JPS61165627A - Spectrum line width meter of laser beam - Google Patents

Spectrum line width meter of laser beam

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JPS61165627A
JPS61165627A JP789885A JP789885A JPS61165627A JP S61165627 A JPS61165627 A JP S61165627A JP 789885 A JP789885 A JP 789885A JP 789885 A JP789885 A JP 789885A JP S61165627 A JPS61165627 A JP S61165627A
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JP
Japan
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light
optical fiber
light source
loop
coupled
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JP789885A
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Japanese (ja)
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Shuichi Tai
田井 修市
Kazuo Hisama
和生 久間
Toshio Aranishi
新西 俊雄
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

PURPOSE:To measure spectrum line width of a laser beam source, by coupling a part of beam from the specimen laser beam source to a light detecting means and the balance to a circulating loop, shifting the phase of a beam of light propagating the circulating loop, and bringing the light beam coupled to the light detecting means into resonance. CONSTITUTION:A beam of light emitted from a laser beam source 13 is admitted to an optical fiber 10 of single mode, and a part is divided into a light detector 6 by an optical fiber directional coupler 8 and the balance into a circulating loop 100 of the single-mode optical fiber 10. The beam of light which has circulated through the loop 100 is partly propagated to the detector 6 by the coupler 8 again and the balance to the loop 100 again. By changing the phase of the light beam circulating through the loop 100 by a phase modulating apparatus 11, a beam of light in which multiple interference has been caused is detected by the detector 6. A spectrum line width of the light source 13 can be measured in response to a resonance output of the detector 6.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はレーザ光源のスペクトル線幅測定装置に関し
、特に半導体レーザ(以下、しDど略記する)のような
発振スペクトル線幅の広いレーザ光源のスペクトル線幅
を測定する装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a spectral linewidth measuring device for a laser light source, and particularly to a laser light source with a wide oscillation spectral linewidth, such as a semiconductor laser (hereinafter abbreviated as "D"). The present invention relates to an apparatus for measuring the spectral linewidth of.

[従来の技術] 第3図は、たとえばE 1ectror+ics  L
 ettersVol、 16. No、16 pp、
630〜631に示された従来のLD発振スペクトル線
幅測定装置の構成図である。初めにこの装置の構成につ
いて説明する。図において、LD光W!A1の前方には
同一光学軸上にレンズ2a、ビームスプリッタ3a、レ
ンズ2bがこの順序で設けられている。レンズ2bの前
方には上記光学軸上に長尺(通常1〜2に―)の単一モ
ード光ファイバ5の一端が設けられており、このファイ
バは複数の循環ループ50を形成している。単一モード
光ファイバ5の他端の前方にはレンズ2Cが設けられて
おり、このレンズの前方でか、つこれと同一光学軸上に
ビームスプリッタ3b、光検出器6.スペクトルアナラ
イザ7がこの順序で設けられている。また、ビームスプ
リッタ3aとビームスプリツタ3b間に超音波光変調器
4が設けられている。
[Prior Art] FIG. 3 shows, for example, E controller+ics L
ettersVol, 16. No. 16 pp.
630-631 is a configuration diagram of a conventional LD oscillation spectrum linewidth measuring device. First, the configuration of this device will be explained. In the figure, LD light W! In front of A1, a lens 2a, a beam splitter 3a, and a lens 2b are provided in this order on the same optical axis. In front of the lens 2b, one end of a long (usually 1-2 mm) single mode optical fiber 5 is provided on the optical axis, and this fiber forms a plurality of circulation loops 50. A lens 2C is provided in front of the other end of the single mode optical fiber 5, and a beam splitter 3b, a photodetector 6. Spectrum analyzers 7 are provided in this order. Further, an ultrasonic optical modulator 4 is provided between the beam splitter 3a and the beam splitter 3b.

