JPS61137046A - 光散乱計測装置 - Google Patents
光散乱計測装置Info
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- JPS61137046A JPS61137046A JP59259074A JP25907484A JPS61137046A JP S61137046 A JPS61137046 A JP S61137046A JP 59259074 A JP59259074 A JP 59259074A JP 25907484 A JP25907484 A JP 25907484A JP S61137046 A JPS61137046 A JP S61137046A
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- scattering
- microphone
- scattered light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、光散乱を利用して物体表面及び物体内の物性
を解析する装置に関し、特に、その散乱光を熱エネルギ
ーに変換して測定する装置に関する。” ［従来の技術］ 従来、光散乱を利用して物体表面及び物体内の物性を解
析する装置としては、第３図に示すように被検物体１に
光２を照射し、散乱光３を開口角の大きなレンズ４を通
し、更に配光による影響を減少させるために積分球５を
介して、光検出器（例えば、フォトマル、ビンフォト等
）の感光面６に導いていた。しかし、この場合、散乱角
が開口角よりも大きいと、はみ出した散乱成分はレンズ
に入射することができず、測定が不可能であった。その
はみ出した散乱成分を検出するために被検物体近傍に透
過型の拡散面を置き、その背後に光検出器を置く手法も
工夫されたが、拡散板の特性、光検出器の設置方法など
の商題があり、高精度、高感度の測定は困難であった。 ′ ［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は、上記に鑑みて、従来型の光散乱測定では困□
難とされていた散乱角の大きな光散乱成分も含めて高精
度、高感度に測定することを解決すべき問題点とするも
のである。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明において、問題点を解決するために講じられた手
段は、被検物体に断続的な光を照射する断続光照射手段
と、その照射光により被検物体の物性に従って該物体の
表面から断続的に出射される散乱光を吸収し、熱エネル
ギーに変換する光−熱変換媒体と、その熱エネルギーに
より発生する弾性波を伝達する気密室と、該気密室から
伝達される弾性波を電気信号として検出する弾性波検出
手段と、その電気信号から前記熱エネルギーの量を計測
する熱変化計測手段とを備えることを特徴とする。 断続光照射手段としては公知の光源とチョッパが使用さ
れ、光−熱変換媒体としては被測定散乱光の波長に対し
て大なる吸収特性を持ち、かつ熱伝導性の良い光吸収物
質が好ましく、例えば、カーボン及びカーボンを主体と
した混合物を用いれば、広範囲の波長域をカバーするこ
とができる。あらかじめ光吸収物質の分波吸収特性を測
定しておくことにより、出力信号の補正を行い、波長ご
との感度ムラを補正することができる。光吸収物質の表
面形状としては、散乱光の波長よりやや大きめの凹凸を
つけておくことにより、完全拡散性を向上させ、散乱角
の影響を除去できるばかりでなく、吸収効率を上げるこ
とができる。 被検物体としては、固体に限らず、液体でもよく、また
液体表面上に照射光を当てることによって、液面上単分
子いわゆるＬＢ膜（ラングミュア・プロジェット膜）の
展開状況、吸着分子界面近傍の液体中の微粒子の評価に
も応用できる。 ［作 用］ 第４図は、未発明による光散乱計測装置の基本構成図で
ある。第４図において、被検物体ｌに断続的な光２を照
射すると、被検物体内の光による散乱光３が被検物体表
