JPS61108931A - 光量測定方法 - Google Patents
光量測定方法Info
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- JPS61108931A JPS61108931A JP22979984A JP22979984A JPS61108931A JP S61108931 A JPS61108931 A JP S61108931A JP 22979984 A JP22979984 A JP 22979984A JP 22979984 A JP22979984 A JP 22979984A JP S61108931 A JPS61108931 A JP S61108931A
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- JP
- Japan
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- light
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- optical detectors
- optical
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 22
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/16—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void using electric radiation detectors
- G01J1/1626—Arrangements with two photodetectors, the signals of which are compared
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、単一波長で鋭い指向性を持つガスレーザー、
半導体レーザー等によるコヒーレントなレーザー光等の
被測定光の光量測定方法に関するものである。
半導体レーザー等によるコヒーレントなレーザー光等の
被測定光の光量測定方法に関するものである。
従来技術
一般に、この種のレーザー光の光量測定は、そのレーザ
ー光の絶対値光量やビーム形状測定のために行なわれる
。第３図は従来の光量測定装置を示すものである。即ち
、バイアス電源Ｖｒに接続したフォトダイオード等によ
る光ディテクタＤが光を受けることにより光電変換され
、その光に比例した光電流工をＯＰアンプ使用による電
流−電圧変換回路Ｐに入力させて、光量に比例した出力
ＶｏとしてＶｏ＝−ＩＲを得るようにしているものであ
る。つまり、従来にあっては噴−の光ディテクタＤに光
を照射して光量出力を得るようにしているものである。
ー光の絶対値光量やビーム形状測定のために行なわれる
。第３図は従来の光量測定装置を示すものである。即ち
、バイアス電源Ｖｒに接続したフォトダイオード等によ
る光ディテクタＤが光を受けることにより光電変換され
、その光に比例した光電流工をＯＰアンプ使用による電
流−電圧変換回路Ｐに入力させて、光量に比例した出力
ＶｏとしてＶｏ＝−ＩＲを得るようにしているものであ
る。つまり、従来にあっては噴−の光ディテクタＤに光
を照射して光量出力を得るようにしているものである。
ところが、光としては被測定光のみならず他の光源によ
る光も混在しているものであり、被測定光光源と光ディ
テクタとの間の光路を他の光源から遮蔽するとか、暗室
で測定するとかしないと、他の光源の光量が重畳された
出力Ｖｏが得られることとなり、絶対値光量とはならな
い。このために上述したごとく暗室測定等の方法を採る
ならば作業性の悪い測定方法となってしまう。又、この
ような対策を講じたとしても、光デイテクタ自身の持つ
雑音や温度特性の変化によって光量絶対値の測定の高精
度化を図ることができない。
る光も混在しているものであり、被測定光光源と光ディ
テクタとの間の光路を他の光源から遮蔽するとか、暗室
で測定するとかしないと、他の光源の光量が重畳された
出力Ｖｏが得られることとなり、絶対値光量とはならな
い。このために上述したごとく暗室測定等の方法を採る
ならば作業性の悪い測定方法となってしまう。又、この
ような対策を講じたとしても、光デイテクタ自身の持つ
雑音や温度特性の変化によって光量絶対値の測定の高精
度化を図ることができない。
目的
本発明は、このような点に鑑みなされたもので。
外乱光等のノイズ成分の影響を受けることなく高精度な
光量絶対値測定を簡便に行なうことができるレーザー光
等の光量測定方法を提供することを目的とする。
光量絶対値測定を簡便に行なうことができるレーザー光
等の光量測定方法を提供することを目的とする。
構成
本発明は、上記目的を達成するため、近接配置されて電
気的特性及び機械的特性の合った一対の光ディテクタを
電流−電圧変換回路に接続し、一方の光ディテクタに被
測定光を照射して得られた光出力から被測定光を照射し
ない他方の光ディテクタによる光出力を減じて前記被測