次にこの装置の動作について説明する。LD光1Ti1
からの出射光はレンズ2aで平行光線にされた慢ビーム
スプリッタ3aで2分され、一方の光はレンズ2bによ
り長尺の単一モード光ファイバ5へ入射し、他方の光は
超音波光変調器4によりfbだけその周波数をシフトさ
れる。単一モード光ファイバ5を出た光と超音波光変調
器4を通った光はビームスプリッタ3bで合波され、光
検出器6上で干渉する。単一モード光ファイバ5の循環
ルーフ50を循環した光は、超音波光変調器4を通った
光よりこの光ファイバの伝搬時間τだけ位相が遅れてい
る。長尺の単一モード光ファイバ5を使っているため、
伝搬時間τはLD光源1のコヒーレンス時間よりも大き
い。したがって、通常の意味ではこれら2つの光は干渉
しないが、光検出器6の出力にはこれら2つの光の相関
信号が現われる。この相関信号をスペクトルアナライザ
7で分析すれば、LD光源1のスペクトルが求まり、そ
れよりそのスペクトル線幅がわかる。
Next, the operation of this device will be explained. LD light 1Ti1
The emitted light is parallelized by a lens 2a and split into two by a beam splitter 3a. One of the lights is input into a long single mode optical fiber 5 by a lens 2b, and the other light is subjected to ultrasonic light modulation. The frequency is shifted by fb by the unit 4. The light exiting the single mode optical fiber 5 and the light passing through the ultrasonic optical modulator 4 are combined by a beam splitter 3b and interfere with each other on a photodetector 6. The light that has circulated through the circulation roof 50 of the single mode optical fiber 5 is delayed in phase by the propagation time τ of this optical fiber than the light that has passed through the ultrasonic optical modulator 4. Since a long single mode optical fiber 5 is used,
The propagation time τ is longer than the coherence time of the LD light source 1. Therefore, although these two lights do not interfere in the usual sense, a correlated signal of these two lights appears at the output of the photodetector 6. By analyzing this correlation signal with the spectrum analyzer 7, the spectrum of the LD light source 1 can be determined, and from this, the spectral linewidth can be determined.

[発明が解決しようとする問題点] 従来のLD発撮スペクトル線幅測定装置は以上のように
構成されているので、長尺の単一モード光ファイバや超
音波光変調器、複数の光学部品が必要であり、その測定
系が非常に複雑でかつ大きなスペースを必要とした。ま
た、超音波光変調器の変調周波数rト は数10MH2
以上であるため広帯域の光検出器を必要とし、スペクト
ル線幅の測定が非常に難しいという問題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] The conventional LD emission spectral linewidth measurement device is configured as described above, so it uses a long single mode optical fiber, an ultrasonic optical modulator, and multiple optical components. The measurement system was extremely complex and required a large amount of space. Furthermore, the modulation frequency r of the ultrasonic optical modulator is several tens of MH2
Because of the above, a broadband photodetector is required, which poses a problem in that it is extremely difficult to measure the spectral line width.

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、コンパクトで容易にレーザ光源のスペクトル
線幅の測定ができるレーザ光源のスペクトル線幅測定装
置を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a spectral linewidth measurement device for a laser light source that is compact and capable of easily measuring the spectral linewidth of a laser light source.

[問題点を解決するための手段] この発明にがかるレーザ光源のスペクトル線幅測定装置
は、循環ループを含む光ファイバと光結合手段と位相シ
フト手段とで光フアイバリング干渉系を構成し、光ファ
イバの一端には被測定レーザ光源を、その他端には光検
知手段を結合し、被測定レーザ光源からの光を光ファイ
バに結合し、この光の一部を光検出手段に結合しその残
りを循環ループに結合し、循環ループを1回循環してき
た光の一部を光結合手段に結合しその残りを再びこの循
環ループに結合して再循環させ、さらに2回循環してき
た光、3回循環してきた光などについても順次上記と同
様の動作を繰返させ、位相シフト手段により循環ループ
を伝搬する光の位相をシフトさせて光検出手段に結合さ
れる光を共振させ、光検出手段からの共振出力に応答し
てレーザ光源のスペクトル線幅を測定するようにしたち
のである。
[Means for Solving the Problems] A spectral linewidth measuring device for a laser light source according to the present invention configures an optical fiber ring interference system with an optical fiber including a circulation loop, an optical coupling means, and a phase shift means, and A laser light source to be measured is coupled to one end of the fiber, and a light detection means is coupled to the other end, the light from the laser light source to be measured is coupled to the optical fiber, a part of this light is coupled to the light detection means, and the remainder is coupled to the light detection means. is coupled to the circulation loop, a part of the light that has circulated through the circulation loop once is coupled to the optical coupling means, and the remainder is coupled to this circulation loop again for recirculation, and the light that has been circulated twice further, 3 The same operation as above is repeated sequentially for the circulating light, etc., and the phase shift means shifts the phase of the light propagating through the circulation loop, causing the light coupled to the light detection means to resonate, and the light to be coupled to the light detection means The spectral linewidth of the laser source is measured in response to the resonant output of the laser.