面より種々の出射角で断続的に出射される。これらの散
乱光３は、光吸収物質７に照射されると、吸収されて断
続的なエネルギー信号８となり、エネルギー信号検出手
段９へ導かれる。光吸収物質７は、任意の入射角に対し
て光エネルギーを熱エネルギー等へ変換可能なので、光
吸収物質７の大きさ、及び位置を適当に設定すれば、散
乱角の大きな場合にも容易に検出することができる。こ
のようにして得られた断続的なエネルギー信号は、音響
的反応を示す現象である光音響効果等を利用して高感度
に検出することができる。 第５図は、光音響効果の基本原理図である。第５図にお
いて、光音響効果は４つのプロセスから成り、物質が光
を吸収することにより、エネルギーが物質中を伝播する
状態をしめす、プロセスＡは、断続的に変調される入射
光ビーム３が吸収物質に当って吸収される過程を示す、
プロセスＢは、このエネルギーが無放射緩和過程により
断続的な熱となり、物質中を熱波として伝播する過程を
示す、プロセスＣは、物質表面に達した熱波が物質に接
する気体を断続的に熱し、音波を発生する場合を示し、
プロセスＤは、物質を伝わる熱波が弾性波に変換され、
例えば試料Ｍ内を伝播する場合を示す。本発明は、上記
のプロセスＣの段階において弾性波が音波である状態で
検出しようとするもので、音波を発生する気体の気密室
としてマイクロホンセルを使用し、エネルギー信号検出
手段としてマイクロホンによる弾性波検出手段を使用す
るものである。 本発明の解析の対象となる散乱としては、散乱光が波長
シフトの伴わないいわゆる弾性散乱と、波長シフトの伴
えラマン散乱、プリルアン散乱などの非弾性散乱とがあ
る。弾性および非弾性散乱光を共に用いる解析としては
、例えば、所定の径に絞った光を透明結晶体に照射し、
そのすべての散乱光を情報源と、する方法を挙げること
ができる。この場合の散乱光にはすべての波長成分の光
が含まれており、被検物体表面及び内部の屈折率変動や
微粒子の存在を知見する方法として簡便である。 非弾性散乱による解析については、例えばレーザー光に
代表されるような単色の光を利用して生じるラマン散乱
（あるいはレーザーラマン分光）を解析すれば、被検物
体内部の微小部分における分子構造論的な情報を得るこ
とができる０例えば、格子振動の変化に起因する散乱光
周波数変化により相転移の解析、特に、被検物体の温度
を変えて本発明の解析法を用いることにより、相転移の
局所的変化に関して種々の情報を得ることができる。 更に、プリルアン散乱によるものでは、被検物体内のフ
ォノンと照射光との相互作用による波長シフトラ伴った
散乱光を情報源とするので、これを分光して解析すれば
、例えば結晶試料の相転移、高分子物質のガラス転移の
解析に効果的である。 ［実施例］ 以下、本発明を、実施例と図面によって詳細に説明する
。 ′ 第１図は、本発明を実施した光散乱計測装置の好適な一
例を示す構成図で、前記プロセスｄによ、発生ｔ６音波
、、イヶ。オ几ＪＬ／ ｖ ＊ヵオ、ア施例である。第
１図において、光散乱計測装置を構成すΔ断続光照射部
としては公知の光源とチョッパ１０が使用され、光−熱
変換媒体はマイクロホンセル１１の感光面７であり、変
換された熱エネルギーにより生じた弾性波を音波として
伝達する気密室はマイクロホンセル１１であり、その音
波を電気信号に変換して検出する弾性波検出手段はマイ
クロホン１２であり、その電気信号から熱エネルギー量
を演算する熱変化計測手段はロックインアンプ１３であ
る。前記感光面７は、いうまでもなく、光吸収物質で形
成されている。チョッパ１０により断続された照射光ビ
ーム２は、レンズ１４により被検物体１に導かれ、その
散乱光３はマイクロホンセル１１の感光面７に“吸収さ
れ、密閉されたマイクロホンセルｌｌ内の気体を断続的
に熱して音波を発生する。この音波はマイクロホン七′
ル１１＊付けられたマイクロホン１２により検出され；
゛このセイクロホン１２からの信号がロックインアンプ
ロ゛に送られ、測定光ビーム２を断続するチョッ゛パ゛
１′ＩＯからの参照信号に基づいて周波数同期検波され
、その結果がレコーダ１５に出力される。−このように
