JPS61132580A - 窒化物セラミツク体へのメタライズ方法 - Google Patents
窒化物セラミツク体へのメタライズ方法Info
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- JPS61132580A JPS61132580A JP59254538A JP25453884A JPS61132580A JP S61132580 A JPS61132580 A JP S61132580A JP 59254538 A JP59254538 A JP 59254538A JP 25453884 A JP25453884 A JP 25453884A JP S61132580 A JPS61132580 A JP S61132580A
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- C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野］
本発明は窒化物セラミック体にメタライズを実施する改
良された方法、更に詳しくは該セラミック体と、メタラ
イズ層上に接合される金属材との中間にあって両者に強
い接合強度を与えるメタライズ法に関する。
良された方法、更に詳しくは該セラミック体と、メタラ
イズ層上に接合される金属材との中間にあって両者に強
い接合強度を与えるメタライズ法に関する。
（従来の技術）
セラミック材料と金属材料との接合は両材料の複合的工
業技術にとって極めて重要な役割をなし。
業技術にとって極めて重要な役割をなし。
とシわけ高温特性１強度の優れた！３ｉｓＮｉ （窒化
ケイ素）１ＡＪＮ （窒化アルミ）等の窒化物を焼結し
たセラミック体の応用分野が拡大されている現今。
ケイ素）１ＡＪＮ （窒化アルミ）等の窒化物を焼結し
たセラミック体の応用分野が拡大されている現今。
金属との接合技術には高い関心が寄せられている。
即ち、その接合が電気的結合１機械的結合のｈづれに向
けられていても、セラミック体と金属材料との接合強度
には相応のものが要求されている。
けられていても、セラミック体と金属材料との接合強度
には相応のものが要求されている。
従来こうした接合に用いられるメタライズ法には種々の
方法が採られているが、いづれも多少の技術的問題点を
含んでいる。
方法が採られているが、いづれも多少の技術的問題点を
含んでいる。
（発明が解決しようとする問題点］
即ち、高融点金属法によっては非酸化物セラミック体の
場合は高強度の接合強度が得られない。
場合は高強度の接合強度が得られない。
金属薄膜をセラミック体上に蒸着する方法では。
形状に制約があシ、コスト高となる。金属材上セラミッ
ク体六に鋳包む方法は用途に制約がある。
ク体六に鋳包む方法は用途に制約がある。
この他セラミック体と金属材との間に１両者の熱膨張値
の中間値をとるような材質を介装する方法摩擦圧接法も
提案されてはいるが、前掲方法ともどもｉづれも接合強
度が小さい、接合形状に制約を受けると云う問題点を払
拭し得ていない。
の中間値をとるような材質を介装する方法摩擦圧接法も
提案されてはいるが、前掲方法ともどもｉづれも接合強
度が小さい、接合形状に制約を受けると云う問題点を払
拭し得ていない。
（問題を解決するための手段）
本発明は上記現状、に鑑み、窒化物セラミック体のメタ
ライズ方法を種々研究・実験した結果、該セラミック体
と金属との接合に際し、酸窒化物ガラスと、高融点金属
粉末との夫々の粉末の混合物よシなるメタライズ組成物
をセラミック体上に定着・焼結すると、接合部の形状に
制約されることなく、簡単な工程で高強度の接合強度が
得られることを知悉し１本発明の完成に至ったのである
。
ライズ方法を種々研究・実験した結果、該セラミック体
と金属との接合に際し、酸窒化物ガラスと、高融点金属
粉末との夫々の粉末の混合物よシなるメタライズ組成物
をセラミック体上に定着・焼結すると、接合部の形状に
制約されることなく、簡単な工程で高強度の接合強度が
得られることを知悉し１本発明の完成に至ったのである
。
即ち１本発明は、窒化物セラミック体上に少なくと４酸
窒化物ガラスと高融点金属粉末とを含むメタライズ組成
物を定着して焼結してなることを特徴とする窒化物セラ
ミック体へのメタライズ方法である。
窒化物ガラスと高融点金属粉末とを含むメタライズ組成
