JPS6113930U - ボンデイング装置用半導体素子認識装置 - Google Patents
ボンデイング装置用半導体素子認識装置Info
- Publication number
- JPS6113930U JPS6113930U JP9810584U JP9810584U JPS6113930U JP S6113930 U JPS6113930 U JP S6113930U JP 9810584 U JP9810584 U JP 9810584U JP 9810584 U JP9810584 U JP 9810584U JP S6113930 U JPS6113930 U JP S6113930U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding equipment
- semiconductor device
- images
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- semiconductor
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案装置の一実施例を示す略示図、第２図は半
導体素子の位置出し部分の説明図、第３図は従来装置の
略示図である。 １・・・半導体素子、１２・・・カメラ装置、、１３・
・・顕微鏡装置、１４・・・制御部。
導体素子の位置出し部分の説明図、第３図は従来装置の
略示図である。 １・・・半導体素子、１２・・・カメラ装置、、１３・
・・顕微鏡装置、１４・・・制御部。
Claims (1)
- 半導体素子上の互いに離れた２点の像を同時に結像し得
る光学系を備えた顕微鏡装置と、該顕微鏡装置に得られ
た２つの像を撮影するカメラ装置と、カメラ装置に得ら
れた前記２つの画像を電気的に処理し、各々の点の座標
信号を演算して出力する制御部とを有することを特徴と
するボンデイング装置用半導体素子認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9810584U JPS6113930U (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ボンデイング装置用半導体素子認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9810584U JPS6113930U (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ボンデイング装置用半導体素子認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113930U true JPS6113930U (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=30657657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9810584U Pending JPS6113930U (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | ボンデイング装置用半導体素子認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113930U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54148376A (en) * | 1978-05-12 | 1979-11-20 | Toshiba Corp | Work position detector device |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP9810584U patent/JPS6113930U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54148376A (en) * | 1978-05-12 | 1979-11-20 | Toshiba Corp | Work position detector device |
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