”して検出された光音響信号の強度は、吸収物質に゛照
射される散乱光強度に比例することが理論的にも確認さ
れている。従って、散乱光強度を定量的に計測すること
ができる。 なお、入射光強度をモニターし、照射光強度変動を除去
すれば、計測は一層安定する。また、被検物体の光照射
位置を移動させることにより、光散乱分布を計測するこ
ともできる。被検物体への光照射は、第ｔｔｇの方向だ
けでなく、任意の方向から照射してもよい。 第２図（ａ）及び（ｂ）は１本実施例における弾性波検
出手段の一例を示す構造図である。第２図（ａ）におい
ては、密閉されたマイクロホンセル１１の入射光の部分
を、光を吸収しない防音効果のある物質で隔壁１６に形
成し、その内側に光吸収物質７を配置している。第２図
（ｂ）においては、熱拡散長トが大きな物質で形成され
た隔壁１Ｂの光入射側に吸収物質７を配置し、吸収物質
７で発生した熱を隔壁ｔｅが伝えて、セル内の気体を断
続的に熱する構成をとっている。これらの隔壁の厚みと
しては、熱拡散長ル以下であることが好ましい。 熱拡散長用は、該物質の熱伝導率α
を解析する装置に関し、特に、その散乱光を熱エネルギ
ーに変換して測定する装置に関する。” ［従来の技術］ 従来、光散乱を利用して物体表面及び物体内の物性を解
析する装置としては、第３図に示すように被検物体１に
光２を照射し、散乱光３を開口角の大きなレンズ４を通
し、更に配光による影響を減少させるために積分球５を
介して、光検出器（例えば、フォトマル、ビンフォト等
）の感光面６に導いていた。しかし、この場合、散乱角
が開口角よりも大きいと、はみ出した散乱成分はレンズ
に入射することができず、測定が不可能であった。その
はみ出した散乱成分を検出するために被検物体近傍に透
過型の拡散面を置き、その背後に光検出器を置く手法も
工夫されたが、拡散板の特性、光検出器の設置方法など
の商題があり、高精度、高感度の測定は困難であった。 ′ ［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は、上記に鑑みて、従来型の光散乱測定では困□
難とされていた散乱角の大きな光散乱成分も含めて高精
度、高感度に測定することを解決すべき問題点とするも
のである。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明において、問題点を解決するために講じられた手
段は、被検物体に断続的な光を照射する断続光照射手段
と、その照射光により被検物体の物性に従って該物体の
表面から断続的に出射される散乱光を吸収し、熱エネル
ギーに変換する光−熱変換媒体と、その熱エネルギーに
より発生する弾性波を伝達する気密室と、該気密室から
伝達される弾性波を電気信号として検出する弾性波検出
手段と、その電気信号から前記熱エネルギーの量を計測
する熱変化計測手段とを備えることを特徴とする。 断続光照射手段としては公知の光源とチョッパが使用さ
れ、光−熱変換媒体としては被測定散乱光の波長に対し
て大なる吸収特性を持ち、かつ熱伝導性の良い光吸収物
質が好ましく、例えば、カーボン及びカーボンを主体と
した混合物を用いれば、広範囲の波長域をカバーするこ
とができる。あらかじめ光吸収物質の分波吸収特性を測
定しておくことにより、出力信号の補正を行い、波長ご
との感度ムラを補正することができる。光吸収物質の表
面形状としては、散乱光の波長よりやや大きめの凹凸を
つけておくことにより、完全拡散性を向上させ、散乱角
の影響を除去できるばかりでなく、吸収効率を上げるこ
とができる。 被検物体としては、固体に限らず、液体でもよく、また
液体表面上に照射光を当てることによって、液面上単分
子いわゆるＬＢ膜（ラングミュア・プロジェット膜）の
展開状況、吸着分子界面近傍の液体中の微粒子の評価に
も応用できる。 ［作 用］ 第４図は、未発明による光散乱計測装置の基本構成図で
ある。第４図において、被検物体ｌに断続的な光２を照
射すると、被検物体内の光による散乱光３が被検物体表
面より種々の出射角で断続的に出射される。これらの散
