JPS61134087A - 磁気式ロ−タリエンコ−ダ - Google Patents
磁気式ロ−タリエンコ−ダInfo
- Publication number
- JPS61134087A JPS61134087A JP59255621A JP25562184A JPS61134087A JP S61134087 A JPS61134087 A JP S61134087A JP 59255621 A JP59255621 A JP 59255621A JP 25562184 A JP25562184 A JP 25562184A JP S61134087 A JPS61134087 A JP S61134087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary encoder
- width
- magnetic
- pattern
- reduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/01—Manufacture or treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、横幅の狭い磁気トラック上の着磁パターンを
正確に読み取れる高信頼性で低価格な磁気式ロータリエ
ンコーダに関する。
正確に読み取れる高信頼性で低価格な磁気式ロータリエ
ンコーダに関する。
一般にアブソリュート形ロータリエンコーダは回転側に
分解能に応じた複数のパターントラックを必要とする。
分解能に応じた複数のパターントラックを必要とする。
この点は、磁気式も光式も同様である。従って固定側に
複数のパターントラックに応じたセンサが必要であるが
、このセンサは直列に配置される必要があるため、セン
サを一つのチップにおさめようとすると、チップ寸法が
太き（なって、価格的な問題を生ずる。特開昭５７−１
２３４９４号公報に開示されているような磁気式のアブ
ソリュート形エンコーダでは１ビツト当たり２磁気トラ
ツクを必要とするため、磁気トラック幅のチップ寸法へ
の影響はさらに大きくなる。
複数のパターントラックに応じたセンサが必要であるが
、このセンサは直列に配置される必要があるため、セン
サを一つのチップにおさめようとすると、チップ寸法が
太き（なって、価格的な問題を生ずる。特開昭５７−１
２３４９４号公報に開示されているような磁気式のアブ
ソリュート形エンコーダでは１ビツト当たり２磁気トラ
ツクを必要とするため、磁気トラック幅のチップ寸法へ
の影響はさらに大きくなる。
たとえば、８ビツトのアブソリュートエンコーダでは１
６ｍ６磁気トラツク要となり、１トラツク当たり３ｎの
幅が必要とすると、センサ部だけで１６Ｘ３−４８ｍの
大きさが必要となり、価格性、作業性を考慮すると非常
に問題である。磁気トラックを狭くした場合、従来はセ
ンサの長さも必然的に短くしなければならなくなって、
センサの抵抗が小さくなり、通電による発熱が大きくな
って信頼性上問題を生じていた。
６ｍ６磁気トラツク要となり、１トラツク当たり３ｎの
幅が必要とすると、センサ部だけで１６Ｘ３−４８ｍの
大きさが必要となり、価格性、作業性を考慮すると非常
に問題である。磁気トラックを狭くした場合、従来はセ
ンサの長さも必然的に短くしなければならなくなって、
センサの抵抗が小さくなり、通電による発熱が大きくな
って信頼性上問題を生じていた。
第２図は特開昭５７−１２３４９４号公報に開示されて
いる磁気抵抗素子１、磁気トラック２の配置、出力信号
ｅ２．０２等を示し、図（ａ）は信号を（図中３は利用
可能な信号）、図（ｂ）、（Ｃ）は実際の磁気抵抗素子
１の配置を、図（ｄ）は一つの磁気抵抗素子を示してい
る。図示のように２磁気トラツクを用いて１ビット分の
信号を出力している。ここで問題となるのは各抵抗素子
の長さβである。一般に、センサには５■が印加される
ため、２を小さくすると抵抗が小さくなって、通電によ
る発熱量が大きくなり、信頼性上問題となる。長さＥを
小さくすると同時に、幅Ｗ又は膜厚ｔも小さくできれば
良いが、Ｗは加工精度上および信頼性上限度があり、ま
た、膜厚も薄くしすぎると、表面散乱の影響で磁気抵抗
変化率が低下する。したがって磁気抵抗素子は、一般に
、実質的に抵抗変化率が低下しない限度にまで膜厚を薄
くして使用されているのが現状である。
いる磁気抵抗素子１、磁気トラック２の配置、出力信号
ｅ２．０２等を示し、図（ａ）は信号を（図中３は利用
可能な信号）、図（ｂ）、（Ｃ）は実際の磁気抵抗素子
１の配置を、図（ｄ）は一つの磁気抵抗素子を示してい
る。図示のように２磁気トラツクを用いて１ビット分の
信号を出力している。ここで問題となるのは各抵抗素子
の長さβである。一般に、センサには５■が印加される
ため、２を小さくすると抵抗が小さくなって、通電によ
る発熱量が大きくなり、信頼性上問題となる。長さＥを
小さくすると同時に、幅Ｗ又は膜厚ｔも小さくできれば
良いが、Ｗは加工精度上および信頼性上限度があり、ま
た、膜厚も薄くしすぎると、表面散乱の影響で磁気抵抗
変化率が低下する。したがって磁気抵抗素子は、一般に
、実質的に抵抗変化率が低下しない限度にまで膜厚を薄
くして使用されているのが現状である。
本発明の目的は、磁気トラックの幅が狭い、特に高分解
能を得るために多数の磁気トラックを用いた場合にも価
格上問題が生じないように、磁気抵抗素子よりなるセン
サのチップ寸法を小さく抑えたときに、発熱など信頼性
上の問題がないようにした磁気式ロータリエンコーダを
提供することにある。
能を得るために多数の磁気トラックを用いた場合にも価
格上問題が生じないように、磁気抵抗素子よりなるセン
