JPS61164282A - Excimer laser - Google Patents
Excimer laserInfo
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- JPS61164282A JPS61164282A JP557985A JP557985A JPS61164282A JP S61164282 A JPS61164282 A JP S61164282A JP 557985 A JP557985 A JP 557985A JP 557985 A JP557985 A JP 557985A JP S61164282 A JPS61164282 A JP S61164282A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ出力とレーザ管に供給される電力との
相関特性を用いてレーザ装置の出力を制御するエキシマ
レーザ装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to an excimer laser device that controls the output of a laser device using a correlation characteristic between laser output and power supplied to a laser tube.
（従来の技術）
エキシマレーザ装置は、エキシマ分子が励起準位から基
底準位に遷移するとき得られるレーザで、紫外から真空
紫外域で高出力パルス光を高い効率で得ることができる
。(Prior Art) An excimer laser device is a laser that is generated when excimer molecules transition from an excited level to a ground level, and can generate high-output pulsed light with high efficiency in the ultraviolet to vacuum ultraviolet region.
そのため、近年エキシマレーザ装置は癌の診断とか治療
のような医療の分野とか、ウラン（Ｕ２３５）の精製な
どの多方面の分野において着目され、一部実施されてい
る。Therefore, in recent years, excimer laser devices have attracted attention in various fields such as the medical field such as cancer diagnosis and treatment, and the purification of uranium (U235), and have been partially implemented.
癌の診断とか治療のために安定した出力が得られるエキ
シマレーザ装置が強く求められている。There is a strong demand for excimer laser devices that can provide stable output for cancer diagnosis and treatment.
ウラン（Ｕ２３５）を効率良く濃縮するためにも、同様
に出力の安定したエキシマレーザ装置が必要である。In order to efficiently enrich uranium (U235), an excimer laser device with stable output is also required.
しかし、現在までに知られているエキシマレーザ装置の
出力の安定度は余り良くない。However, the output stability of the excimer laser devices known up to now is not very good.
特に電源電圧変動の影響を受けやすく、電源電圧が±５
％変化するとＩ／−ザ出力は±１２％変化する。したが
って、出力変動を±１％以下とするには、電源電圧変動
は±０．４％以下にしなければならない。It is particularly susceptible to power supply voltage fluctuations, and the power supply voltage is ±5
% change, I/-the output changes by ±12%. Therefore, in order to keep the output variation below ±1%, the power supply voltage variation must be kept below ±0.4%.
（発明が解決し５ようとする問題点）
本発明は、前述したエキシマレーザ装置の出力の不安定
要因の主たるものが、電源の変動等に原因する供給電力
の変動にあることに着目して、前記問題を解決するもの
である。(Problems to be Solved by the Invention) The present invention focuses on the fact that the main cause of instability in the output of the excimer laser device described above is fluctuations in the power supply caused by fluctuations in the power supply, etc. , which solves the above problem.
本発明の目的は電源装置を制御することにより出力の安
定したエキシマレーザ装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an excimer laser device with stable output by controlling a power supply device.
（問題を解決するための手段）
前記目的を達成するために本発明によるエキシマレーザ
装置は、電源電圧を昇圧整流し、主コンデンサに放電電
荷を充電する電源装置と、出力レーザ取り出しミラー、
反射ミラー、前記ミラー間に配置されたガスが充填され
前記主コンデンサに蓄積させられた電力によりレーザ発
光させられるエキシマレーザ管とからなるエキシマレー
ザ装置において、前記いずれか一方のミラーを透過した
レーザ発光を検出する検出器と、前記検出器の出力を基
準値と比較して差の出力を発生ずる比較増幅回路と、前
記比較増幅回路の出力により前記電源装置の主コンデン
サの充電電荷量を一定に保つように制御する電源制御装
置から構成されている。(Means for Solving the Problem) In order to achieve the above object, an excimer laser device according to the present invention includes a power supply device that boosts and rectifies a power supply voltage and charges a main capacitor with a discharge charge, an output laser extraction mirror,
In an excimer laser device comprising a reflecting mirror and an excimer laser tube filled with gas and emitted by the electric power stored in the main capacitor, the laser emitted through one of the mirrors. a detector that detects the output of the power source; a comparison amplifier circuit that compares the output of the detector with a reference value to generate a difference output; and a constant amount of charge in the main capacitor of the power supply device by the output of the comparison amplifier circuit. It consists of a power supply control device that controls the
（実施例）
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings and the like.