乱光３は、光吸収物質７に照射されると、吸収されて断
続的なエネルギー信号８となり、エネルギー信号検出手
段９へ導かれる。光吸収物質７は、任意の入射角に対し
て光エネルギーを熱エネルギー等へ変換可能なので、光
吸収物質７の大きさ、及び位置を適当に設定すれば、散
乱角の大きな場合にも容易に検出することができる。こ
のようにして得られた断続的なエネルギー信号は、音響
的反応を示す現象である光音響効果等を利用して高感度
に検出することができる。 第５図は、光音響効果の基本原理図である。第５図にお
いて、光音響効果は４つのプロセスから成り、物質が光
を吸収することにより、エネルギーが物質中を伝播する
状態をしめす、プロセスＡは、断続的に変調される入射
光ビーム３が吸収物質に当って吸収される過程を示す、
プロセスＢは、このエネルギーが無放射緩和過程により
断続的な熱となり、物質中を熱波として伝播する過程を
示す、プロセスＣは、物質表面に達した熱波が物質に接
する気体を断続的に熱し、音波を発生する場合を示し、
プロセスＤは、物質を伝わる熱波が弾性波に変換され、
例えば試料Ｍ内を伝播する場合を示す。本発明は、上記
のプロセスＣの段階において弾性波が音波である状態で
検出しようとするもので、音波を発生する気体の気密室
としてマイクロホンセルを使用し、エネルギー信号検出
手段としてマイクロホンによる弾性波検出手段を使用す
るものである。 本発明の解析の対象となる散乱としては、散乱光が波長
シフトの伴わないいわゆる弾性散乱と、波長シフトの伴
えラマン散乱、プリルアン散乱などの非弾性散乱とがあ
る。弾性および非弾性散乱光を共に用いる解析としては
、例えば、所定の径に絞った光を透明結晶体に照射し、
そのすべての散乱光を情報源と、する方法を挙げること
ができる。この場合の散乱光にはすべての波長成分の光
が含まれており、被検物体表面及び内部の屈折率変動や
微粒子の存在を知見する方法として簡便である。 非弾性散乱による解析については、例えばレーザー光に
代表されるような単色の光を利用して生じるラマン散乱
（あるいはレーザーラマン分光）を解析すれば、被検物
体内部の微小部分における分子構造論的な情報を得るこ
とができる０例えば、格子振動の変化に起因する散乱光
周波数変化により相転移の解析、特に、被検物体の温度
を変えて本発明の解析法を用いることにより、相転移の
局所的変化に関して種々の情報を得ることができる。 更に、プリルアン散乱によるものでは、被検物体内のフ
ォノンと照射光との相互作用による波長シフトラ伴った
散乱光を情報源とするので、これを分光して解析すれば
、例えば結晶試料の相転移、高分子物質のガラス転移の
解析に効果的である。 ［実施例］ 以下、本発明を、実施例と図面によって詳細に説明する
。 ′ 第１図は、本発明を実施した光散乱計測装置の好適な一
例を示す構成図で、前記プロセスｄによ、発生ｔ６音波
、、イヶ。オ几ＪＬ／ ｖ ＊ヵオ、ア施例である。第
１図において、光散乱計測装置を構成すΔ断続光照射部
としては公知の光源とチョッパ１０が使用され、光−熱
変換媒体はマイクロホンセル１１の感光面７であり、変
換された熱エネルギーにより生じた弾性波を音波として
伝達する気密室はマイクロホンセル１１であり、その音
波を電気信号に変換して検出する弾性波検出手段はマイ
クロホン１２であり、その電気信号から熱エネルギー量
を演算する熱変化計測手段はロックインアンプ１３であ
る。前記感光面７は、いうまでもなく、光吸収物質で形
成されている。チョッパ１０により断続された照射光ビ
ーム２は、レンズ１４により被検物体１に導かれ、その
散乱光３はマイクロホンセル１１の感光面７に“吸収さ
れ、密閉されたマイクロホンセルｌｌ内の気体を断続的
に熱して音波を発生する。この音波はマイクロホン七′
ル１１＊付けられたマイクロホン１２により検出され；
゛このセイクロホン１２からの信号がロックインアンプ
ロ゛に送られ、測定光ビーム２を断続するチョッ゛パ゛
１′ＩＯからの参照信号に基づいて周波数同期検波され
、その結果がレコーダ１５に出力される。−このように
