JPS61136903A - 高純度硫酸の製造装置 - Google Patents
高純度硫酸の製造装置Info
- Publication number
- JPS61136903A JPS61136903A JP25744384A JP25744384A JPS61136903A JP S61136903 A JPS61136903 A JP S61136903A JP 25744384 A JP25744384 A JP 25744384A JP 25744384 A JP25744384 A JP 25744384A JP S61136903 A JPS61136903 A JP S61136903A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sulfuric acid
- pipe
- discharge pipe
- absorption tower
- inert gas
- Prior art date
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- Pending
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- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用５壇
本発明は高純度硫酸を工業的に製造するのに適した製造
装置に関する。
装置に関する。
従来の技術
近年、半導体および各種電子ｌＳｌ器の製造に必要な高
純度硫酸への需要が電子工業の著しい進展に伴ない高ま
ってきているが、発煙硫酸を出発原料とする高純度硫酸
の工業的大量生産方式は未だ確立されていないのが現状
である。
純度硫酸への需要が電子工業の著しい進展に伴ない高ま
ってきているが、発煙硫酸を出発原料とする高純度硫酸
の工業的大量生産方式は未だ確立されていないのが現状
である。
発明が解決しようとする間 点
本発明者は、発煙硫酸を出発原料とする高純度硫酸の工
業的製造について検討した結果、発煙硫酸をそれに窒素
のような不活性ガス又はクリーンエアを吹き込みながら
、１００〜１５０℃程度の温度で加熱してＳＯ１！を揮
発させ、この揮発ＳＯｉを精製濃硫酸に吸収させること
により、ＮＪ 、ＡｓおよびＨｇ等の不純物含量の極め
て少ない高純度硫酸が得られること、および得られた高
純度硫酸を超純水で希釈して所望の硫酸濃度に調整した
後、これに不活性ガス又はクリーンエアを吹き込んで残
存する５０２を排出して更に硫酸の品質を向上し得るこ
との知見に基づき本発明をなすに至った。
業的製造について検討した結果、発煙硫酸をそれに窒素
のような不活性ガス又はクリーンエアを吹き込みながら
、１００〜１５０℃程度の温度で加熱してＳＯ１！を揮
発させ、この揮発ＳＯｉを精製濃硫酸に吸収させること
により、ＮＪ 、ＡｓおよびＨｇ等の不純物含量の極め
て少ない高純度硫酸が得られること、および得られた高
純度硫酸を超純水で希釈して所望の硫酸濃度に調整した
後、これに不活性ガス又はクリーンエアを吹き込んで残
存する５０２を排出して更に硫酸の品質を向上し得るこ
との知見に基づき本発明をなすに至った。
すなわち、本発明の目的は、発煙硫酸を出発原料として
高純度硫酸を製造するに当り、発煙硫酸を不活性ガス又
はクリーンエアを吹き込みながら加熱して不純物含量の
少ないＳＯｌを揮発させ、揮発５０３を精！！！！濃硫
酸に吸収させて高純度硫酸を生成する工程を工業的に大
量生産方式で行なうための製造装置を提供することにあ
る。
高純度硫酸を製造するに当り、発煙硫酸を不活性ガス又
はクリーンエアを吹き込みながら加熱して不純物含量の
少ないＳＯｌを揮発させ、揮発５０３を精！！！！濃硫
酸に吸収させて高純度硫酸を生成する工程を工業的に大
量生産方式で行なうための製造装置を提供することにあ
る。
以下本発明の詳細な説明する。
衾貝公盪虞
本発明の構成上の主要な特徴は、不活性ガス又はクリー
ンエアのようなガスの吹き込み管とＳＯヨの排出管およ
び加熱手段を備えた発煙硫酸からのＳＯ３揮発装置；上
記排出管と連通したＳＯｉ導入管、硫酸を循環させるた
めの供給管と排出管、冷却水を通入するための冷却管お
よび排ガスの排出管を備えた吸収塔：および上記硫酸排
出管と連通し、かつ超純水の導入管を備えた硫酸濃度調
整槽とから主として成る高純度硫酸の製造装置にある。
ンエアのようなガスの吹き込み管とＳＯヨの排出管およ
び加熱手段を備えた発煙硫酸からのＳＯ３揮発装置；上
記排出管と連通したＳＯｉ導入管、硫酸を循環させるた
めの供給管と排出管、冷却水を通入するための冷却管お
よび排ガスの排出管を備えた吸収塔：および上記硫酸排
出管と連通し、かつ超純水の導入管を備えた硫酸濃度調
整槽とから主として成る高純度硫酸の製造装置にある。
また、本発明は、上記製造装置において硫酸濃度ｆＩｌ
整槽と連通し、かつ不活性ガス又はクリーンエアの吹き
込み管を備えた硫酸からＳＯ２を除去するための槽を更
に配設した装置も包含するものである。
整槽と連通し、かつ不活性ガス又はクリーンエアの吹き
込み管を備えた硫酸からＳＯ２を除去するための槽を更
に配設した装置も包含するものである。
ｍｌｉｌ点を解ンするための手
次に、本発明に係る製造装置の具体例をそれの概略を例
示した添付図に基づいて説明する。
示した添付図に基づいて説明する。
図において１は発煙硫酸からＳＯｉを揮発する装置、２
はＳＯヨを精製硫酸に吸収するための吸収塔、３は吸収
塔２からの硫酸の濃度を調整するための槽および４は硫
酸から５０２を除去するためのＳＯ２除去槽をそれぞれ
示す。