[作用] この発明においては、光結合手段により、被測定レーザ
光源からの光の一部、@環ループを1回循環してきた光
の一部、循環ループを2回循環してきた光の一部、・・
・が順次光検出手段に結合され、位相シフト手段により
循環ループを伝搬する光の位相をシフトさせて光検出手
段に結合される光を共振させる。
[Function] In this invention, a part of the light from the laser light source to be measured, a part of the light that has circulated once through the circular loop, and a part of the light that has circulated twice through the circular loop are connected to each other by the optical coupling means. ,...
are sequentially coupled to the photodetection means, and the phase shifting means shifts the phase of the light propagating through the circulation loop to cause the light coupled to the photodetection means to resonate.

[実施例] 以下、この発明の実施例を図によって説明する。[Example] Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、この発明の実施例であるレーザ光源のスペク
トル線幅測定装置の構成図である。初めにこの装置の構
成について説明する。図において、測定されるべぎレー
ザ光源13は短尺の単一モード光ファイバ10の一端に
結合されており、このファイバは光フアイバ方向性結合
器iに結合された後、循環ループ100を形成して再び
光フアイバ方向性結合器8に結合される。単一モード光
ファイバ10の他端は光検出器6に結合され、増幅器9
を介して出力端子14に接続される。光フアイバ方向性
結合器8は、レーザー光8113からの光の一部を光検
出器6に結合しその残りを単一モード光ファイバ10の
循環ループ100に結合し、この循環ループを循環して
きた光の一部を光検出器6に結合しその残りを再び循環
ループ100に結合する。光検出器6は単一モード光フ
ァイバ10を伝搬する光を受けてこれを光電変換する。
FIG. 1 is a block diagram of a spectral linewidth measuring device for a laser light source, which is an embodiment of the present invention. First, the configuration of this device will be explained. In the figure, a laser light source 13 to be measured is coupled to one end of a short single-mode optical fiber 10, which forms a circulation loop 100 after being coupled to an optical fiber directional coupler i. and is again coupled to the optical fiber directional coupler 8. The other end of the single mode optical fiber 10 is coupled to a photodetector 6 and an amplifier 9
It is connected to the output terminal 14 via. The optical fiber directional coupler 8 couples a portion of the light from the laser beam 8113 to the photodetector 6 and the remainder to the circulation loop 100 of the single mode optical fiber 10, through which it circulates. A portion of the light is coupled into the photodetector 6 and the remainder is coupled back into the circulation loop 100. The photodetector 6 receives light propagating through the single mode optical fiber 10 and photoelectrically converts it.

循環ループ100に関して位相変3m2111が設けら
れ”Cいる。位相変調器11は圧電素子を含み、これに
単一モード光ファイバ10の一部が巻付けられている。
A phase shifter 3m2111 is provided for the circulation loop 100. The phase modulator 11 includes a piezoelectric element, around which a portion of the single mode optical fiber 10 is wound.