第１図は、本発明によるエキシマレーザ装置の実施例を
示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an excimer laser device according to the present invention.
第２図に電源制御回路の回路図、第３図にエキシマレー
ザ装置の電源装置の回路図およびレーザ管の断面図を示
す。FIG. 2 shows a circuit diagram of a power supply control circuit, and FIG. 3 shows a circuit diagram of a power supply device of an excimer laser device and a sectional view of a laser tube.
エキシマレーザ管１は第１図に示されているように、出
力レーザ取り出しミラー２と反射ミラー３の間に配置さ
れている。The excimer laser tube 1 is arranged between an output laser extraction mirror 2 and a reflection mirror 3, as shown in FIG.
エキシマレーザ装置において、通常レーザ光取り出しの
出力透過ミラーは、反射コーティングがなされ、透過率
が７０％位以上の高い透過率のものが用いられている。In an excimer laser device, the output transmission mirror for extracting laser light is usually coated with a reflective coating and has a high transmittance of about 70% or more.
なお、コーティングの施されていない石英板が用いられ
ることもある。Note that an uncoated quartz plate may be used.
これに対する反射ミラー３は、できる限り高い反射率を
有するものが要求される。In contrast, the reflecting mirror 3 is required to have as high a reflectance as possible.
しかし、紫外域でのミラー膜作成は困難であって、通常
、わずかなレーザ光の透過が認められる。However, it is difficult to create a mirror film in the ultraviolet region, and a small amount of laser light is usually transmitted.
そして、これ等の２つのミラーを透過するレーザ光のエ
ネルギーの変動は、比例していると考えて良い。It can be considered that the fluctuations in energy of the laser light transmitted through these two mirrors are proportional.
この実施例では、反射ミラー３の背後に検出器４を配置
することにより、レーザ光出力に比例するエネルギーを
検出している。In this embodiment, a detector 4 is placed behind the reflecting mirror 3 to detect energy proportional to the laser light output.
検出器４として、熱エネルギー検出のサーモバイルを用
いる。As the detector 4, a thermal energy detection thermomobile is used.
熱エネルギー検出のサーモバイルを用いるのは、エキシ
マレーザを高い繰り返しで動作するときに、各パルスの
光エネルギーを検出するよりも、例えば、−秒間の全エ
ネルギー（−平均出力、平均出力＝パルス繰り返し数Ｆ
ＸＩパルスエネルギー）を検出する方が簡便であるから
である。Using a thermal energy sensing thermomobile is useful when operating an excimer laser at high repetition rates, rather than detecting the optical energy of each pulse, e.g. - total energy per second (- average power, average power = pulse repetition Number F
This is because it is easier to detect XI pulse energy).
検出器４であるサーモパイルの出力信号は、レーザ光出
力に比例するＤＣ信号である。The output signal of the thermopile, which is the detector 4, is a DC signal proportional to the laser light output.
この出力は比較増幅回路５により、処理されて基準レベ
ル（レーザ管の出力制御目的値）との差に。This output is processed by a comparison amplifier circuit 5 to produce a difference from a reference level (target value for output control of the laser tube).
相当する信号が電源制御回路９に接続される。A corresponding signal is connected to the power supply control circuit 9.
比較増幅回路５は増幅器６と基準電圧源７と差動増幅器
８から構成されている。The comparison amplifier circuit 5 is composed of an amplifier 6, a reference voltage source 7, and a differential amplifier 8.
検出器４の出力は増幅器６により増幅され、差動増幅器
８の非反転入力端子に接続されている。The output of the detector 4 is amplified by an amplifier 6 and connected to a non-inverting input terminal of a differential amplifier 8.