はＳＯヨを精製硫酸に吸収するための吸収塔、３は吸収
塔２からの硫酸の濃度を調整するための槽および４は硫
酸から５０２を除去するためのＳＯ２除去槽をそれぞれ
示す。
ＳＯ３揮発装置りはその底部に加熱手段を、上方に不活
性ガス（又はクリーンエア）の吹き込み管５とＳＯ，ｉ
の排出管６を備えている。吸収塔２はその頂部と底部に
精製硫酸を循環させるための供給管８と排出管９、冷却
水による冷却管１０および排ガスの排出管１）を備えて
いる。また、硫酸濃度調整槽３は吸収塔２からの硫酸排
出管９と連通していて、超純水の導入管１２を備えてい
る。
性ガス（又はクリーンエア）の吹き込み管５とＳＯ，ｉ
の排出管６を備えている。吸収塔２はその頂部と底部に
精製硫酸を循環させるための供給管８と排出管９、冷却
水による冷却管１０および排ガスの排出管１）を備えて
いる。また、硫酸濃度調整槽３は吸収塔２からの硫酸排
出管９と連通していて、超純水の導入管１２を備えてい
る。
３０２除去槽４は硫酸濃度調整槽３と連通し°ζいて、
不活性ガス（又はクリーンエア）の吹き込み管１３と５
０２の排出管１４を備えている。
不活性ガス（又はクリーンエア）の吹き込み管１３と５
０２の排出管１４を備えている。
また、本発明に係る製造装置は、不純物および異物含量
が可及的に少ない高純度硫酸を製造するためのものであ
るので、その構成材料を選択することが実際上重要であ
る。したがって、本発明では装置における接液部をポリ
テトラフルオルエチレン、（テフロン）もしくはセラミ
ック、特にアルカリ金属を含まないセラミックで構成し
たものを適用することが好ましい。すなわち、ＳＯｉ揮
発装置、吸収塔、濃度調整装置およびＳＯ２除去槽と各
音のライニングを上記材料で形成する。
が可及的に少ない高純度硫酸を製造するためのものであ
るので、その構成材料を選択することが実際上重要であ
る。したがって、本発明では装置における接液部をポリ
テトラフルオルエチレン、（テフロン）もしくはセラミ
ック、特にアルカリ金属を含まないセラミックで構成し
たものを適用することが好ましい。すなわち、ＳＯｉ揮
発装置、吸収塔、濃度調整装置およびＳＯ２除去槽と各
音のライニングを上記材料で形成する。
因みに、上記ライニングをガラスや金属で形成するとＮ
ａ、に、Ｃａおよびその他の金属が硫酸中に溶出して硫
酸中の不純物含量を高めることになるので好ましくない
。
ａ、に、Ｃａおよびその他の金属が硫酸中に溶出して硫
酸中の不純物含量を高めることになるので好ましくない
。
皇１箆１
本装置を作動するには、まず、ＳＯｉ揮発装置ｌに出発
原料としての発煙硫酸を供給し、これに窒素（Ｎ２）の
ような不活性ガスを吹き込み管５より噴射させながら、
加熱して（温度計により１００〜１５０℃の温度に加熱
） ５Ｏ＝１を揮発して排出管６より排出させ、導入
管７を介して吸収塔２へ導入する。吸収塔２へ導入され
たＳＯｉは硫酸の供給管８および排出管９を介して塔内
を循環する精製濃硫酸に吸収され、塔内に設けられた冷
却管１０により冷却され、排出管９より抜き出され、濃
度調整槽３へ導かれ、導入管１２よりからの超純水で所
望の濃度に調整される。
原料としての発煙硫酸を供給し、これに窒素（Ｎ２）の
ような不活性ガスを吹き込み管５より噴射させながら、
加熱して（温度計により１００〜１５０℃の温度に加熱
） ５Ｏ＝１を揮発して排出管６より排出させ、導入
管７を介して吸収塔２へ導入する。吸収塔２へ導入され
たＳＯｉは硫酸の供給管８および排出管９を介して塔内
を循環する精製濃硫酸に吸収され、塔内に設けられた冷
却管１０により冷却され、排出管９より抜き出され、濃
度調整槽３へ導かれ、導入管１２よりからの超純水で所
望の濃度に調整される。
次に、このようにして得られた高純度硫酸はＳＯ２除去
槽４へ導かれ、吹き込み管１３より窒素（Ｎ２）のよう
な不活性ガスを噴射してＳＯ２を除去する。３０２は排
出管１４より排出される。ＳＯ２を除去した高純度硫酸
は容器詰段階へ導かれクリーンルームで容器詰して製品
とする。
槽４へ導かれ、吹き込み管１３より窒素（Ｎ２）のよう
な不活性ガスを噴射してＳＯ２を除去する。３０２は排
出管１４より排出される。ＳＯ２を除去した高純度硫酸
は容器詰段階へ導かれクリーンルームで容器詰して製品
とする。
皇皿■丈果
叙上のとおり、本発明によると、発煙硫酸を出発原料と
する高純度硫酸の製造を工業的に大量生産方式で実施す
ることが可能となる利点がある。
する高純度硫酸の製造を工業的に大量生産方式で実施す
ることが可能となる利点がある。
添付図は本発明の具体例を示す概略図である。
図中の符号は下記のものを示す。
■−・−−−−ＳＯヨ揮発装置
２−・−吸収塔
３−−−−−−硫酸濃度調整槽
４−−−−３ｏ２除去槽
５−−−−−不活性ガス又はクリーンエア吹き込み管６
−−−−−揮発ＳＯａの排出管 ８−一−−−−硫酸の供給管 ９−−−−−−一硫酸の排出管
−−−−−揮発ＳＯａの排出管 ８−一−−−−硫酸の供給管 ９−−−−−−一硫酸の排出管
Claims (4)
- （１）不活性ガス又はクリーンエアの吹き込み管と三酸
化イオウ（ＳＯ＿３）の排出管および加熱手段を備えた
発煙硫酸からのＳＯ＿３揮発装置；該排出管と連通した
三酸化イオウ導入管、精製硫酸を循環させるための供給
管と排出管、冷却水を通入するための冷却管および排ガ
スの排出管を備えた吸収塔；および上記硫酸排出管と連
通し、かつ超純水の導入管を備えた硫酸濃度調整槽を包
含する高純度硫酸の製造装置。 - （２）上記ＳＯ＿３揮発装置、吸収塔および濃度調整槽
における接液部がポリテトラフルオルエチレン（テフロ
ン）又はセラミックから構成されており、上記各管の接
液部がテフロンから構成されている特許請求の範囲第（