物を定着して焼結してなることを特徴とする窒化物セラ
ミック体へのメタライズ方法である。
本発明によるメタライズ部の上には常法に従ってメッキ
等を施した後、接合すべき金属材をロー付けして構造材
として利用した）、電気的良導体金属をメッキしてプリ
ント基板などの導体配線を形成して電気的材料に応用す
るなど、その応用範囲は広い、望ましい実施例に於て、
メタライズ部分とセラミック体との剥離強度は７５ Ｍ
Ｐａ （メガ・パスカル）以上に及んでいる。以下に本
発明の構成を詳述する。窒化物セラミック体としては１
３ｉｉＮ４（窒化ケイ素）焼結体、 ＡｊＮ （窒化ア
ルミ）焼結体が挙げられ、これらは工業的に焼結する場
合。
等を施した後、接合すべき金属材をロー付けして構造材
として利用した）、電気的良導体金属をメッキしてプリ
ント基板などの導体配線を形成して電気的材料に応用す
るなど、その応用範囲は広い、望ましい実施例に於て、
メタライズ部分とセラミック体との剥離強度は７５ Ｍ
Ｐａ （メガ・パスカル）以上に及んでいる。以下に本
発明の構成を詳述する。窒化物セラミック体としては１
３ｉｉＮ４（窒化ケイ素）焼結体、 ＡｊＮ （窒化ア
ルミ）焼結体が挙げられ、これらは工業的に焼結する場
合。
焼結助剤としてｈ・厘ａ族元業、・Ｕ及びケイ素などの
酸化物及びＡＪＩＮの単独もしくは組み合わせを夫々助
剤としての使用量（約１０重量−）含んで良好な焼結を
保証するものであるが、これら焼結助剤は焼結によって
粒間相の主相を形成し、この粒間相は通常酸窒化物ガラ
ス或いはこのガラスから結晶化した酸窒化物結晶相から
構成されている。
酸化物及びＡＪＩＮの単独もしくは組み合わせを夫々助
剤としての使用量（約１０重量−）含んで良好な焼結を
保証するものであるが、これら焼結助剤は焼結によって
粒間相の主相を形成し、この粒間相は通常酸窒化物ガラ
ス或いはこのガラスから結晶化した酸窒化物結晶相から
構成されている。
本発明で使用する酸窒化物ガラスとは、上記のセラミッ
ク体中の粒間相を構成している酸窒化物ガラスおよび窒
化物と化学的に類似するものであれば特に組成に限定を
設ける必要がなく後記のＭｇ０＝ＡＪＮ−ＹｔＯ署及び
ｓｉｏ鵞（窒化ケイ素セラミック体に対し）・Ｙ意Ｏｍ
・ＡＪＮ及びｓｔｏｗ （窒化アルミセラミック体に対
し）は−例にすぎないものである。
ク体中の粒間相を構成している酸窒化物ガラスおよび窒
化物と化学的に類似するものであれば特に組成に限定を
設ける必要がなく後記のＭｇ０＝ＡＪＮ−ＹｔＯ署及び
ｓｉｏ鵞（窒化ケイ素セラミック体に対し）・Ｙ意Ｏｍ
・ＡＪＮ及びｓｔｏｗ （窒化アルミセラミック体に対
し）は−例にすぎないものである。
この酸窒化物ガラスは焼付は温度で流動性のあるものが
、塗布、プリントのような簡単な定着手法を採択出来る
上で至適である。更に、この酸窒化物ガラスとは結晶質
を全く含まない純粋なガラスである必要はなく、多少の
結晶質を含んでいても所謂“フリット、状にして使用出
来るものであれば、結晶質を含んでいても何等差支えな
いものである。
、塗布、プリントのような簡単な定着手法を採択出来る
上で至適である。更に、この酸窒化物ガラスとは結晶質
を全く含まない純粋なガラスである必要はなく、多少の
結晶質を含んでいても所謂“フリット、状にして使用出
来るものであれば、結晶質を含んでいても何等差支えな
いものである。
他方、酸窒化物ガラス中に分散混合させる高融点金属粉
末は基本的には焼付温度で溶融、気化等が起らない金属
、金属のケイ化物、炭化物の粉末で、ガラスを焼結した
場合、金属−七のケイ化物。
末は基本的には焼付温度で溶融、気化等が起らない金属
、金属のケイ化物、炭化物の粉末で、ガラスを焼結した
場合、金属−七のケイ化物。
炭化物或いはそれらの混合物として存在するものであれ
ば良＜＊ Ｔｌ＠Ｚｒ＠ＨｆｌＶｊＮｂｌＴａＩＣｒ８
ＭＯ＠Ｗなど。
ば良＜＊ Ｔｌ＠Ｚｒ＠ＨｆｌＶｊＮｂｌＴａＩＣｒ８
ＭＯ＠Ｗなど。
周期律上、ＩＶ、Ｖ、ＶＩ族族系系列金属元素粉末が好
適である。酸窒化物ガラスとの混合割合は特に制限的な
ものは不要であるが１通常ガラス粉末７〜５０重量部に
対し高融点金属粉末は９３〜５０重量部の範囲で良い。
適である。酸窒化物ガラスとの混合割合は特に制限的な
ものは不要であるが１通常ガラス粉末７〜５０重量部に
対し高融点金属粉末は９３〜５０重量部の範囲で良い。