差動、増幅器８の他の入力端子には、希望するレーザ出
力値に対応する直流電圧が基準電圧源７により接続され
ている。A DC voltage corresponding to a desired laser output value is connected to the other input terminal of the differential amplifier 8 by a reference voltage source 7.
今、レーザ出力が低下して、増幅器６の出力がこの直流
電圧より低下すると、差動増幅器８の出力端子にその低
下の度合に対応する大きさの負の出力信号が現れ、何等
かの理由によりレーザ出力が上昇して、増幅器６の出力
がこの直流電圧より増加すると、差動増幅器８の出力端
子にその」二昇の度合に対応する大きざの正の出力信号
が現れる。Now, when the laser output decreases and the output of the amplifier 6 decreases below this DC voltage, a negative output signal with a magnitude corresponding to the degree of decrease appears at the output terminal of the differential amplifier 8. When the laser output increases and the output of the amplifier 6 increases above this DC voltage, a positive output signal with a magnitude corresponding to the degree of increase appears at the output terminal of the differential amplifier 8.
この出力信号は、電源制御回路に接続されている。This output signal is connected to a power supply control circuit.
第２図に電源制御回路の回路図を示す。Figure 2 shows a circuit diagram of the power supply control circuit.
比較増幅回路５の差動増幅器８から負の出力信号が現れ
ると、その出力はダイオードＤ１を介してリレー９１に
供給され、サーボモータ９５は、後述する主コンデンサ
の充電電圧を」二昇させる第１の方向に回転させられる
。また、正の出力信号が現れると、その出力はダイオー
ドＤ２を介してリレー９２に供給され、サーボモータ９
５は、後述する主コンデンサの充電電圧を下降させる第
２の方向に回転させられる。When a negative output signal appears from the differential amplifier 8 of the comparison amplifier circuit 5, the output is supplied to the relay 91 via the diode D1, and the servo motor 95 increases the charging voltage of the main capacitor, which will be described later. 1 direction. Also, when a positive output signal appears, the output is supplied to the relay 92 via the diode D2, and the servo motor 9
5 is rotated in a second direction to lower the charging voltage of the main capacitor, which will be described later.
このサーボモータ９５の前記第１の方向の回転により、
第３図に示す電源装置１０のスライドＩ・ランス１０１
のスライド端子１０２は、図中上方向に移動させられ、
前記第２の方向の回転により下方向に移動させられる。By rotating the servo motor 95 in the first direction,
Slide I lance 101 of the power supply device 10 shown in FIG.
The slide terminal 102 is moved upward in the figure,
The rotation in the second direction causes it to move downward.
前記スライド端子１０２は昇圧トランス１０４の一次側
に接続されており、昇圧トランス１０４ば前記スライド
端子１０２により接続された電圧を昇圧する。The slide terminal 102 is connected to the primary side of a step-up transformer 104, and the step-up transformer 104 boosts the voltage connected by the slide terminal 102.
主コンデンサ１０７と充電コイル１０８に並列に接続さ
れているサイラトロン１０９ばｌ・リガ電圧が印加され
る前は不導通状態にある。The thyratron 109 connected in parallel to the main capacitor 107 and the charging coil 108 is in a non-conducting state before the voltage is applied.
昇圧トランス１０４の二次側の電圧は全波整流器１０５
により整流され、充電抵抗１０６、充電コイル１０８を
介して主コンデンサ１０７に充電される。The voltage on the secondary side of the step-up transformer 104 is transferred to a full-wave rectifier 105.
The main capacitor 107 is charged via the charging resistor 106 and the charging coil 108.
主コンデンサ１０７の電荷ば、ザイラトロン１０９のト
リガ入力端子１１０に約１０００Ｖのトリガパルス信号
を入力すると、サイラトロン１０９が通電する。その結
果、主コンデンサ１０７の電荷はレーザ管１内のピーキ
ングコンデンザ１４に乗り移る。When the main capacitor 107 is charged, a trigger pulse signal of about 1000 V is input to the trigger input terminal 110 of the zyratron 109, and the thyratron 109 is energized. As a result, the charge in the main capacitor 107 is transferred to the peaking capacitor 14 inside the laser tube 1.
