JPS6115703A - 排気装置 - Google Patents
排気装置Info
- Publication number
- JPS6115703A JPS6115703A JP13511684A JP13511684A JPS6115703A JP S6115703 A JPS6115703 A JP S6115703A JP 13511684 A JP13511684 A JP 13511684A JP 13511684 A JP13511684 A JP 13511684A JP S6115703 A JPS6115703 A JP S6115703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid nitrogen
- gas
- liquid
- trap
- cyclone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、エツチング装置に代表される半導体製造装置
において、特に液体窒素トラップへの液体窒素供給の安
定化に好適な排気装置に関するものである。
において、特に液体窒素トラップへの液体窒素供給の安
定化に好適な排気装置に関するものである。
工ヴチング装置の排気系に関する先行技術（特開昭５７
−１２０６７６号）には、液体窒素トラップによるガス
の吸着作用を利用した排気系の構成および反応生成物の
除去方法について開示されているが、液体窒素トラップ
への液体窒素の供給に関する問題を認識していない。す
なわち、液体窒素トラップへの供給口では気液混合状態
で導入されており、この状態では液滴の飛散によるレベ
ルセンサーの誤検出により液面調節が困難となり、液体
窒素の供給が不調となることがある。
−１２０６７６号）には、液体窒素トラップによるガス
の吸着作用を利用した排気系の構成および反応生成物の
除去方法について開示されているが、液体窒素トラップ
への液体窒素の供給に関する問題を認識していない。す
なわち、液体窒素トラップへの供給口では気液混合状態
で導入されており、この状態では液滴の飛散によるレベ
ルセンサーの誤検出により液面調節が困難となり、液体
窒素の供給が不調となることがある。
本発明の目的は、液体窒素トラップへの液体窒素の供給
を円滑に行ない、所定量を確保することによりトラップ
としての吸着能力の安定した排気装置を提供することに
ある。
を円滑に行ない、所定量を確保することによりトラップ
としての吸着能力の安定した排気装置を提供することに
ある。
上記液体窒素の供給不調は、気液混合状態の液体窒素を
液体窒素トラップの供給口直前で気液分離すれば改善さ
れることを見出し、本発明は、液体窒素トラップへの液
体窒素供給部に、例えばサイクロン等の気液分離器を設
けたものである。
液体窒素トラップの供給口直前で気液分離すれば改善さ
れることを見出し、本発明は、液体窒素トラップへの液
体窒素供給部に、例えばサイクロン等の気液分離器を設
けたものである。
以下、本発明の一実施例を第１〜５図により説明する。
第１図に示すように、処理室ｌに連結される本発明の排
気装置は、圧力調節弁２．閉止弁３、ヒータ４を設置し
た液体窒素トラップ９．閉止弁１０．油回転真空ポンプ
校、サイクロン５．レベルセンサー７、閉止弁６，８．
１３よ、り構成されている。
気装置は、圧力調節弁２．閉止弁３、ヒータ４を設置し
た液体窒素トラップ９．閉止弁１０．油回転真空ポンプ
校、サイクロン５．レベルセンサー７、閉止弁６，８．
１３よ、り構成されている。
以下、Ｍエツチング装置としての動作について説明する
。処理室ｌに導入されたエッチングガスプ Ｂ ＣＺ３ 、ＣＣ４、Ｓ ＋ Ｃ４などは液体窒素ト
ラック９で捕集され、一部非凝縮ガスは油回転真空ポン
プ１２により排気ダクト１１を経て排出される。このと
き、圧力コントロールは圧力調節弁２Ｉこより行なわれ
、閉止弁３，１０は開で閉止弁８，１３は閉である。
。処理室ｌに導入されたエッチングガスプ Ｂ ＣＺ３ 、ＣＣ４、Ｓ ＋ Ｃ４などは液体窒素ト
ラック９で捕集され、一部非凝縮ガスは油回転真空ポン
プ１２により排気ダクト１１を経て排出される。このと
き、圧力コントロールは圧力調節弁２Ｉこより行なわれ
、閉止弁３，１０は開で閉止弁８，１３は閉である。
液体窒素トラップ９の吸着能力が低下し、凝縮性ガスが
油回転真空ポンプ稔を通過するようになる前に、液体窒
素トラップ９の再生作業を行なう。
油回転真空ポンプ稔を通過するようになる前に、液体窒
素トラップ９の再生作業を行なう。
この再生作業は、閉止弁３，１０を閉じて閉止弁８を開
き、液体窒素トラップ９内が大気圧になってから閉止弁
１３を開（もので、この状態でヒーター４をオンにして
液体窒素トラップ９に吸着されたガスを焼き出すことに
より再生が行なわれる。
き、液体窒素トラップ９内が大気圧になってから閉止弁
１３を開（もので、この状態でヒーター４をオンにして
液体窒素トラップ９に吸着されたガスを焼き出すことに
より再生が行なわれる。
以上の吸着再生が繰返して行なわれる訳であるが、吸着
動作時には吸着能力の維持を図るために、液体窒素トラ
ップ９への液体窒素の供給を円滑に行ない所定員を確保
しなければならない。
動作時には吸着能力の維持を図るために、液体窒素トラ
ップ９への液体窒素の供給を円滑に行ない所定員を確保
しなければならない。
そこで、本発明は第１図に示すように液体窒素供給口直
前に気液分離を行なうサイクロン５を設けたものであり
、それにより液体窒素トラップ９への液体窒素の供給が
、気液混合状態であっても液体窒素トラップ９には液の
みが供給されるために円滑な液体窒素の供給ができ、液