メタライズ組成物を窒化物セラミック体上に定着させる
手法としては、既述のようなフリット状のメタライズ組
成物を塗布もしくは印刷によってセラミック体上に厚み
Ｏ，ＯＸ〜０．１ｍ＠度に層着することが最も望ましい
が、この他吹付等の手法も採用出来る１層着せるメタク
イズ組成物を焼結するには１組成物の内容によっても変
わるもののｉ、 ｏ ｏ ｏ〜１．５００℃の間で還元
あるいは中性ガス中で焼結すればよい。得られたメタラ
イズ部の上には既述のように接合すべき金属材をロー付
けして構造材としたｌ）、Ａｕ−８４合金のような高Ｉ
ハ導電性を有する金属をメッキしてプリント基板のよう
な導体配線を形成して電気的材料に応用する１等である
。
手法としては、既述のようなフリット状のメタライズ組
成物を塗布もしくは印刷によってセラミック体上に厚み
Ｏ，ＯＸ〜０．１ｍ＠度に層着することが最も望ましい
が、この他吹付等の手法も採用出来る１層着せるメタク
イズ組成物を焼結するには１組成物の内容によっても変
わるもののｉ、 ｏ ｏ ｏ〜１．５００℃の間で還元
あるいは中性ガス中で焼結すればよい。得られたメタラ
イズ部の上には既述のように接合すべき金属材をロー付
けして構造材としたｌ）、Ａｕ−８４合金のような高Ｉ
ハ導電性を有する金属をメッキしてプリント基板のよう
な導体配線を形成して電気的材料に応用する１等である
。
（作用）
窒化物セラミック体の粒間相を構成している酸窒化物ガ
ラス或りは酸窒化物結晶に対してメタライズ組成物中の
酸窒化物ガラスが極めて大きな親和性を発揮してセラミ
ック体とメタライズ部との強い化学的接合強度を保証し
、一方高融点金属粉末は高温で焼結された場合、金属、
ケイ化物−炭化物もしくはそれらの混合物としてメタラ
イズ部内に存在し接合すべき金属材とのぬれ性が良好で
あるためメタライズ部上に該金属材を直接接合して高い
接合強度が得られる。必要によってはこのメタライズ部
に更に電解或いは無電解メッキを行なってこれと半田付
けもしくはロー付けによって金属材を接合すれば接合強
度はより高められるのでその採択が望まれる。
ラス或りは酸窒化物結晶に対してメタライズ組成物中の
酸窒化物ガラスが極めて大きな親和性を発揮してセラミ
ック体とメタライズ部との強い化学的接合強度を保証し
、一方高融点金属粉末は高温で焼結された場合、金属、
ケイ化物−炭化物もしくはそれらの混合物としてメタラ
イズ部内に存在し接合すべき金属材とのぬれ性が良好で
あるためメタライズ部上に該金属材を直接接合して高い
接合強度が得られる。必要によってはこのメタライズ部
に更に電解或いは無電解メッキを行なってこれと半田付
けもしくはロー付けによって金属材を接合すれば接合強
度はより高められるのでその採択が望まれる。
（実施例）
第１図に本発明法によって得られたメタライズ構造の一
部縦断斜視図を示す、窒化物セラミック体ｌ上の接合に
必要なエリアに亘って定着されたメタライズ組成物は焼
結によってメタライズ部２を形成しておシ、このメタラ
イズ部２上に、−例として、コバー合金（ＫＯＶＡＲ）
よりなる金属材３を銀１’！−４（ＢＡｇ−８）
を介して接合しである。
部縦断斜視図を示す、窒化物セラミック体ｌ上の接合に
必要なエリアに亘って定着されたメタライズ組成物は焼
結によってメタライズ部２を形成しておシ、このメタラ
イズ部２上に、−例として、コバー合金（ＫＯＶＡＲ）
よりなる金属材３を銀１’！−４（ＢＡｇ−８）
を介して接合しである。
この銀ロー４のブレージングはアンモニア分解ガスをウ
ェットガス（水蒸気を含ませたもの）の状態で導入した
雰囲気下で約８５０℃にて溶融させることによって実施
した。後記のロー付は後の接合強度の測定方法をこ＼で
第２図を採って説明しておく、テストピースＳである窒
化物セラミック体１は左右よシ万力８によって中央方向
に圧縮力（太矢印）を付与された状態で竪固に固定され
ておシ、上記コバー金属材３上に吊金具５をハンダ６を
もって固定し、この吊金具５の上端にプツシニブルゲー
ジ（ゼンマイばねはかっ）７を取付ける。この状態で吊
金具５を３０ ｆｉ／分の速さで上方に引き上げ、メタ
ライズ部２がセラミック体１よシ剥離した瞬間の強度を
ゲージ７で読み取る。
ェットガス（水蒸気を含ませたもの）の状態で導入した
雰囲気下で約８５０℃にて溶融させることによって実施
した。後記のロー付は後の接合強度の測定方法をこ＼で