”して検出された光音響信号の強度は、吸収物質に゛照
射される散乱光強度に比例することが理論的にも確認さ
れている。従って、散乱光強度を定量的に計測すること
ができる。 なお、入射光強度をモニターし、照射光強度変動を除去
すれば、計測は一層安定する。また、被検物体の光照射
位置を移動させることにより、光散乱分布を計測するこ
ともできる。被検物体への光照射は、第ｔｔｇの方向だ
けでなく、任意の方向から照射してもよい。 第２図（ａ）及び（ｂ）は１本実施例における弾性波検
出手段の一例を示す構造図である。第２図（ａ）におい
ては、密閉されたマイクロホンセル１１の入射光の部分
を、光を吸収しない防音効果のある物質で隔壁１６に形
成し、その内側に光吸収物質７を配置している。第２図
（ｂ）においては、熱拡散長トが大きな物質で形成され
た隔壁１Ｂの光入射側に吸収物質７を配置し、吸収物質
７で発生した熱を隔壁ｔｅが伝えて、セル内の気体を断
続的に熱する構成をとっている。これらの隔壁の厚みと
しては、熱拡散長ル以下であることが好ましい。 熱拡散長用は、該物質の熱伝導率α
【ＣｌＩ２／ｓ】と
断続周波数ｆ ［Ｈｚ］で与えられ、ｐ＝（ｃＬ／πｆ
）’ （ｃ＋ｓ］ と演算されるので、銀（α＝１．７）を用い、ｆ ＝
５０Ｈｚとすれば、ｐ＝１［ｍｍｌとなる。 第６図は、光吸収率が各物質ごとに異なることを示すグ
ラフである。第４図の基本構成図において示された光吸
収物質７の波長特性を、第６図に示されている波長λが
異なるものを用いれば、それぞれ対応する波長の散乱光
強度を計測することができ、非弾性散乱の測定が可能に
なる。 また、第７図に示すように、光吸収物質７に散乱光が吸
収される手前にフィルタ１７を配置し、散乱光の測定波
長域を制御しても同様の計測が可能になる。フィルタと
して偏光フィルタを用いれば、散乱光の偏光特性を得る
ことも可能になる。 第８図は、光吸収物質７の後方に反射１８を配置するこ
とによって、吸収層の実効的厚みを局に減少することに
より、高感度、高精度光散乱計測を可能にした例である
。 第９図は、光吸収物質を層構造にして、各層ごとに分光
吸収特性の異なった物質７ａ〜７Ｃを配置した実施例で
あり、このように配置することにより各波長の信号を同
時に測定することが可能になる。即ち、各層において、
異なった波長特性を有する光エネルギーがそれぞれ異ケ
つた波長の弾性波に変換され、弾性波検出手段１２へ伝
わって行くが、その時、各層から弾性波検出手段１２ま
での距離に対応した位相遅れが生じる。そこで、周波数
同期検波して散乱光の信号を得る際に、対応する位相ず
れごとに検出すれば、各層からの信号を分離することが
できる。 第１０図は、本発明を液面上単分子膜による光散乱に適
用した実施例である。第１０図において、照射光２は液
体１３の液面下から入射し、液体界面で全反射する角度
で入射させである。全反射界面上では、光エネルギーは
、エバネッセント波として液面上単分子膜２０へ伝わり
、光散乱３が生じる。 液面上に配置した光吸収物質７及びエネルギー信号検出
手段９で、前記各方法に基づいて検出することにより、
この単分子膜２０及び吸着物質７による光散乱特性を検
出することができる。 第１１図は、ＬＢ成膜膜装置における液面下の光散乱特
性を評価する実施例である。液体１９中の散乱因子２１
による散乱光を測定することにより、単分子展開液の状
態を検知することができ、この情報をもとに成膜制御も
可能となる。 なお、照射光ビーム径を必要に応じて絞り、被検物体内
における散乱光相互間の影響を取り除き、照射光束を被
検物体内の所定面に沿って走査させることによって、各
部情報をパターン化することもできる。そして、こうし
て得られる電気信号及び走査信号を計算機処理し、ディ
スプレイ表示することによって、微視的情報をパターン
化してとらえることができる。 ［発明の効果］ 以上説明したとおり１本発明によれば、従来は計測が困
難とさ−れていた散乱角の大きな光散乱成分を含め、弾
性散乱及び非弾性散乱の光散乱を、高感度かつ高精度に
測定できる。その為、被検物体内の屈折率変動や微粒子