このコンデンサ電荷が放電ギヤ・７プ１５を通過しく８
）
た後に、電極１２．１３間のレーザガス中で放電するこ
とによってレーザ光が得られる。This capacitor charge does not pass through the discharge gear 7 and 15.
) After that, laser light is obtained by discharging in the laser gas between the electrodes 12,13.
レーザ管１内には、レーザガス（ＨＯ２： Ｘｅ ：Ｈ
ｅ ＝ ０．１％：１．０％：９８．９％、全圧力２．
５気圧）が封入されており、電極１．２．１３は第３図
の紙面に垂直な方向に４Ｑｃｍの長さを持ち、それ等の
間隔は２ｃｍである。Inside the laser tube 1, a laser gas (HO2:Xe:H
e = 0.1%: 1.0%: 98.9%, total pressure 2.
5 atmospheres), the electrodes 1, 2, 13 have a length of 4 Q cm in the direction perpendicular to the plane of the paper of FIG. 3, and the spacing between them is 2 cm.
また、電極１２．１３間の放電の前に放電ギャップ１５
（これも紙面に対して垂直に複数個電極１２．１３に
沿って配置されている）での放電により、発生した紫外
光によって電極１２．１３間のレーザガスが電離される
ので、電極１２．１３間の放電では高圧ガスでありなが
ら空間的に一様なグロー放電となり、強いレーザ発振が
得られる。Also, before the discharge between the electrodes 12 and 13, the discharge gap 15
(A plurality of electrodes 12.13 are also arranged perpendicular to the plane of the paper.) The generated ultraviolet light ionizes the laser gas between the electrodes 12.13. In the discharge between the two, it becomes a spatially uniform glow discharge even though it is a high-pressure gas, and strong laser oscillation can be obtained.
この場合のＸｅＣβのエキシマレーザの波長は３０８ｎ
ｍである。In this case, the wavelength of the XeCβ excimer laser is 308n
It is m.
レーザ出力は、レーザ管構造、ガス状態が定まれば主コ
ンデンサ１０７に充電されるエネルギーによって定めら
れる。The laser output is determined by the energy charged in the main capacitor 107 once the laser tube structure and gas conditions are determined.
第４図に、主コンデンサ１０７の充電電圧■０を変化さ
せたときのレーザ出力の変化を示す。FIG. 4 shows the change in laser output when the charging voltage 0 of the main capacitor 107 is changed.
レーザ出力としては、繰り返し周波数Ｆ ＝ ３０ Ｈ
ｚで放電したときの平均出力を示しである（透過率７５
％のミラー使用）。As for laser output, repetition frequency F = 30 H
This shows the average output when discharging at z (transmittance 75
% mirror usage).
第４図に示した電圧範囲では、電圧■０とレーザ出力は
直線的に対応している。In the voltage range shown in FIG. 4, the voltage ■0 and the laser output correspond linearly.
さらに高い電圧■０に対しては、出力が飽和したり下降
するので、ｖＯとレーザ出力は一義的に定まらなくなる
。この実施例は前記電圧■０とレーザ出力の直線的に対
応する領域で前記主コンデンサ１０７の電圧を制御して
いる。For an even higher voltage (1)0, the output saturates or decreases, so that vO and laser output are no longer uniquely defined. In this embodiment, the voltage of the main capacitor 107 is controlled in a region linearly corresponding to the voltage 0 and the laser output.
次に、数値例を示して前記エキシマレーザ装置の動作を
説明する。Next, the operation of the excimer laser device will be explained using numerical examples.
レーザ管１のガス条件は前述したとおりである。The gas conditions for the laser tube 1 are as described above.
ミラー２．ミラー３の透過率はそれぞれ７５％。Mirror 2. The transmittance of mirror 3 is 75%.
５％である。It is 5%.