第２図を採って説明しておく、テストピースＳである窒
化物セラミック体１は左右よシ万力８によって中央方向
に圧縮力（太矢印）を付与された状態で竪固に固定され
ておシ、上記コバー金属材３上に吊金具５をハンダ６を
もって固定し、この吊金具５の上端にプツシニブルゲー
ジ（ゼンマイばねはかっ）７を取付ける。この状態で吊
金具５を３０ ｆｉ／分の速さで上方に引き上げ、メタ
ライズ部２がセラミック体１よシ剥離した瞬間の強度を
ゲージ７で読み取る。
次に本発明の臭体的実施例
（実施例１）
（、） 窒化物セラミック体： Ｍｇ０３重量−、ム
ｉ冨０１７重量哄を焼結助剤として含むＳ ｉ ＩＮ４
セラミック材料をＮｔ雰囲気下にて１，８５０℃にて焼
成し、接合面を２５０番ダイアモンドホイールで研磨し
てテストピースを作成した。
ｉ冨０１７重量哄を焼結助剤として含むＳ ｉ ＩＮ４
セラミック材料をＮｔ雰囲気下にて１，８５０℃にて焼
成し、接合面を２５０番ダイアモンドホイールで研磨し
てテストピースを作成した。
（ｂ） 酸窒化物ガラス： ＭｇＯ１８重量哄・人Ｊ
Ｎ２０重量哄−８ｉ０意６２重量哄を混合調製し、六方
晶ＢＮｔ−コーティングした８ｉＣルツボ中にてＬ５０
Ｇ℃で３時間加熱しＮ！ガスを送シながらルツボ中で放
冷した。得られたＭｇ−人１−８ｉ−０−Ｎ系のガラス
からはＸ線回折の結果＊ ８ｉ１Ｎ＊０．各種８ ＩＡ
ＬＯＮとみられる微弱な回折線が認みられた。
Ｎ２０重量哄−８ｉ０意６２重量哄を混合調製し、六方
晶ＢＮｔ−コーティングした８ｉＣルツボ中にてＬ５０
Ｇ℃で３時間加熱しＮ！ガスを送シながらルツボ中で放
冷した。得られたＭｇ−人１−８ｉ−０−Ｎ系のガラス
からはＸ線回折の結果＊ ８ｉ１Ｎ＊０．各種８ ＩＡ
ＬＯＮとみられる微弱な回折線が認みられた。
こうして得たカレットを乳鉢中で粗粉砕した後。
振動ミルによって３２５メツシユ以下の粒径に調製した
。
。
（ｃ） 高融点金属粉末：純度９９憾、平均粒径３声
のＷ粉末を用意した。
のＷ粉末を用意した。
（ｄ） 定着及び焼結二上記のように準備された酸窒
化物ガラスとＷ粉末とを混合してペーストとした後、こ
のペーストをセラミック体上に厚み２０声、４Ｎ８の面
積に亘って塗布し、Ｎ！算四囲気中１．３５０℃で１時
間焼結してメタライズ部を得た。
化物ガラスとＷ粉末とを混合してペーストとした後、こ
のペーストをセラミック体上に厚み２０声、４Ｎ８の面
積に亘って塗布し、Ｎ！算四囲気中１．３５０℃で１時
間焼結してメタライズ部を得た。
（ｅ） 接合：上記メタライズ部にＮｉ無電屏メッキ
を施し、剥離強度テストのための吊金具をハンダ付けし
てメタライズ部とセラミック体との剥離強度測定を実施
した。テストは２０個のテストピースにつき行ない平均
強度が８０ＭＰ暑、バラつきはａｎ−１ｘ５ＭＰａであ
った。
を施し、剥離強度テストのための吊金具をハンダ付けし
てメタライズ部とセラミック体との剥離強度測定を実施
した。テストは２０個のテストピースにつき行ない平均
強度が８０ＭＰ暑、バラつきはａｎ−１ｘ５ＭＰａであ
った。
（実施例２）
（ａ） 窒化物セラミック体： ＹｔＯｓ ６重量憾
を焼結助剤として含む人ＪＮセラミック材料をＮ！算囲
気下で１，８５０℃にて焼成し接合面を２５０番ダイヤ
モンドホイールにて研磨した。
を焼結助剤として含む人ＪＮセラミック材料をＮ！算囲
気下で１，８５０℃にて焼成し接合面を２５０番ダイヤ
モンドホイールにて研磨した。
（ｂ） 酸窒化物ガラス： ＹｇＯ暑５０重量憾Ｓ人
ｌＮ１３重量＄ 拳ｓｔｏ、 ３２重量囁の割合で調合
し１、７５０℃で１時間溶融してカレントを得た。この
Ｙ−人ノー８ｉ−０−Ｎ系 のガラスからはＸ線回折の
結果、結晶質物質は認められなかった。
ｌＮ１３重量＄ 拳ｓｔｏ、 ３２重量囁の割合で調合
し１、７５０℃で１時間溶融してカレントを得た。この
Ｙ−人ノー８ｉ−０−Ｎ系 のガラスからはＸ線回折の
結果、結晶質物質は認められなかった。
（ｃ） 高融点金属粉末二上記ガラスを２５メツシ二
以下の粉末とし平均粒径１０７ｇｍのＮｂ８ｉ１粉末と
混合した。
以下の粉末とし平均粒径１０７ｇｍのＮｂ８ｉ１粉末と
混合した。
（ａ） 定着及び焼結：この混合物をペーストとして
厚み２０声に塗布し１．４００℃で１時間焼結した。
厚み２０声に塗布し１．４００℃で１時間焼結した。
（ｅ） 接合：（実施例工）と同様彦処置を施こして