面の調節も確実となる。
前に気液分離を行なうサイクロン５を設けたものであり
、それにより液体窒素トラップ９への液体窒素の供給が
、気液混合状態であっても液体窒素トラップ９には液の
みが供給されるために円滑な液体窒素の供給ができ、液
面の調節も確実となる。
サイクロン内部の挙動について、第２，３図により説明
する。気液混合状態の窒素冴は、直胴部１６に対して接
線方向に取付けられた入口管おから導入され、その内部
で矢印のような旋回運動が与えられる。このとき、液体
はサイクロン内壁に沿って流下し、ガスは点線矢印のよ
うにサイクロン中央部から上昇流となって出口管１５に
導かれる。
する。気液混合状態の窒素冴は、直胴部１６に対して接
線方向に取付けられた入口管おから導入され、その内部
で矢印のような旋回運動が与えられる。このとき、液体
はサイクロン内壁に沿って流下し、ガスは点線矢印のよ
うにサイクロン中央部から上昇流となって出口管１５に
導かれる。
円すい部１９を通って流下した液体窒素２１は、液出口
管加から液体窒素トラップ９に供給される。
管加から液体窒素トラップ９に供給される。
本発明は、先に述べたように液体窒素供給日直前にサイ
クロンを設置したものであるが、次に、サイクロン設置
有無についての比較を第４．５図により説明する。
クロンを設置したものであるが、次に、サイクロン設置
有無についての比較を第４．５図により説明する。
第４図はサイクロンを設置しない場合であり、液体窒素
は気液混合状態で供給管５を経て内筒４内に供給される
ために、液体窒素の液滴列が飛散してレベルセンサー７
の誤検出を招き、液面調節が困難である。
は気液混合状態で供給管５を経て内筒４内に供給される
ために、液体窒素の液滴列が飛散してレベルセンサー７
の誤検出を招き、液面調節が困難である。
これに対し、第５図はサイクロン５を設置した場合であ
り、サイクロン５を通過することにより液状流下方式で
内周ｎ内に供給されるためにレベルセンサー７が確実に
動作し、所定液面が容易に確保できる。
り、サイクロン５を通過することにより液状流下方式で
内周ｎ内に供給されるためにレベルセンサー７が確実に
動作し、所定液面が容易に確保できる。
本発明によれば、液体金集トラップへの液体窒素の供給
を円滑に行なうことができ、液面調節を確実に行なうこ
とができてトラップとしての吸着能力を安定させるとい
う効果がある。
を円滑に行なうことができ、液面調節を確実に行なうこ
とができてトラップとしての吸着能力を安定させるとい
う効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す系統図、第２図は本発
明におけるサイクロンの縦断面図、第３図はその横断面
図、＄４図は液体窒素トラップにサイクロンを設置しな
い場合の状態図、第５図はサイクロンを設置した場合の
状態図である。
明におけるサイクロンの縦断面図、第３図はその横断面
図、＄４図は液体窒素トラップにサイクロンを設置しな
い場合の状態図、第５図はサイクロンを設置した場合の
状態図である。
Claims (1)
- １、圧力調節弁および真空ポンプ群よりなり、ガスを導
入しながら所定の圧力を維持するように構成された排気
系において、液体窒素トラップへの液体窒素供給部に気
液分離器を設けたことを特徴とする排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13511684A JPS6115703A (ja) | 1984-07-02 | 1984-07-02 | 排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13511684A JPS6115703A (ja) | 1984-07-02 | 1984-07-02 | 排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6115703A true JPS6115703A (ja) | 1986-01-23 |
Family
ID=15144198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13511684A Pending JPS6115703A (ja) | 1984-07-02 | 1984-07-02 | 排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6115703A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01218464A (ja) * | 1988-02-27 | 1989-08-31 | Ikuo Ogata | 半導体電位調整用ボール・チエーン |
| CN104190281A (zh) * | 2014-07-24 | 2014-12-10 | 沈阳航空航天大学 | 一种细粉料散体的均匀混合装置及方法 |
-
1984
- 1984-07-02 JP JP13511684A patent/JPS6115703A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01218464A (ja) * | 1988-02-27 | 1989-08-31 | Ikuo Ogata | 半導体電位調整用ボール・チエーン |
| CN104190281A (zh) * | 2014-07-24 | 2014-12-10 | 沈阳航空航天大学 | 一种细粉料散体的均匀混合装置及方法 |
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