主コンデンサ１０７の充電電圧Ｖｏ＝２０ＫＶとすると
き、反射ミラー２を透過して得られるレーザ出力は１．
５Ｗとなる（第４図参照）。When the charging voltage Vo of the main capacitor 107 is 20 KV, the laser output obtained by passing through the reflecting mirror 2 is 1.
5W (see Figure 4).
このとき、検出器（サーモバイル）４には０．ＩＷのレ
ーザ光が入射する。At this time, the detector (thermobile) 4 has 0. IW laser light is incident.
検出器４の熱起電力は、増幅器６によって１００ｍＶに
増幅されて、差動増幅器８の非反転入力端子に入力され
る。The thermoelectromotive force of the detector 4 is amplified to 100 mV by the amplifier 6 and input to the non-inverting input terminal of the differential amplifier 8.
差動増幅器８の一方の反転入力端子には、１００ｍＶの
直流電圧が接続されている。A DC voltage of 100 mV is connected to one inverting input terminal of the differential amplifier 8.
レーザ出力が１．５Ｗより低下したときには、差動増幅
器８の非反転入力端子電圧１００ｍＶより低下するので
、差動増幅器８の出力は負電位となる。When the laser output falls below 1.5W, the voltage at the non-inverting input terminal of the differential amplifier 8 falls below 100 mV, so the output of the differential amplifier 8 becomes a negative potential.
その結果、リレー９１が動作してザーボモータ９５はス
ライドトランスの摺動端子１０２の電圧■１を上昇する
方向に移動させる。As a result, the relay 91 operates and the servo motor 95 moves the voltage (1) of the sliding terminal 102 of the slide transformer in the direction of increasing it.
これにより昇圧トランス１０４の二次側電圧Ｖ２が上昇
するので、結局、主コンデンサ１０７の充電電圧■０も
」二昇して、レーザ出力を増加させる。As a result, the secondary side voltage V2 of the step-up transformer 104 increases, and as a result, the charging voltage V2 of the main capacitor 107 also increases by 2, increasing the laser output.
この動作はレーザ出力が１．５Ｗになって、差動増幅器
８の出力がＯになるまで続き、０になったときに停止す
る。This operation continues until the laser output becomes 1.5 W and the output of the differential amplifier 8 becomes O, and stops when it becomes O.
レーザ出力が１．５Ｗより増大したときには、差動増幅
器８の出力電位が正となり、リレー９２が動作して、ザ
ーボモークの回転によってスライドトランス１０１の摺
動端子１０２の電圧Ｖ１および高電圧トランス〕０４の
二次側電圧ｖ２、および主コンデンサ１０７の充電電圧
■０を減少させる。When the laser output increases from 1.5W, the output potential of the differential amplifier 8 becomes positive, the relay 92 operates, and the rotation of the servomoke increases the voltage V1 of the sliding terminal 102 of the slide transformer 101 and the high voltage transformer]04 The secondary voltage v2 of the main capacitor 107 and the charging voltage ■0 of the main capacitor 107 are decreased.
これにより、レーザ出力は１．５Ｗまで低下し、１゜５
Ｗの出力でザーボモーク９５の回転は停止する。As a result, the laser power decreased to 1.5W, and the
The rotation of the servomoke 95 is stopped by the output of W.
（変形例）
以上詳しく説明した実施例について本発明の範囲で種々
の変形を施すことができる。(Modifications) Various modifications can be made to the embodiments described in detail above within the scope of the present invention.
前記実施例では、検出器にサーでパイルを使用したが、
サーモバイルだけではなく、他の検出素子、例えばシリ
コンのホＩ・セルを使うことも可能である。In the above embodiment, a pile was used for the detector, but
In addition to thermomobiles, it is also possible to use other detection elements, for example silicon H-I cells.
この場合には、光電流、あるいはこれを電圧変換して得
られる電圧はパルスであるので、ピークボールド回路で
パルスのピーク値をホールドしてＤＣ信号に変換して、
差動増幅器８に入力すれば良い。In this case, since the photocurrent or the voltage obtained by converting it into a voltage is a pulse, the peak value of the pulse is held in a peak bold circuit and converted to a DC signal.