剥離強度を測定した。
剥離強度を測定した。
２０個のテストピースにつき行なった平均剥離強度は４
５ ＭＰａ ｍバラつきはＪ ｎ−ｉ ｍ ５ ＭＰａ
であった。
５ ＭＰａ ｍバラつきはＪ ｎ−ｉ ｍ ５ ＭＰａ
であった。
（実施例３〜７）
（実施例λ）の８ｉａＮ＊セラミック体及び（実施例２
）のＡＪＩＩＮセラミック体の夫々につき焼結助剤高融
点金属粉末を夫々に変えて実施したものを（実施例３〜
５）に示し、（実施例１〜７）の内容を（別表１）にま
とめて表示した。
）のＡＪＩＩＮセラミック体の夫々につき焼結助剤高融
点金属粉末を夫々に変えて実施したものを（実施例３〜
５）に示し、（実施例１〜７）の内容を（別表１）にま
とめて表示した。
Ｃ以下余白）
（表五）から判明するように＊ ８ｉｓＮａ及びＡｊＮ
両窒化物セラミック体に対するメタライズ強度が概ね７
０〜８０ ＭＰａと云う極めて高い値を、ロー付活の強
度も約６０〜７５ ＭＰａとかな）の高い値を示して１
本発明の有効性がこ＼に確認された。
両窒化物セラミック体に対するメタライズ強度が概ね７
０〜８０ ＭＰａと云う極めて高い値を、ロー付活の強
度も約６０〜７５ ＭＰａとかな）の高い値を示して１
本発明の有効性がこ＼に確認された。
（発明の効果）
本発明は叙述した所から理解されたように、酸窒化物ガ
ラスと高融点金属粉末とよりなるメタライズ組成物を窒
化物セラミック体の接合部位に塗布、印刷等の定着をさ
せてから焼結することによ。
ラスと高融点金属粉末とよりなるメタライズ組成物を窒
化物セラミック体の接合部位に塗布、印刷等の定着をさ
せてから焼結することによ。
シ、該セラミック体に対する高い接合強度を保証するこ
とが出来るもので、接合部位の形状に伺等制約を受けず
しかも簡単な工程で実施出来る優れた効果を発揮し得る
ものである。
とが出来るもので、接合部位の形状に伺等制約を受けず
しかも簡単な工程で実施出来る優れた効果を発揮し得る
ものである。
第１図は本発明法を実施せるメタライズ構造の一部縦断
斜視図、第２図はこのメタライズ構造上にロー付けをし
た場合のロー付後の強度測定テストの概略を示す説明図
である。 Ｃ符号の説明） 五・−窒化物セラきツク体、２−メタライズ部、３−・
金属材、４−ロー材、５−吊金具、６−ロー材、７−プ
ツジユプルゲージ、Ｓ−・テストピース。 ８−万力。 一以上一
斜視図、第２図はこのメタライズ構造上にロー付けをし
た場合のロー付後の強度測定テストの概略を示す説明図
である。 Ｃ符号の説明） 五・−窒化物セラきツク体、２−メタライズ部、３−・
金属材、４−ロー材、５−吊金具、６−ロー材、７−プ
ツジユプルゲージ、Ｓ−・テストピース。 ８−万力。 一以上一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、窒化物セラミック体上に少なくとも酸窒化物ガラス
と高融点金属粉末とを含むメタライズ組成物を定着して
焼結してなることを特徴とする窒化物セラミック体への
メタライズ方法。 ２、メタライズ組成物が塗布もしくはプリントによって
窒化物セラミック体上に定着される特許請求の範囲第１
項記載のメタライズ方法。 ３、窒化物セラミック体が窒化ケイ素セラミック体で、
焼結助剤としてＭｇＯ、Ａｌ＿２Ｏ＿３、Ｙ＿２Ｏ＿３
及びＡｌＮの単独もしくは組み合わせを含み、酸窒化物
ガラスがＭｇＯ、ＡｌＮ、Ｙ＿２Ｏ＿３及びＳｉＯ＿２
の組み合わせよりなり、高融点金属粉末がＷ、Ｍｏ及び
Ｍｎの粉末の単独もしくは組み合わせよりなる特許請求
の範囲第１項記載のメタライズ方法。 ４、窒化物セラミック体が窒化アルミセラミック体で焼
結助剤としてＹ＿２Ｏ＿３、ＣａＯ及びＬａ＿２Ｏ＿３
の単独もしくは組み合わせを含み、酸窒化物ガラスがＹ
＿２Ｏ＿３、ＡｌＮ及びＳｉＯ＿２の単独もしくは組み
合わせよりなり、高融点金属粉末がＷ、ＮｂＳｉ＿２及
びＷ＋Ｍｎの粉末のいづれかよりなる特許請求の範囲第
１項記載のメタライズ方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59254538A JPH0679988B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 窒化物セラミツク体へのメタライズ方法 |