位相変調器1]と接地間には信号発生器12が接続され
ている。単一モード光ファイバ10と光フアイバ方向性
結合器8と位相変調B11は光フアイバリング干渉系を
構成する。信号発生器12は三角波信号を発生する。位
相変調器11の圧電素子は三角波信号に応答してその寸
法が変化し、これによって単一モード光ファイバ10の
光路長を変化させ、循環ループ100を伝搬する光の位
相をシフトさせる。単一モード光フアイバ10の他端は
光検出器6に結合され、この検出器は増幅器9.出力端
子14を介して測定手段、たとえばオシロスコープ(図
示せず)に接続される。
A signal generator 12 is connected between the phase modulator 1] and ground. The single mode optical fiber 10, the optical fiber directional coupler 8, and the phase modulation B11 constitute an optical fiber ring interference system. Signal generator 12 generates a triangular wave signal. The piezoelectric element of phase modulator 11 changes its dimensions in response to the triangular wave signal, thereby changing the optical path length of single mode optical fiber 10 and shifting the phase of the light propagating through circulation loop 100. The other end of the single mode optical fiber 10 is coupled to a photodetector 6, which is coupled to an amplifier 9. It is connected via the output terminal 14 to a measuring means, for example an oscilloscope (not shown).

次にこの装置の動作について説明する。レーザ光源13
から出射された光は単一モード光ファイバ10に結合さ
れ、光フアイバ方向性結合器8によって、その一部は光
検出器6へ、その残りは単一モード光ファイバ10の循
環ループ100へと分けられる。循環ループ゛100を
循環してきた光は、再び光フアイバ方向性結合器8によ
ってその一部は光検出器6へ、その残りは再び循環ルー
プ100を伝搬する。このように、光検出器6へ到達す
る光は単一モード光ファイバ10の循環ループ100を
1回循環したもの、2回循環したもの。
Next, the operation of this device will be explained. Laser light source 13
The light emitted from the is coupled into a single mode optical fiber 10, and a part of it is sent to a photodetector 6 by an optical fiber directional coupler 8, and the rest is sent to a circulation loop 100 of the single mode optical fiber 10. Can be divided. A portion of the light that has circulated through the circulation loop 100 is propagated again to the photodetector 6 by the optical fiber directional coupler 8, and the rest is propagated through the circulation loop 100 again. In this way, the light reaching the photodetector 6 has been circulated once or twice through the circulation loop 100 of the single mode optical fiber 10.

3回循環したもの、・・・の加え合わされたものとなる
。したがって、光検出器6ではこれらの光の多重干渉が
生じ位相が揃ったときには鋭い共振を起こす。位相変調
器11で循環ループ100中を伝搬する光の位相を変化
させて、増幅器9出力をオシロスコープで観測すれば、
位相が共振条件を満したときに鋭い共振を示す様子が見
られる。第2図はこの様子を示したものである。
It is the sum of the three cycles of... Therefore, in the photodetector 6, multiple interference of these lights occurs and when the phases are aligned, a sharp resonance occurs. If we change the phase of the light propagating in the circulation loop 100 with the phase modulator 11 and observe the output of the amplifier 9 with an oscilloscope, we get
Sharp resonance can be seen when the phase satisfies the resonance conditions. Figure 2 shows this situation.

このような光フアイバリング干渉系の共振特性を表わす
ものとして、フィネスFがある。フィネスFは第2図の
共振ピーク間の間隔(Free3pectral ra
nae : F S R)と共振ピークの半値幅Δri
  を用いて、 F−FSR/Δf、    ・・・(1)と定義されて
いる。このフィネスFの値が大きいほど、光フアイバリ
ング干渉系の共振が鋭いことになる。
Finesse F is an expression of the resonance characteristics of such an optical fiber ring interference system. The finesse F is the interval between the resonance peaks in Figure 2 (Free3 pectral ra
nae: FSR) and the half width of the resonance peak Δri
Using this, it is defined as F-FSR/Δf, (1). The larger the value of finesse F, the sharper the resonance of the optical fiber ring interference system.

ここで、この干渉系の共振特性が十分鋭いものとして、
それを次式のようなローレンツ分布ンで近似する。
Here, assuming that the resonance characteristics of this interference system are sufficiently sharp,
It is approximated by the Lorentz distribution n as shown in the following equation.