It is sufficient to input it to the differential amplifier 8.
（発明の効果）
本発明によるエキシマレーザ装置は、ミラーを透過した
レーザ発光を検出器により検出し、これを比較増幅回路
、電源制御装置を介して電源に負帰還しているから、レ
ーザ出力を一定に保つことができる。(Effects of the Invention) The excimer laser device according to the present invention detects the laser emission transmitted through the mirror with a detector, and feeds it back negatively to the power supply via the comparison amplifier circuit and the power supply control device, so that the laser output can be controlled. can be kept constant.
本発明によるエキシマレーザ装置の制御系は、全システ
ムのループにより形成されているから、電源変動のみな
らず、他の要因による変動に対しても安定化を計ること
ができる。Since the control system of the excimer laser device according to the present invention is formed by a loop of the entire system, it can be stabilized not only against fluctuations in the power supply but also against fluctuations due to other factors.
前記構成により、出力の安定なエキシマレーザを供給す
ることができ、次のような応用が期待される。With the above configuration, an excimer laser with stable output can be provided, and the following applications are expected.
■エキシマレーザ励起色素レーザ光をＨＰＤ（ヘマトポ
ルフィリン誘導体）を用いた光化学反応による癌の診断
、治療に使う応用において、エキシマレーザ出力が安定
することによって、１、隔部から安定した赤色螢光が得
られるので、正確かつ迅速な診断が可能となる。■In applications where excimer laser-excited dye laser light is used for cancer diagnosis and treatment through photochemical reactions using HPD (hematoporphyrin derivatives), by stabilizing the excimer laser output, 1. stable red fluorescence is emitted from the septum; This enables accurate and rapid diagnosis.
２．１０〜２０分間の治療中に、全照射レーザ光エネル
ギーが正しく把握できるので、信頼性が高くかつ再現性
の大ぎい治療が期待できる。2. Since the total irradiated laser light energy can be accurately determined during the 10 to 20 minute treatment, highly reliable and highly reproducible treatment can be expected.
■天然ウランをエキシマレーデを用いてウラン２３５の
同位体を濃縮する応用において、ウラン２３５の収集が
正確に行なえる。■Uranium-235 can be collected accurately in applications where natural uranium is enriched with uranium-235 isotopes using excimerade.
■その他エキシマレーザの光出力の安定性が問題とされ
る分野（光化学反応、光ＣＶＤ、光エッチング、分光測
光等）で有効である。■It is effective in other fields where the stability of the light output of excimer lasers is a problem (photochemical reactions, photo-CVD, photo-etching, spectrophotometry, etc.).
第１図は、本発明によるエキシマレーザ装置の実施例を
示すブロック図である。
第２図は、電源制御回路の実施例を示す回路図である。
第３図は、主として前記電源装置の実施例を示す回路図
である。
第４図は、前記エキシマレーザ装置の電源装置の主コン
デンサに充電された電圧とエキシマレーザ装置の平均出
力の関係を示すグラフである。
１・・・エキシマレーザ管
１２．１３・・・エキシマレーザ管の放電電極１４・・
・ピーキングコンデンサ
１５・・・放電ギャップ
２・・・出力取り出しミラー
３・・・反射ミラー
４・・・検出器
５・・・比較増幅回路
６・・・増幅器
７・・・基準電圧
８・・・差動増幅器
９・・・電源入力制御装置
９１．９２・・・リレー
９５・・・サーボモーフ・
１０・・・エキシマレーザ管の電源
１０１・・・スライド！・ランス
１０２・・・スライドトランスの摺動端子１０４・・・
昇圧トランス
１０６・・・充電抵抗
１０７・・・主コンデンサ
１０８・・・充電コイル
１０９・・・サイラトロン
１１０・・・１−リガ入力端子FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an excimer laser device according to the present invention. FIG. 2 is a circuit diagram showing an embodiment of the power supply control circuit. FIG. 3 is a circuit diagram mainly showing an embodiment of the power supply device. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the voltage charged in the main capacitor of the power supply device of the excimer laser device and the average output of the excimer laser device. 1... Excimer laser tube 12.13... Excimer laser tube discharge electrode 14...
