JPS61120759U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61120759U JPS61120759U JP360985U JP360985U JPS61120759U JP S61120759 U JPS61120759 U JP S61120759U JP 360985 U JP360985 U JP 360985U JP 360985 U JP360985 U JP 360985U JP S61120759 U JPS61120759 U JP S61120759U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- sample
- light
- evaporation apparatus
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる真空蒸着装置の一実施
例を示す縦断側面図、第２図は従来の真空蒸着装
置を示す縦断側面図、第３図は従来の真空蒸着装
置の他の例を示す縦断側面図である。 １，２……真空容器、４……試料台、５……被
蒸着試料、６ａ，６ｂ……カーボン或いは金属、
８……遮光ガラス。
例を示す縦断側面図、第２図は従来の真空蒸着装
置を示す縦断側面図、第３図は従来の真空蒸着装
置の他の例を示す縦断側面図である。 １，２……真空容器、４……試料台、５……被
蒸着試料、６ａ，６ｂ……カーボン或いは金属、
８……遮光ガラス。
Claims (1)
- 真空容器内の試料台上に載置された被蒸着試料
にカーボン或いは金属を蒸着させる真空蒸着装置
において、前記真空容器に遮光性能が連続的に変
化する遮光ガラスを装着したことを特徴とする真
空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP360985U JPS61120759U (ja) | 1985-01-17 | 1985-01-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP360985U JPS61120759U (ja) | 1985-01-17 | 1985-01-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120759U true JPS61120759U (ja) | 1986-07-30 |
Family
ID=30478398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP360985U Pending JPS61120759U (ja) | 1985-01-17 | 1985-01-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120759U (ja) |
-
1985
- 1985-01-17 JP JP360985U patent/JPS61120759U/ja active Pending