１）項記載の製造装置。 - （３）不活性ガス又はクリーンエアの吹き込み管と三酸
化イオウ（ＳＯ＿３）の排出管および加熱手段を備えた
発煙硫酸からのＳＯ＿３揮発装置；該排出管と連通した
三酸化イオウ導入管、精製硫酸を循環させるための供給
管と排出管、冷却水を通入するための冷却管および排ガ
スの排出管を備えた吸収塔；上記硫酸排出管と連通し、
且つ超純水の導入管を備えた硫酸濃度調整槽；および該
濃度調整槽と連通し、不活性ガス又はクリーンエアの吹
き込み管を備えた硫酸から二酸化イオウ（ＳＯ＿２）を
除去するための槽を包含する高純度硫酸の製造装置。 - （４）上記ＳＯ＿３揮発装置、吸収塔、濃度調整槽およ
び二酸化イオウ除去槽の接液部がポリテトラフルオルエ
チレン（テフロン）又はセラミックから構成されており
、上記各管の接液部がテフロンから構成されている特許
請求の範囲第（３）項記載の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25744384A JPS61136903A (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | 高純度硫酸の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25744384A JPS61136903A (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | 高純度硫酸の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61136903A true JPS61136903A (ja) | 1986-06-24 |
Family
ID=17306422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25744384A Pending JPS61136903A (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | 高純度硫酸の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61136903A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012012280A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Shanghai Huayi Microelectric Material Co Ltd | 超高純度硫酸の調製方法 |
| CN110155955A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-08-23 | 安阳市岷山有色金属有限责任公司 | 一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法 |
| CN115259104A (zh) * | 2022-07-07 | 2022-11-01 | 江苏索普新材料科技有限公司 | 硫酸生产系统以及控制吹扫装置出酸浓度的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622608A (en) * | 1979-07-30 | 1981-03-03 | Nissan Chem Ind Ltd | Manufacture of high purity sulfuric acid |
-
1984
- 1984-12-07 JP JP25744384A patent/JPS61136903A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622608A (en) * | 1979-07-30 | 1981-03-03 | Nissan Chem Ind Ltd | Manufacture of high purity sulfuric acid |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012012280A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Shanghai Huayi Microelectric Material Co Ltd | 超高純度硫酸の調製方法 |
| CN110155955A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-08-23 | 安阳市岷山有色金属有限责任公司 | 一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法 |
| CN110155955B (zh) * | 2019-04-01 | 2021-07-23 | 岷山环能高科股份公司 | 一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法 |
| CN115259104A (zh) * | 2022-07-07 | 2022-11-01 | 江苏索普新材料科技有限公司 | 硫酸生产系统以及控制吹扫装置出酸浓度的方法 |
| CN115259104B (zh) * | 2022-07-07 | 2024-04-26 | 江苏索普新材料科技有限公司 | 硫酸生产系统以及控制吹扫装置出酸浓度的方法 |
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