サのチップ寸法を小さく抑えたときに、発熱など信頼性
上の問題がないようにした磁気式ロータリエンコーダを
提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、′横幅の
狭い着磁パターンを、幅が細く、かつ、折り返して全長
を長くし、比較的小さい面積を占めながら抵抗値の高い
抵抗パターンよりなる磁気抵抗素子を用いて読み取るよ
うにした。つまり、抵抗パターンの膜厚を無理に薄くせ
ず、パターン幅を加工精度上、信頼性上杵される限度に
まで細くした上で、あとは折り返すことによって長さを
稼いで抵抗値を上げることにしたのである。
狭い着磁パターンを、幅が細く、かつ、折り返して全長
を長くし、比較的小さい面積を占めながら抵抗値の高い
抵抗パターンよりなる磁気抵抗素子を用いて読み取るよ
うにした。つまり、抵抗パターンの膜厚を無理に薄くせ
ず、パターン幅を加工精度上、信頼性上杵される限度に
まで細くした上で、あとは折り返すことによって長さを
稼いで抵抗値を上げることにしたのである。
第１図（ａ）は本発明を実施して磁気抵抗素子の抵抗パ
ターンを折り返して３本にした例を、第１図（ｂ）は抵
抗パターンを折り返して５本にした例を示す。
ターンを折り返して３本にした例を、第１図（ｂ）は抵
抗パターンを折り返して５本にした例を示す。
一般に磁気抵抗素子の抵抗パターン幅を小さくすると、
低磁界での感度が劣化する。しかし、第１ｆｆｉ （ａ
）や（ｂ）のように、細いｔ氏抗パターンを複数本なら
べると集磁効果が生じ、１本の場合よりも低磁界での感
度が向上するという利点もある。この様子を第３図に示
す。第３図は膜厚５００人の試料に就いて測定したもの
で、曲線Ａは抵抗パターンの＠１０μｍのものが５μｍ
間隔で３本並んだ試料の特性を示し、曲線Ｂは従来のよ
うに抵抗パターン＠３０μｍのものが１本の場合の特性
を示し、曲線Ａよりも低磁界での立ち上がりが早く、ま
た曲線Ｃは抵抗パターン＠１０μｍのものが１本の場合
の特性を示し、低磁界での立ち上がりは最も遅い。なお
、既述のように、抵抗パターンの＠Ｗを細（するにして
も加工精度や信頼性の上から限度があるから、第１図（
ｂ）に示すように５本に折り返す場合などには、抵抗パ
ターンが５本並んだセンサの全横幅Ｗが、着磁ピッチ以
下となるように注意しなければならない。
低磁界での感度が劣化する。しかし、第１ｆｆｉ （ａ
）や（ｂ）のように、細いｔ氏抗パターンを複数本なら
べると集磁効果が生じ、１本の場合よりも低磁界での感
度が向上するという利点もある。この様子を第３図に示
す。第３図は膜厚５００人の試料に就いて測定したもの
で、曲線Ａは抵抗パターンの＠１０μｍのものが５μｍ
間隔で３本並んだ試料の特性を示し、曲線Ｂは従来のよ
うに抵抗パターン＠３０μｍのものが１本の場合の特性
を示し、曲線Ａよりも低磁界での立ち上がりが早く、ま
た曲線Ｃは抵抗パターン＠１０μｍのものが１本の場合
の特性を示し、低磁界での立ち上がりは最も遅い。なお
、既述のように、抵抗パターンの＠Ｗを細（するにして
も加工精度や信頼性の上から限度があるから、第１図（
ｂ）に示すように５本に折り返す場合などには、抵抗パ
ターンが５本並んだセンサの全横幅Ｗが、着磁ピッチ以
下となるように注意しなければならない。
なお、これまで本発明を多数の磁気トラックを有するア
ブソリュート形ロータリエンコーダについて説明したが
、磁気トラック１個の場合のインクリメント形ロータリ
エンコーダ、磁気トラックが２個または３個の場合のイ
ンクリメント十基準点形ロータリエンコーダ等の場合に
も本発明を通用できることは明らかである。
ブソリュート形ロータリエンコーダについて説明したが
、磁気トラック１個の場合のインクリメント形ロータリ
エンコーダ、磁気トラックが２個または３個の場合のイ
ンクリメント十基準点形ロータリエンコーダ等の場合に
も本発明を通用できることは明らかである。
以上説明したように本発明によれば、磁気式ロータリエ
ンコーダの磁気抵抗素子部寸法を小さくすることが可能
となり、磁気式ロータリエンコーダの経済性を大きく向
上させることが出来る。
ンコーダの磁気抵抗素子部寸法を小さくすることが可能
となり、磁気式ロータリエンコーダの経済性を大きく向
上させることが出来る。
第１図（ａ）、（ｂ）は相異なる本発明実施例の磁気抵
抗素子部を示す図、第２図（ａ）は従来の２トラック１
ビット方式ロータリエンコーダの信号出力の図、第２図
（ｂ）、（ｃ）は其の磁気抵抗素子の実際の配置の説明
図、第２図（ｄ）は其の磁気抵抗素子１（Ｉ！を示す図
、第３図は抵抗パターン幅や、平行させたパターン本数
によって、磁束密度（Ｇ）と抵抗変化率（％）の関係が
如何に変化するかを示す図である。 ■・−・磁気抵抗素子、 ２−・−・磁気トラック、
３−・利用可能な信号、 ｅ２、ｅ２−出力［信号。 第 １ 図 （ａ−） 第 ２ 図 （ａｌ （ｂ） （ｄ−） 第 ３ 図 百轟東望廖（ｅ）
抗素子部を示す図、第２図（ａ）は従来の２トラック１
ビット方式ロータリエンコーダの信号出力の図、第２図
（ｂ）、（ｃ）は其の磁気抵抗素子の実際の配置の説明
図、第２図（ｄ）は其の磁気抵抗素子１（Ｉ！を示す図
、第３図は抵抗パターン幅や、平行させたパターン本数
によって、磁束密度（Ｇ）と抵抗変化率（％）の関係が
如何に変化するかを示す図である。 ■・−・磁気抵抗素子、 ２−・−・磁気トラック、
３−・利用可能な信号、 ｅ２、ｅ２−出力［信号。 第 １ 図 （ａ−） 第 ２ 図 （ａｌ （ｂ） （ｄ−） 第 ３ 図 百轟東望廖（ｅ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転側の磁気トラック上の着磁パターンを固定側の
