1図中左方に移動し、通路13が開
かれる。さらに、第2流体室11への流体の圧入
が止むと、押圧室20と補助室21との圧力はと
も低下し、弁体17が押圧室20側から受ける流
体圧荷重はばね22の反撥力よりも小さくなり、
弁体17がばね22に押されて左方に移動し、通
路13が開かれる。
Further, when the pressure of the fluid to the first fluid chamber 10 stops, the pressure in the first shaft hole 24 decreases and the repulsive force of the spring 22 exceeds this, and the valve body 17
1 and moves to the left in FIG. 1, opening the passage 13. Furthermore, when the pressure of fluid into the second fluid chamber 11 stops, the pressure in both the pressure chamber 20 and the auxiliary chamber 21 decreases, and the fluid pressure load that the valve body 17 receives from the pressure chamber 20 side is reduced by the repulsive force of the spring 22. becomes smaller than
The valve body 17 is pushed by the spring 22 and moves to the left, opening the passage 13.

第4図は本発明の他の実施例を示すもので、ケ
ーシング1がシリンダに、また作動子12がピス
トンにそれぞれ形成され、第1流体室10に流体
を送り込むと、作動子12が第4図で下に動き、
また第2流体室11に流体を送ると作動子12が
上に動いて作動子12の一部を構成するピストン
ロツド34を動かすように構成されている。な
お、弁装置14の構造並びに作用は前述のロータ
リアクチユエータと全く同一なので、同一の参照
符号を付してその詳しい説明は省略する。この直
線往復動式のアクチユエータはケーシング1に対
して作動子12を摺動させる関係からロータリア
クチユエータに設備されている枢軸8,9は取り
除かれる。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which the casing 1 is formed as a cylinder and the actuator 12 is formed as a piston, and when fluid is fed into the first fluid chamber 10, the actuator 12 is Move down in the diagram,
Further, when fluid is sent to the second fluid chamber 11, the actuating element 12 moves upward, thereby moving a piston rod 34 forming a part of the actuating element 12. The structure and operation of the valve device 14 are exactly the same as those of the rotary actuator described above, so the same reference numerals will be given and detailed explanation thereof will be omitted. Since this linear reciprocating actuator allows the actuator 12 to slide relative to the casing 1, the pivot shafts 8 and 9 provided in the rotary actuator are removed.

本実施例の場合、ピストンロツド34のシリン
ダ1内への進入容積、シリンダ1外への退出容積
分を補償するためには流入口27,28より若干
の流体の排出、供給がある。
In this embodiment, a small amount of fluid is discharged and supplied from the inlets 27 and 28 in order to compensate for the volume of the piston rod 34 entering the cylinder 1 and the volume of the piston rod 34 exiting the cylinder 1.

第5図は本発明の別種の実施例を示すもので、
第1図ないし第3図に示したものと同様に作動子
12が揺動するタイプであるが、弁装置14の構
造が若干異るものである。なお、第1図に示した
ものと同一構成部分には同一符号を付してその説
明を省略する。
FIG. 5 shows another embodiment of the invention,
Although it is of the type in which the actuator 12 swings like the one shown in FIGS. 1 to 3, the structure of the valve device 14 is slightly different. Components that are the same as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and their explanations will be omitted.

この例では、弁体17がその軸方向の長さが長
くされ、その補助室21側には流体の補助室21
への流入を阻止するOリング37が設けられてい
る。また、弁体17には、アクチユエータの停止
状態(第5図の状態)においてのみ通路13,1
3と連通し、通路13を開く弁体貫通孔38が形
成されている。第2ロツド16には補助室21と
第2軸孔26とを連通する大気連通孔39がその
軸方向に形成され、透孔25を経て補助室21が
大気に常時連通するようになつていて、この補助
室21が大気開孔室となつている。さらにこの例
では、第2流体室11と補助室21とを連通する
第3連通孔19がなく、補助室21には全く流体
が流入しないようになつている。
In this example, the valve body 17 has a longer axial length, and a fluid auxiliary chamber 21 is provided on the auxiliary chamber 21 side.
An O-ring 37 is provided to prevent water from flowing into the tank. Further, the valve body 17 is provided with passages 13 and 1 only when the actuator is stopped (the state shown in FIG. 5).
A valve body through hole 38 that communicates with the valve body 3 and opens the passage 13 is formed. An atmosphere communication hole 39 is formed in the second rod 16 in the axial direction to communicate the auxiliary chamber 21 and the second shaft hole 26, so that the auxiliary chamber 21 is constantly communicated with the atmosphere through the through hole 25. , this auxiliary chamber 21 serves as an atmospheric opening chamber. Further, in this example, there is no third communication hole 19 that communicates the second fluid chamber 11 and the auxiliary chamber 21, so that no fluid flows into the auxiliary chamber 21 at all.