φ、(r)− (ξ/π)/(ξ2+(f−fd)’)・・・(2)た
だし、ξ−c/(2FnL)−Δf、  /2テあり、
fは光の周波数、Cは光速、nは単一モード光ファイバ
10の屈折率、Lは単一モード光フアイバ10の循環ル
ープ100の長さ、toは共振周波数である。また、測
定されるべきレーザ光11113の発振スペクトルがロ
ーレンツ分布をしているとすれば、そのスペクトルは次
式で表わされる。
φ, (r) - (ξ/π)/(ξ2+(f-fd)')...(2) However, with ξ-c/(2FnL)-Δf, /2te,
f is the frequency of light, C is the speed of light, n is the refractive index of the single mode optical fiber 10, L is the length of the circulation loop 100 of the single mode optical fiber 10, and to is the resonant frequency. Further, if the oscillation spectrum of the laser beam 11113 to be measured has a Lorentz distribution, the spectrum is expressed by the following equation.

φt<r>−<γ/π)/(γ2+72)・・・(3)
ただし、γ−Δ「L/2であり、Δrb  はレーザ光
1[13のスペクトルの半値幅である。(3)式のよう
な拡がりを持つレーザ光を、(2)式で表わされるよう
な共振特性を持つ光フアイバリング干渉系に入射させた
ときの共振特性は、〈2)式と(3)式の相関をとるこ
とにより得られる。
φt<r>-<γ/π)/(γ2+72)...(3)
However, γ-Δ'L/2, and Δrb is the half-width of the spectrum of laser light 1 [13]. The resonance characteristics when the light is incident on an optical fiber ring interference system having resonance characteristics can be obtained by correlating the equations (2) and (3).

すなわち、 φ<t > −5p、<δ)・φL(δ−f)dδ−(
(ξ+γ)/π)・[1/((ξ +7)’+(f−ro)’)]   −<4)となる。
That is, φ<t > −5p, <δ)・φL(δ−f)dδ−(
(ξ+γ)/π)·[1/((ξ +7)'+(f-ro)')] -<4).

この式から、測定されるべきレーザ光源13のスペクト
ル拡がりを考慮したこの干渉系のフィネスF−は次式で
表わされる。
From this equation, the finesse F- of this interference system in consideration of the spectrum spread of the laser light source 13 to be measured is expressed by the following equation.

F−−(c/nL)/2(ξ+γ) −c  F/ (Fn  LΔh+c  )   ・(
5)(5)式より、予めこの干渉系のフィネスFがわか
っていれば、F′を測定することにより、測定されるべ
きレーザ光8113のスペクトルの半値幅Δ「ムが求ま
ることになる。フィネスFはスペクトル線幅の非常に狭
いレーザ光源、たとえばHe−Neレーザを用いたとき
の共振特性から求めることができる。
F−-(c/nL)/2(ξ+γ) −c F/ (Fn LΔh+c) ・(
5) From equation (5), if the finesse F of this interference system is known in advance, by measuring F', the half-width Δ'' of the spectrum of the laser beam 8113 to be measured can be found. The finesse F can be determined from the resonance characteristics when a laser light source with a very narrow spectral linewidth, such as a He-Ne laser, is used.

なお、上記実IIIPjI4ではレーザ光源と単一モー
ド光ファイバとを直接結合させているが、単一モード光
ファイバ端面からの反射光が問題になる場合には、レー
ザ光源と単一モード光ファイバの間にアイソレークを挿
入して、レーザ光源への戻り光をなくす必要がある。
In addition, in the above-mentioned practical IIIPjI4, the laser light source and the single mode optical fiber are directly coupled, but if the reflected light from the end face of the single mode optical fiber becomes a problem, the laser light source and the single mode optical fiber are coupled directly. It is necessary to insert an isolake in between to eliminate light returning to the laser light source.

また、上記実施例では通常の単一モード光ファイバを使
用しているが、偏波面保存光ファイバを使用してもよい
Further, although a normal single mode optical fiber is used in the above embodiment, a polarization maintaining optical fiber may also be used.