定光の光量を測定することを特徴とするものである。
気的特性及び機械的特性の合った一対の光ディテクタを
電流−電圧変換回路に接続し、一方の光ディテクタに被
測定光を照射して得られた光出力から被測定光を照射し
ない他方の光ディテクタによる光出力を減じて前記被測
定光の光量を測定することを特徴とするものである。
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
第３図で示して部分と同一部分は同一符号を用いて示す
。本実施例は、一対の光ディテクタＤ１．Ｄ２ を設け
、被測定光としてのレーザー光が照射される光ディテク
タＤ工を電流−電圧変換回路Ｐの一入力端子に接続し、
他方の光ディテクタＤ２を十入力端子に接続するもので
ある。ここで、一対の光ディテクタＤ□、Ｄ２は近接配
置され、かつ、光電特性９分光特性、？ｉ！度特性−′
Ｒの電気的特性及び受光面積等の機械的特性の揃ったも
のが使用されている。なお、電流−電圧変換回路Ｐに設
けられた２つの抵抗は同じ抵抗値尺とされている。
。本実施例は、一対の光ディテクタＤ１．Ｄ２ を設け
、被測定光としてのレーザー光が照射される光ディテク
タＤ工を電流−電圧変換回路Ｐの一入力端子に接続し、
他方の光ディテクタＤ２を十入力端子に接続するもので
ある。ここで、一対の光ディテクタＤ□、Ｄ２は近接配
置され、かつ、光電特性９分光特性、？ｉ！度特性−′
Ｒの電気的特性及び受光面積等の機械的特性の揃ったも
のが使用されている。なお、電流−電圧変換回路Ｐに設
けられた２つの抵抗は同じ抵抗値尺とされている。
しかして、被測定光としてのレーザー光を一方の光ディ
テクタＤ１にのみ入射させる。この時、一対の光ディテ
クタＤ１．Ｄ、は近接配置され。
テクタＤ１にのみ入射させる。この時、一対の光ディテ
クタＤ１．Ｄ、は近接配置され。
かつ、特性を揃えであるので、他の光源による光（外乱
）に対しては光ディテクタＤ、、Ｄ２が同じ条件にあり
、この外乱が共に入射される。これらの光により、光デ
ィテクタＤ工ｙＤｚ に発生した光電流Ｉ、、Ｉ２は電
流−電圧変換回路■〕で減算され、見掛は上、Ｉ＝Ｉ□
−Ｉ２となる。この結果、電流−電圧変換回路Ｐの出力
ＶｏはＶｏ＝−（工ｔ Ｉ２） ・Ｒとなり、外
乱等によるノイズ成分が除去され、被測定レーザー光の
光電だけが検出されることになる。
）に対しては光ディテクタＤ、、Ｄ２が同じ条件にあり
、この外乱が共に入射される。これらの光により、光デ
ィテクタＤ工ｙＤｚ に発生した光電流Ｉ、、Ｉ２は電
流−電圧変換回路■〕で減算され、見掛は上、Ｉ＝Ｉ□
−Ｉ２となる。この結果、電流−電圧変換回路Ｐの出力
ＶｏはＶｏ＝−（工ｔ Ｉ２） ・Ｒとなり、外
乱等によるノイズ成分が除去され、被測定レーザー光の
光電だけが検出されることになる。
ところで、一対の光ディテクタＤ□、Ｄ２はその特性を
揃えであるため、上述した外乱等によるノイズ成分の除
去だけでなく、ディテクタ自身が持っているノイズによ
る電気的誤差も除去される、ことになる。もつとも、一
対の光ディテクタＤ工。
揃えであるため、上述した外乱等によるノイズ成分の除
去だけでなく、ディテクタ自身が持っているノイズによ
る電気的誤差も除去される、ことになる。もつとも、一
対の光ディテクタＤ工。
Ｄ２の特性にずれがあれば、その差の分だけまだノイズ
として出力に残留することになる。この点、第２図に示
すように、一対の光ディテクタＤ１゜Ｄ２ を同一チッ
プ上に成長拡散させて２個の光半導体素子を集積化させ
た。いわゆる２分割受光素子り、を用いれば、各特性（
光電特性９分光特性。
として出力に残留することになる。この点、第２図に示
すように、一対の光ディテクタＤ１゜Ｄ２ を同一チッ
プ上に成長拡散させて２個の光半導体素子を集積化させ
た。いわゆる２分割受光素子り、を用いれば、各特性（
光電特性９分光特性。
温度特性、ノイズ特性）がより揃ったものとなり、上述
した残留誤差は大きく改善され、極めて高精度な光量絶
対値が得られる。
した残留誤差は大きく改善され、極めて高精度な光量絶
対値が得られる。
効果
本発明は、上述したように一対の光ディテクタを用い、
これらを同じ電流−電圧変換回路に接続し、一方の光デ
ィテクタに被測定光を照射して得られた光出力から被測
定光を照射しない他方の光ディテクタによる光出力を減
じて被測定光の光量を測定するようにしたので、他の光
源による外乱光等のノイズ成分を除去して被ｄＩす足先
のみの光量を高精度に測定することができ、このために
暗室測定等を行なう必要もなく簡便なものとすることが
できるものである。
これらを同じ電流−電圧変換回路に接続し、一方の光デ
ィテクタに被測定光を照射して得られた光出力から被測
定光を照射しない他方の光ディテクタによる光出力を減
じて被測定光の光量を測定するようにしたので、他の光
源による外乱光等のノイズ成分を除去して被ｄＩす足先
のみの光量を高精度に測定することができ、このために
暗室測定等を行なう必要もなく簡便なものとすることが
できるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図はその
改良変形例を示す回路図、第３図は従来例を示す回路図