そして、第5図のフリー状態から第1流体室1
0に流体が圧入すると、通路13を経て第2流体
室10に流入する流体は絞りで絞られ、第1軸孔
24内の圧力が高くなる。一方、補助室21は常
に大気室となつており、A1P>Fであるので弁体
17が第5図右方へ移動し通路13が閉じられ
て、作動子12が回動する。また、第2流体室1
1に流体が圧入した場合には、同様に押圧室20
の圧力が高くなり、弁体17が右方に移動して通
路13が閉じられる。
Then, from the free state shown in FIG. 5, the first fluid chamber 1
When fluid is pressurized into the first shaft hole 24, the fluid flowing into the second fluid chamber 10 through the passage 13 is throttled, and the pressure inside the first shaft hole 24 increases. On the other hand, the auxiliary chamber 21 is always an atmospheric chamber, and since A 1 P>F, the valve body 17 moves to the right in FIG. 5, the passage 13 is closed, and the actuator 12 rotates. In addition, the second fluid chamber 1
1, when the fluid is pressurized into the press chamber 20,
The pressure increases, the valve body 17 moves to the right, and the passage 13 is closed.

さらに、第1流体室10または第2流体室11
のいずれかに流体の圧入が止むと、第1軸孔24
または押圧室20の圧力が低下し、ばね22の反
撥力がまさつて弁体17が左方に移動し、弁体貫
通孔38を介して通路13,13が連通し、通路
13が開かれる。
Furthermore, the first fluid chamber 10 or the second fluid chamber 11
When the fluid stops being press-fitted into either of the first shaft holes 24
Alternatively, the pressure in the pressing chamber 20 decreases, the repulsive force of the spring 22 is overcome, and the valve body 17 moves to the left, and the passages 13, 13 communicate with each other through the valve body through hole 38, and the passage 13 is opened.