磁気抵抗素子で読み取り、回転体の回転状態を知るよう
にした磁気式ロータリエンコーダにおいて、横幅の狭い
着磁パターンを、幅が細く、かつ、折り返して全長を長
くし、比較的小さい面積を占めながら抵抗値の高い抵抗
パターンよりなる磁気抵抗素子を用いて読み取るように
したことを特徴とする磁気式ロータリエンコーダ。 ２、回転側が複数の幅の狭い磁気トラックを有する特許
請求の範囲第１項記載の磁気式ロータリエンコーダ。 ３、磁気トラック円周方向の、１個の磁気抵抗素子の折
り返した抵抗パターン全体の寸法が、磁気トラックの着
磁ピッチよりも小さい特許請求の範囲第１項記載の磁気
式ロータリエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59255621A JPS61134087A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 磁気式ロ−タリエンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59255621A JPS61134087A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 磁気式ロ−タリエンコ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61134087A true JPS61134087A (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=17281290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59255621A Pending JPS61134087A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 磁気式ロ−タリエンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61134087A (ja) |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP59255621A patent/JPS61134087A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5574364A (en) | Position detector including a reference position wherein the sensor is saturating the MR sensor for preventing hysteresis and in a bridge circuit | |
| KR20020021313A (ko) | 자기검출장치 | |
| JPH0514205B2 (ja) | ||
| JPS58154612A (ja) | 変位量検出装置 | |
| JPS60124020A (ja) | デ−タ記憶装置のヘッド位置検出方式 | |
| JPS61134087A (ja) | 磁気式ロ−タリエンコ−ダ | |
| US5172057A (en) | Magnetic encoder including plural magnetic pole lines having differing magnetic pitches and plural magnetic resistance effect elements | |
| JPS59147213A (ja) | 磁気回転センサ | |
| JP2722605B2 (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPH0820271B2 (ja) | 位置や速度を検出する装置 | |
| JPH0330089B2 (ja) | ||
| JP2546233B2 (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘツドの原点検出部 | |
| JP2539470B2 (ja) | 磁気的に位置や速度を検出する装置 | |
| JPH052925B2 (ja) | ||
| JP2546282B2 (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘッドの原点検出部 | |
| JP2546281B2 (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘッドの原点検出部 | |
| JP2968924B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
| JP2512905B2 (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘツドの原点検出部 | |
| JPH01239413A (ja) | 磁気式アブソリュートエンコーダ装置 | |
| JPH0711430B2 (ja) | エンコ−ダ装置 | |
| JPH01116408A (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPS6382319A (ja) | 磁気目盛検出素子 | |
| JPS6123822Y2 (ja) | ||
| JPH0676893B2 (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPH0521861A (ja) | 磁気抵抗変換素子 |