| US06/803,044 US4806160A (en) | 1984-11-30 | 1985-11-29 | Metallizing composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59254538A JPH0679988B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 窒化物セラミツク体へのメタライズ方法 |
Related Child Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21374591A Division JPH05860A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | メタライズ構造 |
| JP21374691A Division JPH05861A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 窒化物系セラミツク体のメタライズ組成物 |
| JP21374791A Division JPH05862A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 窒化物系セラミツク体のメタライズ組成物 |
| JP3213748A Division JPH05863A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 接合構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132580A true JPS61132580A (ja) | 1986-06-20 |
| JPH0679988B2 JPH0679988B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=17266432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59254538A Expired - Fee Related JPH0679988B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 窒化物セラミツク体へのメタライズ方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4806160A (ja) |
| JP (1) | JPH0679988B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5529852A (en) * | 1987-01-26 | 1996-06-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body having a metallized coating layer on its surface |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2572823B2 (ja) * | 1988-09-22 | 1997-01-16 | 日本碍子株式会社 | セラミック接合体 |
| US4940678A (en) * | 1989-07-27 | 1990-07-10 | Corning Incorporated | Rare earth oxynitride glasses |
| US5455211A (en) * | 1994-04-19 | 1995-10-03 | Arizona Board Of Regents Acting On Behalf Of Arizona State University | Methods of making nitride glasses |
| DE19514018C1 (de) * | 1995-04-13 | 1996-11-28 | Hoechst Ceram Tec Ag | Verfahren zur Herstellung eines metallbeschichteten, metallisierten Substrats aus Aluminiumnitridkeramik und damit erhaltenes metallbeschichtetes Substrat |