以上説明したように本発明のアクチユエータ
は、第1流体室10と第2流体室11を相互に連
通する通路13が作動子12に設けられ、またこ
の通路13には弁装置14が設けられていて、流
体圧力がゼロになるとそれまで通路13を閉じて
いた弁装置14が自動的に作動して通路13を開
け、二つの流体室10,11間の流体の流通を自
由にする構造であるので、駆動軸に利用されてい
る枢軸8やピストンロツド34を手動で容易に動
かすことができる。その上本発明によれば、従来
のように開放弁を回路に組み込む必要がないので
流体回路がその分簡略化される利点もある。
As explained above, in the actuator of the present invention, the actuator 12 is provided with a passage 13 that communicates the first fluid chamber 10 and the second fluid chamber 11 with each other, and the valve device 14 is provided in this passage 13. When the fluid pressure becomes zero, the valve device 14 that had previously closed the passage 13 is automatically activated to open the passage 13, allowing free flow of fluid between the two fluid chambers 10 and 11. Therefore, the pivot shaft 8 and the piston rod 34 used as the drive shaft can be easily moved manually. Moreover, according to the present invention, it is not necessary to incorporate a release valve into the circuit as in the conventional case, so there is an advantage that the fluid circuit can be simplified accordingly.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係るアクチユエータの一実施
例を示す作動状態の断面図、第2図は第1図の
−線に沿う断面図、第3図は停止状態の断面図
であり、第4図は本発明の他の実施例を示す作動
状態の断面図、第5図は本発明のその他の実施例
を示す停止状態の断面図である。 1……ケーシング、8……枢軸、9……枢軸、
10……第1流体室、11……第2流体室、12
……作動子、13……通路、14……弁装置、1
5……第1ロツド、16……第2ロツド、17…
…弁体、18……第2連通孔、19……第3連通
孔、20……押圧室、21……補助室、22……
ばね、23……第1連通孔、24……第1軸孔、
34……ピストンロツド。
FIG. 1 is a sectional view of an actuator according to an embodiment of the present invention in an operating state, FIG. 2 is a sectional view taken along the line - in FIG. The figure is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention in an operating state, and FIG. 5 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention in a stopped state. 1... Casing, 8... Pivot, 9... Pivot,
10...First fluid chamber, 11...Second fluid chamber, 12
... Actuator, 13 ... Passage, 14 ... Valve device, 1
5...1st rod, 16...2nd rod, 17...
... Valve body, 18 ... Second communication hole, 19 ... Third communication hole, 20 ... Pressing chamber, 21 ... Auxiliary chamber, 22 ...
Spring, 23...first communication hole, 24...first shaft hole,
34... Piston rod.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 ケーシングと、該ケーシング内に第1流体室
と第2流体室を画成して摺動自在に設けられた作
動子と、該作動子に設けられ前記二つの流体室を
相互に連通する通路と、該通路途中に設けられ前
記二つの流体室のいずれか一方の圧力を受けて前
記通路を閉とする弁装置とからなり、前記弁装置
は、ロツドに支持されて作動子内に移動自在に設
けられるとともに内部に前記通路に連通する孔を
有する弁体と、該弁体を押圧して前記孔を介して
通路を開とするばねと、前記弁体を前記ばねに抗
して変位させ前記通路を閉とするように第1流体
室内の流体をロツドに導く軸孔と、前記弁体を前
記ばねに抗して変位させ前記通路を閉とするよう
に第2流体室内の流体を弁体に導く押圧室と、前
記弁体に対して該押圧室の反対側に設けられた大
気開放室とからなることを特徴とするアクチユエ
ータ。 2 ケーシングと、該ケーシング内に第1流体室
と第2流体室を画成して摺動自在に設けられた作
動子と、該作動子に設けられ前記二つの流体室を
相互に連通する通路と、該通路途中に設けられ前
記二つの流体室のいずれか一方の圧力を受けて前
記通路を閉とする弁装置とからなり、前記弁装置
は、小径の第1ロツドと大径の第2ロツドに支持
されて作動子内に移動自在に設けられた弁体と、
該弁体を押圧して通路を開とするばねと、前記弁
体を前記ばねに抗して変位させ前記通路を閉とす
るように第1流体室内の流体を第1ロツドに導く
第1軸孔と、前記弁体を前記ばねに抗して変位さ
せ前記通路を閉とするように第2流体室内の流体
を弁体に導く押圧室と、前記弁体に対して該押圧
室の反対側に設けられ第3連通孔を介して第2流
体室に連通された補助室とから成ることを特徴と
するアクチユエータ。
[Scope of Claims] 1. A casing, an actuator slidably provided in the casing defining a first fluid chamber and a second fluid chamber, and the two fluid chambers provided in the actuator. a passage that communicates with each other, and a valve device provided in the middle of the passage that closes the passage in response to pressure from either of the two fluid chambers, and the valve device is supported by a rod. a valve body that is movably provided in the actuator and has a hole therein that communicates with the passage; a spring that presses the valve body to open the passage through the hole; a shaft hole for guiding the fluid in the first fluid chamber to the rod so as to displace the valve body against the spring to close the passage; and a second shaft hole for displacing the valve body against the spring to close the passage. An actuator comprising: a pressure chamber that guides fluid within the fluid chamber to a valve element; and an atmosphere open chamber provided on the opposite side of the pressure chamber with respect to the valve element. 2. A casing, an actuator slidably provided in the casing defining a first fluid chamber and a second fluid chamber, and a passage provided in the actuator that communicates the two fluid chambers with each other. and a valve device provided in the middle of the passage to close the passage by receiving pressure from either of the two fluid chambers, and the valve device includes a first rod with a small diameter and a second rod with a large diameter. a valve body supported by a rod and movably provided within the actuator;
a spring that presses the valve body to open the passage; and a first shaft that guides the fluid in the first fluid chamber to the first rod so as to displace the valve body against the spring and close the passage. a hole, a pressure chamber that guides the fluid in the second fluid chamber to the valve body so as to displace the valve body against the spring and close the passage, and an opposite side of the pressure chamber with respect to the valve body. and an auxiliary chamber provided in the auxiliary chamber and communicated with the second fluid chamber via a third communication hole.
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