[発明の効果] 以上のようにこの発明によれば、光ファイバリング干渉
系?用いてそのフィネスからレーザ光源のスペクトル線
幅を測定しているため、測定装置がコンパクトとなり、
またレーザ光源のスペクトル線幅を容易かつ高精度に測
定することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, an optical fiber ring interference system? Since the spectral line width of the laser light source is measured from the finesse of the
Furthermore, the spectral linewidth of a laser light source can be measured easily and with high precision.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明の実施例であるレーザ光源のスペク
トル線幅測定装置の構成図である。 第2図は、この発明において、共振条件を満したときの
増幅器出力をオシロスコープで観測した様子を示す図で
ある。 第3図は、従来のレーザ光源のスペクトル線幅測定装置
の構成図である。 図において、1は半導体レーザ(LD>光源、2a、2
b、2cはレンズ、3a、3bはビームスプリッタ、4
は超音波光変調器、5.10は単一モード光ファイバ、
50.100は循環ループ、6は光検出器、7はスペク
トルアナライザ、8は光フアイバ方向性結合器、9は増
幅器、11は位相変:iia、12は信号発生器、13
はレーザ光源である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人   大  岩  増  雄 石2図 4L慣 第3目 jO: 祷り乳レーア+ 手続補正書(自発)
FIG. 1 is a block diagram of a spectral linewidth measuring device for a laser light source, which is an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing an oscilloscope observation of the amplifier output when resonance conditions are satisfied in the present invention. FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional spectral linewidth measuring device for a laser light source. In the figure, 1 is a semiconductor laser (LD>light source, 2a, 2
b, 2c are lenses, 3a, 3b are beam splitters, 4
is an ultrasonic optical modulator, 5.10 is a single mode optical fiber,
50.100 is a circulation loop, 6 is a photodetector, 7 is a spectrum analyzer, 8 is an optical fiber directional coupler, 9 is an amplifier, 11 is a phase shifter: IIA, 12 is a signal generator, 13
is a laser light source. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Agent Masu Oiwa Oishi 2 figure 4L practice 3rd jO: Prayer Milk Leah + Procedural amendment (voluntary)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 そのスペクトル線幅が測定されるべきレーザ光源と、 その一端が前記レーザ光源に結合され、該レーザ光源か
らの光を伝搬させる、循環ループを含む光ファイバと、 前記光ファイバの他端に結合され、前記光ファイバを伝
搬する前記光を受けて光電変換する光検出手段と、 前記光ファイバに関して設けられ、前記レーザ光源から
の光の一部を前記光検出手段に結合しその残りを前記循
環ループに結合し、該循環ループからの光の一部を前記
光検出手段に結合しその残りを再び前記循環ループに結
合する光結合手段と、前記光ファイバの前記循環ループ
に関して設けられ、前記光検出手段に結合される前記光
を共振させるように、前記循環ループを伝搬する前記光
の位相をシフトする位相シフト手段と、 前記光検出手段からの共振出力に応答して、前記レーザ
光源のスペクトル線幅を測定する測定手段とを備えたレ
ーザ光源のスペクトル線幅測定装置。
What is claimed is: a laser light source whose spectral linewidth is to be measured; an optical fiber that includes a circular loop, one end of which is coupled to the laser light source and that propagates light from the laser light source; a photodetector coupled to the other end of the optical fiber for receiving and photoelectrically converting the light propagating through the optical fiber; and a photodetector provided for the optical fiber for coupling a part of the light from the laser light source to the photodetector. optical coupling means for coupling the remainder to said circulation loop, for coupling a portion of the light from said circulation loop to said light detection means and for coupling the remainder back to said circulation loop; phase shifting means for shifting the phase of the light propagating through the circulation loop so as to cause the light coupled to the light detection means to resonate; in response to a resonant output from the light detection means; A spectral linewidth measuring device for a laser light source, comprising: a measuring means for measuring the spectral linewidth of the laser light source.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6263824A (en) * 1985-08-12 1987-03-20 Yokogawa Electric Corp Optical spectrum width measuring instrument

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JPS6263824A (en) * 1985-08-12 1987-03-20 Yokogawa Electric Corp Optical spectrum width measuring instrument

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