JPS61149833A - フ−リエ変換型赤外分光光度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ・産業上の利用分野 本発明はフーリエ変換型赤外分光光度計において、赤外
光検知器の位置調整手段に関する。

口・従来の技術 赤外、遠赤外領域の分光光度計では赤外光検知器の窓材
に可視光域では不透明なＧｅとかＡｓ２５８３　Ｗを用
いている。このため検知器の受光面を直接目視できない
ので、検知器の位置調整は大へん困難である。特に液体
Ｈｅとか液体窒素のような冷媒で冷却しながら使用する
ＭＣＴとか工ｎ８ｎ等の結晶を用いた検出器の場合には
使用の際取付は不使用の際取外すので、使用の度に一々
位置調整をしなければならず、使用者にとって非常な負
担であった。

ハ・　発明が解決しようとする問題点 光検知器の位置調整を自動化すると、とによシ、赤外域
のフーリエ変換型分光光度計の人手による光検知器の位
置合せの困難を解消しようとするものである。

二・問題点解決のだめの手段 光検知器を干渉計の光軸に垂直な平面内でＸ。

ｙ２方向に移動させる駆動手段を設け、インターフェロ
グラムを測定して、インターフェログラムの最大値と最
小値の差が最大になる光検知器の位置を自動的に探索す
るようにした。

ホ５作用 フーリエ変換型分光光度計は干渉計の移動鏡を動かした
ときの干渉計出射光の強度変化を移動鏡の移動量を横座
標にとって表わしたインターフェログラムを測定し、こ
のインターフェログラムをフーリエ変換してもとの光の
スペクトルを得るもので、光検出器の受光面の中心が干
渉計の光軸か盃 らずれていると、インターフェログラムの形がｆむので
、フーリエ変換しても正しいスペクトルが求まらないか
ら、光検知器の位置調整が必要なのであるが、検知器の
受光面が光軸からずれているときはインターフェログラ
ムの最大値と最小値との差が小さくなるので、本発明は
このことを利用し、この差が大きくなる方向を探っては
光検知器をその方向に移動させて差が最大になる位置を
検出すれば、そのとき光検知器の受光面中心と干渉計の
光軸とが一致しているのでおる。

へ・実施例 第１図は本発明の一実施例を示す。１は固定鏡、２は移
動鏡、３はビームスプリッタ−で、これらによってマイ
ケルンン干渉計が構成されておシ、生は赤外光光源、５
は光検知器でＸ、　　Ｙ、　Ｚ３軸方向可動のステージ
６に取付けられるようになっており、Ｍｘはステージ６
をＸ方向に移動させるパルスモータ、Ｍ７は同じくＹ方
向に移動させるパルスモータ、Ｍｚはステージを２方向
に移動させるパルスモータである。７は制御回路でマイ
クロコンピュータが用いられる。制御回路７は光検知器
５の出力を読込みメモリ８に格納すると共に、モータＭ
ｘ、Ｍｙ、Ｍｚに制御パルスを送ってこれを駆動する。

光検知器５の位置調整の際の制御回路７の動作を略述す
る。まずインターフェログラムを測定してそのデータを
メモリ８に格納する。次にＭｘにパルスを送ってステー
ジ６をＸの正方向に一ステップ移動させ、再びインター
フェログラムを測定する。そして、最大値を１としてデ
ータを規格化した上で前回と今回のインターフェログラ
ムの最大と最小との差Δを比較し、後の方がΔが大きけ
れば更にステージを同方向に−ステップ駆動し、後の方
がΔが小さければステージを反対方向に２ステツプ駆動
して二度目のインター７エロダラムを測定し％　２回目
と３回目のインター７エログラムでΔを比較してステー
ジの駆動方向を決める０こうしてΔが最大になった所で
光検知器５のＸ方向の位置が決まる。以下Ｙ方向２　Ｘ
方向とも同様にして位置が決められる。

第２図は光検知器の中心位置によってインターフェログ
ラムの形がどのように変るかを示したもので、第２図Ａ
は光検知器の中心の位置を干渉計の光軸を原点とする座
標で示したもので、１，２．３，４の４位置に対応して
第２図Ｂに示すようにインターフェログラムは１〜４の
ように形が変化し、光検知器が光軸から離れるに従い最
大値と最小値の差Δが小さくなることが分る。

第３図は制御回路７の光検知器のＸ方向位置調整動作の
フローチャートで、他の方向の動作もこれと同じである
。まず駆動方向レジスタ（メモリ８の中に設けておく）
に＋Ｘ方向と設定（イ）し、インターフェログラムの測
定、データを規格化して最大値の差Δ１の算を行い（ロ
）、駆動方向の設定をチェック（ハ）し、当初設定は＋
Ｘ方向であるから、モータＭｘを正方向に１パルス分駆
動（ニ）シ、インターフェログラムの測定、Δ２の算出
を行イ（ホ）、次いで（Δ２−Δ１）＝Ｐを算しくへ）
、Ｐの正負判別（ト）を行って、正即ちΔ２〉Δ１なら
動作は儒）のステップに戻りモータＭｘを更に指定方向
（この場合＋Ｘの方向）に駆動し、（ト）の判定が負の
ときは駆動方向レジスタの設定を−Ｘに変更（テ）シ、
Δ２が成るレベルよシ大であるか判定しくす）、この判
定がＮＯであれば動作は（ハ）に戻って錦）、（ホ）・
・・と進行し、モータＭｘを−Ｘ方向に駆動する。（す
）の判定がＹＢ２の場合、Δ１．Δ２は極大値に達した
ものとして、光検出器５のＸ方向の位置調整を終了する
。Δが極大に達したことの判定は、上記（す）のステッ
プにおけるやシ方の他、例えば同一方向への駆動が複数
回（２回で可）引続いて行われた後の駆動方向変更であ
るか否かで判定することもできる。

ト効果 本発明によれば光検出器の位置調整が入手によらず自動
的に行われるので使用者の装置操作上の負担が大幅に軽
減され、その効果は赤外光のような不可視光を扱う場合
において特に大きく、フーリエ変換型分光光度計の場合
、光検出器の位置の違いによシ感度よりも再現されるス
ペクトルの形が変ってしまうものであるから、光検出器
が常に正しい位置に設定されることによって正しいスペ
クトルの測定が行われることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例装置の平面図及びブロック図
、第２図は光検出器の位置とインターフェログラムの形
との関係を示すグラフで同図Ａは光検出器の位置を示し
、同Ｂはインターフェログラムを示す。第３図は上記実
施例の光検出器の位置調整動作のフローチャートである
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光検出器を干渉計の光軸に垂直な平面内で２軸方向に移
   動可能にして、それら２軸方向の駆動手段を設けると共
   に、インターフエログラムを測定してその最大値と最小
   値の差が最大になる方向に上記駆動手段を駆動する光検
   出器位置調整手段を設けたことを特徴とするフーリエ変
   換型赤外分光光度計。