JPS61149331U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61149331U JPS61149331U JP3233985U JP3233985U JPS61149331U JP S61149331 U JPS61149331 U JP S61149331U JP 3233985 U JP3233985 U JP 3233985U JP 3233985 U JP3233985 U JP 3233985U JP S61149331 U JPS61149331 U JP S61149331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- lift
- ultrasonic
- surrounds
- resistant
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図ａは本考案リフトオフ装置の一実施例を
示す一部切欠正面図、第１図ｂはウエハ固定治具
の斜視随、第２図ａ，ｂ，ｃはリフトオフの説明
図、第３図は従来のリフトオフ装置の一部切欠正
面図である。 ５……ウエハ、６……ウエハ固定治具、７……
有機溶剤、８……ビーカ、９……超音波槽、１０
……超音波発振器、１１……超音波振動子、１２
……遮蔽板。
示す一部切欠正面図、第１図ｂはウエハ固定治具
の斜視随、第２図ａ，ｂ，ｃはリフトオフの説明
図、第３図は従来のリフトオフ装置の一部切欠正
面図である。 ５……ウエハ、６……ウエハ固定治具、７……
有機溶剤、８……ビーカ、９……超音波槽、１０
……超音波発振器、１１……超音波振動子、１２
……遮蔽板。
Claims (1)
- 半導体基板にパターン形成されたフオトレジス
トを除去することにより金属膜のパターン形成を
行う超音波併用のリフトオフ装置において、半導
体基板の下方に超音波振動子を有し、かつ半導体
基板を取り囲むように円筒状で、その上有機溶剤
に耐性で、かつ超音波振動の吸収性のある軟質樹
脂の遮蔽板を具備せしめたことを特徴とするリフ
トオフ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3233985U JPS61149331U (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3233985U JPS61149331U (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149331U true JPS61149331U (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=30533762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3233985U Pending JPS61149331U (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149331U (ja) |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP3233985U patent/JPS61149331U/ja active Pending