の存在を検知することができるばかりでなく、分子構造
論的な情報を得ることができ、また、ＬＢ成膜膜装置に
応用することも可能になって、物性の解析にきわめて大
きな貢献をするものであや。
断続周波数ｆ ［Ｈｚ］で与えられ、ｐ＝（ｃＬ／πｆ
）’ （ｃ＋ｓ］ と演算されるので、銀（α＝１．７）を用い、ｆ ＝
５０Ｈｚとすれば、ｐ＝１［ｍｍｌとなる。 第６図は、光吸収率が各物質ごとに異なることを示すグ
ラフである。第４図の基本構成図において示された光吸
収物質７の波長特性を、第６図に示されている波長λが
異なるものを用いれば、それぞれ対応する波長の散乱光
強度を計測することができ、非弾性散乱の測定が可能に
なる。 また、第７図に示すように、光吸収物質７に散乱光が吸
収される手前にフィルタ１７を配置し、散乱光の測定波
長域を制御しても同様の計測が可能になる。フィルタと
して偏光フィルタを用いれば、散乱光の偏光特性を得る
ことも可能になる。 第８図は、光吸収物質７の後方に反射１８を配置するこ
とによって、吸収層の実効的厚みを局に減少することに
より、高感度、高精度光散乱計測を可能にした例である
。 第９図は、光吸収物質を層構造にして、各層ごとに分光
吸収特性の異なった物質７ａ〜７Ｃを配置した実施例で
あり、このように配置することにより各波長の信号を同
時に測定することが可能になる。即ち、各層において、
異なった波長特性を有する光エネルギーがそれぞれ異ケ
つた波長の弾性波に変換され、弾性波検出手段１２へ伝
わって行くが、その時、各層から弾性波検出手段１２ま
での距離に対応した位相遅れが生じる。そこで、周波数
同期検波して散乱光の信号を得る際に、対応する位相ず
れごとに検出すれば、各層からの信号を分離することが
できる。 第１０図は、本発明を液面上単分子膜による光散乱に適
用した実施例である。第１０図において、照射光２は液
体１３の液面下から入射し、液体界面で全反射する角度
で入射させである。全反射界面上では、光エネルギーは
、エバネッセント波として液面上単分子膜２０へ伝わり
、光散乱３が生じる。 液面上に配置した光吸収物質７及びエネルギー信号検出
手段９で、前記各方法に基づいて検出することにより、
この単分子膜２０及び吸着物質７による光散乱特性を検
出することができる。 第１１図は、ＬＢ成膜膜装置における液面下の光散乱特
性を評価する実施例である。液体１９中の散乱因子２１
による散乱光を測定することにより、単分子展開液の状
態を検知することができ、この情報をもとに成膜制御も
可能となる。 なお、照射光ビーム径を必要に応じて絞り、被検物体内
における散乱光相互間の影響を取り除き、照射光束を被
検物体内の所定面に沿って走査させることによって、各
部情報をパターン化することもできる。そして、こうし
て得られる電気信号及び走査信号を計算機処理し、ディ
スプレイ表示することによって、微視的情報をパターン
化してとらえることができる。 ［発明の効果］ 以上説明したとおり１本発明によれば、従来は計測が困
難とさ−れていた散乱角の大きな光散乱成分を含め、弾
性散乱及び非弾性散乱の光散乱を、高感度かつ高精度に
測定できる。その為、被検物体内の屈折率変動や微粒子
の存在を検知することができるばかりでなく、分子構造
論的な情報を得ることができ、また、ＬＢ成膜膜装置に
応用することも可能になって、物性の解析にきわめて大
きな貢献をするものであや。
第１図は本発明の構成図、第２図は実施例の弾性波検出
手段の縦断面図、第３図は従来例の構成図、第４図は本
発明の構成図、第５図は光音響効果の原理図、第６図は
光−熱変換媒体の吸収特性図、第７図〜第１１図は各媒
体及び検出手段の縦断面図である。 ｌ・・・被検物体、２・・・照射光ビーム、３・・・散
乱光、７・・・光−熱変換媒体、８・・・熱エネルギー
、１０・・・断続光照射手段、１１・・・気密室、１２
・・・弾性波検出手段、１３・・・熱変化計測手段、１
５・・・レコーダ、１７・・・フィルタ、１８・・・液
体。 λ１ λ２ λ３ λ４ λ；龍第１１図 。
手段の縦断面図、第３図は従来例の構成図、第４図は本
