JPS6116552U - 集積回路製造用マスク基板 - Google Patents

集積回路製造用マスク基板

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Publication number
JPS6116552U
JPS6116552U JP1984100685U JP10068584U JPS6116552U JP S6116552 U JPS6116552 U JP S6116552U JP 1984100685 U JP1984100685 U JP 1984100685U JP 10068584 U JP10068584 U JP 10068584U JP S6116552 U JPS6116552 U JP S6116552U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
circuit manufacturing
mask substrate
oblique cross
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP1984100685U
Other languages
English (en)
Inventor
公一 菅谷
博幸 石川
Original Assignee
旭硝子株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のガラス基板およびノツチマーク部分を
示す説明図であり、ａは膜付け面と反対側の面からみた
平面図、ｂは側面図、Ｃはノッチマーク面を模式化し拡
大した側面図である。 第２図は従来のガラス基板およびノッチマーク部分を示
す説明図であり、ａは膜付け面と反対側の面からみた平
面図、ｂは側面図、Ｃはノッチマーク面を模式化し拡大
した側面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・金属クロムなどの遮光
、．膜、３・・・ノッチマークの面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 多角形のガラス基板の平面のコーナー部の少なくとも一
    箇所を斜断してなる斜断面を有する集積回路製造用マス
    ク基板において、前記斜断面を鏡面仕上げしてなるノツ
    チマークを設けたことを特徴とする集積回路製造用マス
    ク基板。
JP1984100685U 1984-07-05 1984-07-05 集積回路製造用マスク基板 Pending JPS6116552U (ja)

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JPS6116552U true JPS6116552U (ja) 1986-01-30

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55146928A (en) * 1979-05-02 1980-11-15 Ulvac Corp Manufacturing of photomask substrate
JPS58144829A (ja) * 1982-02-22 1983-08-29 Hoya Corp フオトマスクブランクス用基板のマ−キング方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55146928A (en) * 1979-05-02 1980-11-15 Ulvac Corp Manufacturing of photomask substrate
JPS58144829A (ja) * 1982-02-22 1983-08-29 Hoya Corp フオトマスクブランクス用基板のマ−キング方法

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