・Peaking capacitor 15...Discharge gap 2...Output take-out mirror 3...Reflection mirror 4...Detector 5...Comparison amplifier circuit 6...Amplifier 7...Reference voltage 8... Differential amplifier 9...Power input control device 91.92...Relay 95...Servomorph 10...Excimer laser tube power supply 101...Slide!・Lance 102... Sliding terminal 104 of slide transformer...
Step-up transformer 106...Charging resistor 107...Main capacitor 108...Charging coil 109...Thyratron 110...1-Riga input terminal
Claims (4)
を充電する電源装置と、出力レーザ取り出しミラー、反
射ミラー、前記ミラー間に配置されたガスが充填され前
記主コンデンサに蓄積させられた電力によりレーザ発光
させられるエキシマレーザ管とからなるエキシマレーザ
装置において、前記いずれか一方のミラーを透過したレ
ーザ発光を検出する検出器と、前記検出器の出力を基準
値と比較して差の出力を発生する比較増幅回路と、前記
比較増幅回路の出力により前記電源装置の主コンデンサ
の充電電荷量を一定に保つように制御する電源制御装置
から構成したことを特徴とするエキシマレーザ装置。(1) A power supply device that boosts and rectifies the power supply voltage and charges the main capacitor with discharged charge, an output laser extraction mirror, a reflection mirror, and the power that is filled with gas placed between the mirrors and stored in the main capacitor. An excimer laser device includes an excimer laser tube that emits laser light, and a detector that detects the laser light that has passed through one of the mirrors, and a difference output that compares the output of the detector with a reference value. 1. An excimer laser device comprising: a comparison amplification circuit that generates light; and a power supply control device that controls the charge amount of a main capacitor of the power supply device to be kept constant using the output of the comparison amplification circuit.
第１項記載のエキシマレーザ装置。(2) The excimer laser device according to claim 1, wherein the detector is a thermopile.
特許請求の範囲第１項記載のエキシマレーザ装置。(3) The excimer laser device according to claim 1, wherein the detector is arranged on the back surface of a reflecting mirror.
電圧を調整することにより前記電源装置の主コンデンサ
に充電される電圧を一定に制御する特許請求の範囲第１
項記載のエキシマレーザ装置。(4) The power supply control circuit controls the voltage charged in the main capacitor of the power supply device to a constant level by adjusting the voltage of the power supply connected to the power supply device.
The excimer laser device described in Section 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP557985A JPS61164282A (en) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | Excimer laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP557985A JPS61164282A (en) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | Excimer laser |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164282A true JPS61164282A (en) | 1986-07-24 |
| JPH0334874B2 JPH0334874B2 (en) | 1991-05-24 |
Family
ID=11615136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP557985A Granted JPS61164282A (en) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | Excimer laser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164282A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0511467U (en) * | 1991-07-24 | 1993-02-12 | 日新電機株式会社 | Excimer laser device |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4975092A (en) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS505344U (en) * | 1973-05-14 | 1975-01-21 | ||
| JPS5243982U (en) * | 1975-09-18 | 1977-03-29 | ||
| JPS5719432U (en) * | 1980-07-08 | 1982-02-01 | ||
| JPS57130487A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-12 | Asahi Optical Co Ltd | Setter for laser output |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5354023A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-17 | Mita Industrial Co Ltd | Improvement in electric recording method |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP557985A patent/JPS61164282A/en active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4975092A (en) * | 1972-11-20 | 1974-07-19 | ||
| JPS505344U (en) * | 1973-05-14 | 1975-01-21 | ||
| JPS5243982U (en) * | 1975-09-18 | 1977-03-29 | ||
| JPS5719432U (en) * | 1980-07-08 | 1982-02-01 | ||
| JPS57130487A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-12 | Asahi Optical Co Ltd | Setter for laser output |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0511467U (en) * | 1991-07-24 | 1993-02-12 | 日新電機株式会社 | Excimer laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0334874B2 (en) | 1991-05-24 |
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