| JP4161423B2 (ja) * | 1997-10-30 | 2008-10-08 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体及びそのメタライズ基板 |
| US6212349B1 (en) | 1999-07-30 | 2001-04-03 | Xerox Corporation | Ceramic donor roll with shaft |
| US6483690B1 (en) | 2001-06-28 | 2002-11-19 | Lam Research Corporation | Ceramic electrostatic chuck assembly and method of making |
| US7659220B1 (en) * | 2008-12-03 | 2010-02-09 | Osram Sylvania Inc. | Sealing composition for sealing aluminum nitride and aluminum oxynitride ceramics |
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| JPS5551774A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-15 | Kyoto Ceramic | Composition and method for metallizing nonnoxide ceramic body |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4186021A (en) * | 1976-03-05 | 1980-01-29 | Corning Glass Works | Oxynitride glass-ceramics |
| US4070198A (en) * | 1976-03-05 | 1978-01-24 | Corning Glass Works | SiO2 -Al2 O3 -N glass for production of oxynitride glass-ceramics |
| US4097295A (en) * | 1976-10-26 | 1978-06-27 | Corning Glass Works | Silica-alumina-nitrogen containing glasses for production of glass-ceramics |
| US4141739A (en) * | 1977-10-20 | 1979-02-27 | Corning Glass Works | Oxynitride glass-ceramics |
| US4222760A (en) * | 1979-08-02 | 1980-09-16 | Corning Glass Works | Preparation of oxynitride glass-ceramics |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP59254538A patent/JPH0679988B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-11-29 US US06/803,044 patent/US4806160A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5529852A (en) * | 1987-01-26 | 1996-06-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body having a metallized coating layer on its surface |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4806160A (en) | 1989-02-21 |
| JPH0679988B2 (ja) | 1994-10-12 |
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