である。 Ｄ工〜Ｄ２・・・光ディテクタ、Ｐ・電流−電圧変換回
路
改良変形例を示す回路図、第３図は従来例を示す回路図
である。 Ｄ工〜Ｄ２・・・光ディテクタ、Ｐ・電流−電圧変換回
路
Claims (1)
- 近接配置されて電気的特性及び機械的特性の合つた一対
の光ディテクタを電流−電圧変換回路に接続し、一方の
光ディテクタに被測定光を照射して得られた光出力から
被測定光を照射しない他方の光ディテクタによる光出力
を減じて前記被測定光の光量を測定することを特徴とす
る光量測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22979984A JPS61108931A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 光量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22979984A JPS61108931A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 光量測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61108931A true JPS61108931A (ja) | 1986-05-27 |
Family
ID=16897848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22979984A Pending JPS61108931A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 光量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61108931A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0603899A2 (en) * | 1992-12-25 | 1994-06-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Driver circuit |
| JP2007240260A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Stanley Electric Co Ltd | 光量検出回路 |
| EP1971129A1 (en) * | 2007-03-16 | 2008-09-17 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Improvements in or relating to image sensors |
| JP4499265B2 (ja) * | 2000-09-26 | 2010-07-07 | 株式会社アドバンテスト | 光検出器 |
-
1984
- 1984-10-31 JP JP22979984A patent/JPS61108931A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0603899A2 (en) * | 1992-12-25 | 1994-06-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Driver circuit |
| EP0603899A3 (en) * | 1992-12-25 | 1994-10-12 | Canon Kk | Driver circuit. |
| JP4499265B2 (ja) * | 2000-09-26 | 2010-07-07 | 株式会社アドバンテスト | 光検出器 |
| JP2007240260A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Stanley Electric Co Ltd | 光量検出回路 |
| JP4714602B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2011-06-29 | スタンレー電気株式会社 | 光量検出回路 |
| EP1971129A1 (en) * | 2007-03-16 | 2008-09-17 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Improvements in or relating to image sensors |
| US8228410B2 (en) | 2007-03-16 | 2012-07-24 | Stmicroelectronics (Research & Development) Limited | Image sensors including a shielded photosensitive portion for noise cancellation and associated methods |
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