発明の構成図、第５図は光音響効果の原理図、第６図は
光−熱変換媒体の吸収特性図、第７図〜第１１図は各媒
体及び検出手段の縦断面図である。 ｌ・・・被検物体、２・・・照射光ビーム、３・・・散
乱光、７・・・光−熱変換媒体、８・・・熱エネルギー
、１０・・・断続光照射手段、１１・・・気密室、１２
・・・弾性波検出手段、１３・・・熱変化計測手段、１
５・・・レコーダ、１７・・・フィルタ、１８・・・液
体。 λ１ λ２ λ３ λ４ λ；龍第１１図 。
Claims (1)
- １）被検物体に断続的な光を照射する断続光照射手段と
、その照射光により被検物体の物性に従って該物体の表
面から断続的に出射される散乱光を吸収し、熱エネルギ
ーに変換する光−熱変換媒体と、その熱エネルギーによ
り発生する弾性波を伝達する気密室と、その気密室から
伝達される弾性波電気信号として検出する弾性波検出手
段と、その電気信号から前記熱エネルギーの量を計測す
る熱変化計測手段とを備えることを特徴とする光散乱計
測装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59259074A JPS61137046A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 光散乱計測装置 |
| US06/804,108 US4682897A (en) | 1984-12-10 | 1985-12-03 | Light scattering measuring apparatus |
| DE19853543363 DE3543363A1 (de) | 1984-12-10 | 1985-12-07 | Vorrichtung zur messung von lichtstreuung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59259074A JPS61137046A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 光散乱計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61137046A true JPS61137046A (ja) | 1986-06-24 |
Family
ID=17328959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59259074A Pending JPS61137046A (ja) | 1984-12-10 | 1984-12-10 | 光散乱計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61137046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011052061A1 (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-05 | キヤノン株式会社 | 光音響装置 |
-
1984
- 1984-12-10 JP JP59259074A patent/JPS61137046A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011052061A1 (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-05 | キヤノン株式会社 | 光音響装置 |
| CN102596049A (zh) * | 2009-10-29 | 2012-07-18 | 佳能株式会社 | 光声装置 |
| US9226662B2 (en) | 2009-10-29 | 2016-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoacoustic apparatus |
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