JPS6115730U - 半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト - Google Patents

半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト

Info

Publication number
JPS6115730U
JPS6115730U JP9905284U JP9905284U JPS6115730U JP S6115730 U JPS6115730 U JP S6115730U JP 9905284 U JP9905284 U JP 9905284U JP 9905284 U JP9905284 U JP 9905284U JP S6115730 U JPS6115730 U JP S6115730U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
boat
raw material
epitaxial growth
liquid phase
phase epitaxial
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9905284U
Other languages
English (en)
Inventor
直之 山林
Original Assignee
住友電気工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 住友電気工業株式会社 filed Critical 住友電気工業株式会社
Priority to JP9905284U priority Critical patent/JPS6115730U/ja
Publication of JPS6115730U publication Critical patent/JPS6115730U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１〜３図は、本考案の半導体液相エピタキシャル成長
用ポートの一態様の断面図、第４図は、本考案の半一体
液相エピタキシャル成長用ボートの他の態様の断面図及
び第５図は従来の半導体液相エピタキシャル成長用ボー
トの断面図である。 １・・・メルト溜め、２・・・基板ホルダー、３・・・
メルトホルダー、４・・・原料、４′・・・使用後の原
料、５・・・仕切り板、６・・・基板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 使用後の原料を落し込むメルト溜めに仕切り板を設
    けたことを特徴とする半導体液相エビタキシャル成長用
    ボート。 ２ 仕切り板により分離されたメルト溜めの１つの槽に
    溜まり得る液体状原料の量がメルト溜めに一度に落とし
    込まれる原料の量とほぼ等しくなるよラに仕切り板が設
    けられている実用新案，登録請求の範囲第１項記載のボ
    ート。 ３ 仕切り板が複数個設けられており、それぞれの高さ
    を順次変えることにより既に溜まっている原料と次に落
    とし込まれる原料とが混合するのを防止する実用新案登
    録請求の範囲第１項または第２項記載のボート。
JP9905284U 1984-06-30 1984-06-30 半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト Pending JPS6115730U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9905284U JPS6115730U (ja) 1984-06-30 1984-06-30 半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9905284U JPS6115730U (ja) 1984-06-30 1984-06-30 半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6115730U true JPS6115730U (ja) 1986-01-29

Family

ID=30658568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9905284U Pending JPS6115730U (ja) 1984-06-30 1984-06-30 半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6115730U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01219430A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加熱調理器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01219430A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加熱調理器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6115730U (ja) 半導体液相エピタキシヤル成長用ボ−ト
JPS60155379U (ja) 傾斜皿
JPS6124472U (ja) 昇華式結晶成長装置
JPS626137Y2 (ja)
JPS6059528U (ja) 液相エピタキシアル成長装置
JPS603111Y2 (ja) 接着剤用容器
JPS59193870U (ja) 単結晶製造るつぼ
JPS58123832U (ja) サイロ
JPS60116232U (ja) 溶液圧入式結晶成長治具
JPS5914852U (ja) 擁壁花壇コンクリ−トブロツク
JPS5853136U (ja) 液相エピタキシヤル成長装置
JPS59123538U (ja) カ−トリツジ容器
JPS60144854U (ja) 植物栽培セツト
JPS58150994U (ja) 冷凍魚解凍装置
JPS62194766U (ja)
JPS60125870U (ja) 竿掛け付えさ箱
JPS5849790U (ja) 部品コンテナ
JPS60194946U (ja) コンバインにおける穀物収容装置
JPS595363U (ja) 消化日切り取り線付きの月別カレンダ−
JPS60105365U (ja) 容器ホルダ−
JPS59103183U (ja) 製氷皿
JPS6017675U (ja) ヤリイカ用魚礁
JPS58145622U (ja) 衛生材料用ブリスタ−パツク
JPS5852934U (ja) コンバインにおけるトツプサツカ−のオ−バ−フロ−籾回収機構
JPS6394976U (ja)