JPS61138237U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61138237U JPS61138237U JP2006385U JP2006385U JPS61138237U JP S61138237 U JPS61138237 U JP S61138237U JP 2006385 U JP2006385 U JP 2006385U JP 2006385 U JP2006385 U JP 2006385U JP S61138237 U JPS61138237 U JP S61138237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- introduction
- chamber
- epitaxial growth
- molecular beam
- growth apparatus
- Prior art date
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- Pending
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の分子線エピタキシヤル成長装
置の模式図である。 ３……成長チヤンバー、５……基板導入チヤン
バー、８……基板導入フランジ、９……窒素ボツ
クス、１１……腕導入口、１２……基板導入ボツ
クス。
置の模式図である。 ３……成長チヤンバー、５……基板導入チヤン
バー、８……基板導入フランジ、９……窒素ボツ
クス、１１……腕導入口、１２……基板導入ボツ
クス。
Claims (1)
- 基板導入チヤンバーを備えた分子線エピタキシ
ヤル成長装置において、基板導入チヤンバーに付
属する基板導入フランジの正面に、内部の気密性
を保持し得る作業用腕導入口とガス排気・導入系
を有する別室とを備えた窒素ボツクスを配置し、
上記フランジと窒素ボツクスの開口部間を気密性
の膜によつて接続したことを特徴とする分子線エ
ピタキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006385U JPS61138237U (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006385U JPS61138237U (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61138237U true JPS61138237U (ja) | 1986-08-27 |
Family
ID=30510207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006385U Pending JPS61138237U (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61138237U (ja) |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP2006385U patent/JPS61138237U/ja active Pending
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